JP2013255959A - 移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置 - Google Patents
移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013255959A JP2013255959A JP2012132651A JP2012132651A JP2013255959A JP 2013255959 A JP2013255959 A JP 2013255959A JP 2012132651 A JP2012132651 A JP 2012132651A JP 2012132651 A JP2012132651 A JP 2012132651A JP 2013255959 A JP2013255959 A JP 2013255959A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- groove
- support
- moving body
- block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 26
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 27
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 21
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 15
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 4
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H21/00—Gearings comprising primarily only links or levers, with or without slides
- F16H21/10—Gearings comprising primarily only links or levers, with or without slides all movement being in, or parallel to, a single plane
- F16H21/44—Gearings comprising primarily only links or levers, with or without slides all movement being in, or parallel to, a single plane for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B5/00—Adjusting position or attitude, e.g. level, of instruments or other apparatus, or of parts thereof; Compensating for the effects of tilting or acceleration, e.g. for optical apparatus
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0095—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing combined linear and rotary motion, e.g. multi-direction positioners
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/202—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
- H10N30/2023—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement having polygonal or rectangular shape
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18888—Reciprocating to or from oscillating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
【課題】移動体に発生するガタつきを抑制することが可能な移動機構を提供する。
【解決手段】支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、第1移動体に対して第2方向に移動可能な第2移動体とを備え、支持体側に形成された一対の第1溝と、第1移動体側に第1溝と向き合わせて形成された一対の第2溝との間に複数の転動体を挿入し、これら転動体を含んで第1方向に平行な2列の移動軸を構成する。2列の移動軸は、支持体と第1移動体とが向き合う方向(対面方向)と交差する方向に離間して配置する。また、第1溝と第2溝とが向き合う方向は対面方向に対して交差し、第1溝と第2溝との位置関係は、2列の移動軸の一方と他方とで逆とする。そして、第1移動体を駆動する第1振動体が支持体または第1移動体の何れか一方に付勢される方向を、2列の移動軸を含む移動面に対して傾斜させる。
【選択図】図2
【解決手段】支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、第1移動体に対して第2方向に移動可能な第2移動体とを備え、支持体側に形成された一対の第1溝と、第1移動体側に第1溝と向き合わせて形成された一対の第2溝との間に複数の転動体を挿入し、これら転動体を含んで第1方向に平行な2列の移動軸を構成する。2列の移動軸は、支持体と第1移動体とが向き合う方向(対面方向)と交差する方向に離間して配置する。また、第1溝と第2溝とが向き合う方向は対面方向に対して交差し、第1溝と第2溝との位置関係は、2列の移動軸の一方と他方とで逆とする。そして、第1移動体を駆動する第1振動体が支持体または第1移動体の何れか一方に付勢される方向を、2列の移動軸を含む移動面に対して傾斜させる。
【選択図】図2
Description
本発明は、移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置に関する。
支持体に対して移動体を所定方向に移動させる移動機構を搭載した種々の機器が知られている。例えば、特許文献1のロボットでは、移動方向と平行に設けられたレールと、レールを両側から挟んで嵌め合わされるレール受けとの間に複数の転動体(ボール)が挿入され、移動方向と平行な2列のボールガイド(移動軸)を形成している。このような移動機構では、駆動モーターなどで発生させた駆動を移動体に伝えると、ボールがレールとレール受けとの間で転動することによって、移動体を円滑に移動させることができる。
また、移動方向が異なる複数の移動体を組み合わせた移動機構が知られており、例えば、特許文献2に開示されているように、支持体に対してX軸方向に移動可能な第1移動体と、第1移動体に対してY軸方向に移動可能な第2移動体とを重ね合せることで、第2移動体はX−Y平面上での移動が可能となる。
しかし、特許文献1のように2列の移動軸で移動体が支持される移動機構では、移動体に荷重などが加わることによって、移動体にガタつきが発生することがあるという問題があった。特に、複数の移動体を備えた移動機構では、一の移動体で発生したガタつきが他の移動体に伝わることによって、移動機構全体として大きなガタつきが生じてしまうことがある。
この発明は、従来の技術が有する上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、移動体に発生するガタつきを抑制することが可能な移動機構の提供を目的とする。
上述した課題の少なくとも一部を解決するために、本発明の移動機構は次の構成を採用した。すなわち、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、
圧電材料を含んで前記第1方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第1移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第1振動体と、
前記第1移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第1移動体の移動に随伴すると共に、前記第1移動体に対して、前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動体と、
圧電材料を含んで前記第2方向の振動を発生可能であり、前記第1移動体または前記第2移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第2振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第1方向と平行に形成された第1溝と、
前記第1移動体に一対で設けられ、前記第1溝に向き合わせて形成された第2溝と、
前記第1溝と前記第2溝との間に設けられ、前記第1移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第1方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して2列設けられ、
前記第1溝と前記第2溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第1溝および前記第2溝の位置関係は、前記2列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第1振動体が付勢される付勢方向は、前記2列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする。
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、
圧電材料を含んで前記第1方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第1移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第1振動体と、
前記第1移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第1移動体の移動に随伴すると共に、前記第1移動体に対して、前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動体と、
圧電材料を含んで前記第2方向の振動を発生可能であり、前記第1移動体または前記第2移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第2振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第1方向と平行に形成された第1溝と、
前記第1移動体に一対で設けられ、前記第1溝に向き合わせて形成された第2溝と、
前記第1溝と前記第2溝との間に設けられ、前記第1移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第1方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して2列設けられ、
前記第1溝と前記第2溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第1溝および前記第2溝の位置関係は、前記2列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第1振動体が付勢される付勢方向は、前記2列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする。
ここで、「移動面に対して傾斜している方向」とは、移動面に平行な方向や、移動面に垂直な方向を含まないものとする。
このような本発明の移動機構では、第1振動体が支持体側に支持されていれば、第1移動体が第1振動体の付勢力を受け、第1振動体が第1移動体側に支持されていれば、第1移動体が第1振動体の付勢方向とは反対方向の反力を受ける。また、第1振動体の付勢方向は移動面に対して傾斜しているため、第1移動体が受ける付勢力あるいは反力には、移動面に平行な成分と移動面に垂直な成分とが含まれる。第1移動体が移動面に平行な力を受けることによって、2列の移動軸のうち一方の移動軸では、移動面と平行な方向に第1溝と第2溝との間隔が詰まり、第1溝と第2溝とで転動体が挟持される。また、他方の移動軸では、第1溝と第2溝との間隔が広がるものの、第1移動体が移動面に垂直な力を受けることによって一方の移動軸を回転軸として第1移動体を回転させるモーメントが発生するので、第1溝と第2溝とで移動面に垂直な方向に転動体が挟持される。その結果、第1移動体のガタつきを抑制することができる。そして、このように支持体に近い側に配置されて第2移動体の重量がかかる第1移動体のガタつきを抑制することにより、移動機構全体の剛性を高めることができる。
上述した本発明の移動機構では、移動機構を所定方向に移送可能な移送体に支持体を設置する場合には、第1方向を移送体の移送方向と異ならせてもよい。
移送体が移動機構を移送するのに伴って、移動機構には移送体の移送方向に慣性力が働く。第1方向を移送体の移送方向と異ならせておけば、第1移動体には移動方向に慣性力がかかり難いため、支持体に近い側に配置される第1移動体に第2移動体の重量がかかっていても、慣性力による第1移動体の位置ずれ(移動方向への滑り)を抑制することができる。尚、第2移動体にかかる重量を少なくしておけば、仮に第2方向と移送体の移送方向とが重なっていても、第2移動体に大きな慣性力がかかることはなく、第2移動体の位置ずれ(移動方向への滑り)を抑制することができる。結果として、慣性力による位置ずれを防止するためにブレーキ機構などを追加する必要がなく、移動機構の小型化を図ることができる。
また、上述した本発明の移動機構では、第1方向および第2方向と直交する第3方向を軸として回動する回動体と、振動を発生させて回動体を駆動する第3振動体とを設けることとして、第3振動体が発生させる振動の方向を移送体の移送方向と異ならせてもよい。尚、ここでの「直交」とは、完全な直交に限らず、おおよそ直交するものも含むものとする。
このように第3振動体の振動方向を移送体の移送方向と異ならせておけば、移送体による移送に伴って移動機構に慣性力がかかっても、第3振動体が振動によって回動体を駆動する方向(振動体の駆動力が回動体に伝わる方向)と慣性方向とが重ならないので、慣性力による回動体の位置ずれ(回動方向への滑り)を抑制することができる。
また、こうした本発明の移動機構では、支持体または第1移動体の何れか一方の第1振動体が付勢される部分に、略長方体形状に形成された受圧体を、第1振動体が付勢される面と付勢方向とが垂直となる姿勢で埋め込んでおいてもよい。
このようにすれば、支持体または第1移動体に対して第1振動体が斜めに付勢されても、付勢力で受圧体が逃げてしまう(受圧体の位置が移動面と平行な方向にずれてしまう)ことはなく、振動体の駆動力を受圧体に適切に伝えて第1移動体を支持体に対して精度良く移動させることができる。
また、上述した本発明の移動機構では、受圧体を、支持体または第1移動体のうち受圧体が埋め込まれる側よりも硬度が高い材料で形成してもよい。
このようにすれば、第1振動体と受圧体との間に働く摩擦力で受圧体が摩耗することを抑制できる。その結果、長い間の使用によっても移動体の移動精度が低下することを抑制することができる。
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、
圧電材料を含んで前記第1方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第1移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第1振動体と、
前記第1移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第1移動体の移動に随伴すると共に、前記第1移動体に対して、前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動体と、
圧電材料を含んで前記第2方向の振動を発生可能であり、前記第1移動体または前記第2移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第2振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第1方向と平行に形成された第1溝と、
前記第1移動体に一対で設けられ、前記第1溝に向き合わせて形成された第2溝と、
前記第1溝と前記第2溝との間に設けられ、前記第1移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第1方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して2列設けられ、
前記第1溝と前記第2溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第1溝および前記第2溝の位置関係は、前記2列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第1振動体が付勢される付勢方向は、前記2列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品搬送装置として把握することもできる。
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、
圧電材料を含んで前記第1方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第1移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第1振動体と、
前記第1移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第1移動体の移動に随伴すると共に、前記第1移動体に対して、前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動体と、
圧電材料を含んで前記第2方向の振動を発生可能であり、前記第1移動体または前記第2移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第2振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第1方向と平行に形成された第1溝と、
前記第1移動体に一対で設けられ、前記第1溝に向き合わせて形成された第2溝と、
前記第1溝と前記第2溝との間に設けられ、前記第1移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第1方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して2列設けられ、
前記第1溝と前記第2溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第1溝および前記第2溝の位置関係は、前記2列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第1振動体が付勢される付勢方向は、前記2列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品搬送装置として把握することもできる。
このような本発明の電子部品搬送装置では、移動機構のガタつきを抑制することができるので、電子部品を搬送する精度を高めることが可能となる。
また、本発明は、以下のような態様で把握することもできる。すなわち、
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、
圧電材料を含んで前記第1方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第1移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第1振動体と、
前記第1移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第1移動体の移動に随伴すると共に、前記第1移動体に対して、前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動体と、
圧電材料を含んで前記第2方向の振動を発生可能であり、前記第1移動体または前記第2移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第2振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第1方向と平行に形成された第1溝と、
前記第1移動体に一対で設けられ、前記第1溝に向き合わせて形成された第2溝と、
前記第1溝と前記第2溝との間に設けられ、前記第1移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第1方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して2列設けられ、
前記第1溝と前記第2溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第1溝および前記第2溝の位置関係は、前記2列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第1振動体が付勢される付勢方向は、前記2列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品検査装置として把握することもできる。
電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、
圧電材料を含んで前記第1方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第1移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第1振動体と、
前記第1移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第1移動体の移動に随伴すると共に、前記第1移動体に対して、前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動体と、
圧電材料を含んで前記第2方向の振動を発生可能であり、前記第1移動体または前記第2移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第2振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第1方向と平行に形成された第1溝と、
前記第1移動体に一対で設けられ、前記第1溝に向き合わせて形成された第2溝と、
前記第1溝と前記第2溝との間に設けられ、前記第1移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第1方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して2列設けられ、
前記第1溝と前記第2溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第1溝および前記第2溝の位置関係は、前記2列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第1振動体が付勢される付勢方向は、前記2列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品検査装置として把握することもできる。
このような本発明の電子部品検査装置では、移動機構のガタつきを抑制することができるので、電子部品を検査する精度を高めることが可能となる。
図1は、本実施例の移動機構150を搭載した電子部品検査装置100を例示した斜視図である。図示した電子部品検査装置100は、大まかには基台110と、基台110の側面に立設された支持台130とを備えている。基台110の上面には、検査対象の電子部品1が載置されて搬送される上流側ステージ112uと、検査済みの電子部品1が載置されて搬送される下流側ステージ112dとが設けられている。また、上流側ステージ112uと下流側ステージ112dとの間には、電子部品1の姿勢を確認するための撮像装置114と、電気的な特性を検査するために電子部品1がセットされる検査台116(検査部)とが設けられている。尚、電子部品1の代表的なものとしては、「半導体」や、「半導体ウェハー」、「CLDやOLEDなどの表示デバイス」、「水晶デバイス」、「各種センサー」、「インクジェットヘッド」、「各種MEMSデバイス」などが挙げられる。
支持台130には、基台110の上流側ステージ112uおよび下流側ステージ112dと平行な方向(Y方向)に移動可能にYステージ132が設けられており、Yステージ132からは、Y方向と直交して基台110に向かう方向(X方向)に腕部134が延設されている。また、腕部134の側面には、X方向に移動可能にXステージ136が設けられている。そして、Xステージ136には、撮像カメラ138と把持装置140が設けられている。後述するように把持装置140には、X方向およびY方向の座標を微調整するための移動機構150や、X方向およびY方向と直交する上下方向(Z方向)に移動可能なZステージなどが内蔵されている。また、把持装置140の先端には、電子部品1を把持する把持部142が設けられている。更に、基台110の前面側には、電子部品検査装置100の全体の動作を制御する制御装置118も設けられている。尚、本実施例では、支持台130に設けられたYステージ132や、腕部134や、Xステージ136や、把持装置140が、本発明の「電子部品搬送装置」に対応する。
以上のような構成を有する電子部品検査装置100は、次のようにして電子部品1の検査を行う。先ず、検査対象の電子部品1は、上流側ステージ112uに載せられて、検査台116の近くまで移動する。次に、Yステージ132およびXステージ136を動かして、上流側ステージ112uに載置された電子部品1の真上の位置まで把持装置140を移動させる。このとき、撮像カメラ138を用いて電子部品1の位置を確認することができる。そして、把持装置140内に内蔵されたZステージを用いて把持部142を降下させて、把持部142で電子部品1を把持すると、把持装置140を撮像装置114の上に移動させて、撮像装置114を用いて電子部品1の姿勢(座標)を確認する。続いて、把持装置140に内蔵されている移動機構150を用いて電子部品1の姿勢を調整する。そして、把持装置140を検査台116の上まで移動させた後、把持装置140に内蔵されたZステージを動かして電子部品1を検査台116の上にセットする。把持装置140内の移動機構150を用いて電子部品1の姿勢が調整されているので、検査台116の正しい位置に電子部品1をセットすることができる。そして、検査台116を用いて電子部品1の電気的な特性の検査が終了したら、今度は検査台116から電子部品1を取り上げた後、Yステージ132およびXステージ136を動かして、下流側ステージ112dの上まで把持装置140を移動させ、下流側ステージ112dに電子部品1を置く。その後、下流側ステージ112dを動かして、検査が終了した電子部品1を所定位置まで搬送する。
図2は、把持装置140に内蔵された本実施例の移動機構150の構成を示した斜視図である。図示されるように本実施例の移動機構150は、最上段に全体を支えるユニットベース200が配置されており、このユニットベース200はXステージ136に取り付けられている。ユニットベース200の下方には、ユニットベース200に対してX方向に移動可能にXブロック220が設けられている。また、Xブロック220の下方には、Xブロック220の動きに随伴すると共に、Z方向を軸とする回転方向(θ方向)に回動可能にθブロック240が設けられている。さらに、θブロック240の下方には、θブロック240の動きに随伴すると共に、θブロック240に対してY方向に移動可能にYブロック260が設けられている。尚、図中の破線矢印は、各ブロック(220,240,260)の移動方向を表している。また、本実施例のユニットベース200は本発明の「支持体」に相当し、本実施例のXブロック220は本発明の「第1移動体」に相当し、本実施例のYブロック260は本発明の「第2移動体」に相当し、本実施例のθブロック240は本発明の「回動体」に相当している。
また、移動機構150には、Xブロック220を駆動するX方向用の圧電モーター300xと、θブロック240を駆動するθ方向用の圧電モーター300θと、Yブロック260を駆動するY方向用の圧電モーター300yの3つの圧電モーターが設けられている。尚、3つの圧電モーター(300x,300θ,300y)を特に区別する必要がない場合には、これらを単に圧電モーター300と称することがある。また、圧電モーター300の動作原理については後述する。
さらに、移動機構150には、ユニットベース200、Xブロック220、θブロック240、およびYブロック260を上下方向(Z方向)に貫通するシャフト280が設けられている。シャフト280は、Yブロック260に対してZ方向に移動可能に取り付けられており、Yブロック260の動きに随伴すると共に、図示しないZステージの動作によってZ方向に移動する。また、シャフト280の下端には把持部142が取り付けられている。
図3は、移動機構150を分解した状態を示した斜視図である。図示されるように、ユニットベース200は略矩形の平板形状であり、シャフト280をZ方向に通す円形断面の貫通孔208が設けられている。貫通孔208の大きさは、シャフト280がYブロック260の動きに随伴してX方向およびY方向に移動しても内周面に当たることのない大きさに形成されている。また、ユニットベース200の下面(Xブロック220と向き合う面)には、下向きの凹形断面に形成された2つのXレール受け202がX方向と平行に延設されており、これら2つのXレール受け202はY方向に離間して配置されている。Xレール受け202の内壁側面には、断面形状が半円形の外溝204が形成されており、外溝204に沿って複数のボール206が配置されている。尚、本実施例の外溝204は本発明の「第1溝」に相当し、本実施例のボール206は本発明の「転動体」に相当している。
Xブロック220の上面(ユニットベース200と向き合う面)には、ユニットベース200側の2つのXレール受け202に対応して2つのXレール222がX方向と平行に延設されている。Xレール222の両側面には、Xレール受け202の外溝204と向き合う半円形断面の内溝224が形成されている。Xレール222を対応するXレール受け202と嵌め合せた状態では、内溝224と外溝204との間に複数のボール206が挿入されて、各Xレール222の両側にボールガイドを形成する。そして、ボール206が内溝224および外溝204に沿って転動することにより、Xブロック220はユニットベース200に対して円滑に移動する。尚、本実施例の内溝224は本発明の「第2溝」に相当している。
また、Xブロック220のY方向を向いた側面の一方(図面手前側)には圧電モーター300xが取り付けられており、他方(図中奥側)には圧電モーター300θが取り付けられている。圧電モーター300には、圧電材料を含んで形成された直方体形状の振動体310が内蔵されており、振動体310の長手方向の端面には円柱形状に形成されたセラミックス製の凸部312が設けられている。また、後述するように本実施例の圧電モーター300は、振動体310を凸部312が設けられた側に付勢する構造となっている。Xブロック220を駆動する圧電モーター300xは、振動体310の短手方向をX方向に合わせて、振動体310の凸部312がユニットベース200に付勢された状態で取り付けられている。ユニットベース200側の凸部312が付勢される部分には、略長方体形状に形成されたセラミックス製の受圧体210が埋め込まれている。また、θブロック240を駆動する圧電モーター300θは、振動体310の短手方向をX方向に合わせて、振動体310の凸部312をθブロック240に向けて取り付けられている。尚、本実施例の圧電モーター300xに内蔵された振動体310は、本実施例の「第1振動体」に相当し、本実施例の圧電モーター300θに内蔵された振動体310は、本発明の「第3振動体」に相当している。
さらに、Xブロック220には、シャフト280を通す円形断面の貫通孔226がZ方向に貫通して設けられている。Xブロック220の貫通孔226は、ユニットベース200の貫通孔208よりも内径が大きく形成されている。
θブロックの上面(Xブロック220に向き合う面)からは、シャフト280を通す貫通孔244が設けられた円筒形状の案内軸242が立設されている。案内軸242の外周面には、断面形状が半円形に形成された2つの内溝246が上下方向(Z方向)に離間して設けられており、内溝246に沿って複数のボール248が配置されている。案内軸242の外径は、Xブロック220の貫通孔226の内径よりも小さく形成されており、貫通孔226の内周面には、案内軸242の内溝246と向き合う2つの外溝(図示せず)が設けられている。案内軸242をXブロック220の貫通孔226に挿通した状態では、案内軸242の内溝246と対応する貫通孔226の外溝との間に複数のボール248が挿入されて、リング状のボールガイドを形成する。そして、ボール248が内溝246および外溝に沿って転動することにより、θブロック240はXブロック220に対して円滑に回動する。
また、θブロック240の上面には、圧電モーター300θと向き合う位置に受圧台250が立設されている。この受圧台250の上面には、セラミックス製の受圧体252が取り付けられており、圧電モーター300θに内蔵された振動体310の凸部312が付勢される。
また、θブロック240には、Yブロック260を駆動する圧電モーター300yが、振動体310の短手方向をY方向に合わせると共に、振動体310の凸部312をYブロック260に向けて取り付けられている。尚、本実施例の圧電モーター300yに内蔵された振動体310は、本発明の「第2振動体」に相当している。
さらに、θブロック240の下面(Yブロック260と向き合う面)には、2つのYレール254がY方向と平行に延設されており、2つのYレール254はX方向およびY方向に離間して配置されている。Yレール254の両側面には、断面形状が半円形の内溝256が形成されている。
Yブロック260の上面(θブロック240と向き合う面)には、θブロック240側の2つのYレール254に対応して2つのYレール受け262がY方向と平行に延設されている。Yレール受け262は、断面形状が上向きの凹形に形成されており、内壁側面には、Yレール254の内溝256と向き合う半円形断面の外溝264が形成され、外溝264に沿って複数のボール266が配置されている。Yレール受け262を対応するYレール254と嵌め合せた状態では、内溝256と外溝264との間に複数のボール266が挿入されて、各Yレール254の両側にボールガイドを形成する。そして、ボール266が内溝256および外溝264に沿って転動することにより、Yブロック260はθブロック240に対して円滑に移動する。
また、Yブロック260の上面には、圧電モーター300yと向き合う位置にセラミックス製の受圧体268が取り付けられており、圧電モーター300yに内蔵された振動体310の凸部312が付勢される。さらに、Yブロック260には、シャフト280をZ方向に移動可能に支持する円筒形状のシャフト支持部270が設けられている。
以上のような構成を有する本実施例の移動機構150では、3つの圧電モーター300のうち、圧電モーター300xの振動体310に電圧を印加することによって、Xブロック220をユニットベース200に対してX方向に移動させることができる。また、圧電モーター300θの振動体310に電圧を印加することによって、θブロック240をθ方向に回動させることができる。さらに、圧電モーター300yの振動体310に電圧を印加することによって、Yブロック260をθブロック240に対してY方向に移動させることができる。
図4は、圧電モーター300の内部構造を示した断面図である。尚、図3に示したように本実施例の移動機構150には3つの圧電モーター(300x,300θ,300y)が設けられているが、何れの圧電モーター300でも基本的な構造や動作原理は同じである。そこで、以下では、圧電モーター300xを例に用いて説明する。図示されるように、振動体310は、凸部312を突出させた状態で振動体ケース302内に保持されており、この振動体ケース302は、凸部312が突出した方向(Z方向)に向かって移動可能な態様で収容ケース304に収容されている。振動体ケース302の側面(Z方向に直交するY方向を向いた面)の一方側と収容ケース304との間には、Y方向に振動体ケース302を付勢する側圧バネ306が設けられている。また、振動体ケース302の側面の他方側(側圧バネ306が設けられた側とは反対側)と収容ケース304との間には、Z方向に転動するコロ308が設けられている。このため、振動体ケース302は、Y方向への移動を規制されながら、Z方向に滑らかに移動することが可能である。さらに、コロ308が設けられた側と同じ側には付勢バネ320が設けられており、この付勢バネ320は、振動体ケース302をZ方向(凸部312が設けられた側)に付勢している。そして、図2に示したように、移動機構150を組み立てた状態では、振動体310の凸部312がユニットベース200の受圧体210に付勢されており、振動体310に電圧を印加することによって、Xブロック220を駆動することができる。
図5は、圧電モーター300の動作原理を示す説明図である。図5(a)に示されているように、圧電モーター300xに内蔵された振動体310の表側の側面には、その側面を縦横に2分割(合計で4分割)するように4つの矩形形状の表電極314a〜dが形成されている。尚、4つの表電極314a〜dを区別する必要がない場合には、これらを単に表電極314と称することがある。また、図示は省略しているが、振動体310の裏側の側面には、その側面のほぼ全面に亘って裏電極が形成されている。圧電モーター300は、振動体310の表電極314に一定周期で電圧を印加したときに、振動体310の凸部312が楕円運動することによって動作する。振動体310の凸部312が楕円運動するのは次の理由による。
先ず、周知のように圧電材料を含む振動体310は、正電圧を印加すると伸張する性質を有している。従って、図5(a)に示すように、4つの表電極314の全てに正電圧を印加した後、印加電圧を解除することを繰り返すと、振動体310は長手方向に伸縮する動作を繰り返す。このように振動体310が長手方向に伸縮を繰り返す動作を「伸縮振動」と呼ぶ。以下では、振動体310が伸縮する方向(図中の±Z方向)を「伸縮方向」と呼ぶ。また、正電圧を印加する周波数を変化させていくと、ある特定の周波数となったときに伸縮量が急に大きくなって、一種の共振現象が発生する。伸縮振動で共振が発生する周波数(共振周波数)は、振動体310の物性と、振動体310の寸法(幅W、長さL、厚さT)とによって決定される。
また、図5(b)あるいは図5(c)に示すように、互いに対角線の位置にある2つの表電極314を組(表電極314aおよび表電極314dの組、あるいは表電極314bおよび表電極314cの組)として、一定周期で正電圧を印加する。すると、振動体310は、長手方向の先端部(凸部312が設けられた部分)が、短手方向(図面上で左右方向)に首を振るような動作を繰り返す。例えば、図5(b)に示したように、表電極314aおよび表電極314dの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体310は、長手方向の先端部が右方向に移動する動作を繰り返す。また、図5(c)に示したように、表電極314bおよび表電極314cの組に一定周期で正電圧を印加すると、振動体310は、長手方向の先端部が左方向に移動する動作を繰り返す。このような振動体310の動作を「屈曲振動」と呼ぶ。以下では、振動体310が屈曲振動する方向(図中の±X方向)を「屈曲方向」と呼ぶ。こうした屈曲振動についても、振動体310の物性と、振動体310の寸法(幅W、長さL、厚さT)とによって決まる共振周波数が存在する。従って、互いに対角線の位置にある2つの表電極314に対して、その共振周波数で正電圧を印加すると、振動体310は屈曲方向に大きく首を振って振動する。
ここで、図5(a)に示した伸縮振動の共振周波数も、図5(b)あるいは図5(c)に示した屈曲振動の共振周波数も、振動体310の物性や、振動体310の寸法(幅W、長さL、厚さT)によって決定される。従って、振動体310の寸法(幅W、長さL、厚さT)を適切に選んでやれば、2つの共振周波数を一致させることができる。そして、そのような振動体310に対して、図5(b)あるいは図5(c)に示すような屈曲振動の形態の電圧を共振周波数で印加すると、図5(b)あるいは図5(c)に示す屈曲振動が生じると同時に、共振によって図5(a)の伸縮振動も誘起される。その結果、図5(b)に示す態様で表電極314aおよび表電極314dの組に電圧を印加した場合には、振動体310の先端部(凸部312が設けられた部分)が図面上で時計回りに楕円を描くような動作(楕円運動)を行う。また、図5(c)に示す態様で表電極314bおよび表電極314cの組に電圧を印加した場合には、振動体310の先端部が図面上で反時計回りの楕円運動を行う。尚、以上の説明では振動体310に正電圧を印加するものとして説明した。しかし、周知のように圧電材料は、負電圧を印加することによっても変形する。従って、振動体310に負電圧を印加することによって屈曲振動(および伸縮振動)を発生させても良いし、正電圧と負電圧とを繰り返すような交番電圧を印加することによって屈曲振動(および伸縮振動)を発生させても良い。また、上述した説明では、共振周波数の電圧を印加するものとして説明した。しかし、共振周波数を含んだ波形の電圧を印加すれば十分であり、例えばパルス状の電圧であっても構わない。
圧電モーター300xは、このような楕円運動を利用してXブロック220を駆動する。すなわち、図3に示したように圧電モーター300xは、振動体310の短手方向(屈曲方向)をX方向に合わせてXブロック220側に固定されており、振動体310の凸部312がユニットベース200の受圧体210に付勢された状態で楕円運動を発生させる。すると、凸部312は、振動体310が伸長する際には受圧体210に付勢された状態で屈曲方向の何れか一方に向かって移動し、振動体310が収縮する際には受圧体210から離れた状態で元の位置まで復帰する動作を繰り返す。この結果、受圧体210と凸部312との間に働く摩擦力によって、Xブロック220は、ユニットベース200に対して屈曲方向(X方向)の何れか他方に向かって移動する。
また、圧電モーター300θは、Xブロック220側に固定されており、θブロック240側に設けられた受圧台250の受圧体252に振動体310の凸部312が付勢された状態となっている。このため、圧電モーター300θを動作させると、凸部312と受圧体252との間に働く摩擦力によって、θブロック240はθ方向に回動する。
また、圧電モーター300yは、振動体310の短手方向(屈曲方向)をY方向に合わせてθブロック240側に固定されており、Yブロック260側に設けられた受圧体268に振動体310の凸部312が付勢された状態となっている。このため、圧電モーター300yを動作させると、凸部312と受圧体268との間に働く摩擦力によって、Yブロック260はθブロック240に対してY方向に移動する。従って、電子部品検査装置100は、移動機構150の圧電モーター300x、圧電モーター300θ、圧電モーター300yを動作させることにより、把持部142で把持した電子部品1の姿勢を微調整することが可能である。加えて、こうした圧電モーター300は、電磁力を利用してローターを回転させる電磁モーターに比べて小型化が容易であると共に、ギアなどを介すことなく直接的に駆動力を伝えることができるので、移動機構150のアクチュエーターに圧電モーター300を用いることによって、移動機構150の小型化を図ることができる。
ここで、本実施例の移動機構150では、Xブロック220、θブロック240、およびYブロック260がそれぞれ異なる方向(X方向、θ方向、およびY方向)に移動可能に設けられており、各ブロック(220,240,260)には、荷重などが加わることによってガタつきが発生することがある。特に、移動機構150の全体を支持するユニットベース200に近い側のXブロック220には、θブロック240やYブロック260の重量がかかるのでガタつきが生じ易く、Xブロック220の動きに随伴するθブロック240やYブロック260にXブロック220のガタつきが伝わることにより、移動機構150全体として大きなガタつきが生じてしまう。そこで、本実施例の移動機構150では以下のようにしてガタつきを抑制している。
図6は、X方向に垂直な平面で取った移動機構150の断面図である。図6では、Xブロック220に圧電モーター300xを取り付けた部分の近傍が拡大して示されている。前述したように、ユニットベース200側のXレール受け202に形成された外溝204と、Xブロック220側のXレール222に形成された内溝224との間には複数のボール206が挿入されており、これら複数のボール206によって、X方向に平行なボールガイドがXレール222の両側に形成されている。これら2列のボールガイドに沿って複数のボール206が転動することでXブロック220はユニットベース200に対して円滑に移動する。以下では、2列のボールガイドを含む平面を「移動面」と呼ぶ。尚、ボール206の円滑な転動のために、ボール206と内溝224や外溝204との間には若干の隙間(遊び)が設けられている。
また、Xブロック220の側面に取り付けられた圧電モーター300xは、内蔵する振動体310の短手方向(屈曲方向)をX方向に合わせると共に、上端側(凸部312が設けられた側)をXブロック220とは反対側に傾けて固定されている。そして、振動体310は、付勢バネ320によって長手方向(伸縮方向)に付勢され、ユニットベース200の受圧体210に凸部312が付勢された状態となっている。このため、振動体310の凸部312が受圧体210に付勢される方向(付勢方向)は、移動面に対して所定の角度(図示した例では75度)で傾斜している。
尚、本実施例の受圧体210は、略直方体形状に形成されており、下面(振動体310の凸部312が当接する面)が振動体310の付勢方向と直交する状態でユニットベース200に埋め込まれている。これにより、ユニットベース200の下面に対して振動体310の凸部312が斜めに付勢されても、付勢力で受圧体210の位置が横方向(Y方向)にずれてしまうことはなく、凸部312と受圧体210との間に働く摩擦力によってXブロック220をユニットベース200に対して精度良く移動させることができる。また、本実施例の移動機構150では、ユニットベース200がプラスチック材料で形成されているのに対して、受圧体210がセラミックス材料や金属材料などのプラスチック材料よりも硬度の高い材料で形成されている。このため、凸部312と受圧体210との間に働く摩擦力で受圧体210が摩耗することを抑制できる。
ここで、Xブロック220は、圧電モーター300xに内蔵された振動体310の凸部312がユニットベース200の受圧体210に付勢されることによって、付勢方向とは反対方向の反力を受ける。この反力には、移動面に平行な図中右方向の成分と、移動面に垂直な図中下方向の成分とが含まれる。そして、Xブロック220が移動面に平行な反力を受けることによって、Xレール222の両側のボールガイドのうち、圧電モーター300xから遠い側(図中右側)のボールガイドでは、ボール206と内溝224および外溝204との隙間が詰まり、内溝224および外溝204でボール206を挟持した状態となる。
また、圧電モーター300xに近い側(図中左側)のボールガイドでは、内溝224と外溝204との間隔が広がるものの、Xブロック220が移動面に垂直な反力を受けることによって、図中右側の隙間が詰まったボールガイドを軸にXブロック220を下方に向かって回転させるモーメントが発生し、内溝224の上端側と外溝204の下端側とでボール206を挟持した状態となる。
以上のように本実施例の移動機構150では、振動体310の付勢方向を移動面に対して傾斜させることにより、Xレール222の両側のボールガイドの何れにおいても内溝224と外溝204とでボール206を挟持しておくことができる。しかも一方のボールガイドでは移動面と平行な方向にボール206を挟持し、他方のボールガイドでは移動面に垂直な方向にボール206を挟持して互いに挟持方向が異なるので、Xブロック220に任意の方向から荷重が加わっても、Xブロック220のガタつきを抑制することができる。そして、このようにユニットベース200に近い側に配置されてθブロック240およびYブロック260の重量がかかるXブロック220のガタつきを抑制することにより、移動機構150全体としての剛性を高めることができる。
また、本実施例の移動機構150では、X方向に移動するXブロック220をユニットベース200に近い上段の位置に配置し、Y方向に移動するYブロック260をユニットベース200から遠い下段の位置に配置している。これは次のような理由による。先ず、前述したように電子部品検査装置100では、移動機構150を内蔵した把持装置140がXステージ136に取り付けられており、Yステージ132およびXステージ136を動かすことによって把持装置140をX−Y平面上で移動させることができる。そして、電子部品1を検査台116まで移動させる際には、主にYステージ132を動かすことから、移動機構150にはY方向の慣性力が働く。Y方向と直交するX方向に移動可能なXブロック220は、移動方向に慣性力がかからないため、ユニットベース200に近い上段の位置に配置することによってXブロック220にθブロック240およびYブロック260の重量がかかっても、慣性力によるXブロック220の位置ずれ(移動方向への滑り)の発生を防止することができる。尚、本実施例のYステージ132は、本発明の「移送体」に相当している。
一方、Y方向に移動可能なYブロック260は、移動方向に慣性力がかかるものの、他のブロック(220,240)の重量がかかることのない下段の位置に配置しておけば、Yブロック260に大きな慣性力が働くことはなく、Yブロック260の位置ずれ(移動方向への滑り)を抑制することができる。結果として、慣性力によるYブロック260の位置ずれを防止するブレーキ機構などを追加する必要がなく、移動機構150の小型化を図ることができる。
さらに、本実施例の移動機構150では、Xブロック220とYブロック260との間にθブロック240が設けられており、θブロック240を駆動する圧電モーター300θは、内蔵する振動体310の短手方向(屈曲方向)をX方向に合わせて配置されている。このように圧電モーター300θを配置しておけば、Yステージ132の移動に伴って移動機構150にY方向の慣性力がかかっても、振動体310の凸部312と受圧体252との間に摩擦力が働く方向(振動体310の屈曲方向)と慣性方向とが重ならないので、慣性力によるθブロック240の位置ずれ(θ方向への滑り)を抑制することができる。
以上、本発明の移動機構や、移動機構を搭載した各種装置について説明したが、本発明は上記の実施例に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様で実施することが可能である。
例えば、前述した実施例では、ユニットベース200から下方に向けてXブロック220、θブロック240、Yブロック260の順で配置されていたが、各ブロックの配置はこれに限られるわけではなく、例えば、θブロック240、Xブロック220、Yブロックの260の順で配置してもよい。この場合は、θブロック240を駆動する圧電モーター300θを、複数のボール248で形成されるリング状のボールガイドを含む移動面に対して振動体310の付勢方向を傾けて配置しておけばよい。これにより、θブロック240には、移動面に平行な力と、移動面に垂直な力とがかかって、リング状のボールガイドの中心に対して対称な2箇所のうち一方の箇所では、移動面に平行な力によって内溝246と外溝との間隔が詰まり、内溝246および外溝でボール248が挟持される。また、他方の箇所では、内溝246と外溝との間隔が広がるものの、移動面に垂直な力によって一方の箇所を軸にθブロック240を回転させるモーメントが発生し、内溝246および外溝で上下方向(移動面に垂直な方向)にボール248が挟持される。その結果、ユニットベース200に近い側に配置されたθブロック240のガタつきが抑制されるので、移動機構150全体としての剛性を高めることができる。尚、Yステージ132の移動に伴って移動方向に慣性力が働くYブロック260は、他のブロック(220,240)の重量がかからない下段の位置に配置しておき、Yブロック260に働く慣性力を低減することが望ましい。
また、前述した実施例では、ユニットベース200に近い側のXブロック220を駆動する圧電モーター300xについてのみ、振動体310の付勢方向を移動面に対して傾けて配置していたが、圧電モーター300θ、圧電モーター300yについても同様に、振動体310の付勢方向を移動面に対して傾けて配置してもよい。このようにすれば、θブロック240やYブロック260のガタつきが抑制されるので、移動機構150全体の剛性を更に高めることができる。
また、前述した実施例では、圧電モーター300xがXブロック220側に固定され、振動体310の凸部312がユニットベース200側(受圧体210)に付勢される構成としていたが、これとは逆に、圧電モーター300xをユニットベース200側に固定して、振動体310の凸部312がXブロック220側に付勢される構成としてもよい。この場合には、Xブロック220は振動体310の付勢力を直接的に受ける。そして、振動体310の付勢方向を移動面に対して傾けておくことによって、Xブロック220が受ける付勢力には、移動面に平行な成分と、移動面に垂直な成分とが含まれるので、前述した実施例と同様に、Xレール222の両側のボールガイドの何れにおいても内溝224と外溝204とでボール206が挟持され、Xブロック220のガタつきを抑制することができる。
また、前述した実施例では、ユニットベース200に対してXブロック220、θブロック240、Yブロック260を下方に吊り下げる構成としていたが、これに限られるわけではなく、ユニットベース200に対してXブロック220、θブロック240、Yブロック260を上方に載置する構成としてもよい。この場合にも、ユニットベース200に近い側に配置されたXブロック220を駆動する圧電モーター300xを、移動面に対して振動体310の付勢方向を傾けた状態で配置しておけば、他のブロック(240,260)の重量がかかる基端側のXブロック220のガタつきを抑制することができるので、移動機構150全体の剛性を高めることができる。
また、前述した実施例では、外溝204および内溝224の断面形状が半円形に形成されていた。しかし、外溝204および内溝224の断面形状は、これに限られるわけではなく、ボール206などの転動体が転動可能に挟持される形状であればよい。例えば、V字形状としてもよい。
また、前述した実施例では、外溝204と内溝224との間に複数のボール206が転動体として挿入されていた。しかし、外溝204と内溝224との間で転動してXブロック220を円滑に移動させることができる転動体であれば、ボール206に限られるわけではない。例えば、外溝204および内溝224に沿って円筒形の複数のコロを交互に直交させて配列するクロスローラーとしてもよい。クロスローラーは、コロがV溝に線接触することにより、高荷重に耐えることができるので、クロスローラーを用いれば、移動機構150の剛性を高めることができる。
1…電子部品、 100…電子部品検査装置、 110…基台、
112d…下流側ステージ、 112u…上流側ステージ、
114…撮像装置、 116…検査台、 118…制御装置、
130…支持台、 132…Yステージ、 134…腕部、
136…Xステージ、 138…撮像カメラ、 140…把持装置、
142…把持部、 150…移動機構、 200…ユニットベース、
202…Xレール受け、 204…外溝、 206…ボール、
208…貫通孔、 210…受圧体、 220…Xブロック、
222…Xレール、 224…内溝、 226…貫通孔、
240…θブロック、 242…案内軸、 244…貫通孔、
246…内溝、 248…ボール、 250…受圧台、
252…受圧体、 254…Yレール、 256…内溝、
260…Yブロック、 262…Yレール受け、 264…外溝、
266…ボール、 268…受圧体、 270…シャフト支持部、
280…シャフト、 300x,300y,300θ…圧電モーター、
310…振動体、 312…凸部、 314…表電極、
320…付勢バネ
112d…下流側ステージ、 112u…上流側ステージ、
114…撮像装置、 116…検査台、 118…制御装置、
130…支持台、 132…Yステージ、 134…腕部、
136…Xステージ、 138…撮像カメラ、 140…把持装置、
142…把持部、 150…移動機構、 200…ユニットベース、
202…Xレール受け、 204…外溝、 206…ボール、
208…貫通孔、 210…受圧体、 220…Xブロック、
222…Xレール、 224…内溝、 226…貫通孔、
240…θブロック、 242…案内軸、 244…貫通孔、
246…内溝、 248…ボール、 250…受圧台、
252…受圧体、 254…Yレール、 256…内溝、
260…Yブロック、 262…Yレール受け、 264…外溝、
266…ボール、 268…受圧体、 270…シャフト支持部、
280…シャフト、 300x,300y,300θ…圧電モーター、
310…振動体、 312…凸部、 314…表電極、
320…付勢バネ
Claims (7)
- 所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、
圧電材料を含んで前記第1方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第1移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第1振動体と、
前記第1移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第1移動体の移動に随伴すると共に、前記第1移動体に対して、前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動体と、
圧電材料を含んで前記第2方向の振動を発生可能であり、前記第1移動体または前記第2移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第2振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第1方向と平行に形成された第1溝と、
前記第1移動体に一対で設けられ、前記第1溝に向き合わせて形成された第2溝と、
前記第1溝と前記第2溝との間に設けられ、前記第1移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第1方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して2列設けられ、
前記第1溝と前記第2溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第1溝および前記第2溝の位置関係は、前記2列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第1振動体が付勢される付勢方向は、前記2列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする移動機構。 - 請求項1に記載の移動機構であって、
前記支持体は、前記移動機構を所定方向に移送可能な移送体に設置されており、
前記第1方向は、前記移送体の移送方向とは異なる方向である
ことを特徴とする移動機構。 - 請求項2に記載の移動機構であって、
前記第1方向および前記第2方向と直交する第3方向を軸として回動する回動体と、
圧電材料を含んで振動を発生可能であり、該振動によって前記回動体を駆動する第3振動体と、
を備え、
前記第3振動体が発生させる振動の方向は、前記移送体の移送方向とは異なる方向である
ことを特徴とする移動機構。 - 請求項1ないし請求項3の何れか一項に記載の移動機構であって、
前記支持体または前記第1移動体の何れか一方の前記第1振動体が付勢される部分には、略直方体形状に形成された受圧体が、前記振動体が当接する面と前記付勢方向とが垂直となる姿勢で埋め込まれている
ことを特徴とする移動機構。 - 請求項4に記載の移動機構であって、
前記受圧体は、前記支持体または前記移動体のうち前記受圧体が埋め込まれる側よりも硬度が高い材料で形成されている
ことを特徴とする移動機構。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、
圧電材料を含んで前記第1方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第1移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第1振動体と、
前記第1移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第1移動体の移動に随伴すると共に、前記第1移動体に対して、前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動体と、
圧電材料を含んで前記第2方向の振動を発生可能であり、前記第1移動体または前記第2移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第2振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第1方向と平行に形成された第1溝と、
前記第1移動体に一対で設けられ、前記第1溝に向き合わせて形成された第2溝と、
前記第1溝と前記第2溝との間に設けられ、前記第1移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第1方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して2列設けられ、
前記第1溝と前記第2溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第1溝および前記第2溝の位置関係は、前記2列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第1振動体が付勢される付勢方向は、前記2列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品搬送装置。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を把持した前記把持部を移動させる移動機構と、
前記電子部品を検査する検査部と、
を備え、
前記移動機構は、
所定の位置に設置され、移動機構を支える支持体と、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動体と、
圧電材料を含んで前記第1方向の振動を発生可能であり、前記支持体または前記第1移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第1振動体と、
前記第1移動体を挟んで前記支持体とは反対側に設けられ、前記第1移動体の移動に随伴すると共に、前記第1移動体に対して、前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動体と、
圧電材料を含んで前記第2方向の振動を発生可能であり、前記第1移動体または前記第2移動体の何れか一方に付勢された状態で何れか他方に支持される第2振動体と、
前記支持体に一対で設けられ、前記第1方向と平行に形成された第1溝と、
前記第1移動体に一対で設けられ、前記第1溝に向き合わせて形成された第2溝と、
前記第1溝と前記第2溝との間に設けられ、前記第1移動体の移動に伴って転動する複数の転動体と、
前記転動体を含み、前記第1方向に平行な移動軸と、
を備え、
前記移動軸は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向と交差する方向に離間して2列設けられ、
前記第1溝と前記第2溝とが向き合う方向は、前記支持体と前記第1移動体とが向き合う方向に対して交差し、且つ、前記第1溝および前記第2溝の位置関係は、前記2列の移動軸の一方と他方とで逆であり、
前記第1振動体が付勢される付勢方向は、前記2列の移動軸を包含する移動面に対して傾斜している
ことを特徴とする電子部品検査装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012132651A JP2013255959A (ja) | 2012-06-12 | 2012-06-12 | 移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置 |
TW102120389A TWI595989B (zh) | 2012-06-12 | 2013-06-07 | 移動機構、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置 |
CN201310231262.4A CN103487604B (zh) | 2012-06-12 | 2013-06-09 | 移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置 |
US13/915,148 US9334935B2 (en) | 2012-06-12 | 2013-06-11 | Moving mechanism, electronic component transport device, electronic component inspection device |
EP13171416.4A EP2674995A1 (en) | 2012-06-12 | 2013-06-11 | Moving mechanism, electronic component transport device, electronic component inspection device |
KR1020130067278A KR20130139198A (ko) | 2012-06-12 | 2013-06-12 | 이동 기구, 전자 부품 반송 장치, 전자 부품 검사 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012132651A JP2013255959A (ja) | 2012-06-12 | 2012-06-12 | 移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013255959A true JP2013255959A (ja) | 2013-12-26 |
Family
ID=48747304
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012132651A Pending JP2013255959A (ja) | 2012-06-12 | 2012-06-12 | 移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9334935B2 (ja) |
EP (1) | EP2674995A1 (ja) |
JP (1) | JP2013255959A (ja) |
KR (1) | KR20130139198A (ja) |
CN (1) | CN103487604B (ja) |
TW (1) | TWI595989B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101906180B1 (ko) | 2018-04-19 | 2018-10-17 | 주식회사 삼승엔지니어링 | 검사 장비용 블록스테이지 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5969976B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2016-08-17 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
JP6592993B2 (ja) * | 2015-07-07 | 2019-10-23 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びロボット |
JP6461758B2 (ja) * | 2015-09-11 | 2019-01-30 | 株式会社Ihi | 円筒型タンクの構築方法 |
JP2019027923A (ja) * | 2017-07-31 | 2019-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 押圧装置、電子部品搬送装置および電子部品検査装置 |
CN112363310B (zh) * | 2020-11-13 | 2022-04-15 | 殷跃锋 | 一种传动机构和高精度显微镜 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0516172A (ja) | 1991-07-11 | 1993-01-26 | Takahashi Dansai:Kk | 合成皮革と一体化するプラスチツク製品の成型用金型及び合成皮革と一体化するプラスチツク製品の製造方法 |
JP2673849B2 (ja) | 1992-04-09 | 1997-11-05 | 畑村 洋太郎 | 力検出手段付き直線運動用案内装置 |
JPH091436A (ja) | 1995-06-15 | 1997-01-07 | Hitachi Seiki Co Ltd | 工作機械の移動体のクランプ機構 |
US6252333B1 (en) * | 1998-02-20 | 2001-06-26 | Seiko Instruments Inc. | Stage utilizing ultrasonic motor and electronic equipment and printer utilizing the stage |
JP4197196B2 (ja) | 1998-03-19 | 2008-12-17 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータもしくは超音波モータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器、印刷装置 |
JP4772626B2 (ja) | 2006-09-06 | 2011-09-14 | パナソニック株式会社 | 駆動装置 |
US8164233B2 (en) | 2006-08-28 | 2012-04-24 | Panasonic Corporation | Drive apparatus |
WO2008102553A1 (ja) * | 2007-02-21 | 2008-08-28 | Panasonic Corporation | 駆動装置 |
JP4398990B2 (ja) | 2007-03-28 | 2010-01-13 | 株式会社東芝 | 駆動機構 |
JP4981547B2 (ja) * | 2007-06-28 | 2012-07-25 | オリンパスイメージング株式会社 | 駆動装置および撮像装置 |
JP2010091318A (ja) | 2008-10-06 | 2010-04-22 | Seiko Epson Corp | 生体内薬剤濃度分布測定装置およびこれに用いる波長可変フィルタ、生体内薬剤濃度分布測定方法 |
JP5187112B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2013-04-24 | セイコーエプソン株式会社 | 電子部品検査装置 |
JP5929138B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2016-06-01 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーターおよびロボット |
JP5929139B2 (ja) * | 2011-12-06 | 2016-06-01 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびプリンター |
JP2013121193A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Seiko Epson Corp | 圧電モーター、駆動装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット |
-
2012
- 2012-06-12 JP JP2012132651A patent/JP2013255959A/ja active Pending
-
2013
- 2013-06-07 TW TW102120389A patent/TWI595989B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-06-09 CN CN201310231262.4A patent/CN103487604B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-06-11 EP EP13171416.4A patent/EP2674995A1/en not_active Withdrawn
- 2013-06-11 US US13/915,148 patent/US9334935B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-06-12 KR KR1020130067278A patent/KR20130139198A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101906180B1 (ko) | 2018-04-19 | 2018-10-17 | 주식회사 삼승엔지니어링 | 검사 장비용 블록스테이지 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130139198A (ko) | 2013-12-20 |
CN103487604A (zh) | 2014-01-01 |
US20130330153A1 (en) | 2013-12-12 |
EP2674995A1 (en) | 2013-12-18 |
US9334935B2 (en) | 2016-05-10 |
CN103487604B (zh) | 2017-10-20 |
TWI595989B (zh) | 2017-08-21 |
TW201350293A (zh) | 2013-12-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013255959A (ja) | 移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置 | |
JP6214193B2 (ja) | 振動波駆動装置、二次元駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、撮像装置、及び自動ステージ | |
JP2013258824A (ja) | 移動機構、ロボットハンド、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、投影装置、搬送装置 | |
US9391257B2 (en) | Actuator, robot hand, robot, electronic component carrying device, electronic component inspection device, and printer | |
US10044295B2 (en) | Piezoelectric actuator and robot | |
JP5818707B2 (ja) | 振動波駆動装置、二次元駆動装置及び画像振れ補正装置 | |
US9496482B2 (en) | Actuator, robot hand, robot, electric component conveying apparatus, electronic component testing apparatus, and printer | |
EP2490002A3 (en) | Piezoelectric vibration type force sensor and robot apparatus | |
JP2012044832A5 (ja) | ||
JP2012044832A (ja) | 振動波駆動装置及び画像振れ補正装置 | |
JP2014220989A (ja) | 振動型駆動装置、二次元駆動装置、画像振れ補正装置、交換レンズ、撮像装置、及び自動ステージ | |
TW201415785A (zh) | 壓電馬達、機器人手部、機器人、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置、送液泵、印刷裝置、電子時鐘、投影裝置、搬送裝置 | |
JP5849662B2 (ja) | 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット | |
TWI585020B (zh) | Conveyance device, electronic parts transfer device and electronic parts inspection device | |
JP5849661B2 (ja) | 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット | |
JP7254630B2 (ja) | 振動型アクチュエータ、装置、多軸ステージユニット、および多関節ロボット | |
JPWO2010125701A1 (ja) | 移動ステージ、移動ステージを有する搬送装置および荷電粒子線装置 | |
JP5948829B2 (ja) | 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット | |
JP6269224B2 (ja) | 圧電モーター | |
US11469688B2 (en) | Vibration actuator, and drive device, multi-axis stage unit, and articulated robot that use vibration actuator | |
JP2023085718A (ja) | 圧電駆動装置、およびロボット | |
JP2007125624A (ja) | ハンド装置 | |
JP2018185191A (ja) | 電子部品搬送装置、検査装置およびロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150108 |