TWI585020B

TWI585020B - Conveyance device, electronic parts transfer device and electronic parts inspection device

Info

Publication number: TWI585020B
Application number: TW102114449A
Authority: TW
Inventors: Akira Matsuzawa; Osamu Miyazawa; Kazushige Umetsu
Original assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2012-04-26
Filing date: 2013-04-23
Publication date: 2017-06-01
Also published as: TW201343510A; JP2013230017A

Description

搬送裝置、電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置

本發明係關於一種搬送裝置、電子零件搬送裝置及電子零件檢查裝置。

電子零件檢查裝置例如半導體(IC，Integrated Circuit，積體電路)檢查裝置中，自收納有檢查對象物之IC之托盤等，使IC向包含連接用之探針之檢查台移動以檢查電氣性能之搬送裝置中，為了縮短檢查時間，藉由可高速移動之驅動裝置而驅動包含機械手等握持單元之零件握持部來使IC移動。

作為搬送裝置所具有之驅動源，使用能夠進行準確之定位控制與高速驅動之伺服馬達或超音波馬達等，以謀求檢查時間之縮短(例如，專利文獻1)。

然而，如專利文獻1中所記載般，為了高速地驅動平台，並使工作台停止於特定之位置，必需進而包括例如專利文獻2中所示之制動裝置。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2008-218163號公報

[專利文獻2]日本專利特開2004-60746號公報

然而，於近年來之電子零件檢查裝置中，對將檢查對象物之電子零件載置於檢查台上時之定位要求高精度，除了使包括零件握持部之工作台高速地移動之驅動裝置以外，還於工作台具有微小驅動零件握持部之驅動裝置。作為該工作台所具有之驅動裝置，可較佳地使用使壓電元件振動而驅動驅動對象物之壓電致動器。

然而，於藉由專利文獻2中所示之制動裝置使工作台制動時，會對驅動握持部之壓電致動器施加因握持部之重量而產生之慣性力。藉由該慣性力超過將壓電致動器之壓電元件所具有之振動傳達部按壓於驅動對象物來對其進行驅動之按壓力，而於壓電元件與驅動對象物之間產生打滑，從而難以準確地定位。又，藉由於壓電元件與驅動對象物之間包含制動裝置，可抑制打滑，但裝置會變得大型化、複雜化。

因此，即便於驅動握持部之驅動單元不包含制動裝置，亦可提供定位精度較高之搬送裝置、及電子零件之搬送裝置、以及包含該搬送裝置之檢查裝置。

本發明係為了解決上述課題之至少一部分而完成者，可作為以下之形態或應用例而實現。

[應用例1]本應用之搬送裝置之特徵在於包括：保持部，其包含保持被搬送物之保持單元；及保持部移動裝置，其使上述保持部移動；上述保持部具有使上述保持單元移動之保持單元移動裝置，上述保持單元移動裝置具有驅動裝置，該驅動裝置配置有2個以上之以使被驅動體之驅動方向相互交叉之方式具有上述被驅動體之壓電致動器，且上述保持單元移動裝置具有上述被驅動體之驅動方向係相互交叉之方向之驅動裝置，上述被驅動體之上述驅動方向均與上述保持部移動裝置之移動方向交叉。

本應用例之搬送裝置係可藉由保持單元移動裝置而以壓電致動器為驅動單元相對於具有保持單元之保持部相對性地移動地具有保持被搬送物之保持單元。藉由設定為此種構成，可於保持部藉由保持部移動裝置停止在特定之位置之狀態下，藉由進而略微使保持單元移動而精密地決定被搬送物之搬送位置。然而，會因使藉由保持部移動裝置而移動之保持部停止於特定之停止位置時之負加速度即所謂之制動力(brake，掣煞)、及產生由保持單元具有之重量所引起之慣性力，而導致於壓電致動器與被驅動體之間產生打滑(滑移)。

根據本應用例之搬送裝置，相對於由保持單元具有之重量所引起產生之慣性力，以成為與作為慣性力所作用之方向之保持部搬送裝置之移動方向交叉之驅動方向之方式配置壓電致動器，藉此即便於壓電致動器與被驅動體之間不包含制動單元(掣煞單元)，亦可藉由制動力(掣煞)抑制壓電致動器與被驅動體之間之打滑。從而，可獲得位置精度較高之搬送裝置。

[應用例2]於上述應用例中，上述保持單元移動裝置包括2個上述被驅動體，即包括作為上述被驅動體之一者之第1被驅動體、及作為上述被驅動體之另一者之第2被驅動體，於將上述第1被驅動體之重量設為重量W1，將上述第2被驅動體之重量設為重量W2之情形時，且於將上述第1被驅動體之第1驅動方向與上述保持部移動裝置之上述移動方向所成之角度設為角度α1，將上述第2被驅動體之第2驅動方向與上述保持部移動裝置之上述移動方向所成之角度設為角度α2之情形時，於W1>W2之情形時，α1≧α2。

根據上述應用例，於藉由被驅動體支撐之構成變多之情形時，若第1被驅動體與藉由第1被驅動體支撐之構成之重量之總和重量W1，大於第2被驅動體與藉由第2被驅動體支撐之構成之重量之總和重量W2，則附加於第1被驅動體之慣性力大於附加於第2被驅動體之慣性力。對此，僅設定被驅動體之驅動方向便可容易地以適當之平衡抑制壓電致動器與被驅動體之間之打滑。從而，可獲得位置精度較高之搬送裝置。

[應用例3]於上述應用例中，上述第1驅動方向與上述第2驅動方向相互正交。

根據上述應用例，於保持部藉由保持部移動裝置而停止於特定位置之制動時，即便不包含制動單元(掣煞單元)，亦可抑制因由被驅動體之重量與附加於被驅動體之重量之總和重量所引起產生之慣性力而導致壓電致動器與被驅動體之相對打滑(滑移)，並且可容易地進行保持單元之微小移動之控制。

[應用例4]於上述應用例中，上述保持部移動裝置包括可於上述移動方向相互交叉之至少2個方向上移動之掃描單元。

根據上述應用例，即便以由正交之2軸或3軸之滑動軸而構成之正交機器人等構成保持部移動裝置，此時即便於壓電致動器與被驅動體之間不包含制動單元(掣煞單元)，亦可相對於保持部移動裝置之移動方向抑制壓電致動器與被驅動體之間之打滑。從而，可獲得定位精度較高之搬送裝置。

[應用例5]本應用例之電子零件搬送裝置之特徵在於包括：電子零件保持部，其包含保持電子零件之電子零件保持單元；及電子零件保持部移動裝置，其使上述電子零件保持部移動；上述電子零件保持部包括使上述電子零件保持單元移動之電子零件保持單元移動裝置，上述電子零件保持單元移動裝置包括驅動裝置，該驅動裝置配置有2個以上之以被驅動體之驅動方向相互交叉之方式具有上述被驅動體之壓電致動器，且上述電子零件保持單元移動裝置包括上述被驅動體之驅動方向係相互交叉之方向之驅動裝置，上述被驅動體之上述驅動方向均與上述電子零件保持部移動裝置之移動方向交叉。

對電子零件搬送裝置，要求用以保持並搬送微小之電子零件的精密之保持單元之位置精度。根據本應用例之電子零件搬送裝置，相對於藉由制動力(掣煞)而由保持單元具有之重量所引起產生之慣性力，以成為與作為慣性力所作用之方向之保持部搬送裝置之移動方向交叉之驅動方向之方式配置壓電致動器，藉此即便於壓電致動器與被驅動體之間不包含制動單元(掣煞單元)，亦可抑制壓電致動器與被驅動體之間之打滑。從而可獲得位置精度較高之電子零件搬送裝置。

[應用例6]於上述應用例中，上述電子零件保持部移動裝置包括2個上述被驅動體，即包括作為上述被驅動體之一者之第1被驅動體、及作為上述被驅動體之另一者之第2被驅動體，於將上述第1被驅動體之重量設為重量J1，將上述第2被驅動體之重量設為重量J2之情形時，且於將上述第1被驅動體之第1驅動方向與上述搬送部之上述移動方向所成之角度設為角度β1，將上述第2被驅動體之第2驅動方向與上述搬送部之上述移動方向所成之角度設為角度β2之情形時，於J1>J2之情形時，β1≧β2。

根據上述應用例，於藉由被驅動體支撐之構成變多之情形時，若第1被驅動體之重量與藉由第1被驅動體支撐之構成之重量之總和重量J1，大於第2被驅動體與藉由第2被驅動體支撐之構成之重量之總和重量J2，則附加於第1被驅動體之慣性力大於附加於第2被驅動體之慣性力。對此，僅設定被驅動體之驅動方向便可容易地以適當之平衡抑制壓電致動器與被驅動體之間之打滑。從而可獲得位置精度較高之電子零件搬送裝置。

[應用例7]本應用例之電子零件檢查裝置之特徵在於包括：電子零件搬送部，其包括電子零件保持部、及電子零件保持部移動裝置，上述電子零件保持部包含保持電子零件之電子零件保持單元，上述電子零件保持部移動裝置使上述電子零件保持部移動；及電子零件檢查部，其檢查上述電子零件；上述電子零件保持部包括使上述電子零件保持單元移動之電子零件保持單元移動裝置，上述電子零件保持單元移動裝置包括驅動裝置，該驅動裝置配置有2個以上之以被驅動體之驅動方向相互交叉之方式具有上述被驅動體之壓電致動器，且上述電子零件保持單元移動裝置包括上述被驅動體之驅動方向係相互交叉之方向之驅動裝置，上述被驅動體之上述驅動方向均與上述電子零件保持部移動裝置之移動方向交叉。

電子零件檢查裝置包括緻密地配置有用以檢查電子零件之電氣連接部(探針)之檢查台，且必需包含電子零件搬送裝置，該電子零件搬送裝置用以向該緻密地配置之探針準確地保持並搬送檢查對象之微小之電子零件，且具有精密之保持單元之位置精度。根據本應用例之電子零件搬送裝置，相對於藉由制動力(掣煞)而由保持單元具有之重量所引起產生之慣性力，以成為與作為慣性力所作用之方向之保持部搬送裝置之移動方向交叉之驅動方向之方式配置壓電致動器，藉此即便於壓電致動器與被驅動體之間不包含制動單元(掣煞單元)，亦可抑制壓電致動器與被驅動體之間之打滑，且可包含位置精度較高之電子零件搬送裝置。從而可獲得檢查精度較高之電子零件檢查裝置。

[應用例8]於上述應用例中，上述電子零件保持部移動裝置包括2個上述被驅動體，即包括作為上述被驅動體之一者之第1被驅動體、及作為上述被驅動體之另一者之第2被驅動體，於將上述第1被驅動體之重量設為重量J1，將上述第2被驅動體之重量設為重量J2之情形時，且於將上述第1被驅動體之第1驅動方向與上述搬送部之上述移動方向所成之角度設為角度β1，將上述第2被驅動體之第2驅動方向與上述搬送部之上述移動方向所成之角度設為角度β2之情形時，於J1>J2之情形時，β1≧β2。

根據上述應用例，於藉由被驅動體支撐之構成變多之情形時，若第1被驅動體與藉由第1被驅動體支撐之構成之重量之總和重量J1，大於第2被驅動體與藉由第2被驅動體支撐之構成之重量之總和重量J2，則附加於第1被驅動體之慣性力大於附加於第2被驅動體之慣性力。對此，可包含位置精度較高之電子零件搬送裝置，僅設定被驅動體之驅動方向便可容易地以適當之平衡抑制壓電致動器與被驅動體之間之打滑。從而可獲得檢查精度較高之電子零件檢查裝置。

10、10A、10B‧‧‧壓電元件

10a‧‧‧突起部

10b‧‧‧壓電體

10c‧‧‧壓電體之一面

10c‧‧‧壓電體之另一面

11、12、13、14‧‧‧電極

15‧‧‧共用電極

20‧‧‧保持殼體

20a‧‧‧賦能部

21‧‧‧殼體本體

21a‧‧‧支撐面

22a、22b‧‧‧壓板

23‧‧‧螺絲

31‧‧‧第1支撐部

32‧‧‧第3支撐部

41‧‧‧第2支撐部

42‧‧‧第4支撐部

50‧‧‧基座

50a‧‧‧彈簧固定部

60‧‧‧彈簧

70‧‧‧被驅動體

71‧‧‧第1被驅動體

72‧‧‧第2被驅動體

100‧‧‧致動器

100x‧‧‧第1致動器

100y‧‧‧第2致動器

100θ‧‧‧壓電致動器

1000‧‧‧檢查部

1010‧‧‧裝置基座

1020‧‧‧供件裝置

1031a、1031b、1032a、1032b‧‧‧導軌

1040、1080‧‧‧平台

1040a、1080a‧‧‧載置面

1051‧‧‧第1攝像部

1052‧‧‧第2攝像部

1060‧‧‧檢查台

1070‧‧‧卸件裝置

1090‧‧‧握持部

1100‧‧‧控制裝置

1100a‧‧‧輸入裝置

1100b‧‧‧輸出裝置

2000‧‧‧搬送裝置部

2010‧‧‧支撐台

2021a、2021b、2022a、2022b‧‧‧驅動軌道

2030‧‧‧Y平台

2040‧‧‧支架部

2050‧‧‧X平台

2060‧‧‧保持裝置

2070‧‧‧旋轉裝置

2070a‧‧‧旋轉裝置之旋轉軸

2080‧‧‧可動部

3000‧‧‧電子零件檢查裝置

E_D‧‧‧電子零件

Ff‧‧‧制動力

Fp‧‧‧賦能力

H、H_R、H_L、X、X(-)、X(+)、X_h、Y、Y(-)、Y(+)、Y_h、Z、Z(-)、Z(+)‧‧‧方向

K1、K2‧‧‧慣性力

k_h1、k_h1'、k_h2、k_h2'‧‧‧分力

P、Q‧‧‧箭頭

P₀、P₀'‧‧‧位置

S_R、S_L‧‧‧橢圓軌道

W_A、W_B‧‧‧錘

θ、α1、α2、γ‧‧‧角度

μ‧‧‧被驅動體之摩擦係數

δ‧‧‧滑移量

圖1係表示實施形態之電子零件檢查裝置之概略概觀圖。

圖2表示實施形態之電子零件檢查裝置所具有之電子零件搬送部之保持裝置，(a)係表示概略構成之立體圖，(b)係(a)所示之A方向箭視圖。

圖3表示實施形態之保持部所具有之壓電致動器之概略構成，(a)係平面圖，(b)係(a)所示之B-B'部剖面圖，(c)係(a)所示之C-C'部剖面圖。

圖4表示實施形態之壓電元件，(a)係表平面圖，(b)係側視圖，(c)係背平面圖。

圖5(a)-(c)係模式性地對實施形態之壓電元件之動作進行說明之平面圖。

圖6(a)-(c)係有關於實施形態之壓電致動器與被驅動體之滑移之概念圖。

圖7(a)、(b)係有關於實施形態之壓電致動器與被驅動體之滑移之概念圖。

(實施形態)

圖1係表示實施形態之電子零件檢查裝置之概略概觀圖。圖1所示之電子零件檢查裝置3000(以下，稱為檢查裝置3000)包括：具有檢查電子零件之電氣特性之功能之部分1000(以下，稱為檢查部1000)；及包含作為搬送電子零件之搬送裝置之電子零件搬送裝置之搬送裝置部2000。

圖1所示之檢查裝置3000包含長方體狀之裝置基座1010。將裝置基座1010之長度方向設為Y方向，將於水平面上與Y方向正交之方向設為X方向。而且，將鉛垂方向設為Z(-)方向。

於裝置基座1010上，在圖中左側設置有供件裝置1020。於供件裝置1020之上表面，遍及供件裝置1020之Y方向全寬而凸設有於Y方向上延伸之一對導軌1031a、1031b。於一對導軌1031a、1031b之上側安裝有包含直線運動機構之平台1040。該平台1040之直線運動機構係包含例如沿著導軌1031a、1031b於Y方向上延伸之線性馬達之直線運動機構。而且，於該直線運動機構中，若將相對於特定之步進數之驅動信號輸入至線性馬達，則線性馬達前進或後退，而使平台1040沿著Y方向往向移動或返向移動相當於該步進數之量。平台1040之朝向Z方向之面係載置面1040a，於載置面1040a上載置電子零件E_D。於平台1040上設置有吸引式之基板吸盤機構。而且，基板吸盤機構係將電子零件E_D固定於載置面1040a上。

於裝置基座1010上，在供件裝置1020之Y方向側設置有作為攝像部之第2攝像部1052。第2攝像部1052包括搭載有將所接收之光轉換為電信號之CCD(Charge Coupled Devices，電荷耦合器件)元件等之電路基板、包含變焦機構之物鏡、落射照明裝置、及自動對焦機構。藉此，當電子零件E_D位於與第2攝像部1052對向之位置時，第2攝像部1052可對電子零件E_D進行拍攝。而且，第2攝像部1052於對電子零件E_D照射光並進行對焦之後實施拍攝，藉此可拍攝到焦點對準之圖像。

於裝置基座1010上，在第2攝像部1052之Y方向側設置有檢查台1060。檢查台1060係用以於檢查電子零件E_D時收發電信號之治具。又，於裝置基座1010之X方向側設置有作為控制部之控制裝置1100。控制裝置1100具有控制檢查裝置3000之動作之功能。進而，控制裝置1100具有檢查電子零件E_D之功能。各控制裝置1100包括輸入裝置1100a及輸出裝置1100b。輸入裝置1100a係鍵盤或輸入連接器等，且係除輸入信號或資料以外亦可輸入操作者之指示之裝置。輸出裝置1100b係向顯示裝置或外部裝置進行輸出之輸出連接器等，將信號或資料向其他裝置輸出。此外該輸出裝置1100b亦係將檢查裝置3000之狀況向操作者傳達之裝置。

於裝置基座1010上，在檢查台1060之Y方向側設置有卸件裝置1070。於卸件裝置1070之上表面，遍及全寬凸設有於Y方向上延伸之一對導軌1032a、1032b。於一對導軌1032a、1032b之上側安裝有包含直線運動機構之平台1080。平台1080之直線運動機構可使用與供件裝置1020所具有之直線運動機構相同之機構。而且，平台1080沿著導軌1032a、1032b往向移動或返向移動。平台1080之朝向Z方向之面係載置面1080a，於載置面1080a上載置電子零件E_D。

於裝置基座1010之X(-)方向上設置有大致長方體狀之支撐台2010。與裝置基座1010相比，支撐台2010形成為於Z(+)方向上更高之形狀。於支撐台2010上，在朝向X方向之面上遍及支撐台2010之Y方向全寬凸設有於Y方向上延伸之作為一對被驅動體之驅動軌道2021a、2021b。於驅動軌道2021a、2021b之X方向側，安裝有包含沿著一對驅動軌道2021a、2021b移動之直線運動機構之Y平台2030。Y 平台2030之直線運動機構將例如伺服馬達或超音波馬達之旋轉驅動轉換為直線驅動，而使Y平台2030沿著驅動軌道2021a、2021b相對於固定之驅動軌道2021a、2021b相對地往向移動或返向移動。

於Y平台2030上，在朝向X方向之面上設置有於X方向上延伸之稜柱狀之支架部2040。於支架部2040中，在朝向-Y方向之面上遍及支架部2040之X方向全寬凸設有於X方向上延伸之一對驅動軌道2022a、2022b。於一對驅動軌道2022a、2022b之-Y方向側，安裝有包含沿著驅動軌道2022a、2022b移動之直線運動機構之X平台2050。X平台2050之直線運動機構將例如伺服馬達或超音波馬達之旋轉驅動轉換為直線驅動，而使X平台2050沿著驅動軌道2022a、2022b相對於固定之驅動軌道2022a、2022b相對地往向移動或返向移動。

於X平台2050上，設置有：第1攝像部1051，其作為攝像部；及保持裝置2060，其保持電子零件ED且載置保持於檢查台1060上之電子零件ED。第1攝像部1051具有與第2攝像部1052相同之構造與功能。而且，由第1攝像部1051及第2攝像部1052構成攝像部。於圖2中表示保持裝置2060之概略構成。

如圖2(a)所示，於保持裝置2060之內部包括複數個驅動裝置，該複數個驅動裝置沿著特定之方向驅動連接有握持部1090且包含旋轉軸2070a之旋轉裝置2070。驅動裝置包括：成為驅動源之壓電致動器100x、100y、100θ；第1被驅動體71、第2被驅動體72，其作為藉由各壓電致動器100x、100y、100θ而驅動之被驅動體；以及旋轉裝置2070，其被旋轉驅動。又，包括用以使旋轉裝置2070沿著圖示之Z方向直線運動之未圖示之直線運動機構。

此處，藉由圖3對壓電致動器進行說明。圖3表示本實施形態之搬送裝置部2000之保持裝置2060所具有之壓電致動器100之一實施形態，(a)係平面圖，(b)係(a)所示之B-B'部剖面圖，(c)係(a)所示之C-C' 部剖面圖。如圖3(a)所示，致動器100包括：保持殼體20，其作為保持構件；壓電元件10，其保持於保持殼體20；基座50，其包含安裝作為保持殼體20之賦能單元之彈簧60之彈簧固定部50a；及被驅動體70。

被驅動體70被沿著圖示之H方向直線驅動。於本實施形態之致動器100中，藉由以被驅動體70表示之H方向之直線驅動進行說明，但亦可為旋轉驅動被驅動體之情形。保持殼體20之賦能部20a相對於基座50所具有之彈簧固定部50a而藉由彈簧60向被驅動體70賦能，壓電元件10經由被賦能之保持殼體20被賦能。於壓電元件10設置有具有與被驅動體70接觸之接觸部之突起部10a，詳情雖將於下文敍述，但突起部10a藉由壓電元件10之振動描畫橢圓軌道而揺動，藉由該橢圓運動而沿著H方向直線驅動被驅動體70。

如圖3(b)、(c)所示，保持殼體20包括殼體本體21、及藉由螺絲23固定於殼體本體21上之壓板22a、22b。於殼體本體21之支撐面21a與壓板22a、22b之間配置壓電元件10。壓電元件10由配置於壓電元件10與保持殼體20之支撐面21a之間之第3支撐部32及第4支撐部42、配置於壓電元件10與壓板22a之間且隔著壓電元件10與第3支撐部32對向配置之第1支撐部31、以及配置於壓電元件10與壓板22b之間且隔著壓電元件10與第4支撐部42對向配置之第2支撐部41挾持並保持、固定於保持殼體20。

支撐部31、32、41、42係由緩衝材料形成，從而可抑制壓電元件10之振動洩露至保持殼體20。作為形成支撐部31、32、41、42之緩衝材料，較佳為具有不使對壓電元件10激發之振動洩露至保持殼體20之性能，且動態黏彈性(tanδ)為0.05以下。所謂動態黏彈性(tanδ)係指若於拉伸模式下對材料賦予正弦波應變ε，則會因產生於材料中之應力σ之發生，而相對於所輸入之應變產生滯後之相位δ。使用該相位δ 將材料之動態黏性量化者係動態黏彈性(tanδ)。即動態黏彈性較大亦即相位δ較大之情況會因所賦予之應變而於材料之內部發生傳達滯後之現象。換言之，可使振動之傳達更慢，而抑制向保持殼體20之振動洩露。作為形成支撐部31、32、41、42之緩衝材料，可較佳地使用例如橡膠、彈性體、聚醯亞胺、聚醚碸等，但由於易於因致動器100之驅動而產生熱，故而可更佳地使用耐熱性優異之聚醯亞胺。

圖4表示壓電元件10之形態，(a)係表平面圖，(b)係側視圖，(c)係背平面圖。如圖4(a)所示，壓電元件10於壓電體10b之一面10c上形成有激振彎曲振動之電極11、12、13、14。進而，於另一面10d上形成有共用電極15。作為壓電體10b，若為具有壓電性之材料則不作限定，可較佳地使用PZT(Lead-Zirconate-Titanate)，鋯鈦酸鉛)。作為電極，若為導電金屬則不作限定，可以濺鍍法、蒸鍍法等方法形成例如Al、Au、Ag、W、Cu等。又，突起部10a係與被驅動體70接觸，藉由其摩擦使被驅動體70驅動，故其係由與被驅動體70之摩擦係數較高且耐摩耗性優異之材料形成，並以未圖示之方法將其固著而形成包含突起部10a之壓電元件10。或者，可藉由將與被驅動體70之摩擦係數較高且耐摩耗性優異之材料塗佈於與壓電體10b形成為一體之突起部10a之表面而形成突起部10a。作為用於突起部10a中之耐摩耗性優異之材料，可較佳地使用陶瓷，例如氧化鋁等。

圖5係模式性地對壓電元件10之動作進行說明之平面圖。如圖5(a)所示，藉由向電極11、13與圖4所示之共用電極15之間施加電荷但不向電極12、14施加電荷，而於壓電元件10之與電極11、13對應之部位激發圖示箭頭之縱向振動。然而，由於未向電極12、14施加電荷故而不會激發縱向振動，其結果，壓電元件10因電極11、13之縱向振動及電極12、14之無振動產而生彎曲振動，從而如壓電元件10A般振動，使突起部10a沿著圖示之橢圓軌道S_R之箭頭方向揺動。突起部10a 沿著橢圓軌道之S_R方向之揺動使被抵接之被驅動體70沿著圖示H_R方向驅動。

藉由圖5(b)說明之壓電元件10之動作係被驅動體70沿著與藉由上述圖5(a)說明之向H_R方向之驅動方向相反之H_L方向驅動之狀態。如圖5(b)所示，藉由向電極12、14與圖4所示之共用電極15之間施加電荷但不向電極11、13施加電荷，而於壓電元件10之與電極12、14對應之部位激發圖示箭頭之縱向振動。然而，由於未向電極11、13施加電荷故而不會激發縱向振動，其結果，壓電元件10藉由電極12、14之縱向振動及電極11、13之無振動而產生彎曲振動，從而如壓電元件10B般振動，使突起部10a沿著圖示之橢圓軌道S_L之箭頭方向揺動。突起部10a沿著橢圓軌道之S_L方向之揺動使抵接之被驅動體70沿著圖示H_L方向驅動。從而，藉由切換向電極11、12、13、14施加電荷，可改變壓電元件10之彎曲振動之方向，從而容易地切換被驅動體70之驅動方向。

利用圖5(a)、(b)，對藉由突起部10a之橢圓軌道S_R、S_L使被驅動體70驅動之情況進行說明，例如，於圖5(c)中表示該情況於如圖5(a)所示使被驅動體70沿著H_R方向驅動之情形時之突起部10a與被驅動體70之接觸部中之詳情。如圖5(c)所示，於壓電元件10之突起部10a與被驅動體70之接觸部中，利用突起部10a之振動所形成之橢圓軌道S_R相對於被驅動體70藉由接觸部之摩擦而產生驅動力F。藉由該驅動力F沿著H_R方向驅動被驅動體70。此時，於接觸部中，F'作為驅動力F之反作用力對突起部10a發揮作用，而欲使突起部10a沿著與H_R方向相反之方向移動，但藉由限制、抑制該反作用力F'造成之突起部10a即壓電元件10之移動，可使驅動力F向被驅動體70傳遞，從而可較佳效率地將壓電元件10之彎曲振動轉換為被驅動體70之驅動。

圖2(a)所示之保持裝置2060之內部所具有之壓電致動器100x、 100y、100θ係使用上述之壓電致動器100。壓電致動器100x驅動第1被驅動體71，壓電致動器100y驅動第2被驅動體72，壓電致動器100θ驅動旋轉裝置2070。再者，以下將壓電致動器100x稱為第1致動器100x，將壓電致動器100y稱為第2致動器100y，將壓電致動器100θ稱為第3致動器100θ。

第1致動器100x係以沿著圖示箭頭P方向驅動第1被驅動體71之方式配置並安裝於保持裝置2060上。再者，雖未圖示，但第1被驅動體71包含僅可於驅動方向P上移動之滑動機構。第2致動器100y係以按沿著圖示箭頭Q方向驅動第2被驅動體72之方式與第1被驅動體71同步地移動之方式安裝。換言之，第2致動器100y固定於第1被驅動體71上。第2被驅動體72可與第2致動器100y一併沿著第1致動器100x之P方向驅動，另外還包含僅可於Q方向上相對於第2致動器100y相對地移動之未圖示之滑動機構。

第3致動器100θ固定於第2被驅動體72上，使旋轉裝置2070相對於第2被驅動體72相對地旋轉驅動。由此藉由配置第1致動器100x、第2致動器100y、以及第3致動器100θ，可於保持裝置2060藉由Y平台2030、X平台2050(參照圖1)，移動至特定之停止位置而停止之後，使握持部1090略微移動，從而可使提高握持部1090之位置精度格外提高。

如作為圖2(a)所示之箭頭A之箭視圖之圖2(b)所示，第1致動器100x係以使第1被驅動體71沿著相對於支架部2040所具有之X平台2050之移動方向之X方向以角度α1(亦應用上述應用例6、8中之β1)交叉之X_h方向即P方向驅動之方式具備。又第2致動器100y係以使第2被驅動體72沿著相對於X平台2050之移動方向之X方向以角度α2(亦應用上述應用例6、8中之β2)交叉之Y_h方向即Q方向驅動之方式具備。

以成為相對於X平台2050之移動方向即保持裝置2060之移動方向以角度α1交叉之方向P之方式，配置第1致動器100x對第1被驅動體71之驅動方向。藉此，可抑制因由X平台2050之停止制動時之第1被驅動體71所支撐之部位之重量產生之慣性力而導致之第1致動器100x與第1被驅動體71之間之打滑(以下，稱為滑移)。於圖6中，表示有關於第1致動器100x與第1被驅動體71之滑移之概念圖。

如圖6(a)所示，致動器100對被驅動體70賦予有賦能力Fp。於致動器100之驅動時，沿著由致動器100之彎曲振動所形成之突起部10a之橢圓軌道，根據突起部10a與被驅動體70之間之摩擦係數μ並藉由賦能力Fp而產生之摩擦力，產生圖5所示之驅動力F，從而使被驅動體70沿著H_R、H_L方向驅動。然而，於致動器100之非驅動時即停止時，藉由賦能力Fp及突起部10a與被驅動體70之摩擦係數μ而產生之摩擦力成為制動被驅動體70之制動力Ff，其可以下式求出：Ff=μ×Fp (1)。

再者，圖6(a)之制動力Ff於圖示上，方便起見係沿著圖示左右方向繪製，此意味著制動力Ff無論相對於圖示左右哪個方向均可發揮作用。

如圖2所示，例如於第1致動器100x中，第2致動器100y、藉由第2致動器100y驅動之第2被驅動體72、第2被驅動體72所具有之第3致動器100θ、藉由第3致動器100θ驅動之旋轉裝置2070、及旋轉裝置2070所具有之握持部1090藉由未圖示之單元而連接於第1被驅動體71。換言之，如圖6(a)所示，成為於作為被驅動體70之第1被驅動體71附加有重量w_a之錘W_A之狀態。

於該致動器100停止之狀態下，當為自與附加有錘W_A之被驅動體70一併移動之狀態轉移至停止狀態，即圖2所示之X平台2050自移動轉移至停止之狀態之情形時，藉由使移動速度v1為速度0之負加速度a1，可相對於致動器100移動之被驅動體70欲藉由由停止之加速度a1 所引起之慣性力而移動。若將被驅動體70之重量設為w₇₀，則該慣性力K1成為：K1=a1×(w_a+w₇₀) (2)。

從而，若K1≦Ff，即根據式(1)，K1≦(μ×Fp)，則被驅動體70可維持相對於致動器100相對地不移動之狀態。

然而，若K1>Ff，即，根據式(1)，K1>(μ×Fp)，則被驅動體70會相對於致動器100相對地移動，即引起滑移。

所謂產生滑移之狀態係指如圖6(a)所示，於將致動器100之突起部10a與被驅動體70之特定之接點位置設為位置P₀之情形時，藉由上述滑移必然與突起部10a接觸之位置P₀向位置P₀'移動之狀態。本來係於P0位置執行被驅動體70之位置控制，但根據因該滑移而產生之滑移量δ，執行相對於特定位置始終保持有滑移量δ之偏移之位置控制。

於本實施形態之檢查裝置3000之搬送裝置部2000中，如圖2所示，保持裝置2060內部所具有之第1致動器100x係以沿著相對於X平台2050之移動方向成角度α1之方向驅動第1被驅動體71之方式配置。藉由以此方式配置，如圖6(b)所示，若X平台2050沿著作為特定之方向之H_R方向移動，並於指定之停止位置開始停止動作，則藉由未圖示之單元而連接有如上所述藉由第1致動器100x驅動之第1被驅動體71、第2致動器100y、藉由第2致動器100y驅動之第2被驅動體、第2被驅動體72所具有之第3致動器100θ、藉由第3致動器100θ驅動之旋轉裝置2070、及旋轉裝置2070所具有之握持部1090之、式(2)所示之慣性力K1對第1致動器100x發揮作用。

此時，如圖6(c)所示，慣性力K1相對於第1致動器100x，分解為第1致動器100x之驅動方向X_h之方向之分力k_h1、及與驅動方向X_h正交之方向之分力k_h1'。如上所述，本實施形態之被驅動體71、72構成為僅可於各自對應之致動器之驅動方向移動之未圖示之滑動機構、即滑動機構之滑動方向以外之移動受到限制，故而第1被驅動體71及第1致動器100x不會相對於分力k_h1'之方向滑移。

另一方面，對於沿著驅動方向X_h分解之分力k_h1而言，如藉由圖6(a)所述般，其係沿著於第1致動器100x與第1被驅動體71之間產生滑移之方向發揮作用之力。從而，藉由將分力k_h1與制動力Ff之關係設定為：k_h1≦Ff (3)，可抑制第1致動器100x與第1被驅動體71之間之滑移。此處，分力k_h1成為：kh₁=K1×cosα1 (4)。

根據式(1)、(3)、(4)，求出(K1×cosα1)≦(μ×Fp) (5)。

此處，根據式(5)，求出cosα1≦(μ×Fp)/K1 (6)，若將式(2)中之w₇₀替換為第1被驅動體71之重量w₇₁而代入，則示為：cosα1≦(μ×Fp)/{a1×(w_a+w₇₁)} (7)。

式(7)中所示之(w_a+w₇₁)係附加有藉由未圖示之單元而連接有藉由第1致動器100x直接驅動之第1被驅動體71、連接於第1被驅動體71之第2致動器100y、藉由第2致動器100y驅動之第2被驅動體72、第2被驅動體72所具有之第3致動器100θ、藉由第3致動器100θ驅動之旋轉裝置2070、及旋轉裝置2070所具有之握持部1090之重量w_a之錘W_A。此處，若將藉由第1致動器100x驅動之總重量即(w_a+w₇₁)設為W1(亦應用上述應用例6、8中之J1)，則式(7)可示為：cosα1≦(μ×Fp)/(a1×W1) (8)。

藉由滿足上述式(8)，並設定第1致動器100x之驅動方向P相對於X平台2050之移動方向X之配置角度α1，僅利用藉由第1致動器100x對第1被驅動體71之賦能力Fp而獲得之制動力Ff，便可抑制藉由第1致動器100x驅動之總重量W1所引起之滑移。從而，即便不另外包含制動單元(掣煞單元)，亦可獲得能夠進行準確之微小位置控制之保持裝置2060。

其次，使用圖7對第2致動器100y之情形進行說明。如圖7(a)所示，第2致動器100y之驅動方向設定為相對於第1致動器100x之驅動方向而言驅動方向相互交叉，且相對於X平台2050之移動方向成角度α2之方向。對藉由第2致動器100y驅動之第2被驅動體72，施加有藉由未圖示之單元而連接有第2被驅動體72所具有之第3致動器100θ、藉由第3致動器100θ驅動之旋轉裝置2070、及旋轉裝置2070所具有之握持部1090之重量w_b之錘W_B(參照圖6)。

由連接之該等各構成之重量所引起產生之慣性力K2，以下述式(9)所示之大小對第2致動器100y發揮作用：K2=a1×(w_b+w₇₂) (9)。

此處，w_b係W_B重量，w₇₂係第2被驅動體72之重量。

如圖7(b)所示，慣性力K2相對於第2致動器100y，分解為第2致動器100y之驅動方向Y_h之方向之分力k_h2、及與驅動方向Y_h正交之方向之分力k_h2'。如上所述，本實施形態之被驅動體71、72構成為僅可於各自對應之致動器之驅動方向上移動之未圖示之滑動機構、即滑動機構之滑動方向以外之移動受到限制，故而第2被驅動體72及第2致動器100y不會相對於分力k_h2'方向滑移。

另一方面，對於沿著驅動方向Y_h分解之分力k_h2而言，與藉由圖6(a)所述者同樣地，其係沿著於第2致動器100y與第2被驅動體72之間產生滑移之方向發揮作用之力。從而，藉由將分力k_h2與制動力Ff之關係設定為：k_h2≦Ff (10)，可抑制第2致動器100y與第2被驅動體72之間之滑移。此處，分力k_h2成為：k_h2=K2×cosα2 (11)。

根據式(9)、(10)、(11)，求出(K2×cosα2)≦(μ×Fp) (12)。

此處，根據式(12)，求出cosα1≦(μ×Fp)/K1 (13)，若將式(2)中之w₇₀替換成第2被驅動體72之重量w₇₂而代入，則示為：cosα2≦(μ×Fp)/{a1×(w_b+w₇₂)} (14)。

式(14)中所示之(w_b+w₇₂)係附加有藉由未圖示之單元而連接有藉由第2致動器100y直接驅動之第2被驅動體72、第2被驅動體72所具有之第3致動器100θ、藉由第3致動器100θ驅動之旋轉裝置2070、及旋轉裝置2070所具有之握持部1090之重量w_b之錘W_B。此處，若將藉由第2 致動器100y驅動之總重量即(w_b+w₇₂)設為W2(亦應用上述應用例6、8中之J1)，則式(14)可示為：cosα2≦(μ×Fp)/(a1×W2) (15)。

藉由滿足上述式(15)，並設定第2致動器100y之驅動方向Q相對於X平台2050之移動方向X之配置角度α2，僅利用藉由第2致動器100y對第2被驅動體72之賦能力Fp而獲得之制動力Ff，便可抑制藉由第2致動器100y驅動之總重量W2所引起之滑移。從而，即便不另外包含動單元(掣煞單元)，亦可獲得能夠進行準確之微小位置控制之保持裝置2060。

於本實施形態之保持裝置2060中，如圖2所示，第1致動器100x驅動藉由未圖示之單元而連接有藉由第1致動器100x直接驅動之第1被驅動體71、連接於第1被驅動體71之第2致動器100y、藉由第2致動器100y驅動之第2被驅動體72、第2被驅動體72所具有之第3致動器100θ、藉由第3致動器100θ驅動之旋轉裝置2070、及旋轉裝置2070所具有之握持部1090之總重量W1。而且第2致動器100y驅動藉由未圖示之單元而連接有藉由第2致動器100y直接驅動之第2被驅動體72、第2被驅動體72所具有之第3致動器100θ、藉由第3致動器100θ驅動之旋轉裝置2070、及旋轉裝置2070所具有之握持部1090之總重量W2。即，為如下關係：W1>W2 (16)。

若將該式(16)之關係代入至式(8)、(15)之右邊，則存在如下關係：{(μ×Fp)/(a1×W1)}<{(μ×Fp)/(a1×W2)}，即，成為如下關係：cosα1<cosα2，由此，於式(16)所示之W1與W2之關係中，較佳為設為：α1>α2。

檢查電子零件E_D之檢查裝置3000一般設置於潔淨環境即防塵環境下。又，雖未圖示，但於檢查台1060上，配置有用以測量電子零件E_D之電氣特性之複數個探針，且必需以電子零件E_D之探針應接觸之位置相對於全部探針準確地配置之方式，自供件裝置1020向檢查台1060搬送電子零件E_D。在載置於檢查台1060上之前，會自藉由第1攝像部1051、第2攝像部1052而獲得之電子零件E_D之圖像，進行圖像處理並藉由搬送裝置部2000使電子零件E_D之位置與檢查台1060所具有之探針位置準確對準，而將電子零件E_D載置於檢查台1060上。進而，由於電子零件E_D越來越小型、精密且多功能，故而一般係進行所謂之全數檢查。從而，由於應檢查之電子零件E_D之數量極其龐大，故而對於電子零件E_D之一系列之檢查時間而言，要求可以更短時間進行檢查處理，尤其要求縮短檢查時間中所占之電子零件E_D之搬送時間。

作為本實施形態之搬送裝置之搬送裝置部2000中，於保持裝置2060中包含作為複數個驅動單元之第1致動器100x與第1被驅動體71、第2致動器100y與第2被驅動體72、及第3致動器100θ與作為被驅動體之旋轉裝置2070，藉此，於藉由Y平台2030及X平台2050移動之保持裝置2060之特定停止位置，使作為被檢查物之電子零件E_D進而準確地載置於檢查台1060上，故而可使握持部1090微小移動而確保較高位置精度。

尤其是，以成為相對於X平台2050之移動方向成特定之角度之驅動方向之方式設定第1致動器100x與第1被驅動體71、及第2致動器100y與第2被驅動體72之配置，藉此於X平台2050在特定位置停止之制動時，即便不包含制動單元(掣煞單元)亦可抑制因包含被驅動體 71、72之附加重量所引起產生之慣性力而導致之致動器100x、100y與被驅動體71、72之相對打滑(滑移)。從而，可確實地維持微小移動之位置精度。從而，搬送裝置部2000可作為能夠以較高精度移載電子零件且能夠以較高精度定位於檢查台或基板等上而配置電子零件之電子零件搬送裝置而較佳地使用。

(其他實施形態)

可將上述實施形態之保持裝置2060所具有之第1致動器100x之驅動方向P與第2致動器100y之驅動方向Q所成之角度、即圖2(b)所示之角度γ設定為正交之90度。此處所謂之正交並非意指嚴格的角度90度，而係表示亦包含一般製造上偏差(誤差)等之大致正交之狀態。

藉由將第1致動器100x之驅動方向P與第2致動器100y之驅動方向Q所成之角度γ設定為正交，於上述之X平台2050在特定位置停止之制動時，即便不包含制動單元(掣煞單元)亦可抑制因包含被驅動體71、72之附加重量所引起產生之慣性力而導致之致動器100x、100y與被驅動體71、72之相對打滑(滑移)，並且可容易地進行握持部1090之微小移動之控制。