JPH11184523A - ピエゾ素子と画像処理とを用いた精密位置決め装置及び方法 - Google Patents
ピエゾ素子と画像処理とを用いた精密位置決め装置及び方法Info
- Publication number
- JPH11184523A JPH11184523A JP35652897A JP35652897A JPH11184523A JP H11184523 A JPH11184523 A JP H11184523A JP 35652897 A JP35652897 A JP 35652897A JP 35652897 A JP35652897 A JP 35652897A JP H11184523 A JPH11184523 A JP H11184523A
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- test probe
- correction signal
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＴＡＢの検査時において、テストプローブ及
びテストパッドの位置決め精度の向上と位置決め速度の
高速化を図る。 【解決手段】 ＴＡＢの電気検査装置における位置決め
装置を、ＴＡＢのズレ量を検出するＣＣＤカメラ及び画
像処理装置と、ズレ量に応じた補正信号を発生するピエ
ゾ素子制御装置と、補正信号に応じてＴＡＢを搬送方向
及び搬送方向と直角な方向に高速且つ微小なピエゾ素子
を用いたアクチュエータを用いた。
びテストパッドの位置決め精度の向上と位置決め速度の
高速化を図る。 【解決手段】 ＴＡＢの電気検査装置における位置決め
装置を、ＴＡＢのズレ量を検出するＣＣＤカメラ及び画
像処理装置と、ズレ量に応じた補正信号を発生するピエ
ゾ素子制御装置と、補正信号に応じてＴＡＢを搬送方向
及び搬送方向と直角な方向に高速且つ微小なピエゾ素子
を用いたアクチュエータを用いた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微細なパターンを
有する半導体チップの検査装置に関し、特に半導体チッ
プがボンディングされたテープキャリヤ（以下ＴＡＢテ
ープという）上の繰返しパターン及び電気的導通を検査
する際に用いられるテストプローブ及びテストパッド用
ステージの位置決め機構に関する。
有する半導体チップの検査装置に関し、特に半導体チッ
プがボンディングされたテープキャリヤ（以下ＴＡＢテ
ープという）上の繰返しパターン及び電気的導通を検査
する際に用いられるテストプローブ及びテストパッド用
ステージの位置決め機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＴＡＢテープは、テープ状の光透過性フ
ィルム及びその表面上の銅箔等の導電性膜を所定の繰返
しパターンとすることにより形成されたリードとからな
り、このリードと半導体チップとを電気的に接続するこ
とによりＩＣ等の半導体素子を形成している。
ィルム及びその表面上の銅箔等の導電性膜を所定の繰返
しパターンとすることにより形成されたリードとからな
り、このリードと半導体チップとを電気的に接続するこ
とによりＩＣ等の半導体素子を形成している。
【０００３】ここに述べたリードの繰返しパターン（以
下リードパターン）は、銅箔をエッチングすることによ
って得られる、更にこのリードと半導体チップの端子部
分を接触させることで電気的に導通させ、それによって
半導体素子が形成される。この半導体素子の形成プロセ
スにおける歩留まりあるいは半導体素子の信頼性を高め
るためには、半導体素子の実装後においてＴＡＢテープ
のリードパターンと半動体素子との接点における突起や
欠損又は形状の異常等の欠陥の外観検査及び電気的な導
通検査を行う必要があった。
下リードパターン）は、銅箔をエッチングすることによ
って得られる、更にこのリードと半導体チップの端子部
分を接触させることで電気的に導通させ、それによって
半導体素子が形成される。この半導体素子の形成プロセ
スにおける歩留まりあるいは半導体素子の信頼性を高め
るためには、半導体素子の実装後においてＴＡＢテープ
のリードパターンと半動体素子との接点における突起や
欠損又は形状の異常等の欠陥の外観検査及び電気的な導
通検査を行う必要があった。
【０００４】従来、ＴＡＢテープの製造工程における外
観検査及び電気的な導通検査は、検査員が顕微鏡を用い
て目視によって行っていた。また外観検査及び電気的な
導通検査の簡略化、自動化を目的として、図３に示すテ
ストプローブステージが顕微鏡とともに用いられてい
た。尚テストパッドステージについても構成は同様であ
るので以下の説明においては省略する。
観検査及び電気的な導通検査は、検査員が顕微鏡を用い
て目視によって行っていた。また外観検査及び電気的な
導通検査の簡略化、自動化を目的として、図３に示すテ
ストプローブステージが顕微鏡とともに用いられてい
た。尚テストパッドステージについても構成は同様であ
るので以下の説明においては省略する。
【０００５】図３に示すように、ＴＡＢテープ１０はス
プロケットホール１１を用いて不図示の搬送系により、
テストプローブステージ１上に取り付けられたテストプ
ローブ部分２上を搬送される。ＴＡＢテープ１０の搬送
はＴＡＢテープ１０に形成された製品部１２がテストプ
ローブ部分２上の所定の位置に達すると一時的に中断さ
れ、ＴＡＢテープ１０の更に上部に配置された不図示の
顕微鏡によって外観検査等が行われる。
プロケットホール１１を用いて不図示の搬送系により、
テストプローブステージ１上に取り付けられたテストプ
ローブ部分２上を搬送される。ＴＡＢテープ１０の搬送
はＴＡＢテープ１０に形成された製品部１２がテストプ
ローブ部分２上の所定の位置に達すると一時的に中断さ
れ、ＴＡＢテープ１０の更に上部に配置された不図示の
顕微鏡によって外観検査等が行われる。
【０００６】テストプローブ部分２を保持するテストプ
ローブステージ１は、図中ＴＡＢテープ１０の長さ方向
（以下Ｘ方向とする）およびＴＡＢテープ１０の幅方向
（以下Ｙ方向とする）に、それぞれテストプローブステ
ージ１に取り付けられたマイクロメータ５、６によって
移動可能となっている。外観検査時には、あらかじめＴ
ＡＢテープ１０表面に焦点が合わせてある顕微鏡に対し
て、その視野の中に製品部１２の所定の検査部分が入る
ように、外観検査時の初回のみにおいてマイクロメータ
５、６によってテストプローブステージ１の位置決めが
行われ、その後の検査中には検査部分の位置調整は行わ
れなかった。
ローブステージ１は、図中ＴＡＢテープ１０の長さ方向
（以下Ｘ方向とする）およびＴＡＢテープ１０の幅方向
（以下Ｙ方向とする）に、それぞれテストプローブステ
ージ１に取り付けられたマイクロメータ５、６によって
移動可能となっている。外観検査時には、あらかじめＴ
ＡＢテープ１０表面に焦点が合わせてある顕微鏡に対し
て、その視野の中に製品部１２の所定の検査部分が入る
ように、外観検査時の初回のみにおいてマイクロメータ
５、６によってテストプローブステージ１の位置決めが
行われ、その後の検査中には検査部分の位置調整は行わ
れなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＴＡＢ
テープ１０上のパターンの微細化に伴って顕微鏡の解像
度を高める必要が生じてきた。このため、手動でマイク
ロメータ５、６を調整してテストプローブステージ１の
位置決めを行っていた従来の方法では、初回のみしか行
われないテストプローブステージ１の位置決め作業に要
する時間が増加し、更に、外観検査等の実施中、製品部
１２の位置ズレが生じ、常に所定の検査部分を顕微鏡の
視野に収め続けることが困難となってきた。
テープ１０上のパターンの微細化に伴って顕微鏡の解像
度を高める必要が生じてきた。このため、手動でマイク
ロメータ５、６を調整してテストプローブステージ１の
位置決めを行っていた従来の方法では、初回のみしか行
われないテストプローブステージ１の位置決め作業に要
する時間が増加し、更に、外観検査等の実施中、製品部
１２の位置ズレが生じ、常に所定の検査部分を顕微鏡の
視野に収め続けることが困難となってきた。
【０００８】本発明は、上記の問題に鑑み、微細なパタ
ーンに対しても高速で位置決めを可能とし、更に検査中
に生じる製品部１２の位置のズレあるいは誤差について
も細かく位置調整を行うことを可能とする位置決め機構
を提供することを目的としている。更に、従来から位置
決めに用いられていたマイクロメータ５、６を用いたＸ
−Ｙステージに対して、よりシンプルな機構を有して小
配線で組み立て可能なテストプローブステージを提供す
ることを目的としている。
ーンに対しても高速で位置決めを可能とし、更に検査中
に生じる製品部１２の位置のズレあるいは誤差について
も細かく位置調整を行うことを可能とする位置決め機構
を提供することを目的としている。更に、従来から位置
決めに用いられていたマイクロメータ５、６を用いたＸ
−Ｙステージに対して、よりシンプルな機構を有して小
配線で組み立て可能なテストプローブステージを提供す
ることを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、ＴＡＢの電気検査装置における位置決め装置を、
ＴＡＢのズレ量を検出する手段と、ズレ量に応じた補正
信号を発生する手段と、補正信号に応じてＴＡＢの搬送
方向にＴＡＢの停止位置をずらす搬送方向駆動手段と、
補正信号に応じてＴＡＢ面の表面と平行且つＴＡＢの搬
送方向に対して直角な方向にＴＡＢの停止位置をずらす
直角方向駆動手段とを有する構成とした。
めに、ＴＡＢの電気検査装置における位置決め装置を、
ＴＡＢのズレ量を検出する手段と、ズレ量に応じた補正
信号を発生する手段と、補正信号に応じてＴＡＢの搬送
方向にＴＡＢの停止位置をずらす搬送方向駆動手段と、
補正信号に応じてＴＡＢ面の表面と平行且つＴＡＢの搬
送方向に対して直角な方向にＴＡＢの停止位置をずらす
直角方向駆動手段とを有する構成とした。
【００１０】更に、ズレ量を検出するために画像処理を
用いることとし、搬送方向駆動手段及び直角方向駆動手
段として高速且つ微小な搬送が可能なピエゾ素子を用い
たアクチュエータを用いた。
用いることとし、搬送方向駆動手段及び直角方向駆動手
段として高速且つ微小な搬送が可能なピエゾ素子を用い
たアクチュエータを用いた。
【００１１】
【実施例】本発明の実施例を図１及び２を用いて以下に
説明する。尚、従来技術と同一の構成部分については同
一の参照符号で示す。本発明に係るテストプローブステ
ージ１は、テストプローブ部分２のみでもＸ、Ｙ方向に
微動できる構造とし、さらにそのテストプローブ部分２
をピエゾ素子を用いたアクチュエータ１５、１６によっ
てＸーＹ方向に駆動可能としている。
説明する。尚、従来技術と同一の構成部分については同
一の参照符号で示す。本発明に係るテストプローブステ
ージ１は、テストプローブ部分２のみでもＸ、Ｙ方向に
微動できる構造とし、さらにそのテストプローブ部分２
をピエゾ素子を用いたアクチュエータ１５、１６によっ
てＸーＹ方向に駆動可能としている。
【００１２】本実施例においては、アクチュエータ１
５、１６によりテストプローブ部分２が微動できる範囲
は、それぞれ±６０μｍとしているが、この微動可能範
囲はパターンの大きさ等に応じて変更可能である。
５、１６によりテストプローブ部分２が微動できる範囲
は、それぞれ±６０μｍとしているが、この微動可能範
囲はパターンの大きさ等に応じて変更可能である。
【００１３】テストプローブステージ１上を搬送される
ＴＡＢテープ１０における製品部１２の端部には認識マ
ーク１３が設けられており、この認識マーク１３をＣＣ
Ｄカメラ２０によってモニタし、これを画像処理装置２
１を用いて画像処理することにより認識マーク１３の位
置のずれ量を算出する。本実施例においては、ズレ量の
計測精度はおよそ２．５μｍとしている。又認識マーク
１３は製品部１２に設けてあるが、製品部１２の充分な
位置決め精度が得られれば認識マーク１３はＴＡＢテー
プ１０上の任意の位置に設けることが可能である。
ＴＡＢテープ１０における製品部１２の端部には認識マ
ーク１３が設けられており、この認識マーク１３をＣＣ
Ｄカメラ２０によってモニタし、これを画像処理装置２
１を用いて画像処理することにより認識マーク１３の位
置のずれ量を算出する。本実施例においては、ズレ量の
計測精度はおよそ２．５μｍとしている。又認識マーク
１３は製品部１２に設けてあるが、製品部１２の充分な
位置決め精度が得られれば認識マーク１３はＴＡＢテー
プ１０上の任意の位置に設けることが可能である。
【００１４】画像処理装置２１は算出されたズレ量をピ
エゾ素子制御装置２２に送り、さらにこのズレ量を補正
するために必要なテストプローブ部分２のＸ−Ｙ方向の
移動量を求め、これに相当する電圧をアクチュエータ１
５、１６にそれぞれ印加し、認識マーク１３が所定に位
置となるようにテストプローブ部分２の位置即ち製品部
１２の所定の検査部分の位置を補正する。
エゾ素子制御装置２２に送り、さらにこのズレ量を補正
するために必要なテストプローブ部分２のＸ−Ｙ方向の
移動量を求め、これに相当する電圧をアクチュエータ１
５、１６にそれぞれ印加し、認識マーク１３が所定に位
置となるようにテストプローブ部分２の位置即ち製品部
１２の所定の検査部分の位置を補正する。
【００１５】本実施例においては認識マーク１３のモニ
タにＣＣＤを用いているが、ズレ量を検出可能な任意の
モニタ手段であればどのようなモニタ手段の使用も可能
である。更に、ズレ量の算出時にズレ量が所定値を越え
た場合に、自動的にテストプローブ部分２の位置補正を
行うようにしてもよい。
タにＣＣＤを用いているが、ズレ量を検出可能な任意の
モニタ手段であればどのようなモニタ手段の使用も可能
である。更に、ズレ量の算出時にズレ量が所定値を越え
た場合に、自動的にテストプローブ部分２の位置補正を
行うようにしてもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ピエゾ素子を用いたアクチュエータを駆動させることに
よって、テストプローブ及びテストパッドを高速且つ微
小量の位置補正を可能とした。更にＴＡＢの位置を画像
処理装置によりモニタすることで、検査工程中の位置補
正の自動処理を可能とし、テストプローブ及びテストパ
ッドの位置精度を大幅に向上させた。
ピエゾ素子を用いたアクチュエータを駆動させることに
よって、テストプローブ及びテストパッドを高速且つ微
小量の位置補正を可能とした。更にＴＡＢの位置を画像
処理装置によりモニタすることで、検査工程中の位置補
正の自動処理を可能とし、テストプローブ及びテストパ
ッドの位置精度を大幅に向上させた。
【図１】本発明の実施例に係る位置決め装置の概略図で
ある。
ある。
【図２】本発明の実施例に係る位置決め装置の構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図３】従来の位置決め装置を示す概略図である。
１ テストプローブステージ ２ テストプローブ部分 ５、６ マイクロメータ １０ ＴＡＢテープ １１ スプロケットホール １２ 製品部 １３ 認識マーク １５、１６ アクチュエータ ２０ ＣＣＤカメラ ２１ 画像処理装置 ２２ ピエゾ素子制御装置
Claims (6)
- 【請求項１】 ＴＡＢの電気検査装置における位置決め
装置であって、前記ＴＡＢのズレ量を検出する手段と、
前記ズレ量に応じた補正信号を発生する手段と、前記補
正信号に応じて前記ＴＡＢの搬送方向に前記ＴＡＢの停
止位置をずらす搬送方向駆動手段と、前記補正信号に応
じて前記ＴＡＢ面の表面と平行且つ前記ＴＡＢの搬送方
向に対して直角な方向に前記ＴＡＢの停止位置をずらす
直角方向駆動手段とを有することを特徴とする位置決め
装置。 - 【請求項２】 前記ズレ量を検出する手段は、画像処理
を用いることを特徴とする請求項１記載の位置決め装
置。 - 【請求項３】 前記搬送方向駆動手段及び前記直角方向
駆動手段はピエゾ素子を用いたアクチュエータであるこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の位置決め装置。 - 【請求項４】 ＴＡＢの電気検査装置における位置決め
方法であって、前記ＴＡＢのズレ量を検出し、前記検出
されたズレ量に応じた補正信号を発生し、さらに前記Ｔ
ＡＢの搬送方向に前記ＴＡＢの停止位置をずらす搬送方
向駆動手段と前記補正信号に応じて前記ＴＡＢ面の表面
と平行且つ前記ＴＡＢの搬送方向に対して直角な方向に
前記ＴＡＢの停止位置をずらす直角方向駆動手段とを前
記発生された補正信号によって駆動させてＴＡＢの位置
決めを行うことを特徴とする位置決め方法 - 【請求項５】 前記ズレ量の検出は画像処理によって行
われることを特徴とする請求項４記載の位置決め方法。 - 【請求項６】 前記搬送方向駆動手段及び前記直角方向
駆動手段にピエゾ素子を用いたアクチュエータを用いる
ことを特徴とする請求項４又は５記載の位置決め方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35652897A JPH11184523A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | ピエゾ素子と画像処理とを用いた精密位置決め装置及び方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35652897A JPH11184523A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | ピエゾ素子と画像処理とを用いた精密位置決め装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11184523A true JPH11184523A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18449479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35652897A Pending JPH11184523A (ja) | 1997-12-25 | 1997-12-25 | ピエゾ素子と画像処理とを用いた精密位置決め装置及び方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11184523A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI585020B (zh) * | 2012-04-26 | 2017-06-01 | Seiko Epson Corp | Conveyance device, electronic parts transfer device and electronic parts inspection device |
-
1997
- 1997-12-25 JP JP35652897A patent/JPH11184523A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI585020B (zh) * | 2012-04-26 | 2017-06-01 | Seiko Epson Corp | Conveyance device, electronic parts transfer device and electronic parts inspection device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040116 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040322 |