TWI558085B - 致動器、機器人手部、機器人、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置及印表機 - Google Patents

致動器、機器人手部、機器人、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置及印表機 Download PDF

Info

Publication number
TWI558085B
TWI558085B TW101145871A TW101145871A TWI558085B TW I558085 B TWI558085 B TW I558085B TW 101145871 A TW101145871 A TW 101145871A TW 101145871 A TW101145871 A TW 101145871A TW I558085 B TWI558085 B TW I558085B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
piezoelectric element
actuator
support portion
vibration
electronic component
Prior art date
Application number
TW101145871A
Other languages
English (en)
Other versions
TW201325060A (zh
Inventor
宮澤修
Original Assignee
精工愛普生股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 精工愛普生股份有限公司 filed Critical 精工愛普生股份有限公司
Publication of TW201325060A publication Critical patent/TW201325060A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI558085B publication Critical patent/TWI558085B/zh

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/202—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00—Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/0009—Gripping heads and other end effectors comprising multi-articulated fingers, e.g. resembling a human hand
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
    • H02N2/0055—Supports for driving or driven bodies; Means for pressing driving body against driven body
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/026—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors by pressing one or more vibrators against the driven body
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/202—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement
    • H10N30/2023—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using longitudinal or thickness displacement combined with bending, shear or torsion displacement having polygonal or rectangular shape
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/12—Constructional details
    • H02N2/123—Mechanical transmission means, e.g. for gearing
    • H02N2/126—Mechanical transmission means, e.g. for gearing for conversion into linear motion
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S901/00—Robots
    • Y10S901/30—End effector
    • Y10S901/31—Gripping jaw
    • Y10S901/32—Servo-actuated

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

致動器、機器人手部、機器人、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置及印表機
本發明係關於一種致動器、機器人手部、機器人、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置及印表機。
作為先前之致動器之驅動方法，眾所周知有於兩種振動模式下激振壓電體，使壓電體之端部中所包含之突起部具有橢圓軌道，且沿特定之方向驅動接觸於突起部之被驅動部的方法。於致動器中，為了使壓電體向被驅動體施力，於保持外殼內介隔彈性構件按壓並保持壓電體之振動面之側面側，藉由施力機構向被驅動體之方向對保持外殼施力，而使壓電體向被驅動體施力(專利文獻1、2)。或者，亦揭示有夾持壓電體之外緣部之一部分，使保持壓電體之保持外殼對被驅動體施力，而使壓電體對被驅動體施力之構成(專利文獻3)。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開第2007/80851號說明書
[專利文獻2]國際公開第2008/93799號說明書
[專利文獻3]日本專利特開2007-189900號公報
然而，於上述專利文獻1、2中，壓電體之振動方向，特別是針對彎曲振動配置有以限制振動之方式保持壓電體之 彈性構件，藉此有壓電體之振動通過彈性構件洩漏至保持外殼，而大量損失被驅動體之驅動能量之虞。又，即便專利文獻3，亦有自保持壓電體之保持外殼之導引部發生振動洩漏，而大量損失被驅動體之驅動能量之虞。
因此，本發明提供一種如下所述之致動器：即一面將壓電體保持於保持外殼中，一面抑制向保持外殼之壓電體之振動洩漏，將壓電體之振動確實地轉換為被驅動體之驅動。
為了解決上述課題，本發明可作為下述形態或應用例而實現。
[應用例1]本應用例之致動器，其特徵為包括：壓電元件，其以縱向振動模式與彎曲振動模式激振而振動；被驅動體，其接觸上述壓電元件中所包含之接觸部，藉由上述接觸部之振動而驅動；保持部，其保持上述壓電元件；以及基台，其具有使上述保持部向上述被驅動體施力之施力機構；且上述保持部係配置於與上述壓電元件之振動面交叉之方向，且包括配置於上述壓電元件之一側之第1支持部、及隔著上述壓電元件與上述第1支持部相對向而配置於另一側的第2支持部。
根據本應用例之致動器，藉由以自相對於包含振動方向之振動面交叉之方向對壓電元件供給力並夾持之方式包含第1支持部、第2支持部，可抑制因未約束振動而導致壓電元件之振動向保持部洩漏之情況，且可獲得高效率之驅 動。藉此，可不浪費壓電元件之振動而使接觸部之擺動發生，並向抵接於接觸部之被驅動體之旋轉或線性運動轉換。即，可獲得驅動效率較高之致動器。
[應用例2]如上述應用例，其中上述第1支持部與上述第2支持部所支持之上述壓電元件之支持區域包含上述壓電元件之上述縱向振動模式之振動之節點、且作為與上述彎曲振動模式之振動之節點的振動之節點中之至少一個。
根據上述應用例，藉由將第1支持部及第2支持部之配置設置於包含壓電元件之振動之節點之區域，由於為壓電元件之振動面中之振動之移動量較少之區域，換言之為振幅較小之區域，故而可更進一步抑制向保持部之振動洩漏。
[應用例3]如上述應用例，其中於上述第1支持部及上述第2支持部之至少一者中包含緩衝構件。
根據上述應用例，藉由包含以於與振動面交叉之方向夾持壓電元件之方式包括緩衝材料之第1支持部、第2支持部，可抑制壓電元件之振動向保持材洩漏。藉此，可使壓電元件之振動不浪費地使接觸部之擺動發生，並向抵接於接觸部之被驅動體之旋轉或線性運動轉換。即，可獲得驅動效率較高之致動器。又，緩衝材藉由容許振動位移作為振動面方向之振動，而可維持被驅動體之驅動所必需之振動。進而，於包含節點之區域中分佈有振動位移，藉由容許上述振動位移，可維持被驅動體之驅動所必需之振動。即，可獲得驅動效率較高之致動器。
[應用例4]如上述應用例中，其中於上述第1支持部及 上述第2支持部之至少一者中包括彈性構件。
根據上述應用例，藉由於第1支持部及第2支持部之至少一者中配置彈性構件，而可利用相對於彈性構件之彈性力的保持構件與壓電元件之間之摩擦力，抑制因振動而引起之保持構件與壓電元件之相對的位置偏移。
[應用例5]本應用例之機器人手部包含上述應用例之致動器。
本應用例之機器人手部即便包含多個馬達以增加動作之自由度，與電磁式之馬達等相比亦可為小型、輕量。
[應用例6]本應用例之機器人包含上述應用例之致動器或機器人手部。
本應用例之機器人係驅動解析力周密，且為利用高速振動之致動器而進行之驅動，故而可準確地保持作業對象物，並準確地高速搬送至目標位置，且可縮短機器人之動作時間，從而可實現較高之生產性。又，可進行複雜之電子機器之組裝作業等。
[應用例7]本應用例之電子零件搬送裝置包含上述應用例之致動器。
本應用例之電子零件搬送裝置係驅動解析力周密，且為高速振動，故而可將電子零件等高速地搬送至準確之位置，且可縮短電子零件之檢查時間、組裝時間。又，可進行複雜之電子機器之組裝作業等。
[應用例8]本應用例之電子零件檢查裝置包含上述應用例之致動器或電子零件搬送裝置。
本應用例之電子零件檢查裝置係藉由包含驅動解析力周密且高速振動之致動器或電子零件搬送裝置，而可將檢查對象之電子零件等高速搬送至準確之位置，且可縮短電子零件之檢查時間、組裝時間。
[應用例9]本應用例之印表機包含上述應用例之致動器。
本應用例之印表機係藉由於驅動裝置部位包含驅動解析力周密且高速振動之致動器，而可使驅動對象物準確地高速移動至目標位置，且可縮短印表機之動作時間，從而可實現較高之生產性。又，由於可高速地驅動，故而可平穩地進行將進行有較長之線性驅動之印刷媒體切割的切割器之驅動。
以下參照圖式對本發明之實施形態進行說明。
(第1實施形態)
圖1係表示第1實施形態之致動器，(a)為平面圖、(b)為(a)所示之A-A'部之剖面圖、(c)為(a)所示之B-B'部之剖面圖。如圖1(a)所示般，致動器100包含：保持外殼20，其作為保持構件；壓電元件10，其由保持外殼20保持；基台50，其包含裝著有作為保持外殼20之施力機構之彈簧60之彈簧固定部50a；以及被驅動體71或被驅動體72。
被驅動體71係沿圖示之R方向旋轉驅動，被驅動體72係沿圖示之H方向線性驅動。於本實施形態之致動器100中，藉由被驅動體72所示之H方向之線性驅動進行說明，但亦 可為經旋轉驅動之被驅動體71。相對於基台50中所包含之彈簧固定部50a，藉由彈簧60，保持外殼20之施力部20a朝被驅動體72施力，壓電元件10經由被施力之保持外殼20而被施力。於壓電元件10中設置有具有與被驅動體72接觸之接觸部之突起部10a，細節將於下文敍述，但藉由壓電元件10之振動，突起部10a描繪出橢圓軌道擺動，藉由該橢圓運動使被驅動體72沿H方向線性驅動。
如圖1(b)、(c)所示，保持外殼20包含外殼本體21、及藉由螺釘23而固定於外殼本體21之固持板22，且於外殼本體21之支持面21a與固持板22之間經由第1支持部30與第2支持部40保持壓電元件10。第1支持部30係配置於固持板22與壓電元件10之間，且包含作為抵接於壓電元件10之緩衝部之緩衝構件31、及配置於緩衝構件31與固持板22之間之作為彈性部之碟形彈簧32。又，第2支持部40係使用緩衝材料配置於外殼本體21之支持面21a與壓電元件10之間。藉由如此配置之第1支持部30、壓電元件10、及第2支持部40，壓電元件10係藉由第1支持部30之碟形彈簧32之彈簧力而夾持於固持板22與外殼本體21之支持面21a之間，且經保持外殼20予以保持並固定。
作為構成緩衝構件31及第2支持部40之緩衝材料，係使用具有使由壓電元件10激發之振動不洩漏至保持外殼20側之性能之材料。該性能係由動態黏彈性(tanδ)表示，於本實施形態之致動器100中，較佳為tanδ≦0.05。此處所謂動態黏彈性(tanδ)係指若使材料於拉伸模式下賦予正弦波應 變ε，則對於材料中產生之應力σ之發生，相對於輸入之應變產生延遲之相位δ。使用該相位δ對材料之動態的黏性進行定量化者即為動態黏彈性(tanδ)。即，動態黏彈性較大，即相位δ較大係變為使賦予之應變發生在材料之內部之傳達延遲。換言之，可使振動之傳達更遲，可抑制向保持外殼20之振動洩漏。作為形成緩衝構件31及第2支持部40之緩衝材料，例如較佳地使用橡膠、彈性體、及聚醯亞胺等，但由於藉由致動器100之驅動容易產生熱，故而可更佳地使用耐熱性優異之聚醯亞胺。又，即便於緩衝材僅具有彈性之情形時，亦有使振動位移減少之效果，故而有可抑制向保護外殼傳達之振動之效果。
圖2係表示壓電元件10之形態，(a)為正平面圖、(b)為側面圖、(c)為背平面圖。如圖2(a)所示般，壓電元件10係於壓電體10b之一面10c形成有使彎曲振動激振之電極11、12、13、14。進而，於另一面10d形成有共用電極15。作為壓電體10b，只要為具有壓電性之材料則並無限定，較佳地使用PZT(鋯鈦酸鉛，lead-zirconate-titanate)。作為電極，只要為導電金屬則並無限定，例如將Al、Au、Ag、W、Cu等藉由濺鍍法、蒸鍍法等方法形成。又，突起部10a係與被驅動體72接觸，藉由其摩擦而使被驅動體72驅動，故而藉由與被驅動體72之摩擦係數較高且耐磨性優異之材料形成突起部10a，以利用未圖示之方法進行固著而形成。或，可藉由將與被驅動體72之摩擦係數較高且耐磨性優異之材料塗佈於與壓電體10b一體地形成之突起部10a 之表面而形成。作為使用於突起部10a之耐磨性優異之材料，較佳使用陶瓷、例如氧化鋁等。
圖3係模式性地說明壓電元件10之動作之平面圖。如圖3(a)所示般，藉由於電極11、13與圖2所示之共用電極15之間施加電荷，且對電極12、14不施加電荷，而於與壓電元件10中之電極11、13對應之部位激發圖示箭頭之縱向振動。然而，由於未對電極12、14施加電荷，故而縱向振動未被激發，其結果，藉由電極11、13之縱向振動與電極12、14之不振動，壓電元件10發生彎曲振動且如壓電元件10A般振動。壓電元件10發生該縱向振動與由縱向振動而引起之彎曲振動，突起部10a沿圖示之橢圓軌道QR之箭頭方向擺動。突起部10a之橢圓軌道之QR方向之擺動使抵接之被驅動體72沿圖示HR驅動。
藉由圖3(b)進行說明之壓電元件10之動作係使藉由上述圖3(a)進行說明之向HR方向之被驅動體72之驅動方向沿相反之HL方向驅動的狀態。如圖3(b)所示般，藉由於電極12、14與圖2所示之共用電極15之間施加電荷，且對電極11、13不施加電荷，於與壓電元件10中之電極12、14對應之部位激發圖示箭頭之縱向振動。然而，由於未對電極11、13施加電荷，故而縱向振動未激發，其結果，藉由電極12、14之縱向振動與電極11、13之不振動，壓電元件10發生彎曲振動且如壓電元件10B般振動。壓電元件10發生該縱向振動與由縱向振動而引起之彎曲振動，突起部10a沿圖示之橢圓軌道QL之箭頭方向擺動。突起部10a之橢圓 軌道之QL方向之擺動使抵接之被驅動體72沿圖示HL驅動。
藉由如此切換對電極11、12、13、14之電荷之附加，可改變壓電元件10之彎曲振動之方向，且可容易地切換被驅動體72之驅動方向。使用圖3(c)對上述壓電元件10之彎曲振動及縱向振動該兩種振動模式下之振動之節點進行說明。圖3(c)係表示壓電元件10之振動模式之概念圖。如圖3(c)所示般，壓電元件10係藉由使用圖3(a)、(b)進行說明之振動狀態之彎曲振動模式而成為壓電元件10A、10B所示之振動狀態。此時，沿振動停止狀態之壓電元件10之縱向振動模式之振動方向的於本實施形態之壓電元件10中成為中心線之線L係於振動狀態下之壓電元件10A中成為如線LA般，於壓電元件10B中成為如線LB般彎曲之軌跡。對應於該彎曲振動模式之線LA及線LB與對應於縱向振動模式之線L相互交叉之位置稱為振動之節點P1、P2、P3(以下稱為節點P1、P2、P3)。
於該節點P1、P2、P3處成為於壓電元件10之振動中振動面內之移動較少，即振幅較小之位置，故而支持本實施形態之致動器100中所包含之壓電元件10的第1支持部30及第2支持部40係以支持包含節點P1之區域之方式配置。再者，第1支持部30及第2支持部40所支持之位置並不限定於此，例如，亦可如作為圖1(a)所示之A-A'方向之剖面圖之圖4(a)所示般，如第1支持部3A及第2支持部4A般支持節點P2、P3該兩個部位，或如圖4(b)所示般，如第1支持部3B及第2支持部4B般支持節點P1、P2、P3該三個部位。
圖5係表示第1支持部30及第2支持部40之其他形態，且為相當於圖1(a)所示之B-B'部的剖面圖。圖5(a)所示之第1支持部30配置有螺旋彈簧33作為彈性構件。藉由配置螺旋彈簧33，經由緩衝構件31及緩衝材料之第2支持部40之壓電元件10之保持力之調整變得容易，又可維持長期穩定之彈性力，從而可獲得穩定之壓電元件10之振動。於圖5(b)所示之第1支持部30及第2支持部40該兩者中配置有作為彈性構件之碟形彈簧32、42，於碟形彈簧32、42與壓電元件10之間配置有緩衝構件31、41。藉由如此於支持部30、40該兩者中配置碟形彈簧32、42，可使對壓電元件10之經由緩衝構件31、41附加之按壓力平衡性良好地配置。
圖5(c)所示之第1支持部34、第2支持部43均藉由緩衝材料而形成，於在固持板24與外殼本體21之支持面21a之間夾持有第1支持部34、壓電元件10、第2支持部43時，如圖示之固持板24a般藉由撓曲、彎曲之應力而使固持板24構成為彈性構件。藉由以此方式構成，而無需作為彈性構件之碟形彈簧32、42或螺旋彈簧33，故而可獲得低成本之致動器100。
圖5(d)所示之第1支持部30配置有碟形彈簧32，並於碟形彈簧32與壓電元件10之間配置有緩衝構件31，但並未配置圖1所示之致動器100之第2支持部40，而將形成於外殼本體21之突起部21b作為第2支持部。藉由以此方式構成，可獲得更低之成本之致動器100。
本實施形態之致動器100藉由包含以於與振動面交叉之 方向夾持壓電元件10之方式包括緩衝材料的第1支持部30、第2支持部40，而可抑制壓電元件10之振動向保持外殼20洩漏。藉此，壓電元件10之振動可不浪費地使突起部10a之擺動發生，並向抵接於突起部10a之被驅動體71、72之旋轉或線性運動轉換。即，可獲得驅動效率較高之致動器。進而藉由將支持部30、40之配置設置於包含壓電元件10之振動之節點之區域中，由於為藉由壓電元件10之振動而移動較少之區域，換言之為振幅較小之區域，故而可抑制向保持外殼20之振動洩漏。
進而於第1支持部30及第2支持部40之至少一方中，配置作為彈性構件之碟形彈簧32、螺旋彈簧33、或固持板24，藉由其彎曲彈性而於保持外殼20內對緩衝構件31、及藉由緩衝材料而形成之支持部34、43進行按壓，藉由相對於其斥力之保持外殼20與壓電元件10之間之摩擦力，可抑制由振動而引起之相對之位置偏移。再者，亦可藉由黏著劑等固著緩衝構件31、及藉由緩衝材料而形成之支持部34、43之壓電元件10之支持區域。
(第2實施形態)
圖6係表示包含第1實施形態之致動器100之機器人手部1000之外觀圖。圖6所示之機器人手部1000中所包含之致動器100係第1實施形態之致動器100，且採用包含旋轉驅動之被驅動體71之(參照圖1)形態，且用作下述機器人手部1000之關節部之旋轉驅動馬達。機器人手部1000包含連接於基部110之指部120。對基部110與指部120之連接部 130、及指部120之關節部140，裝入作為馬達之致動器100。又，於機器人手部1000中包含控制部150，藉由控制部150，可利用致動器100之驅動使連接部130及關節部140旋動並使指部120如人類的手指般變形為所需之形態。
(第3實施形態)
圖7係表示包含第2實施形態之機器人手部1000的機器人2000之構成之外觀圖。機器人2000包含本體部210、臂部220及機器人手部1000，圖示之機器人2000係分類為所謂多關節型機器人。本體部210係固定於例如地板、牆壁、頂板、可移動之台車之上等。臂部220係相對於本體部210可活動地設置，於本體部210中內置有產生用以使臂部220旋轉之動力的未圖示之致動器、及控制致動器之控制部等。
臂部220包括第1框架221、第2框架222、第3框架223、第4框架224及第5框架225。第1框架221經由旋轉彎曲軸而可旋轉或可彎曲地連接於本體部210。第2框架222係經由旋轉彎曲軸而連接於第1框架221及第3框架223。第3框架223係經由旋轉彎曲軸而連接於第2框架222及第4框架224。第4框架224係經由旋轉彎曲軸而連接於第3框架223及第5框架225。第5框架225係經由旋轉彎曲軸而連接於第4框架224。臂部220係藉由控制部之控制，而使各框架221~225以各旋轉彎曲軸為中心複合地旋轉或彎曲運動。
於臂部220之第5框架225中之設置有第4框架224之另一側，連接有機器人手部連接部230，於機器人手部連接部 230上安裝有機器人手部1000。於機器人手部連接部230中內置有對機器人手部1000賦予旋轉動作之致動器100，機器人手部1000可握持對象物。藉由使用小型、輕量之機器人手部1000，而、可提供一種通用性較高，且可進行複雜之電子機器之組裝作業或檢查等的機器人。
(第4實施形態)
圖8係表示電子零件檢查裝置之外觀圖，該電子零件檢查裝置包括包含第1實施形態之致動器100之作為正交機器人之一實施形態之電子零件搬送機器人。圖8所示之電子零件檢查裝置3000(以下稱為檢查裝置3000)係包含如下構件之裝置：具有檢查電子零件之電氣特性之功能的部分3100(以下稱為檢查部3100)、及作為於特定之位置間搬送電子零件之電子零件搬送機器人的搬送裝置部分3200(以下稱為搬送裝置部3200)。
圖8所示之檢查裝置3000包含長方體狀之裝置基台300。將裝置基台300之長度方向設為Y方向，將於水平面與Y方向正交之方向設為X方向。而且，將鉛垂方向設為Z(-)方向。
於裝置基台300上在圖中左側設置有給材裝置310。於給材裝置310之上表面，沿Y方向延伸之一對導軌321a、321b遍及給材裝置310之Y方向整個寬度凸起設置。於一對導軌321a、321b之上側安裝有包含線性運動機構之載物台330。該載物台330之線性運動機構係例如為包含沿導軌321a、321b於Y方向延伸之線性馬達的線性運動機構。而 且，若對該線性運動機構將相對於特定之步進數之驅動信號輸入至線性馬達，則線性馬達前進或後退，載物台330以相當於相同步進數之量，沿Y方向去向移動或來向移動。朝向載物台330之Z方向之面為載置面330a，於載置面330a上載置有電子零件500。於載物台330上設置有吸取式之基板夾盤機構。而且，基板夾盤機構係使電子零件500固定於載置面330a。
於裝置基台300中在給材裝置310之Y方向側設置有作為攝像部之第2攝像部342。第2攝像部342包括：搭載有將接收之光轉換為電信號之CCD(Charge Coupled Devices，電荷耦合器件)元件等之電子電路基板、包含變焦機構之物鏡、落射照明裝置、以及自動調焦點(automatic focusing)機構。藉此，於電子零件500位於與第2攝像部342相對向之位置時，第2攝像部342可對電子零件500進行拍攝。而且，第2攝像部342可藉由對電子零件500照射光並進行對焦後拍攝，而拍攝焦點對準之圖像。
於裝置基台300中在第2攝像部342之Y方向側設置有檢查台350。檢查台350係於檢查電子零件500時用以對電信號進行收發之夾具。
於裝置基台300上在檢查台350之Y方向側設置有除材裝置360。於除材裝置360之上表面，沿Y方向延伸之一對導軌322a、322b遍及整個寬度凸起設置。於一對導軌322a、322b之上側安裝有包含線性運動機構之載物台370。載物台370之線性運動機構可使用與給材裝置310中所包含之線 性運動機構相同之機構。而且，載物台370係沿導軌322a、322b進行去向移動或來向移動。載物台370之朝向Z方向之面為載置面370a，於載置面370a上載置有電子零件500。
於裝置基台300之X(-)方向上設置有大致長方體狀之支持台400。與裝置基台300相比支持台400成為於Z(+)方向較高之形狀。於支持台400中，於朝向X方向之面上，作為沿Y方向延伸之一對被驅動體的驅動軌411a、411b遍及支持台400之Y方向整個寬度凸起設置。於驅動軌411a、411b之X方向側，安裝有包含沿一對驅動軌411a、411b移動之線性運動機構的Y載物台420。驅動軌411a或驅動軌411b中之至少一者為第1實施形態之致動器100之被驅動體72(參照圖1)，於Y載物台420之線性運動機構中包含抵接於驅動軌411a及驅動軌411b中之任一者或兩者之壓電元件10，藉由使Y載物台420中所包含之壓電元件10振動，相對於固定之驅動軌411a、411b，Y載物台420係相對地沿驅動軌411a、411b進行去向移動或來向移動。
於Y載物台420中在朝向X方向之面上設置有沿X方向延伸之角柱狀之橫桿部430。於橫桿部430中在朝向-Y方向之面上沿X方向延伸之一對驅動軌412a、412b遍及橫桿部430之X方向整個寬度凸起設置。於一對驅動軌412a、412b之-Y方向側安裝有包含沿驅動軌412a、412b移動之線性運動機構的X載物台440。驅動軌412a或驅動軌412b中之至少一者為第1實施形態之致動器100之被驅動體72(參照圖1)， 於X載物台440之線性運動機構中包含抵接於驅動軌412a及驅動軌412b中之任一者或兩者之壓電元件10，藉由使X載物台440中所包含之壓電元件10振動，相對於固定之驅動軌412a、412b，X載物台440係相對地沿驅動軌412a、412b進行去向移動或來向移動。
於X載物台440上設置有作為攝像部之第1攝像部341及Z移動裝置450。第1攝像部341包含與第2攝像部342相同之構造與功能。而且，藉由第1攝像部341及第2攝像部342構成攝像部。Z移動裝置450於內部包含線性運動機構，線性運動機構係使Z載物台升降。而且，於Z載物台上連接有旋轉裝置460。而且，Z移動裝置450可使旋轉裝置460沿Z方向升降。Z移動裝置450之線性運動機構可與沿驅動軌411a、411b驅動之Y載物台420、沿驅動軌412a、412b驅動之X載物台440同樣地包含第1實施形態之致動器100。
旋轉裝置460包含旋轉軸460a，於旋轉軸460a上連接有握持部380。藉此，旋轉裝置460能夠以Z方向為軸使握持部380旋轉。旋轉裝置460係將於第1實施形態之致動器100中使用有被驅動體71(參照圖1)之旋轉驅動機構用於本實施形態中，且與減速裝置組合構成，使旋轉軸460a於特定之角度旋動。再者，亦可將步進馬達或伺服馬達用作旋轉機構。於伺服馬達之情形時，馬達之種類並無特別限定，可使用AC(Alternating Current，交流)馬達、DC(Direct Current，直流)馬達、無芯馬達、及超音波馬達等。藉由上述Y載物台420、X載物台440、Z移動裝置450、及旋轉 裝置460等構成可動部470。
於裝置基台300之X方向側設置有作為控制部之控制裝置390。控制裝置390具有對檢查裝置3000之動作進行控制之功能。進而控制裝置390具有檢查電子零件500之功能。各控制裝置390包含輸入裝置390a及輸出裝置390b。輸入裝置390a係鍵盤或輸入連接器等，且為除信號及資料以外輸入操作者之指示之裝置。輸出裝置390b係對顯示裝置或外部裝置進行輸出之輸出連接器等，將信號及資料向其他裝置輸出。除此以外亦為將檢查裝置3000之狀況向操作者傳達之裝置。
於上述構成中，作為檢查部3100之主要構成，為裝置基台300、給材裝置310、載物台330、第1攝像部341、第2攝像部342、檢查台350、除材裝置360、及載物台370等，進行成為檢查對象之電子零件500之除給材、圖像處理、電氣特性測量等。又，作為搬送裝置部3200之主要構成，為支持台400；驅動軌411a、b；Y載物台420；橫桿部430；驅動軌412a、b；X載物台440；Z移動裝置450；及旋轉裝置460等，將電子零件500自給材裝置310搬送至檢查台350，繼而搬送至除材裝置360。
由檢查裝置3000檢查之電子零件500一般係設置於無塵環境，即防塵環境下。又，雖然未圖示，但必須以在檢查台350上配置用以測量電子零件500之電氣特性之複數個探針，且電子零件500之探針應接觸之位置相對於所有探針準確地配置之方式，將電子零件500自給材裝置310搬送至 檢查台350。電子零件500之位置係於載置於檢查台350之前，根據利用第1攝像部341、第2攝像部342所獲得之電子零件500之圖像，進行圖像處理並藉由搬送裝置部3200而與檢查台350中所包含之探針位置對準，從而載置於檢查台350上。
進而由於電子零件500不斷發展為更小型、精密且多功能，故而所謂之全數檢查普及。因此，電子零件500之一系列之檢查時間係由於應檢查之電子零件500之數量極其大量，故而要求使更短時間之檢查處理成為可能，特別是要求縮短檢查時間中所佔之電子零件500之搬送時間。因此，藉由於檢查裝置3000中包含包括第1實施形態之致動器100之Y載物台420、X載物台440、進而Z移動裝置450，可較短地控制到達特定移動速度之加速時間，進而可較短地控制到達停止之減速時間，從而可獲得檢查時間較短之電子零件檢查裝置。再者，至於電子零件500，可應用作為檢查例如半導體、LCD(liquid crystal display，液晶顯示裝置)等顯示裝置、晶體裝置、各種感測器裝置、噴墨頭、及各種MEMS(Micro Electro Mechanical System，微機電系統)裝置等之電子零件檢查裝置。
(第5實施形態)
圖9係表示第5實施形態之印表機，(a)係表示印表機之立體圖，(b)係表示(a)所示之印表機中所包含之切割頭的平面圖。
如圖9(a)所示般，印表機4000包含：印刷部510，其對印 刷用紙520進行印刷；壓板530，其亦為於與印刷部510之間保持且引導印刷用紙520之載物台；切割頭550，其用以切割被印刷之印刷用紙520；以及控制部580，其控制印表機4000。於此情形時，切割頭550係於與印刷用紙520之搬送之方向正交的方向對印刷用紙520進行切割之方式，且具有印刷用紙520切割用之切割器550a。
而且，如圖9(b)所示般，用以切割印刷用紙520之機構包括：導軌540，其支持切割頭550且引導切割頭550之移動；環狀皮帶560，其沿導軌540使切割頭550移動；皮帶連結部550b，用以使切割頭550連結於環狀皮帶560；以及驅動軸570a及從動軸570b，其等設置於切割頭550移動之始端側及終端側，以驅動環狀皮帶560。
驅動軸570a係藉由致動器100而旋轉，並驅動環狀皮帶560。此情形時，致動器100之旋轉軸之旋轉係經由加速裝置590而向驅動軸570a傳達。此種構成之印表機4000係若致動器100驅動則驅動軸570a旋轉，藉由驅動軸570a之旋轉，環狀皮帶560於驅動軸570a與從動軸570b之間旋轉，與旋轉之環狀皮帶560連結之切割頭550沿導軌540移動。藉此，切割頭550之切割器550a對印刷用紙520進行切割。
印表機4000係藉由將致動器100用於驅動軸570a之驅動，而可使驅動軸570a周圍成為小型化之構成，故而可小型化，同時亦具有高耐久性。
3A、3B‧‧‧第1支持部
4A、4B‧‧‧第2支持部
10‧‧‧壓電元件
10A‧‧‧壓電元件
10B‧‧‧壓電元件
10a‧‧‧突起部
10b‧‧‧壓電體
10c‧‧‧壓電體之一面
10d‧‧‧壓電體之另一面
11、12、13、14‧‧‧電極
15‧‧‧共用電極
20‧‧‧保持外殼
20a‧‧‧施力部
21‧‧‧外殼本體
21a‧‧‧支持面
21b‧‧‧突起部
22‧‧‧固持板
23‧‧‧螺釘
24‧‧‧固持板
24a‧‧‧固持板
30‧‧‧第1支持部
31‧‧‧緩衝構件
32‧‧‧碟形彈簧
33‧‧‧螺旋彈簧
34‧‧‧第1支持部
40‧‧‧第2支持部
41‧‧‧緩衝構件
42‧‧‧碟形彈簧
43‧‧‧第2支持部
50‧‧‧基台
50a‧‧‧彈簧固定部
60‧‧‧彈簧
71‧‧‧被驅動體
72‧‧‧被驅動體
100‧‧‧致動器
110‧‧‧基部
120‧‧‧指部
130‧‧‧連接部
140‧‧‧關節部
150‧‧‧控制部
210‧‧‧本體部
220‧‧‧臂部
221‧‧‧第1框架
222‧‧‧第2框架
223‧‧‧第3框架
224‧‧‧第4框架
225‧‧‧第5框架
230‧‧‧連接部
300‧‧‧基台
310‧‧‧給材裝置
321a、321b‧‧‧導軌
322a、322b‧‧‧導軌
330‧‧‧載物台
330a‧‧‧載置面
341‧‧‧第1攝像部
342‧‧‧第2攝像部
350‧‧‧檢查台
360‧‧‧除材裝置
370‧‧‧載物台
370a‧‧‧載置面
380‧‧‧握持部
390‧‧‧控制裝置
390a‧‧‧輸入裝置
390b‧‧‧輸出裝置
400‧‧‧支持台
411a、411b‧‧‧驅動軌
412a、412b‧‧‧驅動軌
420‧‧‧載物台
430‧‧‧橫桿部
440‧‧‧載物台
450‧‧‧移動裝置
460‧‧‧旋轉裝置
460a‧‧‧旋轉軸
470‧‧‧可動部
500‧‧‧電子零件
510‧‧‧印刷部
520‧‧‧印刷用紙
530‧‧‧壓板
540‧‧‧導軌
550‧‧‧切割頭
550a‧‧‧切割器
550b‧‧‧皮帶連結部
560‧‧‧環狀皮帶
570a‧‧‧驅動軸
570b‧‧‧從動軸
580‧‧‧控制部
590‧‧‧加速裝置
1000‧‧‧機器人手部
2000‧‧‧機器人
3000‧‧‧檢查裝置
3100‧‧‧檢查部
3200‧‧‧搬送裝置部
4000‧‧‧印表機
H‧‧‧方向
HL‧‧‧方向
HR‧‧‧方向
L‧‧‧中心線
LA‧‧‧線
LB‧‧‧線
P1、P2、P3‧‧‧節點
QR‧‧‧方向
R‧‧‧方向
圖1(a)係表示第1實施形態之致動器之平面圖；(b)為(a) 所示之A-A'部之剖面圖；(c)為(a)所示之B-B'部之剖面圖。
圖2係表示第1實施形態之壓電元件之電極配置，(a)為正平面圖、(b)為側面圖、(c)為背平面圖。
圖3(a)-(c)係第1實施形態之壓電元件之振動動作之說明圖。
圖4(a)、(b)係表示第1實施形態之致動器之其他形態的剖面圖。
圖5(a)-(d)係表示第1實施形態之致動器之其他形態的剖面圖。
圖6係表示第2實施形態之機器人手部之外觀圖。
圖7係表示第3實施形態之機器人之外觀圖。
圖8係表示第4實施形態之電子零件檢查裝置之外觀圖。
圖9(a)係表示第5實施形態之印表機之立體圖；(b)係於(a)所示之印表機中所包含之切割頭之平面圖。
10‧‧‧壓電元件
10a‧‧‧突起部
20‧‧‧保持外殼
20a‧‧‧施力部
21‧‧‧外殼本體
21a‧‧‧支持面
22‧‧‧固持板
23‧‧‧螺釘
30‧‧‧第1支持部
31‧‧‧緩衝構件
32‧‧‧碟形彈簧
40‧‧‧第2支持部
50‧‧‧基台
50a‧‧‧彈簧固定部
60‧‧‧彈簧
71‧‧‧被驅動體
72‧‧‧被驅動體
100‧‧‧致動器
H‧‧‧方向
R‧‧‧方向

Claims (13)

  1. 一種致動器，其特徵在於包括：壓電元件，其以縱向振動模式與彎曲振動模式激振而振動；被驅動體，其接觸上述壓電元件中所包含之接觸部，藉由上述接觸部之振動而驅動；保持部，其保持上述壓電元件；及基台，其具有使上述保持部向上述被驅動體施力之施力機構；且上述保持部係配置於與上述壓電元件之振動面交叉之方向，且包括配置於上述壓電元件之一側之第1支持部、及隔著上述壓電元件與上述第1支持部相對向而配置於另一側之第2支持部。
  2. 如請求項1之致動器，其中上述第1支持部與上述第2支持部所支持之上述壓電元件之支持區域包含為上述壓電元件之上述縱向振動模式之振動的節點、且為與上述彎曲振動模式之振動之節點的振動之節點中之至少一個。
  3. 如請求項1或2之致動器，其中於上述第1支持部及上述第2支持部之至少一者中包含緩衝部。
  4. 如請求項1之致動器，其中於上述第1支持部及上述第2支持部之至少一者中包含彈性部。
  5. 一種機器人手部，其包含如請求項1至4中任一項之致動器。
  6. 一種機器人，其包含如請求項1至4中任一項之致動器、或如請求項5之機器人手部。
  7. 一種電子零件搬送裝置，其包含如請求項1至4中任一項 之致動器。
  8. 一種電子零件檢查裝置，其包含如請求項1至4中任一項之致動器、或如請求項7之電子零件搬送裝置。
  9. 一種印表機，其包含如請求項1至4中任一項之致動器。
  10. 一種致動器，其特徵在於包括：壓電元件；第1支持部，其配置於上述壓電元件之一面，且支持上述壓電元件；以及第2支持部，其配置於與上述壓電元件之一面為相反側之另一面，且支持上述壓電元件；且上述一面及上述另一面包含上述壓電元件進行彎曲振動之方向。
  11. 一種機器人手部，其特徵在於包括：指部；關節部，其連結上述指部；壓電元件，其配置於上述關節部；第1支持部，其配置於上述壓電元件之一面，支持上述壓電元件；以及第2支持部，其配置於與上述壓電元件之一面為相反側之另一面，支持上述壓電元件；且上述一面及上述另一面包含上述壓電元件進行彎曲振動之方向。
  12. 一種機器人，其包含如請求項11之機器人手部。
  13. 一種電子零件搬送裝置，其包含如請求項10之致動器。
TW101145871A 2011-12-06 2012-12-06 致動器、機器人手部、機器人、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置及印表機 TWI558085B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011266550A JP5929139B2 (ja) 2011-12-06 2011-12-06 アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置およびプリンター

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201325060A TW201325060A (zh) 2013-06-16
TWI558085B true TWI558085B (zh) 2016-11-11

Family

ID=48523480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW101145871A TWI558085B (zh) 2011-12-06 2012-12-06 致動器、機器人手部、機器人、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置及印表機

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9496482B2 (zh)
JP (1) JP5929139B2 (zh)
CN (1) CN103151953A (zh)
TW (1) TWI558085B (zh)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013255959A (ja) * 2012-06-12 2013-12-26 Seiko Epson Corp 移動機構、電子部品搬送装置、電子部品検査装置
CN103135268B (zh) * 2013-03-20 2015-06-03 深圳市华星光电技术有限公司 液晶显示面板的检测装置
JP6268999B2 (ja) * 2013-12-06 2018-01-31 セイコーエプソン株式会社 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置
JP2015208077A (ja) * 2014-04-18 2015-11-19 セイコーエプソン株式会社 圧電アクチュエーター
DE102015113472B3 (de) * 2015-08-14 2017-01-26 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Ultraschallmotor
JP2018074723A (ja) * 2016-10-27 2018-05-10 セイコーエプソン株式会社 駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置およびプリンター
CN107053228A (zh) * 2017-03-31 2017-08-18 秦皇岛信越智能装备有限公司 一种机器人抓手
CN109004858A (zh) * 2017-06-06 2018-12-14 广州简成光电有限公司 一种压电马达
JP7027829B2 (ja) * 2017-11-14 2022-03-02 セイコーエプソン株式会社 圧電駆動装置および電子部品搬送装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5136200A (en) * 1989-07-27 1992-08-04 Olympus Optical Co., Ltd. Ultransonic motor
US5714833A (en) * 1993-08-03 1998-02-03 Nanomotion Ltd. Ceramic motor
US6806620B1 (en) * 1999-08-17 2004-10-19 Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente Piezoelectric drive excited by longitudinal and flexural waves
US20090224631A1 (en) * 2007-02-02 2009-09-10 Panasonic Corporation Ultrasonic actuator
TW201129795A (en) * 2003-05-09 2011-09-01 Ebara Corp Inspection method, inspection apparatus and electron beam apparatus
CN101313456B (zh) * 2006-01-12 2011-09-21 松下电器产业株式会社 超声波执行机构

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH072336A (ja) * 1993-06-08 1995-01-06 Yukio Sekizawa 振動搬送装置
IL106296A0 (en) 1993-07-09 1993-12-28 Nanomotion Ltd Ceramic motor
US5616980A (en) 1993-07-09 1997-04-01 Nanomotion Ltd. Ceramic motor
US5682076A (en) 1993-08-03 1997-10-28 Nanomotion Ltd. Ceramic disc-drive actuator
JP3184117B2 (ja) 1997-05-23 2001-07-09 セイコーインスツルメンツ株式会社 超音波モータ及び超音波モータ付き電子機器
DE19817038A1 (de) 1998-04-17 1999-10-21 Philips Patentverwaltung Piezomotor
JP2003259670A (ja) * 2002-03-04 2003-09-12 Seiko Epson Corp 可撓体アクチュエータ
US6897598B2 (en) * 2002-03-15 2005-05-24 Kyocera Corporation Ultrasonic motor and guide apparatus having the same as driving source of movable body
JP4183520B2 (ja) 2003-01-30 2008-11-19 ヒーハイスト精工株式会社 超音波モータ
WO2007008851A2 (en) * 2005-07-13 2007-01-18 Jens Korsgaard Fluid vaporizer
JP4294061B2 (ja) 2007-04-23 2009-07-08 セイコーインスツル株式会社 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器
JP2009017735A (ja) 2007-07-06 2009-01-22 Olympus Corp 超音波モータ
JP4521053B2 (ja) * 2008-08-11 2010-08-11 セイコーインスツル株式会社 超音波モータ及び超音波モータ付電子機器

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5136200A (en) * 1989-07-27 1992-08-04 Olympus Optical Co., Ltd. Ultransonic motor
US5714833A (en) * 1993-08-03 1998-02-03 Nanomotion Ltd. Ceramic motor
US6806620B1 (en) * 1999-08-17 2004-10-19 Pi Ceramic Gmbh Keramische Technologien Und Bauelemente Piezoelectric drive excited by longitudinal and flexural waves
TW201129795A (en) * 2003-05-09 2011-09-01 Ebara Corp Inspection method, inspection apparatus and electron beam apparatus
CN101313456B (zh) * 2006-01-12 2011-09-21 松下电器产业株式会社 超声波执行机构
US20090224631A1 (en) * 2007-02-02 2009-09-10 Panasonic Corporation Ultrasonic actuator

Also Published As

Publication number Publication date
CN103151953A (zh) 2013-06-12
TW201325060A (zh) 2013-06-16
JP2013121192A (ja) 2013-06-17
JP5929139B2 (ja) 2016-06-01
US20130140953A1 (en) 2013-06-06
US9496482B2 (en) 2016-11-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI558085B (zh) 致動器、機器人手部、機器人、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置及印表機
JP6008077B2 (ja) アクチュエータ―、ロボット、電子部品搬送装置及び電子部品検査装置
JP5953724B2 (ja) 圧電モーター、駆動装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、プリンター
JP5978907B2 (ja) 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
CN103151958A (zh) 压电马达、驱动装置、电子部件输送装置及检查装置
TW201325059A (zh) 壓電馬達、驅動裝置、電子零件搬送裝置、電子零件檢查裝置、印刷裝置、機器人手部、及機器人
CN103684036A (zh) 压电马达、机器人手、机器人、电子部件搬运装置、电子部件检查装置、送液泵、打印装置
JP2018174620A (ja) 圧電駆動装置、圧電モーター、ロボット、電子部品搬送装置およびプリンター
JP5998980B2 (ja) 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
JP4197196B2 (ja) 圧電アクチュエータもしくは超音波モータを利用したステージ及びこのステージを用いた電子機器、印刷装置
JP6020022B2 (ja) 圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置、搬送装置
JP5958013B2 (ja) アクチュエーターおよびロボット
CN108696178B (zh) 压电驱动装置、电子部件输送装置、机器人、投影仪
JP2014007917A (ja) 圧電アクチュエーターの駆動方法、圧電アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、搬送装置、電子部品搬送装置および電子部品検査装置
JP6127379B2 (ja) アクチュエーター、ロボットハンド、ロボット、搬送装置、電子部品搬送装置および電子部品検査装置
TWI585020B (zh) Conveyance device, electronic parts transfer device and electronic parts inspection device
KR101982454B1 (ko) 기판 반송 장치, 노광 장치, 기판 지지 장치 및 디바이스 제조 방법
JP5849662B2 (ja) 圧電モーター、駆動装置、電子部品検査装置、電子部品搬送装置、印刷装置、ロボットハンド、およびロボット
JP6914740B2 (ja) 把持装置
CN115224973A (zh) 压电驱动装置以及机器人

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees