JP2018185191A - 電子部品搬送装置、検査装置およびロボット - Google Patents
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Abstract
【課題】低コスト化で高精度に部品(部材)を搬送することができる電子部品搬送装置、検査装置およびロボットを提供すること。【解決手段】押圧力を発生させる押圧機構部と、前記押圧機構部を支持している支持体と、部材を保持する保持部と、前記押圧機構部に支持され、前記支持体に対して前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。前記変更機構部は、前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動部と、前記支持体に対して前記第1方向と交差している第2方向に移動可能な第2移動部と、前記支持体に対して回動可能な回動部と、を有する。【選択図】図2
Description
本発明は、電子部品搬送装置、検査装置およびロボットに関するものである。
従来から、例えばICチップ等の電子部品の電気的特性を検査する検査装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。特許文献1に記載の検査装置は、電子部品を供給トレイから検査部に供給し、検査部に供給された電子部品の電気的特性の検査を行い、当該検査の終了後、電子部品を検査用ソケットから回収トレイに回収する。そして、特許文献1に記載の検査装置では、電子部品の供給トレイから検査部への移動や、検査部から回収トレイへの移動は、検査用ロボットによって行われる。
ここで、特許文献1に記載の検査装置では、検査部に対して電子部品の位置決めを精度よく行うため、ICチップを吸着する吸着部が水平面に沿って移動および回動可能な補正機構を介して支持体に支持されている。この支持体には、吸着部に吸着したICチップを検査部へ押圧するための押圧装置も支持されている。そして、この押圧装置と吸着部との間には、前述した補正機構の補正を可能としつつ、押圧装置からの押圧力を吸着部に伝えるため、倣い機構が介在している。
しかし、特許文献1に記載の検査装置では、前述したように支持体に対して補正機構および押圧装置の双方が直接支持されているがゆえ、補正機構が有する可動機構の他に倣い機構等の構成が必要となるため、装置構成が複雑化し、その結果、吸着部の位置精度を高めることが難しくなるとともに高コスト化を招くという課題がある。
本発明の目的は、低コストで高精度に部品(部材)を搬送することができる電子部品搬送装置、検査装置およびロボットを提供することにある。
上記目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の電子部品搬送装置は、押圧力を発生させる押圧機構部と、
前記押圧機構部を支持する支持体と、
部材を保持する保持部と、
前記押圧機構部に支持され、前記支持体に対する前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とする。
本発明の電子部品搬送装置は、押圧力を発生させる押圧機構部と、
前記押圧機構部を支持する支持体と、
部材を保持する保持部と、
前記押圧機構部に支持され、前記支持体に対する前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とする。
このような電子部品搬送装置によれば、変更機構部が、押圧機構部に支持され、支持体に対して保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能であるため、押圧機構部が変更機構部を介して保持部を対象物(例えば検査部)に対して押圧することができる。また、押圧機構部と保持部との間に変更機構部以外の可動機構を設ける必要がない。そのため、装置構成を簡単化することができ、その結果、保持部の位置精度を高めることができ、また、低コスト化を図ることができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記変更機構部は、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動部と、
前記支持体に対して前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動部と、
前記支持体に対して回動可能な回動部と、を有することが好ましい。
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動部と、
前記支持体に対して前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動部と、
前記支持体に対して回動可能な回動部と、を有することが好ましい。
これにより、ある面(例えば水平面)に沿って支持体および押圧機構部に対する保持部の位置および姿勢を変更することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記変更機構部は、
前記支持体に対して前記第1移動部を移動させる第1圧電アクチュエーターと、
前記支持体に対して前記第2移動部を移動させる第2圧電アクチュエーターと、
前記支持体に対して前記回動部を回動させる第3圧電アクチュエーターと、を有することが好ましい。
前記支持体に対して前記第1移動部を移動させる第1圧電アクチュエーターと、
前記支持体に対して前記第2移動部を移動させる第2圧電アクチュエーターと、
前記支持体に対して前記回動部を回動させる第3圧電アクチュエーターと、を有することが好ましい。
これにより、装置の小型化を図ることができる。また、圧電アクチュエーターは、一般に、外力に対する許容範囲が広い。そのため、変更機構部を介して押圧機構部の押圧力を保持部に伝えても、変更機構部を安定して駆動することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記第1移動部、前記第2移動部および前記回動部が前記押圧機構部側から前記保持部側に向けて順で並んでいることが好ましい。
これにより、変更機構部の構成を簡単化しつつ、変更機構部の高精度な作動を実現することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記変更機構部は、
第1部材と、
前記第1部材に対して相対的に位置または姿勢が変化可能に設けられている第2部材と、
前記第2部材に設けられ、前記第2部材に対して前記第1部材の位置または姿勢を変化させる駆動力を前記第1部材に伝達する圧電アクチュエーターと、を有し、
前記第1部材および前記第2部材が前記押圧力の方向に沿って並んでいることが好ましい。
第1部材と、
前記第1部材に対して相対的に位置または姿勢が変化可能に設けられている第2部材と、
前記第2部材に設けられ、前記第2部材に対して前記第1部材の位置または姿勢を変化させる駆動力を前記第1部材に伝達する圧電アクチュエーターと、を有し、
前記第1部材および前記第2部材が前記押圧力の方向に沿って並んでいることが好ましい。
これにより、押圧機構部からの押圧力が作用しても、安定的に作動可能な変更機構部を実現することができる。
本発明の電子部品搬送装置では、前記圧電アクチュエーターは、前記押圧力の方向に沿って前記第1部材に向けて押圧されていることが好ましい。
これにより、圧電アクチュエーターに押圧機構部からの押圧力が作用しても、圧電アクチュエーターを安定的に作動させることができる。
本発明の検査装置は、押圧力を発生させる押圧機構部と、
前記押圧機構部を支持している支持体と、
部材を保持する保持部と、
前記押圧機構部に支持され、前記支持体および前記押圧機構部に対して前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とする。
前記押圧機構部を支持している支持体と、
部材を保持する保持部と、
前記押圧機構部に支持され、前記支持体および前記押圧機構部に対して前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とする。
このような検査装置によれば、低コストで高精度に部品(部材)を搬送することができる検査装置を提供することができる。
本発明のロボットは、押圧力を発生させる押圧機構部と、
前記押圧機構部を支持している支持体と、
部材を保持する保持部と、
前記押圧機構部に支持され、前記支持体および前記押圧機構部に対して前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とする。
前記押圧機構部を支持している支持体と、
部材を保持する保持部と、
前記押圧機構部に支持され、前記支持体および前記押圧機構部に対して前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とする。
このようなロボットによれば、低コストで高精度に部品(部材)を搬送することができるロボットを提供することができる。
以下、本発明の電子部品搬送装置、検査装置およびロボットを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
1.電子部品搬送装置(検査装置)
まず、本発明の電子部品搬送装置の実施形態について説明する。
図1は、本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交している3軸としてX軸、Y軸およびZ軸を適宜用いて説明を行う。また、各図において、これらの軸を示す矢印の先端側を「+」、基端側を「−」とする。また、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」という。また、X軸およびY軸の双方に平行な平面(法線がZ軸方向となる平面)を「XY平面」、X軸およびZ軸の双方に平行な平面(法線がY軸方向となる平面)を「XZ平面」、Y軸およびZ軸の双方に平行な平面(法線がX軸方向となる平面)を「YZ平面」という。また、+Z軸方向側を「上」、−Z軸方向側を「下」ともいう。
まず、本発明の電子部品搬送装置の実施形態について説明する。
図1は、本発明の電子部品搬送装置の実施形態を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、互いに直交している3軸としてX軸、Y軸およびZ軸を適宜用いて説明を行う。また、各図において、これらの軸を示す矢印の先端側を「+」、基端側を「−」とする。また、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」という。また、X軸およびY軸の双方に平行な平面(法線がZ軸方向となる平面)を「XY平面」、X軸およびZ軸の双方に平行な平面(法線がY軸方向となる平面)を「XZ平面」、Y軸およびZ軸の双方に平行な平面(法線がX軸方向となる平面)を「YZ平面」という。また、+Z軸方向側を「上」、−Z軸方向側を「下」ともいう。
図1に示す電子部品搬送装置2000(検査装置)は、電子部品検査装置に適用されており、基台2100と、基台2100の側方に配置された支持台2200と、を有している。また、基台2100には、検査対象の電子部品Qが載置されてY軸方向に搬送される上流側ステージ2110と、検査済みの電子部品Qが載置されてY軸方向に搬送される下流側ステージ2120と、上流側ステージ2110と下流側ステージ2120との間に位置し、電子部品Qの電気的特性を検査する検査台2130と、が設けられている。なお、電子部品Qの例として、例えば、半導体、半導体ウェハー、CLDやOLED等の表示デバイス、水晶デバイス、各種センサー、インクジェットヘッド、各種MEMSデバイス等などが挙げられる。
また、支持台2200には、支持台2200に対してY軸方向に移動可能なYステージ2210が設けられており、Yステージ2210には、Yステージ2210に対してX軸方向に移動可能なXステージ2220が設けられており、Xステージ2220には、Xステージ2220に対してZ軸方向に移動可能な電子部品保持部2230が設けられている。
また、電子部品保持部2230は、圧電駆動装置10と、電子部品Qを保持する保持部2233と、圧電駆動装置10を介して保持部2233をZ軸方向に移動可能な押圧機構部11と、を有している。ここで、圧電駆動装置10は、X軸方向、Y軸方向およびZ軸まわりの微小な位置決めを行う位置決めユニットである。また、保持部2233は、圧電駆動装置10を介して押圧機構部11に支持されている。ここで、押圧機構部11は、例えば、空気圧シリンダーまたは油圧シリンダーであり、Xステージ2220(支持体)に支持されており、圧電駆動装置10をZ軸方向に移動可能に構成されている。そして、押圧機構部11は、圧電駆動装置10を介して保持部2233(電子部品Q)を上流側ステージ2110、下流側ステージ2120または検査台2130のいずれかの台(対象物)に向けて押圧可能となっている。以下、圧電駆動装置10について詳述する。
図2は、図1に示す電子部品搬送装置が備える圧電駆動装置(圧電駆動ユニット)の概略構成を示す斜視図である。
図2に示す圧電駆動装置10は、X軸方向(図中矢印X1で示す方向)、Y軸方向(図中矢印Y1で示す方向)およびZ軸まわり(図中矢印θ1で示す方向)の駆動を行う圧電駆動ユニットである。この圧電駆動装置10は、X軸方向での駆動を行う圧電駆動装置1X(第1圧電駆動装置)と、Y軸方向での駆動を行う圧電駆動装置1Y(第2圧電駆動装置)と、Z軸まわりの駆動を行う圧電駆動装置1θ(第3圧電駆動装置)と、を有し、これらがZ軸方向に沿って並んで連結されている。
ここで、圧電駆動装置1X、1Y、1θは、それぞれ、駆動源として圧電アクチュエーター52X、52Y、52θを備える。また、圧電駆動装置1Xは、前述した押圧機構部11に支持され、圧電アクチュエーター52Xの駆動力により、押圧機構部11に対して圧電駆動装置1YをX軸方向に移動可能である。圧電駆動装置1Yは、圧電駆動装置1Xに支持され、圧電アクチュエーター52Yの駆動力により、圧電駆動装置1Xに対して圧電駆動装置1θをY軸方向に移動可能である。圧電駆動装置1θは、圧電駆動装置1Yに支持され、圧電アクチュエーター52θの駆動力により、圧電駆動装置1Yに対して保持部2233をZ軸まわりに回動可能である。また、圧電駆動装置1X、1Y、1θは、押圧機構部11からのZ軸方向の力Fを保持部2233に伝達し得るように構成されている。以下、これらについて順次説明する。
(第1圧電駆動装置)
図3は、図2に示す圧電駆動装置が備えるX軸方向駆動用の圧電駆動装置の断面図である。図4は、図3に示す圧電駆動装置をZ軸方向から見た図である。図5は、図3に示す圧電駆動装置が備える圧電アクチュエーターの平面図である。図6は、図5に示す圧電アクチュエーターの動作を説明するための図である。なお、図4では、説明の便宜上、駆動部5および検出部6の一部および第2部材3の図示を省略している。
図3は、図2に示す圧電駆動装置が備えるX軸方向駆動用の圧電駆動装置の断面図である。図4は、図3に示す圧電駆動装置をZ軸方向から見た図である。図5は、図3に示す圧電駆動装置が備える圧電アクチュエーターの平面図である。図6は、図5に示す圧電アクチュエーターの動作を説明するための図である。なお、図4では、説明の便宜上、駆動部5および検出部6の一部および第2部材3の図示を省略している。
図3に示すように、圧電駆動装置1Xは、第1部材2と、第2部材3と、第2部材3を第1部材2に対してX軸方向(図2中矢印X1で示す方向)に相対的に移動させるように案内する案内機構4と、第2部材3を第1部材2に対してX軸方向に相対的に移動させる駆動部5と、第1部材2に対する第2部材3のX軸方向での相対的な移動を検出する検出部6(エンコーダー)と、駆動部5および検出部6を作動させるための回路部7と、を有する。
第1部材2および第2部材3は、それぞれ、例えば、金属材料、セラミックス材料等で構成され、XY平面に沿った略板状の全体形状を有する。また、第1部材2および第2部材3の平面視での外形は、それぞれ、図示では、矩形(四角形)であるが、これに限定されず、例えば、五角形等の他の多角形、円形、楕円形等であってもよい。
ここで、図3に示すように、第1部材2の一方(図3中の上側)の面には、凹部23が形成されている。そして、凹部23の底面は、後述する駆動部5の被駆動部材51が設置される設置面21を構成している。また、第1部材2の一方(図3中の上側)の面には、凹部23の外側に、後述する検出部6の光学スケール61が設置される設置面22が設けられている。図4に示すように、凹部23は、X軸方向に沿って延びており、これに伴い、設置面21も、X軸方向に沿って延びている。
図3に示すように、第2部材3の一方(図3中の上側)の面には、第1部材2とは反対側に開放している凹部31が形成されている。また、第2部材3には、凹部31の底面に開口し、第2部材3の厚さ方向(Z軸方向)に貫通している孔32が形成されている。
このような圧電駆動装置1Xの第2部材3は、前述した押圧機構部11に例えばネジ等を用いて固定されている。ここで、押圧機構部11は、図示しないが、例えば、シリンダーチューブと、このシリンダーチューブ内を摺動するピストンと、を有し、これらの一方が圧電駆動装置1Xの第2部材3を支持し、他方がXステージ2220(支持体)に支持されている。なお、押圧機構部11が有するシリンダーチューブまたはピストンのいずれか一方が第2部材3と一体で構成されていてもよい。
案内機構4は、直動軸受であり、図3に示すように、前述した第1部材2と第2部材3との間に配置されている。この案内機構4は、1対のスライダー41と、1対のスライダー41に対応して設けられている1対のレール42と、スライダー41とレール42との間に設けられている複数のボール43と、を有する。
1対のレール42は、それぞれ、X軸方向に沿って延びて配置され、第2部材3に例えばネジ、ビス等を用いて固定されている。また、1対のレール42の一方または双方は、第2部材3に対し一体的に形成されていてもよい。1対のスライダー41は、それぞれ、対応するレール42に沿って移動可能であり、第1部材2に例えばネジ、ビス等を用いて固定されている。また、1対のスライダー41の一方または双方は、第1部材2に対し一体的に形成されていてもよい。また、スライダー41、レール42およびボール43は、第1部材2および第2部材3のX軸方向以外の方向での相対的な移動を規制(制限)するように構成されている。なお、スライダー41、レール42およびボール43は、第1部材2および第2部材3のX軸方向での相対的な移動を所定範囲内に規制(制限)するように構成されていてもよい。
駆動部5は、第1部材2に設置(固定)されている被駆動部材51と、被駆動部材51に駆動力を伝達する複数(図示では3つ)の圧電アクチュエーター52Xと、複数の圧電アクチュエーター52Xを第2部材3に対して支持している複数(図示では3つ)の支持部材53と、を有する。
被駆動部材51は、前述した第1部材2の設置面21上に設置され、例えば、嵌合、接着剤による接着、ビス止め等により第1部材2に固定されている。また、被駆動部材51は、第1部材2に対し一体的に形成されていてもよい。この被駆動部材51は、板状またはシート状をなし、例えばセラミックス材料等の比較的耐摩耗性の高い材料で構成されている。また、被駆動部材51は、図4に示すように、X軸方向に沿って延びている。
複数の圧電アクチュエーター52Xは、X軸方向に沿って並んで配置されている。図5に示すように、圧電アクチュエーター52Xは、振動部521と、支持部522と、これらを接続している1対の接続部523と、振動部521から突出している突出部524と、を有している。
振動部521は、XZ平面に沿った板状をなしている。また、振動部521は、Z軸方向に沿って延びている長手形状をなしている。この振動部521は、振動部521の幅方向(X軸方向)の中央部に振動部521の長手方向に沿って配置されている圧電素子5215と、圧電素子5215に対して振動部521の幅方向の一方側に振動部521の長手方向に沿って配置されている2つの圧電素子5211、5212と、圧電素子5215に対して振動部521の幅方向の他方側に振動部521の長手方向に沿って配置されている2つの圧電素子5213、5214と、を有する。
このような振動部521は、図示しないが、例えば、シリコン基板等の2つの基板と、これらの基板間に配置されているチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等の圧電体と、圧電体の表裏に適宜設けられている複数の電極と、を有している。ここで、支持部522および1対の接続部523は、それぞれ、例えば、前述した振動部521が有する2つの基板と一体で形成されている2つの基板を有する。また、支持部522は、例えば、前述した振動部521が有する圧電体と同等の厚さを有する絶縁性のスペーサーが当該2つの基板間に介挿されている。
突出部524は、振動部521の長手方向(Z軸方向)での一方(図5中の下側)の端部(先端部)には、その幅方向での中央部に突出部524が突出して設けられている。突出部524は、例えば、セラミックス等の耐摩耗性に優れた材料で構成され、振動部521に接着剤等により接合されている。この突出部524は、振動部521の振動を被駆動部材51へ摩擦摺動により伝達する機能を有するので、伝達部とも言える。なお、突出部524(伝達部)の形状は、振動部521の駆動力を被駆動部材51に伝達可能であればよく、図示の形状に限定されない。
支持部材53は、例えば、金属材料、セラミックス材料等で構成され、第2部材3に対して、例えばネジ等を用いて固定されている。また、支持部材53は、図示しない弾性部材を介して支持部522を支持しており、突出部524が当該弾性部材の弾性変形を伴って被駆動部材51に対して所定圧力で接触(押圧)するように、支持部522が支持部材53および当該弾性部材を介して第2部材3に対して固定されている。
以上のような駆動部5が有する圧電アクチュエーター52Xは、回路部7から所定周波数の駆動信号が圧電素子5211〜5215に適宜入力されることにより作動する。例えば、圧電素子5211、5214への駆動信号と圧電素子5212、5213への駆動信号との位相差を180°とし、圧電素子5211、5214への駆動信号と圧電素子5215への駆動信号との位相差を30°とすることで、図6に示すように、各圧電素子5211〜5215の伸縮により、振動部521がS字形状に屈曲振動し、これにより、突出部524の先端が図中矢印αで示す方向に楕円運動する。その結果、被駆動部材51は、突出部524から一方向(図中矢印βで示す方向)に駆動力を繰り返し受ける。これにより、第1部材2および第2部材3がX軸方向に相対的に移動する。
また、図6に示す場合とは逆方向に、第1部材2および第2部材3をX軸方向に相対的に移動させる場合には、圧電素子5211、5214への駆動信号との位相差が210°となるように圧電素子5215に駆動信号を印加すればよい。なお、図示の構成では、被駆動部材51が第1部材2側に設置され、圧電アクチュエーター52が第2部材3側に設置されているが、その逆に、被駆動部材51が第2部材3側、圧電アクチュエーター52が第1部材2側に設置されていてもよい。
検出部6は、光学式のリニアエンコーダーである。この検出部6は、第1部材2に設置されている光学スケール61と、光学スケール61の移動を検出するセンサー62と、センサー62を第2部材3に対して支持している基板63と、を有する。
光学スケール61は、前述した第1部材2の設置面22上に設置され、例えば接着剤等を用いて第1部材2に固定されている。この光学スケール61は、例えば、スリット板、偏光板等である。また、光学スケール61は、図4に示すように、X軸方向に沿って延びている。
センサー62は、図示しないが、光学スケール61に光を照射する半導体レーザー等の発光素子と、光学スケール61からの反射光を受光するフォトダイオード等の受光素子と、を含んで構成されている。
基板63は、例えば、配線基板であり、ネジ等を用いて第2部材3に固定されている。この基板63は、第2部材3の凹部31とは反対側の面上に設置され、センサー62を支持するとともに、センサー62および回路部7のそれぞれに電気的に接続されている。
以上のような検出部6では、第1部材2に対する第2部材3のX軸方向での相対的な移動状態(位置、移動速度等)に応じて、センサー62の受光素子の出力信号の波形が変化する。したがって、この受光素子の出力信号に基づいて、第1部材2に対する第2部材3のX軸方向での相対的な移動状態を検出することができる。
回路部7は、前述した第2部材3の凹部31内に設置されている。この回路部7は、前述した圧電アクチュエーター52およびセンサー62を作動させるための回路を有する。例えば、回路部7は、圧電アクチュエーター52を駆動(駆動信号を発生)するための駆動回路、センサー62の発光素子を駆動するための駆動回路、センサー62の受光素子からの信号に基づいて第1部材2に対する第2部材3の相対的な位置を演算するための演算回路等を含んでいる。なお、回路部7が有するセンサー62のための回路(駆動回路、演算回路)は、検出部6に組み込まれていてもよく、この場合、センサー62と一体化されていてもよい。また、回路部7は、圧電駆動装置1Xの外部に設けられていてもよい。
(第2圧電駆動装置)
圧電駆動装置1Yは、前述した圧電駆動装置1Xと同様に構成されている。ただし、圧電駆動装置1YのXY平面内での姿勢は、圧電駆動装置1Xとは90°異なる。すなわち、圧電駆動装置1Yは、第1部材2と、第1部材2に対向して配置されている第2部材3と、第2部材3を第1部材2に対してY軸方向に相対的に移動させるように案内する案内機構4と、第2部材3を第1部材2に対してY軸方向に相対的に移動させる駆動部5と、第1部材2に対する第2部材3のY軸方向での相対的な移動を検出する検出部6(エンコーダー)と、駆動部5および検出部6を作動させる回路部7と、を有する。このように、圧電駆動装置1Yは、前述した圧電駆動装置1Xの説明において、「X軸方向」を「Y軸方向」に適宜読み替えればよい。
圧電駆動装置1Yは、前述した圧電駆動装置1Xと同様に構成されている。ただし、圧電駆動装置1YのXY平面内での姿勢は、圧電駆動装置1Xとは90°異なる。すなわち、圧電駆動装置1Yは、第1部材2と、第1部材2に対向して配置されている第2部材3と、第2部材3を第1部材2に対してY軸方向に相対的に移動させるように案内する案内機構4と、第2部材3を第1部材2に対してY軸方向に相対的に移動させる駆動部5と、第1部材2に対する第2部材3のY軸方向での相対的な移動を検出する検出部6(エンコーダー)と、駆動部5および検出部6を作動させる回路部7と、を有する。このように、圧電駆動装置1Yは、前述した圧電駆動装置1Xの説明において、「X軸方向」を「Y軸方向」に適宜読み替えればよい。
このような圧電駆動装置1Yの第2部材3は、前述した圧電駆動装置1Xの第1部材2に対して、前述した姿勢となるように、例えばネジ等を用いて固定されている。ここで、圧電駆動装置1Xの第1部材2および圧電駆動装置1Yの第2部材3は、Xステージ2220(支持体)に対してX軸方向(第1方向)に移動可能であり、第1移動部12を構成している。なお、圧電駆動装置10においては、圧電駆動装置1Yの第2部材3が圧電駆動装置1Xの第1部材2と一体で構成されていてもよい。また、圧電駆動装置1X、1Yの構成は、適宜互いに異なる構成を有していてもよい。また、以下では、圧電駆動装置1X、1Yをそれぞれ圧電駆動装置1ともいう。圧電アクチュエーター52X、52Yをそれぞれ圧電アクチュエーター52ともいう。
(第3圧電駆動装置)
図7は、図2に示す圧電駆動装置が備えるZ軸まわり駆動用の圧電駆動装置の断面図である。図8は、図7に示す圧電駆動装置をZ軸方向から見た図である。
図7は、図2に示す圧電駆動装置が備えるZ軸まわり駆動用の圧電駆動装置の断面図である。図8は、図7に示す圧電駆動装置をZ軸方向から見た図である。
図7に示すように、圧電駆動装置1θは、第1部材8と、第2部材9と、第2部材9を第1部材8に対してZ軸に平行な軸線aZまわり(図2中矢印θ1で示す方向)に相対的に回動可能に支持している軸受4θと、第2部材9を第1部材8に対して軸線aZまわりに相対的に回動させる駆動部5θと、第1部材8に対する第2部材9の軸線aZまわりの相対的な回動を検出する検出部6θ(エンコーダー)と、駆動部5θおよび検出部6θを作動させる回路部7θと、を有する。
第1部材8および第2部材9は、それぞれ、例えば、金属材料、セラミックス材料等で構成されている。図8に示すように、第1部材8の平面視での外形は円形であり、第2部材9の平面視での外形は矩形(四角形)であるが、これらの外形は、これに限定されない。
ここで、図7に示すように、第1部材8の一方(図7中の上側)の面には、凹部83が形成されている。そして、凹部83の底面は、後述する駆動部5θの被駆動部材54が設置される設置面81を構成している。また、第1部材8の一方(図7中の上側)の面には、凹部83の周囲に、後述する検出部6θの光学スケール64が設置される設置面82が設けられている。また、第1部材8には、凹部83の底面に開口し、軸線aZを中心として第1部材8の厚さ方向(Z軸方向)に貫通している孔84が形成されている。図8に示すように、凹部83および孔84の外形は、それぞれ、Z軸方向から見たとき(以下、「平面視」ともいう)、軸線aZを中心とする円形をなしている。これに伴い、設置面81は、平面視で、軸線aZを中心とする円環状をなしている。また、設置面82も、平面視で、軸線aZを中心とする円環状をなしている。
また、図7に示すように、第1部材8の外周面85には、幅(径)が小さい縮径部851と、縮径部851に対して+Z軸方向側において縮径部851よりも幅(径)が大きい拡径部852と、を有する。このような第1部材8には、前述した保持部2233が例えばネジ等を用いて固定されている。ここで、第1部材8は、Xステージ2220(支持体)に対して回動可能であり、回動部14を構成している。なお、第1部材8の平面視での外形は、図示では、円形であるが、これに限定されず、例えば、四角形、五角形等の他の多角形、楕円形等であってもよい。また、孔84は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。
図7に示すように、第2部材9の一方(図7中の上側)の面には、第1部材8側に開放している凹部91と、第1部材8とは反対側に開放している凹部92と、凹部91、92の両底面に開口して第2部材9を厚さ方向(Z軸方向)に貫通している孔93と、が形成されている。凹部91は、平面視で、円形をなしており、この凹部91内には、前述した第1部材8が挿入されている。
このような第2部材9は、前述した圧電駆動装置1Yの第1部材2に対して例えばネジ等を用いて固定されている。ここで、第2部材9および圧電駆動装置1Yの第1部材2は、Xステージ2220(支持体)に対してX軸方向(第1方向)と交差しているY軸方向(第2方向)に移動可能であり、第2移動部13を構成している。なお、圧電駆動装置10においては、第2部材9が圧電駆動装置1Yの第1部材2と一体で構成されていてもよい。
軸受4θは、図7に示すように、前述した第1部材8と第2部材9との間に配置されている。この軸受4θは、内輪44と、外輪45と、これらの間に設けられている複数のボール46と、を有する。
内輪44は、前述した第1部材8の外周面85(縮径部851)に嵌合して固定されている。外輪45は、前述した第2部材9の凹部91の内周面に嵌合して固定されている。また、内輪44、外輪45およびボール46は、第1部材8および第2部材9の軸線aZまわりの回動方向以外の方向での相対的な移動を規制(制限)するように構成されている。
駆動部5θは、第1部材8に設置されている被駆動部材54と、被駆動部材54に駆動力を伝達する複数(図示では3つ)の圧電アクチュエーター52θと、複数の圧電アクチュエーター52θを第2部材9に対して支持している複数(3つの)の支持部材55と、を有する。
被駆動部材54は、前述した第1部材8の設置面81上に設置され、例えば接着剤等を用いて第1部材8に固定されている。また、被駆動部材54は、図8に示すように、平面視で、軸線aZを中心とする円環状をなしている。ここで、被駆動部材54は、前述した被駆動部材51と同様、板状またはシート状をなし、例えばセラミックス材料等の比較的耐摩耗性の高い材料で構成されている。なお、被駆動部材54の平面視形状は、図示の形状(環状)に限定されず、例えば、圧電駆動装置1θの可動範囲によっては、周方向での一部が欠損していてもよい。
複数の支持部材55は、複数の圧電アクチュエーター52θに対応して設けられ、複数の圧電アクチュエーター52θが軸線aZを中心とする同一円周上に等角度間隔に並ぶように配置されている。そして、各支持部材55は、支持部522および第2部材9のそれぞれに対して、例えばネジ等を用いて固定されている。ここで、支持部材55は、前述した支持部材53と同様、例えば、金属材料、セラミックス材料等で構成されている。
以上のような駆動部5θの圧電アクチュエーター52θは、前述した駆動部5の圧電アクチュエーター52(52X、52Y)と同様に構成されている。圧電アクチュエーター52θは、被駆動部材54に駆動力を与え、第1部材8および第2部材9を軸線aZまわりに相対的に回動させる。
検出部6θは、第1部材8に設置されている光学スケール64と、光学スケール64の移動を検出するセンサー62と、センサー62を第2部材9に対して支持している基板63と、を有する。
光学スケール64は、前述した第1部材8の設置面82上に設置され、例えば接着剤等を用いて第1部材8に固定されている。この光学スケール64は、前述した光学スケール61と同様、例えば、スリット板、偏光板等である。ただし、光学スケール64は、平面視で、軸線aZを中心とする円環状をなしている。なお、光学スケール64の平面視形状は、図示の形状(環状)に限定されず、例えば、圧電駆動装置1θの可動範囲によっては、周方向での一部が欠損していてもよい。
以上のような検出部6θでは、第1部材8に対する第2部材9の軸線aZまわりの相対的な回動状態(回動位置、角速度等)に応じて、センサー62の受光素子の出力信号の波形が変化する。したがって、この受光素子の出力信号に基づいて、第1部材8に対する第2部材9の軸線aZまわりの相対的な回動状態を検出することができる。
回路部7θは、前述した第2部材9の凹部92内に設置されている。この回路部7θは、前述した回路部7と同様、圧電アクチュエーター52θおよびセンサー62を作動させるための回路を有する。なお、回路部7θは、圧電駆動装置1θの外部に設けられていてもよい。
以上のように、「検査装置」である電子部品搬送装置2000は、押圧力である力Fを発生させる押圧機構部11と、押圧機構部11を支持する「支持体」であるXステージ2220と、電子部品Q(部材)を保持する保持部2233と、押圧機構部11に支持され、Xステージ2220に対する保持部2233の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な「変更機構部」である圧電駆動装置10と、を備える。
このような電子部品搬送装置2000によれば、圧電駆動装置10(変更機構部)が、押圧機構部11に支持され、Xステージ2220(支持体)に対して保持部2233の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能であるため、押圧機構部11が圧電駆動装置10を介して保持部2233を対象物(例えば検査部である検査台2130)に対して押圧することができる。また、押圧機構部11と保持部2233との間に圧電駆動装置10以外の可動機構を設ける必要がない。そのため、装置構成を簡単化することができ、その結果、保持部2233の位置精度を高めることができ、また、低コスト化を図ることができる。
ここで、圧電駆動装置10(変更機構部)は、Xステージ2220(支持体)に対してX軸方向(第1方向)に移動可能な第1移動部12と、Xステージ2220に対してX軸方向と交差する第2方向(第2方向)に移動可能な第2移動部13と、Xステージ2220に対して回動可能な回動部14と、を有する。これにより、ある面(例えば水平面)に沿ってXステージ2220および押圧機構部11に対する保持部2233の位置および姿勢を変更することができる。
また、圧電駆動装置10(変更機構部)は、Xステージ2220(支持体)に対して第1移動部12を移動させる「第1圧電アクチュエーター」である圧電アクチュエーター52Xと、Xステージ2220に対して第2移動部13を移動させる「第2圧電アクチュエーター」である圧電アクチュエーター52Yと、Xステージ2220に対して回動部14を回動させる「第3圧電アクチュエーター」である圧電アクチュエーター52θと、を有する。このような圧電アクチュエーター52X、52Y、52θは、それぞれ、電磁駆動方式の駆動源に比べて、小型化が容易である。そのため、圧電アクチュエーター52X、52Y、52θを駆動源として用いることで、装置の小型化を図ることができる。また、圧電アクチュエーター52X、52Y、52θは、一般に、電磁駆動方式の駆動源に比べて、外力に対する許容範囲が広い。そのため、圧電駆動装置10を介して押圧機構部11の押圧力を保持部2233に伝えても、圧電駆動装置10を安定して駆動することができる。
ここで、第1移動部12、第2移動部13および回動部14が押圧機構部11側から保持部2233側に向けて(図2中上側から下側に向けて)この順で並んでいる。これにより、圧電駆動装置10の構成を簡単化しつつ、圧電駆動装置10の高精度な作動を実現することができる。
また、圧電駆動装置10(変更機構部)は、3つの圧電駆動装置1X、1Y、1θを有している。そして、圧電駆動装置1X、1Yは、それぞれ、第1部材2と、第1部材2に対して相対的に位置が変化可能に設けられている第2部材3と、第2部材3に設けられ、第2部材3に対して第1部材2の位置を変化させる駆動力を第1部材2に伝達する圧電アクチュエーター52(52Xまたは52Y)と、を有し、第1部材2および第2部材3が押圧機構部11の押圧力(力F)の方向(Z軸方向)に沿って並んでいる。また、圧電駆動装置1θは、第1部材8と、第1部材8に対して相対的に姿勢が変化可能に設けられている第2部材9と、第2部材9に設けられ、第2部材9に対して第1部材8の姿勢を変化させる駆動力を第1部材8に伝達する圧電アクチュエーター52θと、を有し、第1部材8および第2部材9が押圧機構部11の押圧力(力F)の方向(Z軸方向)に沿って並んでいる。このように第1部材2、8および第2部材3、9が配置されていることで、押圧機構部11からの押圧力(力F)が作用しても、安定的に作動可能な圧電駆動装置10を実現することができる。
特に、圧電アクチュエーター52X、52Y、52θは、押圧機構部11の圧力の方向(Z軸方向)に沿って第1部材2または8に向けて押圧されている。これにより、圧電アクチュエーター52X、52Y、52θに押圧機構部11からの押圧力(力F)が作用しても、圧電アクチュエーター52X、52Y、52θを安定的に作動させることができる。これは、圧電アクチュエーター52X、52Y、52θが前述したように1対の接続部523を有しており、この1対の接続部523が第1部材2と第2部材3との間の距離または第1部材8と第2部材9との間の距離の変動を吸収し得るからである。また、第1部材2と第2部材3との間の距離または第1部材8と第2部材9との間の距離の変動は、案内機構4または軸受4θのガタつきの範囲内に抑えられるため、極めて小さいと言える。
なお、前述した実施形態では、押圧機構部11と保持部2233との間に3つの圧電駆動装置1X、1Y、1θが介在している場合を例に説明したが、圧電駆動装置1X、1Y、1θのうちの1つまたは2つを省略してもよい。また、押圧機構部11と保持部2233との間の任意の箇所には、圧電駆動装置1X、1Y、1θ以外の他の部材または圧電駆動装置が介在していてもよい。また、押圧機構部11と保持部2233との間に介在している圧電駆動装置1X、1Y、1θの順序は、前述した実施形態に限定されるものではなく、任意である。
2.ロボット
次に、本発明のロボットの実施形態について説明する。
図9は、本発明のロボットの実施形態を示す斜視図である。
次に、本発明のロボットの実施形態について説明する。
図9は、本発明のロボットの実施形態を示す斜視図である。
図9に示すロボット1000は、精密機器やこれを構成する部品(対象物)の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。ロボット1000は、6軸ロボットであり、床や天井に固定されるベース1010と、ベース1010に回動自在に連結されたアーム1020と、アーム1020に回動自在に連結されたアーム1030と、アーム1030に回動自在に連結されたアーム1040と、アーム1040に回動自在に連結されたアーム1050と、アーム1050に回動自在に連結されたアーム1060と、アーム1060に回動自在に連結されたアーム1070と、これらアーム1020、1030、1040、1050、1060、1070の駆動を制御する制御部1080と、を有している。また、アーム1070には、圧電駆動装置10を介して保持部であるハンド接続部(図示せず)が設けられており、このハンド接続部にはロボット1000に実行させる作業に応じたエンドエフェクター1090(部材)が装着される。また、圧電駆動装置10の駆動は、制御部1080によって制御される。ここで、ベース1010が「支持体」を構成している。また、アーム1020、1030、1040、1050、1060、1070は、圧電駆動装置10を介してエンドエフェクター1090を対象物(図示せず)に向けて押圧する「押圧機構部1100」を構成している。
以上のように、ロボット1000は、押圧力を発生させる押圧機構部1100と、押圧機構部1100を支持している「支持体」であるベース1010と、部材を保持する「保持部」であるエンドエフェクター1090と、押圧機構部1100に支持され、ベース1010に対してエンドエフェクター1090の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な「変更機構部」である圧電駆動装置10と、を備える。このようなロボット1000によれば、低コストで高精度に部品(部材)を搬送することができるロボット1000を提供することができる。
なお、エンドエフェクター1090を「保持部」とし、エンドエフェクター1090に保持される部品等を「部材」として捉えてもよい。また、アーム1020、1030、1040、1050、1060、1070の関節部の一部または全部に圧電駆動装置10を組み込むことができ、この場合、当該関節部により回動可能な2つのアームを、圧電駆動装置10を介して接続すればよく、当該関節部に対してベース1010側となるアームが「押圧機構部」を構成し、エンドエフェクター1090側となるアームまたはエンドエフェクター1090が「保持部」を構成する。また、ロボット1000は、前述した電子部品搬送装置2000の押圧機構部11と同様の押圧機構部を備えていてもよい。
以上、本発明の電子部品搬送装置、検査装置およびロボットを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
1…圧電駆動装置、1X…圧電駆動装置、1Y…圧電駆動装置、1θ…圧電駆動装置、2…第1部材、3…第2部材、4…案内機構、4θ…軸受、5…駆動部、5θ…駆動部、6…検出部、6θ…検出部、7…回路部、7θ…回路部、8…第1部材、9…第2部材、10…圧電駆動装置(変更機構部)、11…押圧機構部、12…第1移動部、13…第2移動部、14…回動部、21…設置面、22…設置面、23…凹部、31…凹部、32…孔、41…スライダー、42…レール、43…ボール、44…内輪、45…外輪、46…ボール、51…被駆動部材、52…圧電アクチュエーター、52X…圧電アクチュエーター(第1圧電アクチュエーター)、52Y…圧電アクチュエーター(第2圧電アクチュエーター)、52θ…圧電アクチュエーター(回動用圧電アクチュエーター)、53…支持部材、54…被駆動部材、55…支持部材、61…光学スケール、62…センサー、63…基板、64…光学スケール、81…設置面、82…設置面、83…凹部、84…孔、85…外周面、91…凹部、92…凹部、93…孔、521…振動部、522…支持部、523…接続部、524…突出部、851…縮径部、852…拡径部、1000…ロボット、1010…ベース(支持体)、1020…アーム、1030…アーム、1040…アーム、1050…アーム、1060…アーム、1070…アーム、1080…制御部、1090…エンドエフェクター(保持部)、1100…押圧機構部、2000…電子部品搬送装置、2100…基台、2110…上流側ステージ、2120…下流側ステージ、2130…検査台、2200…支持台、2210…Yステージ、2220…Xステージ(支持体)、2230…電子部品保持部、2233…保持部、5211…圧電素子、5212…圧電素子、5213…圧電素子、5214…圧電素子、5215…圧電素子、F…力(押圧力)、Q…電子部品(部材)、X1…矢印、Y1…矢印、aZ…軸線、α…矢印、β…矢印、θ1…矢印
Claims (8)
- 押圧力を発生させる押圧機構部と、
前記押圧機構部を支持する支持体と、
部材を保持する保持部と、
前記押圧機構部に支持され、前記支持体に対する前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 前記変更機構部は、
前記支持体に対して第1方向に移動可能な第1移動部と、
前記支持体に対して前記第1方向と交差する第2方向に移動可能な第2移動部と、
前記支持体に対して回動可能な回動部と、を有する請求項1に記載の電子部品搬送装置。 - 前記変更機構部は、
前記支持体に対して前記第1移動部を移動させる第1圧電アクチュエーターと、
前記支持体に対して前記第2移動部を移動させる第2圧電アクチュエーターと、
前記支持体に対して前記回動部を回動させる第3圧電アクチュエーターと、を有する請求項2に記載の電子部品搬送装置。 - 前記第1移動部、前記第2移動部および前記回動部が前記押圧機構部側から前記保持部側に向けて順で並んでいる請求項2または3に記載の電子部品搬送装置。
- 前記変更機構部は、
第1部材と、
前記第1部材に対して相対的に位置または姿勢が変化可能に設けられている第2部材と、
前記第2部材に設けられ、前記第2部材に対して前記第1部材の位置または姿勢を変化させる駆動力を前記第1部材に伝達する圧電アクチュエーターと、を有し、
前記第1部材および前記第2部材が前記押圧力の方向に沿って並んでいる請求項1ないし4のいずれか1項に記載の電子部品搬送装置。 - 前記圧電アクチュエーターは、前記押圧力の方向に沿って前記第1部材に向けて押圧されている請求項5に記載の電子部品搬送装置。
- 押圧力を発生させる押圧機構部と、
前記押圧機構部を支持している支持体と、
部材を保持する保持部と、
前記押圧機構部に支持され、前記支持体および前記押圧機構部に対して前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とする検査装置。 - 押圧力を発生させる押圧機構部と、
前記押圧機構部を支持している支持体と、
部材を保持する保持部と、
前記押圧機構部に支持され、前記支持体および前記押圧機構部に対して前記保持部の位置および姿勢のうちの少なくとも一方を変更可能な変更機構部と、を備えることを特徴とするロボット。
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