JPH0386434A - 精密ステージ装置 - Google Patents
精密ステージ装置Info
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- JPH0386434A JPH0386434A JP1225057A JP22505789A JPH0386434A JP H0386434 A JPH0386434 A JP H0386434A JP 1225057 A JP1225057 A JP 1225057A JP 22505789 A JP22505789 A JP 22505789A JP H0386434 A JPH0386434 A JP H0386434A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
- B23Q1/34—Relative movement obtained by use of deformable elements, e.g. piezoelectric, magnetostrictive, elastic or thermally-dilatable elements
- B23Q1/36—Springs
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、対象物を載置して移動させるステージ装置に
関し、特に圧電素子を用いて対象物を微小量精度高く駆
動する精密ステージ装置に関する。
関し、特に圧電素子を用いて対象物を微小量精度高く駆
動する精密ステージ装置に関する。
次世代超ＬＳＩの露光装置用精密ステージの位置決め精
度は、現在の０．１μｍオーダを大きく越えて０．０５
μｍ以下のレベルになることが要求される。このため、
圧電素子等の精密アクチュエータを用いた精密ステージ
の開発が望まれる。
度は、現在の０．１μｍオーダを大きく越えて０．０５
μｍ以下のレベルになることが要求される。このため、
圧電素子等の精密アクチュエータを用いた精密ステージ
の開発が望まれる。
［従来の技術］
従来のステッパ型露光装置のＸＹステージには、主とし
て、ＤＣモータとボールネジを組み合わせたものが用い
られていた。その位置決め精度は約０．１μｍのオーダ
であった。このＤＣモータとボールネジを組み合わせた
方式により、０．０１μｍあるいはそれ以下の位置決め
精度を確保することは極めて困難であると考えられる。
て、ＤＣモータとボールネジを組み合わせたものが用い
られていた。その位置決め精度は約０．１μｍのオーダ
であった。このＤＣモータとボールネジを組み合わせた
方式により、０．０１μｍあるいはそれ以下の位置決め
精度を確保することは極めて困難であると考えられる。
高精度の位置決めを可能にするアクチュエータとして、
圧電素子を用いたものが提案されている。
圧電素子を用いたものが提案されている。
しかしながら、あるものは自由度が低く、′Ｗｉ造が大
きくなり、またあるものは応答性が低い。
きくなり、またあるものは応答性が低い。
［発明が解決しようとする課題］
以上説明したように、従来のステージ装置はその精度が
不十分であり、さらに、全体の構成が大きなものとなり
がちであった。
不十分であり、さらに、全体の構成が大きなものとなり
がちであった。
本発明の目的は、構造がコンパクトで高精度の位置決め
を行うことができるステージ装置を提供することである
。
を行うことができるステージ装置を提供することである
。
［課題を解決するための手段］
本発明によれば、ＸＹＺ直交座標系を仮定した時、固定
支持系に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸回りの回転（
θＺ）方向に精密に対象物を微小量移動させることので
きる精密ステージ装置であって、固定支持系と、固定支
持系に対してＸＹ力方向間隔をおいて配置された第１Ｘ
ステージと、固定支持系と第１×ステージとをＹ方向に
結合し、Ｘ方向に可撓性を有する複数のＸ弾性ヒンジと
、固定支持系と第１Ｘステージとに結合し、Ｘ方向に伸
縮して第１×ステージをＸ方向に駆動するＸ圧電アクチ
ュエータと、第１ＸステージからＺ方向に移動した位置
で第１Ｘステージに固定支持された第２Ｘステージと、
第２×ステージからＸＹ力方向間隔を置いて配置された
Ｙステージと、第２ＸステージとＹステージとをＸ方向
に結合し、Ｙ方向に可撓性を有する複数のＹ弾性ヒンジ
と、第２ＸステージとＹステージとに結合し、Ｙ方向に
伸縮してＹステージをＹ方向に駆動するＹ圧電アクチュ
エータと、ＸＹ面内の１点を中心とした環状空隙によっ
てＹステージがら半径方向に間隔を置いて配置されたθ
Ｚステージと、ＹステージとθＺステージとを半径方向
に結合し、円周方向に可撓性を有する複数のθＺ弾性ヒ
ンジと、中心に対して点対称な位置でＹステージとθＺ
ステージとに結合し、円周方向に伸縮してθＺステージ
を円周方向に駆動する複数のθＺ圧電アクチュエータと
を有する精密ステージ装置が提供される。
支持系に対してＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸回りの回転（
θＺ）方向に精密に対象物を微小量移動させることので
きる精密ステージ装置であって、固定支持系と、固定支
持系に対してＸＹ力方向間隔をおいて配置された第１Ｘ
ステージと、固定支持系と第１×ステージとをＹ方向に
結合し、Ｘ方向に可撓性を有する複数のＸ弾性ヒンジと
、固定支持系と第１Ｘステージとに結合し、Ｘ方向に伸
縮して第１×ステージをＸ方向に駆動するＸ圧電アクチ
ュエータと、第１ＸステージからＺ方向に移動した位置
で第１Ｘステージに固定支持された第２Ｘステージと、
第２×ステージからＸＹ力方向間隔を置いて配置された
Ｙステージと、第２ＸステージとＹステージとをＸ方向
に結合し、Ｙ方向に可撓性を有する複数のＹ弾性ヒンジ
と、第２ＸステージとＹステージとに結合し、Ｙ方向に
伸縮してＹステージをＹ方向に駆動するＹ圧電アクチュ
エータと、ＸＹ面内の１点を中心とした環状空隙によっ
てＹステージがら半径方向に間隔を置いて配置されたθ
Ｚステージと、ＹステージとθＺステージとを半径方向
に結合し、円周方向に可撓性を有する複数のθＺ弾性ヒ
ンジと、中心に対して点対称な位置でＹステージとθＺ
ステージとに結合し、円周方向に伸縮してθＺステージ
を円周方向に駆動する複数のθＺ圧電アクチュエータと
を有する精密ステージ装置が提供される。
［作用コ
固定支持系と第１×ステージとがＸ方向に可撓性を有す
るＸ弾性ヒンジによってＹ方向に結合されて第１段を構
成し、第１Ｘステージに第２Ｘステージが固定支持され
、第２ＸステージとＹステージとがＹ方向の可撓性を有
するＹ弾性ヒンジによってＸ方向に結合され、さらに、
ＹステージとθＺステージが円周方向に可撓性を有する
θＺ弾性ヒンジによって結合されて第２段目を構成する
ので、コンパクトで高精度なステージ装置が構成される
。
るＸ弾性ヒンジによってＹ方向に結合されて第１段を構
成し、第１Ｘステージに第２Ｘステージが固定支持され
、第２ＸステージとＹステージとがＹ方向の可撓性を有
するＹ弾性ヒンジによってＸ方向に結合され、さらに、
ＹステージとθＺステージが円周方向に可撓性を有する
θＺ弾性ヒンジによって結合されて第２段目を構成する
ので、コンパクトで高精度なステージ装置が構成される
。
各ステージは圧電アクチュエータによって駆動されるの
で、駆動精度は高い。
で、駆動精度は高い。
弾性ヒンジが遊びなく２つの部材を結合するので、圧電
アクチュエータの駆動力を直接対象物にｆ五速すること
かできる。
アクチュエータの駆動力を直接対象物にｆ五速すること
かできる。
また各部材間の支持が弾性ヒンジによって行われるので
、摺動部分がなく発塵源が少い。
、摺動部分がなく発塵源が少い。
［実施例］
第１図（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の１実施例によるＸＹθ
Ｚステージを示す。第１図（Ａ＞が概略構造の組立て図
であり、第１図（Ｂ）が１段目の平面図、第１図（Ｃ）
が２段目の平面図、第１図（Ｄ）が全体の測面図を示す
。
Ｚステージを示す。第１図（Ａ＞が概略構造の組立て図
であり、第１図（Ｂ）が１段目の平面図、第１図（Ｃ）
が２段目の平面図、第１図（Ｄ）が全体の測面図を示す
。
まず、第１図（Ａ）に示すように、固定支持系であるベ
ース１は、はぼ矩形の形状を有し、Ｌ対のＸ辺および１
対のＹ辺を有する。ベース１から外測に一定幅の間隙を
介して、第１Ｘステージ２ａが同一レベル上に配置され
ている。ベース１のＸ辺と第１×ステージ２ａのＸ辺と
の間は２対の板バネからなる弾性ヒンジ７ａによって結
合されている４弾性ヒンジ７ａは、図中、Ｘ面内に配置
された金属板であり、ベース１と第１Ｘステージ２ａと
を複数対の位置でＹ方向に結合する。ベース１の右辺と
第１×ステージ２ａの右辺との間には圧電素子８が配置
され、第１Ｘステージ２ａをＸ方向に駆動する。また、
ベース１の左辺と第１Ｘステージ２ａの左辺との間には
、静電容量センサ９が配置されており、ベース１と第１
Ｘステージ２ａとの間の距離を測定する。すなわち、ベ
ース１の周囲に配置された第１Ｘステージ２ａのｌ対の
Ｘ辺は、ベース１の１対のＸ辺と複数対の弾性ヒンジ７
ａによって結合され、ベースｌの１つのＹ辺と第１Ｘス
テージの１つのＹ辺との間に配置されたＸ圧電アクチュ
エータによってＸ方向に駆動されて、第１×ステージ２
ａはＸ方向の弾性移動を行う。
ース１は、はぼ矩形の形状を有し、Ｌ対のＸ辺および１
対のＹ辺を有する。ベース１から外測に一定幅の間隙を
介して、第１Ｘステージ２ａが同一レベル上に配置され
ている。ベース１のＸ辺と第１×ステージ２ａのＸ辺と
の間は２対の板バネからなる弾性ヒンジ７ａによって結
合されている４弾性ヒンジ７ａは、図中、Ｘ面内に配置
された金属板であり、ベース１と第１Ｘステージ２ａと
を複数対の位置でＹ方向に結合する。ベース１の右辺と
第１×ステージ２ａの右辺との間には圧電素子８が配置
され、第１Ｘステージ２ａをＸ方向に駆動する。また、
ベース１の左辺と第１Ｘステージ２ａの左辺との間には
、静電容量センサ９が配置されており、ベース１と第１
Ｘステージ２ａとの間の距離を測定する。すなわち、ベ
ース１の周囲に配置された第１Ｘステージ２ａのｌ対の
Ｘ辺は、ベース１の１対のＸ辺と複数対の弾性ヒンジ７
ａによって結合され、ベースｌの１つのＹ辺と第１Ｘス
テージの１つのＹ辺との間に配置されたＸ圧電アクチュ
エータによってＸ方向に駆動されて、第１×ステージ２
ａはＸ方向の弾性移動を行う。
第１Ｘステージ２ａの上には第２Ｘステージ２ｂが配置
され、第１Ｘステージ２ａに対して、たとえばステンレ
ス製のボルト等によって固定支持される。第２Ｘステー
ジ２ｂは、たとえば１対のＸ辺と１対のＹ辺とを有する
矩形環状の形状を有し、中央に１対のＸ辺と１対のＹ辺
とを有する矩゛形の開口部を有する。この開口内にＹス
テージ３が配置される。Ｙステージ３と第２Ｘステージ
２ｂとは、７面内に配向された２対の板バネで構成され
る弾性ヒンジ７ｂによって結合される。この弾性ヒンジ
７ｂはＹ方向に可撓性を有するので、Ｙステージ３は第
２Ｘステージ２ｂに対してＹ方向に弾性移動できる。Ｙ
ステージ３の図中上方に示す辺上には、圧電素子ＩＯか
配置され、Ｙステージ３を第２Ｘステージ２ｂに対して
Ｙ方向に駆動する。また、Ｙステージ３の下方の辺には
静電容量センサ１１が配置され、Ｙステージ３と第２Ｘ
ステージ２ｂとの間隔を測定する。Ｙステージ３には中
央に円形の開口部が設けられており、その内に半径方向
の間隙を介してθＺステージ４か配置される。θＺステ
ージは略円形の形状を有し、図示の場合、対称的な４つ
の位置で半径方向に向いた弾性ヒンジ７ＣによってＹス
テージに支持されている。弾性ヒンジ７Ｃは円周方向に
可撓性を有するので、θＺステージ４は円周方向に弾性
移動することができる。θＺステージ４の中心対称な２
つの位置には１対の受は部材が形成されており、Ｙステ
ージ３に固定されたｌ対の圧電素子１２ａ、１２ｂかこ
の受けを駆動する。このようにしてθＺステージは円周
方向に弾性移動を行うことができる。θＺステージ４の
上には対象物支持部材であるウェーハチャック６が配置
される。
され、第１Ｘステージ２ａに対して、たとえばステンレ
ス製のボルト等によって固定支持される。第２Ｘステー
ジ２ｂは、たとえば１対のＸ辺と１対のＹ辺とを有する
矩形環状の形状を有し、中央に１対のＸ辺と１対のＹ辺
とを有する矩゛形の開口部を有する。この開口内にＹス
テージ３が配置される。Ｙステージ３と第２Ｘステージ
２ｂとは、７面内に配向された２対の板バネで構成され
る弾性ヒンジ７ｂによって結合される。この弾性ヒンジ
７ｂはＹ方向に可撓性を有するので、Ｙステージ３は第
２Ｘステージ２ｂに対してＹ方向に弾性移動できる。Ｙ
ステージ３の図中上方に示す辺上には、圧電素子ＩＯか
配置され、Ｙステージ３を第２Ｘステージ２ｂに対して
Ｙ方向に駆動する。また、Ｙステージ３の下方の辺には
静電容量センサ１１が配置され、Ｙステージ３と第２Ｘ
ステージ２ｂとの間隔を測定する。Ｙステージ３には中
央に円形の開口部が設けられており、その内に半径方向
の間隙を介してθＺステージ４か配置される。θＺステ
ージは略円形の形状を有し、図示の場合、対称的な４つ
の位置で半径方向に向いた弾性ヒンジ７ＣによってＹス
テージに支持されている。弾性ヒンジ７Ｃは円周方向に
可撓性を有するので、θＺステージ４は円周方向に弾性
移動することができる。θＺステージ４の中心対称な２
つの位置には１対の受は部材が形成されており、Ｙステ
ージ３に固定されたｌ対の圧電素子１２ａ、１２ｂかこ
の受けを駆動する。このようにしてθＺステージは円周
方向に弾性移動を行うことができる。θＺステージ４の
上には対象物支持部材であるウェーハチャック６が配置
される。
第１図（Ｂ）は同一平面上に配置されたベースと第１Ｘ
ステージを含む第１段目のより詳細な平面図である。ベ
ース１、第１Ｘステージ２ａ、弾性ヒンジ７ａは、たと
えば１枚のアルミニウム板から不要部を炭酸ガスレーザ
切断装置等によって切断除去することによって作成され
る０図中、中央部に示される矩形部分が固定されるベー
ス１である。ベースｌの１対のＸ辺上に板バネ状の弾性
ヒンジ７ａが結合され、弾性ヒンジ７ａの他端は第１Ｘ
ステージ２ａに結合している。弾性ヒンジ７ａはＸ面を
有する板状でＸ方向の力に対しては弾性変形をするが、
その他の方向の力に対しては高い剛性を有する。ベース
１のＹ方向のほぼ中央部分に切り欠きが設けられ、積層
した圧電素子８を含む構造を受入れるように構成されて
いる。ベース１の圧電素子８と対向する辺上には静電容
量センサ９が設けられており、ベース１と第１Ｘステー
ジ２ａとの間の距離をモニタする。積層圧電素子８は予
め予圧がかけられて遊びを除去した状態に保持されてい
る。弾性ヒンジ７ａの力を利用して予圧を印加するよう
にしてもよい、電圧を印加することによって、圧電素子
８がＸ方向の駆動力を発生すると、第１Ｘステージ２ａ
がその力を受け、弾性ヒンジ７ａが変形することによっ
て、第１Ｘステージ２ａはＸ方向に変位する。
ステージを含む第１段目のより詳細な平面図である。ベ
ース１、第１Ｘステージ２ａ、弾性ヒンジ７ａは、たと
えば１枚のアルミニウム板から不要部を炭酸ガスレーザ
切断装置等によって切断除去することによって作成され
る０図中、中央部に示される矩形部分が固定されるベー
ス１である。ベースｌの１対のＸ辺上に板バネ状の弾性
ヒンジ７ａが結合され、弾性ヒンジ７ａの他端は第１Ｘ
ステージ２ａに結合している。弾性ヒンジ７ａはＸ面を
有する板状でＸ方向の力に対しては弾性変形をするが、
その他の方向の力に対しては高い剛性を有する。ベース
１のＹ方向のほぼ中央部分に切り欠きが設けられ、積層
した圧電素子８を含む構造を受入れるように構成されて
いる。ベース１の圧電素子８と対向する辺上には静電容
量センサ９が設けられており、ベース１と第１Ｘステー
ジ２ａとの間の距離をモニタする。積層圧電素子８は予
め予圧がかけられて遊びを除去した状態に保持されてい
る。弾性ヒンジ７ａの力を利用して予圧を印加するよう
にしてもよい、電圧を印加することによって、圧電素子
８がＸ方向の駆動力を発生すると、第１Ｘステージ２ａ
がその力を受け、弾性ヒンジ７ａが変形することによっ
て、第１Ｘステージ２ａはＸ方向に変位する。
なお、ベースｌの重量を低減するために、その中央部を
破線のように切り欠いてもよい。
破線のように切り欠いてもよい。
第１図（Ｃ）は、第１Ｘステージに固定支持される第２
×ステージおよび同一平面上に配置されるＹステージ、
θＺステージ、およびこれらの間の弾性ヒンジを含む第
２段目のより詳細な平面図である。これらの構成要素も
、たとえば、１枚のアルミニウム板の不要部をレーザで
切削除去することで作成することができる４図中、外測
から第２Ｘステージ２ｂ、Ｙ弾性ヒンジ７ｂ、Ｙステー
ジ３、θＺ弾弾性ヒンジ案内θＺステージ４が配置され
ている。第２Ｘステージ２ｂはステンレス製ボルト等に
よって第１Ｘステージ２ａに固定支持される。
×ステージおよび同一平面上に配置されるＹステージ、
θＺステージ、およびこれらの間の弾性ヒンジを含む第
２段目のより詳細な平面図である。これらの構成要素も
、たとえば、１枚のアルミニウム板の不要部をレーザで
切削除去することで作成することができる４図中、外測
から第２Ｘステージ２ｂ、Ｙ弾性ヒンジ７ｂ、Ｙステー
ジ３、θＺ弾弾性ヒンジ案内θＺステージ４が配置され
ている。第２Ｘステージ２ｂはステンレス製ボルト等に
よって第１Ｘステージ２ａに固定支持される。
第１図（Ａ＞においては、第１Ｘステージと第２Ｘステ
ージを引き離して図示したが、組立てた状態では、第１
図（Ｄ）の測面図に示すように、第１Ｘステージ２ａと
第２Ｘステージ２ｂとは近接配置して支持される。Ｙス
テージ３は一定幅の間隙を介して第２Ｘステージ２ｂ内
の矩形開口の内部に配置されている。Ｙステージの１対
の７辺上には、２対の弾性ヒンジ７ｂが配置されている
。
ージを引き離して図示したが、組立てた状態では、第１
図（Ｄ）の測面図に示すように、第１Ｘステージ２ａと
第２Ｘステージ２ｂとは近接配置して支持される。Ｙス
テージ３は一定幅の間隙を介して第２Ｘステージ２ｂ内
の矩形開口の内部に配置されている。Ｙステージの１対
の７辺上には、２対の弾性ヒンジ７ｂが配置されている
。
弾性ヒンジ７ｂは７面を有する板状で、Ｙ方向に弾性変
位するが、他の方向に対しては高い剛性を有する板バネ
で形成されている。Ｙステージ３の上のＸ辺中央部には
、積層圧電素子１０が配置され、Ｙステージに対してＹ
方向の駆動力を作用させる。Ｙステージの下のＸ辺中央
部に対向して静電容量センサ１１か配置され、Ｙステー
ジと第２ＸステージのＹ方向距離をモニタする。Ｙステ
ージ３はその中央部に略円形の開口部を有し、その内部
にθＺステージ４を配置する。θＺステージ４はＹステ
ージ３に対して４つの弾性ヒンジ７ｃによって弾性支持
される。４つの弾性ヒンジ７ｃは円周上９０度の角度で
配置されている。また、中心に対して対称な２つの位置
に１対の圧電素子１２ａ、１２ｂが配置される。
位するが、他の方向に対しては高い剛性を有する板バネ
で形成されている。Ｙステージ３の上のＸ辺中央部には
、積層圧電素子１０が配置され、Ｙステージに対してＹ
方向の駆動力を作用させる。Ｙステージの下のＸ辺中央
部に対向して静電容量センサ１１か配置され、Ｙステー
ジと第２ＸステージのＹ方向距離をモニタする。Ｙステ
ージ３はその中央部に略円形の開口部を有し、その内部
にθＺステージ４を配置する。θＺステージ４はＹステ
ージ３に対して４つの弾性ヒンジ７ｃによって弾性支持
される。４つの弾性ヒンジ７ｃは円周上９０度の角度で
配置されている。また、中心に対して対称な２つの位置
に１対の圧電素子１２ａ、１２ｂが配置される。
円周上の対称的な２つの位置から力を働かせることによ
り並進等の摩擦力を生じさせることなく、効率よく回転
力のみを土じさせている。
り並進等の摩擦力を生じさせることなく、効率よく回転
力のみを土じさせている。
これらの圧電素子１２ａ、１２ｂはそれぞれ予圧を予め
かけられた積層型のものであり、Ｙステージに固定され
、θＺステージに対して円周方向の力を作用させる。ま
た、円周上の１点において、θＺステージとＹステージ
とが対向する部分を設け、静電容量センサ１３が配置さ
れている。■対の圧電素子１２ａ、１２ｂによってθＺ
ステージをθＺ方向に弾性駆動した時、その回転角が静
電容量センサ１３によってモニタされる。
かけられた積層型のものであり、Ｙステージに固定され
、θＺステージに対して円周方向の力を作用させる。ま
た、円周上の１点において、θＺステージとＹステージ
とが対向する部分を設け、静電容量センサ１３が配置さ
れている。■対の圧電素子１２ａ、１２ｂによってθＺ
ステージをθＺ方向に弾性駆動した時、その回転角が静
電容量センサ１３によってモニタされる。
θＺステージ上には、第１図（Ｄ＞に示すように、ウェ
ーハチャック６が載置され、このウェハチャック上にウ
ェーハ等が装着される。従って、ウェーハはＸ、Ｙ、θ
Ｚ方向の移動が可能となる。
ーハチャック６が載置され、このウェハチャック上にウ
ェーハ等が装着される。従って、ウェーハはＸ、Ｙ、θ
Ｚ方向の移動が可能となる。
圧電素子は予圧を与えた状態で伸縮させて１重用するの
が通常であるが、本実施例のステージ装置のように弾性
ヒンジ案内と合わせて用いる場合、弾性ヒンジのバネ力
で常に圧電素子に予圧を与えて使用することもできる。
が通常であるが、本実施例のステージ装置のように弾性
ヒンジ案内と合わせて用いる場合、弾性ヒンジのバネ力
で常に圧電素子に予圧を与えて使用することもできる。
予圧機構を別に構成しなくでも圧電素子に予圧を与える
ことができ、構成をよりコンパクトにすることも可能で
ある。
ことができ、構成をよりコンパクトにすることも可能で
ある。
Ｘ方向の圧電素子８、Ｙ方向の圧電素子１０、θＺ力方
向圧電素子１２ａ、１２ｂをそれぞれ所望量電気信号に
よって駆動することにより、ウェーハチャック上の対象
物をＸ、Ｙ、θＺの３自由度に関して任意に駆動するこ
とができる。
向圧電素子１２ａ、１２ｂをそれぞれ所望量電気信号に
よって駆動することにより、ウェーハチャック上の対象
物をＸ、Ｙ、θＺの３自由度に関して任意に駆動するこ
とができる。
以上、Ｘ、Ｙ、θＺの３自由度で位置決めを行うＸＹθ
Ｚステージ装置を説明したが、さらに、Ｚ方向の運動等
も必要な場合がある。
Ｚステージ装置を説明したが、さらに、Ｚ方向の運動等
も必要な場合がある。
第２図（Ａ） 〜（Ｃ）６：Ｘ、Ｙ、Ｚ、θｘ、θＹ、
θＺの６自由度の移動を行うステージ装置を示す、第２
図（Ａ＞は概略構造の組み立て図を示し、第２図（Ｂ）
は２段目の平面図、第２図（Ｃ）は側面図を示す。
θＺの６自由度の移動を行うステージ装置を示す、第２
図（Ａ＞は概略構造の組み立て図を示し、第２図（Ｂ）
は２段目の平面図、第２図（Ｃ）は側面図を示す。
第２図（Ａ）において、最下段に示す１段目にはベース
１、第１Ｘステージ２ａが配置され、その上の第２段面
に第２Ｘステージ２ｂ、Ｙステージ３、θＺステージ４
が配置されることは、第１図（Ａ）〜（Ｄ）に示した実
施例と同様である。
１、第１Ｘステージ２ａが配置され、その上の第２段面
に第２Ｘステージ２ｂ、Ｙステージ３、θＺステージ４
が配置されることは、第１図（Ａ）〜（Ｄ）に示した実
施例と同様である。
本実施例の場合は、θＺステージに直接ウェーハチャッ
ク６が装着されるのではなく、θＺステージ上にさらに
圧電アクチュエータを介してメインステージ５が配置さ
れる。メインステージ５はθＺステージに対してＺ方向
、θＸ回転、θＹ回転の３自由度の運動を行う。
ク６が装着されるのではなく、θＺステージ上にさらに
圧電アクチュエータを介してメインステージ５が配置さ
れる。メインステージ５はθＺステージに対してＺ方向
、θＸ回転、θＹ回転の３自由度の運動を行う。
メインステージ５の１つのＸ方向辺と１つのＹ方向辺上
には、Ｌ型ミラー１４が装着され、メインステージのＸ
方向位置、Ｙ方向位置をレーザ測距計によってモニタす
る。
には、Ｌ型ミラー１４が装着され、メインステージのＸ
方向位置、Ｙ方向位置をレーザ測距計によってモニタす
る。
第２図（Ｂ＞に２段目の構成を示す、なお、第１段目の
構成は第１図（Ｂ）と同様である。第２図（Ｂ）におい
て、θＺステージ４の３ケ所、たとえば中央部の３回対
称（正３角形の頂点）の位置にＺ方向の圧電アクチュエ
ータ１５ａ、１５ｂ、１５ｃが配置される。これらの圧
電アクチュエータはＺ方向の駆動力を発生する。
構成は第１図（Ｂ）と同様である。第２図（Ｂ）におい
て、θＺステージ４の３ケ所、たとえば中央部の３回対
称（正３角形の頂点）の位置にＺ方向の圧電アクチュエ
ータ１５ａ、１５ｂ、１５ｃが配置される。これらの圧
電アクチュエータはＺ方向の駆動力を発生する。
圧電アクチュエータの構造例を第３図に概略的に示す。
第３図において、ベース構造体２１は図中Ｙ方向の１対
の固定腕部２１ａと１対の柱部Ｎ２ ｌ ｂ、梁部材２
１ｃより構成される。このベース構造体内にＺ方向に案
内する２対の弾性部材２４ａが接続されている。すなわ
ち、固定腕部２１ａ、柱部材２１ｂ、梁部材２１ｃによ
って１つの剛体としての略Ｕ字形構造が構成される。ベ
ース上にこのＵ字形＃Ｉ造のいずれかの部分を固定する
。第２図（Ｃ）は、θＺステージ４に固定腕部２１ａが
固定される構造を示している。第３図に戻って、積層圧
電素子２２はこのＵ字形状のベース構造体の１対の柱部
材２１ｂの中間に配置される。圧電素子２２を中心とし
て見た時、１対の柱部材２１ｂが対称的に配置されるの
が好ましい。この積層圧電素子には、歪みゲージ２３が
取り付けられており、積層圧電素子２２の変位をモニタ
する。圧電素子２２と１対の柱部材２１ｂとの間は対称
の位置に配置された２対の板バネ部材２４ａによって結
合されている０図示の構成においては、圧電素子２２の
上端が２対の板バネ部材２４ａによって柱部材２１ｂの
上端に結合され、圧電素子２２の下端が１対の板バネ部
材２４ｃによって柱部材２１ｂの下方に結合されている
。積層圧電素子２２の下端は、また梁部材２１ｃとの間
に間隙を有し、そこにウェッジ部材２６が挿入、結合さ
れている。
の固定腕部２１ａと１対の柱部Ｎ２ ｌ ｂ、梁部材２
１ｃより構成される。このベース構造体内にＺ方向に案
内する２対の弾性部材２４ａが接続されている。すなわ
ち、固定腕部２１ａ、柱部材２１ｂ、梁部材２１ｃによ
って１つの剛体としての略Ｕ字形構造が構成される。ベ
ース上にこのＵ字形＃Ｉ造のいずれかの部分を固定する
。第２図（Ｃ）は、θＺステージ４に固定腕部２１ａが
固定される構造を示している。第３図に戻って、積層圧
電素子２２はこのＵ字形状のベース構造体の１対の柱部
材２１ｂの中間に配置される。圧電素子２２を中心とし
て見た時、１対の柱部材２１ｂが対称的に配置されるの
が好ましい。この積層圧電素子には、歪みゲージ２３が
取り付けられており、積層圧電素子２２の変位をモニタ
する。圧電素子２２と１対の柱部材２１ｂとの間は対称
の位置に配置された２対の板バネ部材２４ａによって結
合されている０図示の構成においては、圧電素子２２の
上端が２対の板バネ部材２４ａによって柱部材２１ｂの
上端に結合され、圧電素子２２の下端が１対の板バネ部
材２４ｃによって柱部材２１ｂの下方に結合されている
。積層圧電素子２２の下端は、また梁部材２１ｃとの間
に間隙を有し、そこにウェッジ部材２６が挿入、結合さ
れている。
すなわち、ウェッジ部材２６を図中左開に駆動すると、
ウェッジ部材の厚い部分が積層圧電素子２２と梁部材２
１ｃとの間に挿入され、積層圧電素子２２により大きな
予圧を与える。逆に、ウェッジ部材２６を図中右方向に
駆動すると、圧電素子の下端と梁部材２１ｃとの間の余
裕が大となり、積層圧電素子２２に与える予圧は減少す
る。このウェッジ部材２６は、たとえばネジ部材２８を
回転させることによって駆動することができる。すなわ
ち、ネジ部材２８を回転することによって、積層圧電素
子２２に与える予圧を調整することができる４以上の構
成において、Ｕ字型の剛性部の中に積層圧電素子か予圧
を付与されて配置され、電圧駆動されることによりその
上端が変位する。
ウェッジ部材の厚い部分が積層圧電素子２２と梁部材２
１ｃとの間に挿入され、積層圧電素子２２により大きな
予圧を与える。逆に、ウェッジ部材２６を図中右方向に
駆動すると、圧電素子の下端と梁部材２１ｃとの間の余
裕が大となり、積層圧電素子２２に与える予圧は減少す
る。このウェッジ部材２６は、たとえばネジ部材２８を
回転させることによって駆動することができる。すなわ
ち、ネジ部材２８を回転することによって、積層圧電素
子２２に与える予圧を調整することができる４以上の構
成において、Ｕ字型の剛性部の中に積層圧電素子か予圧
を付与されて配置され、電圧駆動されることによりその
上端が変位する。
積層圧電素子２２の上端には、第２弾性ヒンジ部２５が
結合されている０図示の構成においては、積層圧電素子
２２の上端が板バネ部材２４ａを固定する中間保持部２
９と結合され、この中間保持部２９に第２弾性ヒンジ部
２５の下面が連結されている。第２弾性ヒンジ部２５の
上面はメインステージ等の被駆動体２７にたとえばアル
ミナ入り接着剤で固着される。アルミナは接着剤に剛性
を付与する機能を果たす。
結合されている０図示の構成においては、積層圧電素子
２２の上端が板バネ部材２４ａを固定する中間保持部２
９と結合され、この中間保持部２９に第２弾性ヒンジ部
２５の下面が連結されている。第２弾性ヒンジ部２５の
上面はメインステージ等の被駆動体２７にたとえばアル
ミナ入り接着剤で固着される。アルミナは接着剤に剛性
を付与する機能を果たす。
第２弾性ヒンジ部は積層圧電素子の移動方向（図中、Ｚ
方向）に沿って高い剛性を有し、このＺ方向と直交する
ＸＹ平面内の力に対しては弱い弾性を示すものである０
図示の構成においては、断面形状か円柱の外周を円弧状
にけずり取られた球面ヒンジによってｍ或されている。
方向）に沿って高い剛性を有し、このＺ方向と直交する
ＸＹ平面内の力に対しては弱い弾性を示すものである０
図示の構成においては、断面形状か円柱の外周を円弧状
にけずり取られた球面ヒンジによってｍ或されている。
すなわち、球面ヒンジ部材２５はその中央に向かうに従
って小さな径を有する。積層圧電素子２２が伸びると、
この第２弾性ヒンジ部２５がＺ方向に駆動され、第２弾
性ヒンジ部２５の上端に固定された被駆動体２７をＺ方
向に駆動する。被駆動体２７に働く力にアンバランスが
あって、その面が傾く場合には被駆動体２７から第２弾
性ヒンジ部２５にＸＹ平面内方向の力が作用するが、第
２弾性ヒンジ部２５はＸＹ面内方向には弱い弾性を有す
るので、容易にＸＹ面内方向の力に従って弾性変形する
。従って、被駆動体２７自体に過大な歪み応力を発生さ
せることがない。
って小さな径を有する。積層圧電素子２２が伸びると、
この第２弾性ヒンジ部２５がＺ方向に駆動され、第２弾
性ヒンジ部２５の上端に固定された被駆動体２７をＺ方
向に駆動する。被駆動体２７に働く力にアンバランスが
あって、その面が傾く場合には被駆動体２７から第２弾
性ヒンジ部２５にＸＹ平面内方向の力が作用するが、第
２弾性ヒンジ部２５はＸＹ面内方向には弱い弾性を有す
るので、容易にＸＹ面内方向の力に従って弾性変形する
。従って、被駆動体２７自体に過大な歪み応力を発生さ
せることがない。
圧電素子は一般にヒステリシスを有する。圧電素子２２
には歪みゲージ２３が貼り付けられ、圧電素子２２の変
位をフィードバックする。積分補償によるフィードバッ
ク系を形成して、開ループを構−成する。この構成の具
体的１例においては、開ループで約１５％あったヒステ
リシスが、閉ループによるフィードバックによって約０
．１％程度となった。
には歪みゲージ２３が貼り付けられ、圧電素子２２の変
位をフィードバックする。積分補償によるフィードバッ
ク系を形成して、開ループを構−成する。この構成の具
体的１例においては、開ループで約１５％あったヒステ
リシスが、閉ループによるフィードバックによって約０
．１％程度となった。
第３図に示した、圧電アクチュエータによれば、圧電素
子には所望の予圧が印加され、電気信号に従って所望の
圧電変位を発生する。積層圧電素子２２の変位はＺ方向
の変位のみを許容する第１弾性ヒンジ部２４ａによって
案内されてＺ方向の変位として第２弾性ヒンジ部２５に
伝えられる。第２弾性ヒンジ部はＺ方向に対しては高い
剛性を有するので、積層圧電素子２２から伝えられたＺ
方向変位を被駆動体２７に伝達する。逆に、被駆動体２
７から伝わるＺ方向以外の変位に対しては、第２弾性ヒ
ンジ部２５が変位を生ずることによってその力を吸収す
る。
子には所望の予圧が印加され、電気信号に従って所望の
圧電変位を発生する。積層圧電素子２２の変位はＺ方向
の変位のみを許容する第１弾性ヒンジ部２４ａによって
案内されてＺ方向の変位として第２弾性ヒンジ部２５に
伝えられる。第２弾性ヒンジ部はＺ方向に対しては高い
剛性を有するので、積層圧電素子２２から伝えられたＺ
方向変位を被駆動体２７に伝達する。逆に、被駆動体２
７から伝わるＺ方向以外の変位に対しては、第２弾性ヒ
ンジ部２５が変位を生ずることによってその力を吸収す
る。
第４図は、第３図に示した圧電アクチュエータを３個使
用してθＺステージ上にメインステージを保持する！！
４戊をより詳細に示す斜視図である。
用してθＺステージ上にメインステージを保持する！！
４戊をより詳細に示す斜視図である。
図中、メインステージ５はその上に半導体ウェハを載置
するウェーハチャック６を有し、端部にＸ、Ｙ２方向の
位置モニタ用り型ミラー１４を有する。Ｌ型ミラー１４
には図示しないレーザよりのレーザ光が入射され、干渉
によってＸＹ面内の位置をモニタする。メインステージ
５は結合部ｎ２８ａ、２８ｂ、２８ｃによって第３図に
示した構成を持つ３個の圧電アクチュエータ３０ａ、３
０ｂ、３０ｃの球面ヒンジ２５ａ、２５ｂ ２５ｃに
固定されている。圧電アクチュエータのベース楕遺体は
θＺステージ４に固定されている。
するウェーハチャック６を有し、端部にＸ、Ｙ２方向の
位置モニタ用り型ミラー１４を有する。Ｌ型ミラー１４
には図示しないレーザよりのレーザ光が入射され、干渉
によってＸＹ面内の位置をモニタする。メインステージ
５は結合部ｎ２８ａ、２８ｂ、２８ｃによって第３図に
示した構成を持つ３個の圧電アクチュエータ３０ａ、３
０ｂ、３０ｃの球面ヒンジ２５ａ、２５ｂ ２５ｃに
固定されている。圧電アクチュエータのベース楕遺体は
θＺステージ４に固定されている。
圧電アクチュエータ３０ａ、３０ｂ、３０ｃはそれぞれ
積層圧電素子２２ａ、２２ｂ、２２ｃによって駆動され
て、Ｚ方向の駆動力を発揮する。このＺ方向の駆動力は
球面ヒンジ部材で示される第２弾性ヒンジ部２５ａ、２
５ｂ、２５ｃを介して結合部材２８ａ、２８ｂ、２８ｃ
に伝えられ、メインステージ５を駆動する。結合部材２
８ａ、２８ｂ、２８ｃは、たとえば、アルミナ粉末を充
填した接着剤である。もちろんネジ等の機械的結合部材
を用いることもできる。
積層圧電素子２２ａ、２２ｂ、２２ｃによって駆動され
て、Ｚ方向の駆動力を発揮する。このＺ方向の駆動力は
球面ヒンジ部材で示される第２弾性ヒンジ部２５ａ、２
５ｂ、２５ｃを介して結合部材２８ａ、２８ｂ、２８ｃ
に伝えられ、メインステージ５を駆動する。結合部材２
８ａ、２８ｂ、２８ｃは、たとえば、アルミナ粉末を充
填した接着剤である。もちろんネジ等の機械的結合部材
を用いることもできる。
３つの積層圧電部材２２ａ、２２ｂ、２２ｃを同一量駆
動した場合には、メインステージ５はＺ方向に並進運動
をする。３つの積層圧電素子２２ａ、２２ｂ、２２ｃの
駆動量を変えると、Ｚ方向の並進、Ｘ軸回りの回転θＸ
、ｙ軸回りの回転θＹの組み合わせを起すことができる
。
動した場合には、メインステージ５はＺ方向に並進運動
をする。３つの積層圧電素子２２ａ、２２ｂ、２２ｃの
駆動量を変えると、Ｚ方向の並進、Ｘ軸回りの回転θＸ
、ｙ軸回りの回転θＹの組み合わせを起すことができる
。
３つの圧電アクチュエータ３０ａ、３０ｂ、３０ｃの作
用点は、好ましくは正三角形の頂点に選ぶ０作用点が正
三角形になるように選ぶことにより、３つの圧電アクチ
ュエータはそれぞれが均等のものとなる。
用点は、好ましくは正三角形の頂点に選ぶ０作用点が正
三角形になるように選ぶことにより、３つの圧電アクチ
ュエータはそれぞれが均等のものとなる。
３つの圧電アクチ、ｘｘ−夕２２ａ、２２ｂ、２２ｃの
駆動量が異なる場合には、厳密にはメインステージ５の
面の傾きが変化し、その傾きに応じた力が各圧電アクチ
ュエータにかかる。ここで、第２弾性ヒンジ部２５ａ、
２５ｂ、２５ｃかそれぞれ２方向に垂直なＸＹ平面内に
おいては、弾性を有するので、このような力は第２弾性
ヒンジ部２５が変形することによって吸収される。
駆動量が異なる場合には、厳密にはメインステージ５の
面の傾きが変化し、その傾きに応じた力が各圧電アクチ
ュエータにかかる。ここで、第２弾性ヒンジ部２５ａ、
２５ｂ、２５ｃかそれぞれ２方向に垂直なＸＹ平面内に
おいては、弾性を有するので、このような力は第２弾性
ヒンジ部２５が変形することによって吸収される。
このように、３つ以上の圧電アクチュエータによってメ
インステージ装置を支持することにより、Ｚ方向、θＸ
回転、θＹ回転の３自由度における駆動が高精度に行え
る。
インステージ装置を支持することにより、Ｚ方向、θＸ
回転、θＹ回転の３自由度における駆動が高精度に行え
る。
第２図（Ａ）に示すステージ装置は、この様に下の２段
構成で３自由度を提供し、３段目のメインステージ段で
３自由度を提供し、全体として６自由度を提供する。
構成で３自由度を提供し、３段目のメインステージ段で
３自由度を提供し、全体として６自由度を提供する。
［発明の効果コ
以上説明したように、本発明によれば、同一平面上に２
つ以上の部材を配置し、互いに弾性ヒンジによって結合
し、２段構成とすることによってコンパクトな構成で、
精密な駆動を行うことができる３自由度のステージ装置
が提供される。
つ以上の部材を配置し、互いに弾性ヒンジによって結合
し、２段構成とすることによってコンパクトな構成で、
精密な駆動を行うことができる３自由度のステージ装置
が提供される。
また、軸方向に高い剛性を有し、それと直交する方向に
弾性変形をすることができる弾性ヒンジを備えた３つ以
上の圧電アクチュエータによってメインステージをθＺ
ステージ上に支持することによって、メインステージを
さらに２、θＸ、θＹの３自由度に駆動することができ
る。すなわち、全体で６自由度のステージ装置が提供さ
れる。
弾性変形をすることができる弾性ヒンジを備えた３つ以
上の圧電アクチュエータによってメインステージをθＺ
ステージ上に支持することによって、メインステージを
さらに２、θＸ、θＹの３自由度に駆動することができ
る。すなわち、全体で６自由度のステージ装置が提供さ
れる。
第１図（Ａ）〜（Ｄ）は本発明の１実施例によるＸＹθ
Ｚステージ装置を示し、第１図（Ａ）は概略構造の組み
立て図、第１図（Ｂ）は１段目の平面図、第１図（Ｃ）
は２段目の平面図、第１図（Ｄンは全体の側面図、 第２図＜Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の他の実施例によるＸ
ＹＺθＸｆ９Ｙθｚ６自由度ステージ装置を示し、第２
図（Ａ）は概略構造の組み立て図、第２図（Ｂ）は２段
目の平面図、第２図（Ｃ）は断面図、 第３図は圧電アクチュエータの概略斜視図、第４図は第
３図の圧電アクチュエータによってメインステージを２
ステージ上に支持した構造の概略斜視図である。 図において、 ２ａ、２ｂ ７ａ〜７ｄ ０ １ ２ ベース Ｘステージ Ｙステージ θＺステージ メインステージ ウェーハチャック 弾性ヒンジ 圧電素子 静電容量センサ 圧電素子 ｌ！％電容量センサ 圧電素子 ３ ４ １５ａ〜１ ６ １ ２ ３ ２４、 ２５ ６ ７ ８ ０ 静電容量センサ Ｌ型ミラー ＳｃＺ軸圧電ユニット 圧電素子 ベース構造体 積層圧電素子 歪みゲージ 弾性ヒンジ ウェッジ部材 被駆動体 ネジ部材 圧電アクチュエータ
Ｚステージ装置を示し、第１図（Ａ）は概略構造の組み
立て図、第１図（Ｂ）は１段目の平面図、第１図（Ｃ）
は２段目の平面図、第１図（Ｄンは全体の側面図、 第２図＜Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の他の実施例によるＸ
ＹＺθＸｆ９Ｙθｚ６自由度ステージ装置を示し、第２
図（Ａ）は概略構造の組み立て図、第２図（Ｂ）は２段
目の平面図、第２図（Ｃ）は断面図、 第３図は圧電アクチュエータの概略斜視図、第４図は第
３図の圧電アクチュエータによってメインステージを２
ステージ上に支持した構造の概略斜視図である。 図において、 ２ａ、２ｂ ７ａ〜７ｄ ０ １ ２ ベース Ｘステージ Ｙステージ θＺステージ メインステージ ウェーハチャック 弾性ヒンジ 圧電素子 静電容量センサ 圧電素子 ｌ！％電容量センサ 圧電素子 ３ ４ １５ａ〜１ ６ １ ２ ３ ２４、 ２５ ６ ７ ８ ０ 静電容量センサ Ｌ型ミラー ＳｃＺ軸圧電ユニット 圧電素子 ベース構造体 積層圧電素子 歪みゲージ 弾性ヒンジ ウェッジ部材 被駆動体 ネジ部材 圧電アクチュエータ
Claims (3)
- （１）、ＸＹＺ直交座標系を仮定した時、固定支持系に
対してＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸回りの回転（θＺ）方
向に精密に対象物を微小量移動させることのできる精密
ステージ装置であって、固定支持系と、 固定支持系に対してＸＹ方向に間隔をおいて配置された
第１Ｘステージと、 固定支持系と第１ＸステージとをＹ方向に結合し、Ｘ方
向に可撓性を有する複数のＸ弾性ヒンジと、 固定支持系と第１Ｘステージとに結合し、Ｘ方向に伸縮
して第１ＸステージをＸ方向に駆動するＸ圧電アクチュ
エータと、 第１ＸステージからＺ方向に移動した位置で第１Ｘステ
ージに固定支持された第２Ｘステージと、 第２ＸステージからＸＹ方向に間隔を置いて配置された
Ｙステージと、 第２ＸステージとＹステージとをＸ方向に結合し、Ｙ方
向に可撓性を有する複数のＹ弾性ヒンジと、 第２ＸステージとＹステージとに結合し、Ｙ方向に伸縮
してＹステージをＹ方向に駆動するＹ圧電アクチュエー
タと、 ＸＹ面内の１点を中心とした環状空隙によってＹステー
ジから半径方向に間隔を置いて配置されたθＺステージ
と、 ＹステージとθＺステージとを半径方向に結合し、円周
方向に可撓性を有する複数のθＺ弾性ヒンジと、 中心に対して点対称な位置で、ＹステージとθＺステー
ジとに結合し、円周方向に伸縮してθＺステージを円周
方向に駆動する複数のθＺ圧電アクチュエータと を有する精密ステージ装置。 - （２）、さらに、θＺステージからＺ方向に間隔を置い
て配置されたＺステージと、 θＺステージに保持され、Ｚ方向に伸縮して、θＺステ
ージをＺ方向に駆動するための３つ以上のＺ圧電アクチ
ュエータと、 Ｚ圧電アクチュエータとθＺステージを結合する、Ｚ方
向に剛性が高く、ＸＹ面内方向に弾性を有するＸＹ弾性
ヒンジと を有する請求項１記載の精密ステージ装置。 - （３）、前記固定支持系の１部と第１ＸステージとＸ弾
性ヒンジおよび第２ＸステージとθＺステージとＹ弾性
ヒンジがそれぞれ１体の金属板から不要部を切り抜くこ
とによって形成された請求項１ないし２記載の精密ステ
ージ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1225057A JP2780817B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 精密ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1225057A JP2780817B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 精密ステージ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0386434A true JPH0386434A (ja) | 1991-04-11 |
| JP2780817B2 JP2780817B2 (ja) | 1998-07-30 |
Family
ID=16823366
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1225057A Expired - Lifetime JP2780817B2 (ja) | 1989-08-31 | 1989-08-31 | 精密ステージ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2780817B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1048924A2 (en) * | 1999-04-28 | 2000-11-02 | Juri F. Jourtchenko | High-precision work table for a projector |
| JP2006339263A (ja) * | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | Ｚ軸調整機構及び微動ステージ装置 |
| JP2007095943A (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
| CN108418464A (zh) * | 2018-05-14 | 2018-08-17 | 西安科技大学 | 一种精密缩小柔性微动系统 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7170474B2 (ja) | 2018-09-13 | 2022-11-14 | キヤノン株式会社 | 支持装置 |
| KR102327036B1 (ko) * | 2019-08-20 | 2021-11-16 | 이노6 주식회사 | Zt 스테이지 |
| KR102314737B1 (ko) * | 2019-08-20 | 2021-10-19 | 이노6 주식회사 | Zt 스테이지 |
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