JP7170474B2 - 支持装置 - Google Patents
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 107
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 17
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 17
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 17
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 241000510678 Falcaria vulgaris Species 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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Description
Claims (9)
- 物体を支持する支持装置であって、
前記物体の互いに異なる箇所をそれぞれ支持する3つの支持機構を備え、
前記3つの支持機構の各々は、調整機構と、前記調整機構によって支持される応力吸収機構と、を含み、
前記調整機構は、固定部材と、前記固定部材によって支持された可動部材と、前記可動部材が第1方向にのみ自由度を有するように前記固定部材と前記可動部材とを結合する第1弾性部材と、を含み、
前記応力吸収機構は、前記物体を支持する支持部材と、前記第1方向に平行な第1軸の周りの回転、前記第1方向に直交する第2方向、前記第2方向に平行な第2軸の周りの回転、前記第1方向および前記第2方向に直交する第3方向に平行な第3軸の周りの回転に関して自由度を有し、前記第1方向および前記第3方向に関しては自由度を有しないように前記可動部材と前記支持部材とを結合する結合部材と、を含み、
前記可動部材は、前記第1方向に自由度を有する一方で、少なくとも前記第3方向に自由度を有しないように前記固定部材によって支持され、
前記3つの支持機構は、前記3つの支持機構がそれぞれ配置された位置を頂点とする三角形の外接円の内側にそれぞれの前記第2方向が向くように配置されている、
ことを特徴とする支持装置。 - 前記第1弾性部材は、平行リンク構造を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の支持装置。 - 物体を支持する支持装置であって、
前記物体の互いに異なる箇所をそれぞれ支持する3つの支持機構を備え、
前記3つの支持機構の各々は、調整機構と、前記調整機構によって支持される応力吸収機構と、を含み、
前記調整機構は、固定部材と、前記固定部材によって支持された可動部材とを含み、
前記応力吸収機構は、前記物体を支持する支持部材と、第1方向に平行な第1軸の周りの回転、前記第1方向に直交する第2方向、前記第2方向に平行な第2軸の周りの回転、前記第1方向および前記第2方向に直交する第3方向に平行な第3軸の周りの回転に関して自由度を有し、前記第1方向および前記第3方向に関しては自由度を有しないように前記可動部材と前記支持部材とを結合する結合部材と、を含み、
前記可動部材は、前記第1方向に自由度を有する一方で、少なくとも前記第3方向に自由度を有しないように前記固定部材によって支持され、
前記3つの支持機構は、前記3つの支持機構がそれぞれ配置された位置を頂点とする三角形の外接円の内側にそれぞれの前記第2方向が向くように配置され、
前記調整機構は、前記可動部材が前記第1方向、および、前記第3軸の周りの回転のみに自由度を有するように前記固定部材と前記可動部材とを結合する第1弾性部材を更に含み、前記第1弾性部材は、前記可動部材が前記第3軸の周りで回転できるように前記固定部材と前記可動部材とを結合する板バネである、
ことを特徴とする支持装置。 - 前記結合部材は、前記支持部材に対して前記第2軸の周りの回転の自由度を与えるように前記可動部材と前記支持部材とを結合する第2弾性部材と、前記支持部材に対して前記第3軸の周りの回転の自由度を与えるように前記可動部材と前記支持部材とを結合する第3弾性部材と、前記支持部材に対して前記第2方向の自由度を与えるように前記可動部材と前記支持部材とを結合する第4弾性部材とを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の支持装置。 - 前記第2弾性部材および前記第3弾性部材の少なくとも一方が、前記支持部材に対して前記第1軸の周りの回転の自由度を与えるように前記可動部材と前記支持部材とを結合する、
ことを特徴とする請求項4に記載の支持装置。 - 前記第4弾性部材は、前記支持部材に対して前記第2方向のみの自由度を与えるように前記可動部材と前記支持部材とを結合する平行リンク構造を有する、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の支持装置。 - 前記第4弾性部材は、前記支持部材に対して前記第2方向、および、前記第3方向に平行な前記第3軸の周りの回転のみの自由度を与えるように前記可動部材と前記支持部材とを結合する板バネである、
ことを特徴とする請求項4又は5に記載の支持装置。 - 前記3つの支持機構の少なくとも1つの支持機構の前記第2方向が前記三角形の中央部を向き、かつ、前記3つの支持機構の少なくとも1つの支持機構の前記第2方向が他の支持機構の前記第2方向と平行ではない、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の支持装置。 - 前記3つの支持機構は、前記三角形の中心にそれぞれの前記第2方向が向くように配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の支持装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018171680A JP7170474B2 (ja) | 2018-09-13 | 2018-09-13 | 支持装置 |
KR1020190111990A KR102499992B1 (ko) | 2018-09-13 | 2019-09-10 | 지지 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018171680A JP7170474B2 (ja) | 2018-09-13 | 2018-09-13 | 支持装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020041669A JP2020041669A (ja) | 2020-03-19 |
JP7170474B2 true JP7170474B2 (ja) | 2022-11-14 |
Family
ID=69797947
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018171680A Active JP7170474B2 (ja) | 2018-09-13 | 2018-09-13 | 支持装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7170474B2 (ja) |
KR (1) | KR102499992B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021145435A (ja) | 2020-03-11 | 2021-09-24 | 日本電産モビリティ株式会社 | スイッチング電源装置 |
KR102512821B1 (ko) * | 2021-05-31 | 2023-03-22 | 공주대학교 산학협력단 | 면외 3자유도 정밀 모션 구현을 위한 유연 기구 |
KR102688248B1 (ko) * | 2022-11-29 | 2024-07-25 | 이노로보틱스 주식회사 | Zt 스테이지 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2780817B2 (ja) | 1989-08-31 | 1998-07-30 | 住友重機械工業株式会社 | 精密ステージ装置 |
JP2001511870A (ja) | 1996-12-27 | 2001-08-14 | トムソン−セーエスエフ | 物体に少なくとも3つの自由度の動きを与える駆動方法 |
US20170336017A1 (en) | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Aerotech, Inc. | Open Frame, Parallel, Two Axis Flexure Stage with Yaw Compensation |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05164860A (ja) * | 1991-12-11 | 1993-06-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Z−ティルトステージ装置 |
JPH07128467A (ja) * | 1993-11-02 | 1995-05-19 | Canon Inc | 微動駆動担体 |
JPH095464A (ja) * | 1995-06-19 | 1997-01-10 | Nikon Corp | 支持機構 |
-
2018
- 2018-09-13 JP JP2018171680A patent/JP7170474B2/ja active Active
-
2019
- 2019-09-10 KR KR1020190111990A patent/KR102499992B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2780817B2 (ja) | 1989-08-31 | 1998-07-30 | 住友重機械工業株式会社 | 精密ステージ装置 |
JP2001511870A (ja) | 1996-12-27 | 2001-08-14 | トムソン−セーエスエフ | 物体に少なくとも3つの自由度の動きを与える駆動方法 |
US20170336017A1 (en) | 2016-05-18 | 2017-11-23 | Aerotech, Inc. | Open Frame, Parallel, Two Axis Flexure Stage with Yaw Compensation |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20200031051A (ko) | 2020-03-23 |
KR102499992B1 (ko) | 2023-02-16 |
JP2020041669A (ja) | 2020-03-19 |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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