JP4384664B2 - 試料検査および処理用の高精度動的位置合わせ機構 - Google Patents
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Description
Claims (32)
- 高精度の動的試料位置合わせ機構であって、
第1の平面に延在する複数の軸に沿った方向に動く可動ステージと、
試料取り付けチャックを支持するために、該試料取り付けチャックと連結した板と、
前記板を前記可動ステージに結合する複数の直線変位機構であって、前記複数の直線変位機構の各々は、前記可動ステージと前記板との間の空間にある前記第1の平面と平行の平面において異なる位置に相互に離間して配置され、前記異なる位置において前記可動ステージと前記板との間の前記第1の平面に対して垂直方向の距離を変化させるように制御可能である、複数の直線変位機構と、
前記可動ステージに固定され、前記可動ステージに対して3つの運動軸で運動の自由が拘束された固定部分と、前記板に固定され、前記3つの運動軸とは異なる三つの応従運動軸に従って動く可動部分とを有し、前記直線変位機構の直線変位に対応して、前記試料取り付けチャックの直線および回転運動を前記3つの応従運動軸で可能にする円形の可撓性部材と、を含み、
前記可撓性部材の前記固定部分と、前記可撓性部材の前記可動部分とは、前記可撓性部材の中心から前記可撓性部材の周縁部の近くまで延在するスリットによって部分的に分断されている、試料位置合わせ機構。 - 前記可撓性部材が、相対的に動くように構成した2つのグループの複数部分に分けられ、第1グループが前記可動ステージに固定され、第2グループが前記板に固定される、請求項1に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記可撓性部材が円板の形をしており、前記2つのグループの複数部分が、前記グループのうちの1つの一部材が前記グループのうちの他方の部材の間に定置されるように配置した部材を含む、請求項2に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記可撓性部材が中心および外周を有し、前記グループの前記部材の隣接する対が、前記中心から前記可撓性部材の前記外周に近い位置へ放射状に延びるスリットによって分離される、請求項3に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記第1グループが第1取り付け点で前記可動ステージに固定され、前記第2グループが第2取り付け点で前記板に固定され、前記第1取り付け点および前記第2取り付け点は前記可撓性部材の前記中心から等距離の所にある、請求項4に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記可動ステージがXおよびY軸に沿って動かすことが可能であり、前記可撓性部材がZ軸ならびにロールおよびピッチ軸に沿って応従して動く、請求項1に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記直線変位機構の各々が、非接触な関係にある前記可動ステージと前記板との間に固定した伸張可能機構を含む、請求項1に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記直線変位機構の少なくとも1つがストロークリニアモーターを含む、請求項1に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記ストロークリニアモーターがボイスコイルモーターを含む、請求項8に記載の試料位置合わせ機構。
- その移動質量を補うために、前記可動ステージと前記板との間に延びるばねをさらに含む、請求項7に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記可撓性部材が、前記可撓性部材との物理的接触を防止するために、前記伸張可能機構が通り抜ける切欠部位を含む、請求項7に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記直線変位機構の直線変位の方向を中心とした前記試料取り付けチャックの角変位を与えるために、前記板および前記試料取り付けチャックと作動的に結合された角位置合わせ機構をさらに備える試料位置合わせ機構であって、前記応従運動軸の1つが直線変位の前記方向を規定する、請求項1に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記角位置合わせ機構を前記板に対して回転可能に動かすために、前記角位置合わせ機構と作動的に結合された駆動デバイスをさらに備える試料位置合わせ機構であって、
前記板は複数の基準面を含み、
前記角位置合わせ機構は、前記板に回転可能に取り付けられ、各々に流体パッドが取り付けられる複数のアームを含み、そして
前記複数のアームは中心部から延び、該当中心部を中心として角度をもって相隔たり、流体ベアリング圧力面を形成するために前記基準面の異なる面と空間的に整列させられる、請求項12に記載の試料位置合わせ機構。 - 前記流体ベアリング圧力面が正および負の流体圧力部位を含む、請求項13に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記流体ベアリング圧力面が、空気圧、減圧、磁力、磁力の反発、およびバネ張力のうちの少なくとも1つによって別々に、またはともに偏らされる、請求項13に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記角位置合わせ機構が、接着剤でともに貼り合わせた材料から成る多層膜によって形成した可撓性円板を含む、請求項12に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記駆動デバイスが、前記角位置合わせ機構および前記可動ステージのうちの異なるものに固定した磁石およびコイルを含む電気機械デバイスを含む、請求項13に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記電気機械デバイスがボイスコイルモーターを含む、請求項17に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記角位置合わせ機構が、角位置合わせ応力を前記試料取り付けチャックから分離するために、前記試料取り付けチャックのためのチャック取り付け接合部分を含む、請求項12に記載の試料位置合わせ機構。
- 角位置フィードバックを与える回転エンコーダをさらに備える試料位置合わせ機構であって、前記回転エンコーダは、前記角位置合わせ機構および前記可動ステージのうちの異なるものと関連付けられた光センサおよびエンコーダスケールを含む、請求項12に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記可動ステージおよび前記可撓性部材とそれぞれ作動的に結合された第1ベース部および第2ベース部を含む動的位置合わせ機構と、
相対運動を前記第1ベース部および第2ベース部に与え、直線変位の前記方向を中心とした前記試料取り付けチャックの角変位を与える、前記第1ベース部および第2ベース部と作動的に結合された駆動機構と、
をさらに備え、前記応従運動軸の1つが前記直線変位機構の直線変位の方向を規定する、請求項1に記載の試料位置合わせ機構。 - 前記第1ベース部が、前記可動ステージに取り付けられる複数の角度をもって相隔たる固定的ベース部品を含み、前記第2ベース部が、可撓性部材によって前記固定的ベース部品のうちの異なるものに取り付けられる部品を含み、前記可撓性部材は、前記可動ステージの前記複数の運動軸に沿って前記固定的ベース部品および可動ベース部品の関連する対の間に結合を与え、そして前記駆動機構が固定的ベース部品および可動ベース部品の各関連する対を連結して、それらの間の前記相対運動を与える、請求項21に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記可撓性部材が複数の運動の自由が拘束される部分と複数の応従して動く部分に分けられ、可動ベース部品が前記可撓性部材の前記運動の自由が拘束される部分に結合される、請求項21に記載の試料位置合わせ機構。
- 高精度の動的試料位置合わせ機構であって、
第1の平面に延在する複数の軸に沿った方向に動く可動ステージと、
試料取り付けチャックを支持するために、該試料取り付けチャックと連結した板と、
前記板を前記可動ステージに結合する複数の直線変位機構であって、前記複数の直線変位機構の各々は、前記可動ステージと前記板との間の空間にある前記第1の平面と平行の平面において異なる位置に相互に離間して配置され、前記異なる位置において前記可動ステージと前記板との間の前記第1の平面に対して垂直方向の距離を変化させるように制御可能である、複数の直線変位機構と、
前記可動ステージに固定され、前記可動ステージに対して所定の運動軸で運動の自由が拘束された固定部分と、前記板に固定され、前記所定の運動軸とは異なる三つの応従運動軸に従って動く可動部分とを有する、円形の可撓性部材と、
前記直線変位機構の直線変位の方向を中心とした前記試料取り付けチャックの角変位を与えて角度をもって変位させるために、前記板および前記試料取り付けチャックと結合した角位置合わせ機構と、を備え、
前記三つの応従運動軸の一つは、前記直線変位機構の前記直線変位の方向を規定し、前記直線変位機構の直線変位に応じて前記可撓性部材は、前記試料取り付けチャックの直線および回転運動を前記3つの応従運動軸で可能にする、試料位置合わせ機構。 - 前記可撓性部材が、相対的に動くように構成した2つのグループの複数部分に分けられ、第1グループが前記可動ステージに固定され、第2グループが前記板に固定される、請求項24に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記可撓性部材が円板の形をしており、前記2つのグループの複数部分が、前記グループのうちの1つの一部材が前記グループのうちの他方の部材の間に定置されるように配置した部材を含む、請求項25に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記可動ステージがXおよびY軸に沿って動くことが可能であり、前記可撓性部材がZ軸ならびにロールおよびピッチ軸に沿って応従して動く、請求項24に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記直線変位機構の各々が、非接触な関係にある前記可動ステージと前記板との間に固定した伸張可能機構を含む、請求項24に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記角位置合わせ機構を前記板に対して回転可能に動かすために、前記角位置合わせ機構と作動的に結合された駆動デバイスをさらに備える試料位置合わせ機構であって、
前記板は複数の基準面を含み、
前記角位置合わせ機構は、前記板に回転可能に取り付けられ、各々に流体パッドが取り付けられる複数のアームを含み、そして
前記複数のアームは中心部から延び、それを中心として角度をもって相隔たり、流体ベアリング圧力面を形成するために前記基準面の異なる面と空間的に整列させられる、請求項24に記載の試料位置合わせ機構。 - 前記角位置合わせ機構が、接着剤でともに貼り合わせた材料から成る多層膜によって形成した可撓性円板を含む、請求項24に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記角位置合わせ機構が、角位置合わせ応力を前記試料取り付けチャックから分離するために、前記試料取り付けチャックのためのチャック取り付け接合部分を含む、請求項24に記載の試料位置合わせ機構。
- 前記可動ステージおよび前記可撓性部材とそれぞれ作動的に結合された第1および第2ベース部を含む動的位置合わせ機構と、
相対運動を前記第1および第2ベース部に与え、それによって直線変位の前記方向を中心とした前記試料取り付けチャックの角変位を与える、前記第1および第2ベース部らと作動的に結合された駆動機構と、
をさらに備える、請求項24に記載の試料位置合わせ機構。
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