JP4606956B2 - ステージ装置 - Google Patents
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Description
該XYテーブルを駆動するXYテーブル駆動手段と、
前記XYテーブル上に設けられ、対象物を保持する保持プレートと、
該保持プレートの回転軸を鉛直方向のZ軸回りに回動可能に支持する軸受と、
前記保持プレートをZ軸回りに回動させる保持プレート駆動手段と、を有するステージ装置において、
前記保持プレート駆動手段により回動位置を調整された前記保持プレートを吸着する吸着手段と、
前記保持プレートと前記回転軸との間に設けられ、前記軸受にスラスト方向の付勢力を付与する付勢部材と、
前記保持プレートのスラスト方向の動きを拘束して前記保持プレートの揺動を規制すると共に、前記保持プレートのZ軸回りの回動を許容する揺動規制手段と、
を備え、
前記揺動規制手段は、
前記XYテーブルの上面に固定された下部環状部材と、
前記保持プレートの下面に固定された上部環状部材と、を有し、
前記下部環状部材の上面と前記上部環状部材の下面とを面接触させ、前記下部環状部材が前記上部環状部材を保持する前記吸着手段を兼ねることを特徴とする。
14 ウエハ保持プレート
16 回転軸
18 軸受
20 XYテーブル
22 θz駆動アクチュエータ
36 板バネ
44 高さ調整用シム
60 静電チャック
62 揺動規制部
70 下部環状部材
72 上部環状部材
80 チルト機構
90 XYテーブル駆動機構
100 ベースプレート
201 チルトプレート
301 XYプレート
410 真空チャック
420 真空発生装置
Claims (6)
- 水平方向に移動するXYテーブルと、
該XYテーブルを駆動するXYテーブル駆動手段と、
前記XYテーブル上に設けられ、対象物を保持する保持プレートと、
該保持プレートの回転軸を鉛直方向のZ軸回りに回動可能に支持する軸受と、
前記保持プレートをZ軸回りに回動させる保持プレート駆動手段と、を有するステージ装置において、
前記保持プレート駆動手段により回動位置を調整された前記保持プレートを吸着する吸着手段と、
前記保持プレートと前記回転軸との間に設けられ、前記軸受にスラスト方向の付勢力を付与する付勢部材と、
前記保持プレートのスラスト方向の動きを拘束して前記保持プレートの揺動を規制すると共に、前記保持プレートのZ軸回りの回動を許容する揺動規制手段と、
を備え、
前記揺動規制手段は、
前記XYテーブルの上面に固定された下部環状部材と、
前記保持プレートの下面に固定された上部環状部材と、を有し、
前記下部環状部材の上面と前記上部環状部材の下面とを面接触させ、前記下部環状部材が前記上部環状部材を保持する前記吸着手段を兼ねることを特徴とするステージ装置。 - 前記吸着手段は、静電チャックであることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記吸着手段は、真空チャックあるいは電磁チャックであることを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記付勢部材は、前記保持プレートの下面と前記回転軸との間に挿入された板ばねであり、半径方向に延在してスラスト方向の付勢力を付与する複数の押圧部が放射状に配置されたことを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のステージ装置。
- 前記付勢部材は、高さ調整用シムにより付勢力を調整されることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のステージ装置。
- 前記XYテーブル駆動手段は、
前記XYステージをX方向に移動させるX方向駆動手段と、
前記XYステージをY方向に移動させるY方向駆動手段と、
前記XYステージをZ軸回りに回動させるθz方向駆動手段と、
を有することを特徴とする請求項1乃至5の何れかに記載のステージ装置。
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Family Applications (1)
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JPH07103188A (ja) * | 1993-10-08 | 1995-04-18 | Ebara Corp | スラスト軸受装置 |
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2005
- 2005-07-11 JP JP2005202071A patent/JP4606956B2/ja not_active Expired - Fee Related
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