CN103487604A - 移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置。移动机构具有：第一移动体，其以相对支承体沿第一方向能够移动的方式配置；第二移动体，其经由第一移动体设置于与支承体相反的一侧，相对第一移动体能够沿与第一方向交叉的第二方向移动；以及第一振动体，其配置于支承体并能够按压移动体地被推压、或者配置于第一移动体并能够按压支承体地被推压，第一槽和上述第二槽对置的方向与支承体和移动体对置的方向交叉，第一振动体被推压的推压方向与第一槽和上述第二槽对置的方向以及支承体和移动体对置的方向交叉。

Description

移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置

技术领域

本发明涉及移动机构、电子部件输送装置、以及电子部件检查装置。

背景技术

公知有多种搭载了使移动体相对于支承体沿规定方向移动的移动机构的机器。例如，在专利文献1的机器人中，在与移动方向平行地设置的轨道和从两侧夹着轨道供轨道嵌合的轨道座之间插入有多个滚动体（滚珠），从而形成两列与移动方向平行的滚珠引导件（移动轴）。在这样的移动机构中，若将由驱动马达等产生的驱动传递至移动体，则滚珠在轨道与轨道座之间滚动，从而能够使移动体顺利地移动。

另外，公知有使多个移动方向不同的移动体组合的移动机构，例如，如专利文献2所公开的那样，使相对支承体能够沿X轴方向移动的第一移动体与相对第一移动体能够沿Y轴方向移动的第二移动体重叠，从而第二移动体能够在X-Y平面上移动。

专利文献1：日本实开平5-16172号公报

专利文献2：日本特开平11-271480号公报

但是，如专利文献1那样，在利用两列移动轴支承移动体的移动机构中，存在因对移动体施加负载等从而在移动体产生晃动的问题。特别是，在具备了多个移动体的移动机构中，在一个移动体产生的晃动传递至其他的移动体，从而导致移动机构整体产生较大的晃动。

发明内容

本发明是为了解决现有的技术中存在的上述课题的至少一部分而完成的，其目的在于提供能够抑制在移动体所产生的晃动的移动机构。

为了解决上述课题的至少一部分，本发明的移动机构采用如下结构，即，本发明的移动机构的特征在于，具备：

支承体，其设置于规定的位置，并支承上述移动机构；

第一移动体，其相对上述支承体能够沿第一方向移动；

第一振动体，其包含压电材料并能够产生上述第一方向的振动，在被向上述支承体或者上述第一移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第二移动体，其隔着上述第一移动体设置于与上述支承体相反的一侧，随同上述第一移动体的移动，相对上述第一移动体能够沿与上述第一方向交叉的第二方向移动；

第二振动体，其包含压电材料并能够产生上述第二方向的振动，在被向上述第一移动体或者上述第二移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第一槽，其在上述支承体设置一对，并形成为与上述第一方向平行；

第二槽，其在上述第一移动体设置一对，并形成为与上述第一槽相对；

多个滚动体，它们设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述第一移动体的移动而滚动；以及

移动轴，其包含上述滚动体，并与上述第一方向平行，

上述移动轴以在与上述支承体和上述第一移动体相对的方向交叉的方向上分离的方式设置两列，

上述第一槽和上述第二槽相对的方向与上述支承体和上述第一移动体相对的方向交叉，并且，上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和在另一方是相反的，

上述第一振动体被推压的推压方向相对于包含上述两列移动轴的移动面倾斜。

此处，所谓“相对于移动面倾斜的方向”不包含与移动面平行的方向、与移动面垂直的方向。

在上述的本发明的移动机构中，若将第一振动体支承于支承体侧，则第一移动体承受第一振动体的作用力，若将第一振动体支承于第一移动体侧，则第一移动体承受与第一振动体的推压方向相反方向的反作用力。另外，由于第一振动体的推压方向相对于移动面倾斜，所以在第一移动体所承受的作用力或者反作用力中包含有与移动面平行的成分和与移动面垂直的成分。第一移动体承受与移动面平行的力，从而在两列移动轴中的一列移动轴中，第一槽与第二槽之间的间隔在与移动面平行的方向上堵塞，且滚动体被第一槽与第二槽夹持。另外，在另一列移动轴中，虽然第一槽与第二槽之间的间隔较宽广，但是第一移动体承受与移动面垂直的力，从而产生以一列移动轴为旋转轴使第一移动体旋转的力矩，因此滚动体在与移动面垂直的方向上被第一槽与第二槽夹持。其结果，能够抑制第一移动体的晃动。并且，如上，通过配置于靠近支承体的一侧来抑制施加第二移动体的重量而导致的第一移动体的晃动，能够提高移动机构整体的刚性。

在上述的本发明的移动机构中，在将支承体设置于能够沿规定方向移送移动机构的移送体的情况下，也可以使第一方向与移送体的移送方向不同。

移送体移送移动机构，与此相伴，对移动机构作用沿移送体的移送方向的惯性力。若预先使第一方向与移送体的移送方向不同，则很难对第一移动体施加沿移动方向的惯性力，因此即使第二移动体的重量作用于配置于靠近支承体的一侧的第一移动体，也能够抑制由惯性力导致的第一移动体的位置偏移（朝移动方向的滑动）。此外，若预先减少第二移动体的重量，则即使假设第二方向与移送体的移送方向重叠，也能够不对第二移动体作用较大的惯性力，而抑制第二移动体的位置偏移（朝移动方向的滑动）。结果，不需要为了防止由惯性力导致的位置偏移而追加制动器机构等，就能够实现移动机构的小型化。

另外，在上述的本发明的移动机构中，也可以设置以与第一方向以及第二方向正交的第三方向为轴进行转动的转动体，和产生振动来驱动转动体的第三振动体，使第三振动体产生的振动的方向与移送体的移送方向不同。此外，此处的“正交”不局限于完全的正交，也包含大体正交的含义。

如上，若预先使第三振动体的振动方向与移送体的移送方向不同，则即使伴随着移送体的移送而对移动机构作用惯性力，由于第三振动体通过振动来驱动转动体的方向（振动体的驱动力传递至转动体的方向）与惯性方向不重叠，所以也能够抑制由惯性力导致的转动体的位置偏移（朝转动方向的滑动）。

另外，在这样的本发明的移动机构中，也可以将形成为大致长方体形状的受压体以第一振动体所抵接的面与推压方向成为垂直的姿态埋入支承体或者第一移动体中的任意一方的第一振动体所推压的部分。

这样一来，即使第一振动体被支承体或者第一移动体倾斜地推压，也不会因作用力而使受压体偏离（受压体的位置朝与移动面平行的方向移动），从而能够将振动体的驱动力适当地传递至受压体而使第一移动体相对于支承体高精度地移动。

另外，在上述的本发明的移动机构中，也可以利用硬度高于支承体或者第一移动体中的埋入有受压体的一侧的材料形成受压体。

这样一来，能够利用在第一振动体与受压体之间作用的摩擦力来抑制受压体磨损。其结果，即使长期使用也能够抑制移动体的移动精度降低。

另外，本发明也能够通过以下的方式充分理解。即，也能够作为电子部件输送装置充分理解，其特征在于，具备：

把持部，其对电子部件进行把持；以及

移动机构，其使把持了上述电子部件的上述把持部移动，

上述移动机构具备：

支承体，其设置于规定的位置，并支承移动机构；

第一移动体，其相对上述支承体能够沿第一方向移动；

第一振动体，其包含压电材料并能够产生上述第一方向的振动，在被向上述支承体或者上述第一移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第二移动体，其隔着上述第一移动体设置于与上述支承体相反的一侧，并随同上述第一移动体的移动，相对上述第一移动体能够沿与上述第一方向交叉的第二方向移动；

第二振动体，其包含压电材料并能够产生上述第二方向的振动，在被向上述第一移动体或者上述第二移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第一槽，其在上述支承体设置一对，并形成为与上述第一方向平行；

第二槽，其在上述第一移动体设置一对，并形成为与上述第一槽相对；

多个滚动体，它们设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述第一移动体的移动而滚动；以及

移动轴，其包含上述滚动体，并与上述第一方向平行，

上述移动轴以在与上述支承体和上述第一移动体相对的方向交叉的方向上分离的方式设置有两列，

上述第一槽和上述第二槽相对的方向与上述支承体和上述第一移动体相对的方向交叉，并且，上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和在另一方是相反的，

上述第一振动体被推压的推压方向相对于包含上述两列移动轴的移动面倾斜。

在上述的本发明的电子部件输送装置中，能够抑制移动机构的晃动，因此能够提高输送电子部件的精度。

另外，本发明也能够通过以下的方式充分理解，即，也能够作为电子部件检查装置充分理解，其特征在于，具备：

把持部，其对电子部件进行把持；

移动机构，其使把持了上述电子部件的上述把持部移动；以及

检查部，其对上述电子部件进行检查，

上述移动机构具备：

支承体，其设置于规定的位置，并支承移动机构；

第一移动体，其相对上述支承体能够沿第一方向移动；

第一振动体，其包含压电材料并能够产生上述第一方向的振动，在被向上述支承体或者上述第一移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第二移动体，其隔着上述第一移动体设置于与上述支承体相反的一侧，随同上述第一移动体的移动，并能够相对于上述第一移动体沿与上述第一方向交叉的第二方向移动；

第二振动体，其包含压电材料并能够产生上述第二方向的振动，在被向上述第一移动体或者上述第二移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第一槽，其在上述支承体设置一对，并形成为与上述第一方向平行；

第二槽，其在上述第一移动体设置一对，并形成为与上述第一槽相对；

多个滚动体，它们设置于上述第一槽与上述第二槽之间，并伴随着上述第一移动体的移动而滚动；以及

移动轴，其包含上述滚动体，并与上述第一方向平行，

上述移动轴以在与上述支承体与上述第一移动体相对的方向交叉的方向上分离的方式设置有两列，

上述第一槽和上述第二槽相对的方向与上述支承体和上述第一移动体相对的方向交叉，并且，上述第一槽以及上述第二槽的位置关系在上述两列移动轴的一方和在另一方是相反的，

上述第一振动体被推压的推压方向相对于包含上述两列移动轴的移动面倾斜。

在上述的本发明的电子部件检查装置中，能够抑制移动机构的晃动，因此能够提高检查电子部件的精度。

附图说明

图1是对搭载了本实施例的移动机构的电子部件检查装置进行例示的立体图。

图2是表示了内置于把持装置的本实施例的移动机构的结构的立体图。

图3是表示了将移动机构进行分解后的状态的立体图。

图4是表示了压电马达的内部构造的剖视图。

图5是表示压电马达的动作原理的说明图。

图6是以与X方向垂直的平面进行剖切的移动机构的剖视图。

具体实施方式

图1是对搭载了本实施例的移动机构150的电子部件检查装置100进行例示的立体图。图示的电子部件检查装置100大致具备基台110和立设于基台110的侧面的支承台130。在基台110的上面设置有：载置并输送作为检查对象的电子部件1的上游侧工作台112u；和载置并输送检查完毕的电子部件1的下游侧工作台112d。另外，在上游侧工作台112u与下游侧工作台112d之间设置有：用于确认电子部件1的姿态的摄像装置114；和为了检查电气特性而安装电子部件1的检查台116（检查部）。此外，作为电子部件1的代表例能够列举有：“半导体”、“半导体晶片”、“CLD、OLED（Organic Light-Emitting Diode有机发光二极管）等显示元件”、“水晶元件”、“各种传感器”、“喷墨头”、“各种MEMS（Micro-Electro-Mechanical System微机电系统）元件”等。

在支承台130以能够沿与基台110的上游侧工作台112u以及下游侧工作台112d平行的方向（Y方向）移动的方式设置有Y工作台132，对于Y工作台132而言，在与Y方向正交并朝向基台110的方向（X方向）延伸配置有臂部134。另外，在臂部134的侧面以能够沿X方向移动的方式设置有X工作台136。而且，在X工作台136设置有摄像照相机138与把持装置140。如后所述，在把持装置140内置有用于对X方向以及Y方向的坐标进行微调的移动机构150、能够沿与X方向以及Y方向正交的上下方向（Z方向）移动的Z工作台等。另外，在把持装置140的前端设置有把持电子部件1的把持部142。并且，在基台110的前面侧还设置有对电子部件检查装置100的整体的动作进行控制的控制装置118。此外，在本实施例中，设置于支承台130的Y工作台132、臂部134、X工作台136、以及把持装置140与本发明的“电子部件输送装置”对应。

具有以上那样的结构的电子部件检查装置100以如下方式对电子部件1进行检查。首先，将作为检查对象的电子部件1载置于上游侧工作台112u，并移动至检查台116的附近。接下来，使Y工作台132以及X工作台136移动，使把持装置140移动至在上游侧工作台112u载置的电子部件1的正上方的位置。此时，能够使用摄像照相机138确认电子部件1的位置。而且，若使用内置于把持装置140内的Z工作台使把持部142下降，并利用把持部142把持电子部件1，则使把持装置140朝摄像装置114的上方移动，使用摄像装置114确认电子部件1的姿态（坐标）。接着，使用内置于把持装置140的移动机构150来调整电子部件1的姿态。而且，在使把持装置140移动至检查台116的上方后，使内置于把持装置140的Z工作台移动从而将电子部件1安装在检查台116的上方。由于使用把持装置140内的移动机构150来调整电子部件1的姿态，因此能够将电子部件1安装在检查台116的正确的位置。而且，若使用检查台116对电子部件1的电气特性的检查结束，则这次在从检查台116拿起电子部件1后，使Y工作台132以及X工作台136移动，并使把持装置140移动至下游侧工作台112d的上方，从而将电子部件1载置在下游侧工作台112d。然后，使下游侧工作台112d移动，将检查结束了的电子部件1输送至规定位置。

图2是表示了内置于把持装置140的本实施例的移动机构150的结构的立体图。如图所示，本实施例的移动机构150在最上层配置有支承整体的单元基座200，该单元基座200安装于X工作台136。在单元基座200的下方以相对单元基座200能够沿X方向移动的方式设置有X组块220。另外，在X组块220的下方以能够随着X组块220的移动一同朝以Z方向为轴的旋转方向（θ方向）转动的方式设置有θ组块240。并且，在θ组块240的下方以随同θ组块240的移动并相对θ组块240能够沿Y方向移动的方式设置有Y组块260。此外，图中的虚线箭头表示各组块（220、240、260）的移动方向。另外，本实施例的单元基座200相当于本发明的“支承体”，本实施例的X组块220相当于本发明的“第一移动体”，本实施例的Y组块260相当于本发明的“第二移动体”，本实施例的θ组块240相当于本发明的“转动体”。

另外，在移动机构150设置有三个压电马达：驱动X组块220的X方向用的压电马达300x、驱动θ组块240的θ方向用的压电马达300θ、驱动Y组块260的Y方向用的压电马达300y。此外，在不需要特别地区别三个压电马达（300x、300θ、300y）的情况下，往往仅将上述三个压电马达（300x、300θ、300y）称为压电马达300。另外，对于压电马达300的动作原理将在后面说明。

并且，在移动机构150设置有在上下方向（Z方向）贯通单元基座200、X组块220、θ组块240、以及Y组块260的轴280。轴280以能够沿Z方向移动的方式安装于Y组块260，随同Y组块260的移动并通过未图示的Z工作台的动作而朝Z方向移动。另外，在轴280的下端安装有把持部142。

图3是表示了将移动机构150进行分解后的状态的立体图。如图所示，单元基座200是大致矩形的平板形状，并设置有使轴280在Z方向穿过的圆形剖面的贯通孔208。贯通孔208的大小形成为即使轴280随同Y组块260的移动而朝X方向以及Y方向移动也不会与内周面接触的大小。另外，在单元基座200的下表面（与X组块220相对的面）与X方向平行地延伸配置有形成为向下的凹形剖面的两个X轨道座202，上述两个X轨道座202以在Y方向分离的方式配置。在X轨道座202的内壁侧面形成有剖面形状为半圆形的外槽204，并沿着外槽204配置有多个滚珠206。此外，本实施例的外槽204相当于本发明的“第一槽”，本实施例的滚珠206相当于本发明的“滚动体”。

在X组块220的上表面（与单元基座200相对的面）与X方向平行地延伸配置有两个X轨道222，该两个X轨道222与单元基座200侧的两个X轨道座202对应。在X轨道222的两侧面形成有与X轨道座202的外槽204相对的半圆形剖面的内槽224。在使X轨道222与对应的X轨道座202嵌合的状态下，在内槽224与外槽204之间插入有多个滚珠206，从而在各X轨道222的两侧形成滚珠引导。而且，滚珠206沿着内槽224以及外槽204滚动，从而X组块220相对于单元基座200顺利地移动。此外，本实施例的内槽224相当于本发明的“第二槽”。

另外，在X组块220的朝向Y方向的侧面的一侧（附图近前侧）安装有压电马达300x，在另一侧（图中进深侧）安装有压电马达300θ。在压电马达300中内置有包含压电材料而形成的长方体形状的振动体310，在振动体310的长边方向的端面设置有形成为圆柱形状的陶瓷制造的凸部312。另外，如后所述，本实施例的压电马达300形成将振动体310朝设置有凸部312的一侧推压的构造。驱动X组块220的压电马达300x在使振动体310的短边方向与X方向一致，并将振动体310的凸部312朝单元基座200推压的状态下进行安装。在单元基座200侧的凸部312所推压的部分埋入有形成为大致长方体形状的陶瓷制造的受压体210。另外，驱动θ组块240的压电马达300θ安装为使振动体310的短边方向与X方向一致，并使振动体310的凸部312朝向θ组块240。此外，本实施例的内置于压电马达300x的振动体310相当于本发明的“第一振动体”，本实施例的内置于压电马达300θ的振动体310相当于本发明的“第三振动体”。

并且，在X组块220以在Z方向贯通的方式设置有使轴280穿过的圆形剖面的贯通孔226。X组块220的贯通孔226形成为内径大于单元基座200的贯通孔208。

从θ组块240的上表面（与X组块220相对的面）立设有设置有使轴280穿过的贯通孔244的圆筒形状的导向轴242。在导向轴242的外周面以在上下方向（Z方向）分离的方式设置有两个剖面形状形成为半圆形的内槽246，并沿着内槽246配置有多个滚珠248。导向轴242的外径形成为小于X组块220的贯通孔226的内径，在贯通孔226的内周面设置有两个与导向轴242的内槽246相对的外槽（未图示）。在将导向轴242插入X组块220的贯通孔226的状态下，在导向轴242的内槽246与对应的贯通孔226的外槽之间插入有多个滚珠248，从而形成环状的滚珠引导。而且，滚珠248沿着内槽246以及外槽滚动，从而θ组块240相对于X组块220顺利地转动。

另外，在θ组块240的上表面，在与压电马达300θ相对的位置立设有受压台250。在该受压台250的上表面安装有陶瓷制造的受压体252，并被内置于压电马达300θ的振动体310的凸部312推压。

另外，在θ组块240以使振动体310的短边方向与Y方向一致并且使振动体310的凸部312朝向Y组块260的方式安装有驱动Y组块260的压电马达300y。此外，本实施例的内置于压电马达300y的振动体310相当于本发明的“第二振动体”。

并且，在θ组块240的下表面（与Y组块260相对的面）与Y方向平行地延伸配置有两个Y轨道254，两个Y轨道254以在X方向以及Y方向上分离的方式进行配置。在Y轨道254的两侧面形成有剖面形状为半圆形的内槽256。

在Y组块260的上表面（与θ组块240相对的面）与Y方向平行地延伸配置有两个Y轨道座262，该两个Y轨道座262与θ组块240侧的两个Y轨道254对应。Y轨道座262的剖面形状形成为朝上的凹形，在内壁侧面形成有与Y轨道254的内槽256相对的半圆形剖面的外槽264，并沿着外槽264配置有多个滚珠266。在使Y轨道座262与对应的Y轨道254嵌合的状态下，在内槽256与外槽264之间插入有多个滚珠266，从而在各Y轨道254的两侧形成滚珠引导。而且，滚珠266沿着内槽256以及外槽264滚动，从而Y组块260相对于θ组块240顺利地移动。

另外，在Y组块260的上表面，在与压电马达300y相对的位置安装有陶瓷制造的受压体268，并被内置于压电马达300y的振动体310的凸部312推压。并且，在Y组块260设置有以能够在Z方向上移动的方式支承轴280的圆筒形状的轴支承部270。

在具有以上那样的结构的本实施例的移动机构150中，通过对三个压电马达300中的、压电马达300x的振动体310外加电压，能够使X组块220相对单元基座200沿X方向移动。另外，通过对压电马达300θ的振动体310外加电压，能够使θ组块240沿θ方向转动。并且，通过对压电马达300y的振动体310外加电压，能够使Y组块260相对θ组块240沿Y方向移动。

图4是表示了压电马达300的内部构造的剖视图。此外，如图3所示的那样，在本实施例的移动机构150设置有三个压电马达（300x、300θ、300y），但任意的压电马达300其基本构造、动作原理均相同。于是，以下，以压电马达300x为例进行说明。如图所示，振动体310以使凸部312突出的状态保持于振动体壳体302内，该振动体壳体302以能够朝向凸部312突出的方向（Z方向）移动的方式收容于收容壳体304。在振动体壳体302的侧面（朝向与Z方向正交的Y方向的面）的一侧与收容壳体304之间设置有朝Y方向推压振动体壳体302的侧压弹簧306。另外，在振动体壳体302的侧面的另一侧（与设置有侧压弹簧306的一侧相反的一侧）与收容壳体304之间设置有沿Z方向滚动的滚轴308。因此，振动体壳体302能够一边被限制朝Y方向的移动，一边沿Z方向顺利地移动。并且，在与设置有滚轴308的一侧相同的一侧设置有推压弹簧320，该推压弹簧320将振动体壳体302朝Z方向（设置有凸部312的一侧）推压。而且，如图2所示的那样，在组装好移动机构150的状态下，将振动体310的凸部312朝单元基座200的受压体210推压，通过对振动体310外加电压，能够驱动X组块220。

图5是表示压电马达300的动作原理的说明图。如图5（a）所示的那样，在内置于压电马达300x的振动体310的表面侧的侧面，以使其侧面纵横两分割（合计四分割）的方式形成有四个矩形形状的表面电极314a～314d。此外，在不需要区别四个表面电极314a～314d的情况下，往往仅将上述表面电极称为表面电极314。另外，虽省略图示，但在振动体310的背面侧的侧面，以遍布该侧面的几乎整个面的方式形成有背面电极。在以恒定周期对振动体310的表面电极314外加电压时，振动体310的凸部312做椭圆运动，从而压电马达300进行动作。振动体310的凸部312做椭圆运动依据以下的理由。

首先，如公知的那样，包含压电材料的振动体310具有若外加正电压则伸长的性质。因此，如图5（a）所示，若反复进行在对四个表面电极314全部外加正电压后解除外加电压的操作，则振动体310反复进行沿长边方向伸缩的动作。将这样振动体310反复沿长边方向伸缩的动作称为“伸缩振动”。以下，将振动体310伸缩的方向（图中的±Z方向）称为“伸缩方向”。另外，若使外加正电压的频率变化，则在成为某一特定的频率时伸缩量急剧增大，从而产生一种共振现象。由伸缩振动产生共振的频率（共振频率）由振动体310的物理特性、振动体310的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）来决定。

另外，如图5（b）或者图5（c）所示，将相互位于对角线位置的两个表面电极314设为一组（表面电极314a以及表面电极314d为一组，或者表面电极314b以及表面电极314c为一组），并以恒定周期对其外加正电压。于是，振动体310的长边方向的前端部（设置有凸部312的部分）反复进行朝短边方向（在附图上为左右方向）摇头的动作。例如，如图5（b）所示，若对表面电极314a以及表面电极314d这一组以恒定周期外加正电压，则振动体310的长边方向的前端部反复进行朝右方向移动的动作。另外，如图5（c）所示，若对表面电极314b以及表面电极314c这一组以恒定周期外加正电压，则振动体310的长边方向的前端部反复进行朝左方向移动的动作。将这样的振动体310的动作称为“弯曲振动”。以下，将振动体310弯曲振动的方向（图中的±X方向）称为“弯曲方向”。对于这样的弯曲振动而言，也存在由振动体310的物理特性与振动体310的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定的共振频率。因此，若对位于相互对角线的位置的两个表面电极314以其共振频率外加正电压，则振动体310朝弯曲方向大幅度地摇头进行振动。

此处，图5（a）所示的伸缩振动的共振频率、图5（b）或者图5（c）所示的弯曲振动的共振频率均由振动体310的物理特性、振动体310的尺寸（宽度W、长度L、厚度T）决定。因此，若适当地选择振动体310的尺寸（宽度W、长度L、厚度T），则能够使两个共振频率一致。而且，若对上述的振动体310以共振频率外加图5（b）或者图5（c）所示的弯曲振动的形态的电压，则产生图5（b）或者图5（c）所示的弯曲振动的同时，也由共振引起图5（a）的伸缩振动。其结果，在以图5（b）所示的方式对表面电极314a以及表面电极314d的一组外加了电压的情况下，振动体310的前端部（设置有凸部312的部分）进行如在附图上绕顺时针方向描绘椭圆的动作（椭圆运动）。另外，在以图5（c）所示的方式对表面电极314b以及表面电极314c这一组外加了电压的情况下，振动体310的前端部进行如在附图上绕逆时针方向的椭圆运动。此外，在以上的说明中，说明了对振动体310外加正电压的情况。但是，如公知的那样，压电材料也因外加负电压而变形。因此，可以通过对振动体310外加负电压来产生弯曲振动（以及伸缩振动），也可以通过外加使正电压与负电压反复的交变电压来产生弯曲振动（以及伸缩振动）。另外，在上述的说明中，对外加共振频率的电压的情况进行了说明。但是，只要外加包含了共振频率的波形的电压就足够，例如也可以是脉冲状的电压。

压电马达300x利用上述的椭圆运动来驱动X组块220。即，如图3所示，压电马达300x以使振动体310的短边方向（弯曲方向）与X方向一致的方式固定于X组块220侧，并在将振动体310的凸部312朝单元基座200的受压体210推压的状态下产生椭圆运动。于是，凸部312反复进行在振动体310伸长时以朝受压体210推压的状态朝向弯曲方向的任意一方移动，并在振动体310收缩时以与受压体210远离的状态返回至以前的位置的动作。其结果，X组块220通过在受压体210与凸部312之间作用的摩擦力而相对于单元基座200朝向弯曲方向（X方向）的任意另一方移动。

另外，压电马达300θ固定于X组块220侧，成为将振动体310的凸部312朝设置于θ组块240侧的受压台250的受压体252推压的状态。因此，若使压电马达300θ动作，则θ组块240通过在凸部312与受压体252之间作用的摩擦力而朝θ方向转动。

另外，压电马达300y以使振动体310的短边方向（弯曲方向）与Y方向一致的方式固定于θ组块240侧，成为将振动体310的凸部312朝设置于Y组块260侧的受压体268推压的状态。因此，若使压电马达300y动作，则Y组块260通过在凸部312与受压体268之间作用的摩擦力而相对于θ组块240朝Y方向移动。因此，电子部件检查装置100通过使移动机构150的压电马达300x、压电马达300θ、压电马达300y动作，而能够对由把持部142把持的电子部件1的姿态进行微调。此外，这样的压电马达300与利用电磁力使转子旋转的电磁马达相比容易小型化，并且能够不经由齿轮等直接地传递驱动力，因此通过使用压电马达300作为移动机构150的促动器，能够实现移动机构150的小型化。

此处，在本实施例的移动机构150中，X组块220、θ组块240、以及Y组块260分别设置为能够沿不同的方向（X方向、θ方向、以及Y方向）移动，在各组块（220、240、260）中往往因施加负载等而产生晃动。特别是，对靠近支承移动机构150的整体的单元基座200一侧的X组块220施加θ组块240、Y组块260的重量，因此容易产生晃动，在随着X组块220的移动的θ组块240、Y组块260中传递X组块220的晃动，从而作为移动机构150整体会产生较大的晃动。于是，在本实施例的移动机构150中通过以下的方式抑制晃动。

图6是以与X方向垂直的平面进行剖切的移动机构150的剖视图。在图6中放大表示了在X组块220安装了压电马达300x的部分的附近。如前所述，在形成于单元基座200侧的X轨道座202的外槽204与形成于X组块220侧的X轨道222的内槽224之间插入有多个滚珠206，通过上述多个滚珠206而在X轨道222的两侧形成有与X方向平行的滚珠引导。多个滚珠206沿着上述两列滚珠引导滚动，从而X组块220相对于单元基座200顺利地移动。以下，将包含两列滚珠引导的平面称为“移动面”。此外，为了使滚珠206圆滑的滚动，而在滚珠206与内槽224、外槽204之间设置有若干缝隙（间隙）。

另外，安装于X组块220的侧面的压电马达300x以使内置的振动体310的短边方向（弯曲方向）与X方向一致，并且使上端侧（设置有凸部312的一侧）朝与X组块220相反的一侧倾斜的方式进行固定。而且，振动体310被推压弹簧320朝长边方向（伸缩方向）推压，并成为将凸部312朝单元基座200的受压体210推压的状态。因此，将振动体310的凸部312朝受压体210推压的方向（推压方向）相对于移动面以规定的角度（在图示的例中为75度）倾斜。

此外，本实施例的受压体210形成为大致长方体形状，并以下表面（供振动体310的凸部312抵接的面）与振动体310的推压方向正交的状态埋入单元基座200。由此，即使振动体310的凸部312相对于单元基座200的下表面倾斜地对其进行推压，通过作用力受压体210的位置也不会朝横向（Y方向）偏移，而能够通过在凸部312与受压体210之间作用的摩擦力使X组块220相对于单元基座200高精度地移动。另外，在本实施例的移动机构150中，单元基座200由塑料材料形成，与此相对，受压体210由陶瓷材料、金属材料等硬度高于塑料材料的材料形成。因此，能够通过在凸部312与受压体210之间作用的摩擦力来抑制受压体210磨损。

此处，X组块220通过将内置于压电马达300x的振动体310的凸部312朝单元基座200的受压体210推压，而承受与推压方向相反方向的反作用力。在该反作用力中包含有与移动面平行的图中右方向的成分和与移动面垂直的图中下方向的成分。而且，X组块220承受与移动面平行的反作用力，从而在X轨道222的两侧的滚珠引导中的、距压电马达300x较远的一侧（图中右侧）的滚珠引导中，滚珠206与内槽224以及外槽204之间的缝隙堵塞，成为由内槽224以及外槽204夹持滚珠206的状态。

另外，在靠近压电马达300x一侧（图中左侧）的滚珠引导中，虽然内槽224与外槽204之间的间隔宽广，但是X组块220承受与移动面垂直的反作用力，从而产生以图中右侧的缝隙堵塞的滚珠引导为轴使X组块220朝向下方旋转的力矩，成为由内槽224的上端侧与外槽204的下端侧夹持滚珠206的状态。

如以上所述，在本实施例的移动机构150中，通过使振动体310的推压方向相对于移动面倾斜，不论在X轨道222的两侧的滚珠引导的哪一方都能够预先通过内槽224与外槽204夹持滚珠206。并且在一个滚珠引导中，在与移动面平行的方向夹持滚珠206，在另一个滚珠引导中，在与移动面垂直的方向夹持滚珠206，且夹持方向相互不同，因此即使对X组块220从任意的方向施加负载，也能够抑制X组块220的晃动。而且，如上，通过配置于靠近单元基座200一侧，来抑制施加θ组块240以及Y组块260的重量而导致的X组块220的晃动，能够提高作为移动机构150整体的刚性。

另外，在本实施例的移动机构150中，将沿X方向移动的X组块220配置在靠近单元基座200的上层的位置，并将沿Y方向移动的Y组块260配置在距单元基座200较远的下层的位置。这依据如下的理由。首先，如前所述，在电子部件检查装置100中，将内置了移动机构150的把持装置140安装于X工作台136，并使Y工作台132以及X工作台136移动，从而能够使把持装置140在X-Y平面上移动。而且，在使电子部件1移动至检查台116时，主要使Y工作台132移动，因此在移动机构150作用有Y方向的惯性力。对能够沿与Y方向正交的X方向移动的X组块220未在移动方向上施加惯性力，因此配置在靠近单元基座200的上层的位置，从而即使对X组块220施加θ组块240以及Y组块260的重量，也能够防止由惯性力导致的X组块220的位置偏移（朝移动方向的滑动）。此外，本实施例的Y工作台132相当于本发明的“移送体”。

另一方面，虽然对能够沿Y方向移动的Y组块260在移动方向上施加惯性力，但是只要预先配置在未施加其他组块（220、240）的重量的下层的位置，就能够不对Y组块260作用较大的惯性力，而抑制Y组块260的位置偏移（朝移动方向的滑动）。结果，不需要追加用于防止由惯性力导致的Y组块260的位置偏移的制动器机构等，就能够实现移动机构150的小型化。

并且，在本实施例的移动机构150中，在X组块220与Y组块260之间设置有θ组块240，驱动θ组块240的压电马达300θ以使内置的振动体310的短边方向（弯曲方向）与X方向一致的方式配置。如上，若预先配置压电马达300θ，则伴随着Y工作台132的移动而对移动机构150施加Y方向的惯性力，即便如此，由于在振动体310的凸部312与受压体252之间摩擦力作用的方向（振动体310的弯曲方向）与惯性方向不重叠，所以能够抑制由惯性力导致的θ组块240的位置偏移（朝θ方向的滑动）。

以上，虽对本发明的移动机构、搭载了移动机构的各种装置进行了说明，但本发明不限定于上述的实施例，能够在未脱离其主旨的范围内通过各种方式来实施。

例如，在前述的实施例中，虽按从单元基座200朝下依次配置有X组块220、θ组块240、Y组块260，但各组块的配置不限定于此，例如，也可以按θ组块240、X组块220、Y组块260的顺序配置。在该情况下，只要将驱动θ组块240的压电马达300θ以使振动体310的推压方向相对于包含由多个滚珠248形成的环状的滚珠引导的移动面倾斜的方式配置即可。由此，对θ组块240作用有与移动面平行的力和与移动面垂直的力，在相对于环状的滚珠引导的中心对称的两位置中的一个位置，通过与移动面平行的力使内槽246与外槽之间的间隔堵塞，并通过内槽246以及外槽夹持滚珠248。另外，在另一个位置，虽然内槽246与外槽之间的间隔宽广，但是通过与移动面垂直的力产生使θ组块240以一个位置为轴进行旋转的力矩，从而利用内槽246以及外槽在上下方向（与移动面垂直的方向）夹持滚珠248。其结果，抑制配置于靠近单元基座200一侧的θ组块240的晃动，因此能够提高作为移动机构150整体的刚性。此外，伴随着Y工作台132的移动而在移动方向上作用惯性力的Y组块260预先配置于未施加其他组块（220、240）的重量的下层的位置，从而期望减少对Y组块260作用的惯性力。

另外，在前述的实施例中，虽仅对于驱动靠近单元基座200一侧的X组块220的压电马达300x而言，使振动体310的推压方向相对于移动面倾斜地配置，但对于压电马达300θ、压电马达300y而言也相同，也可以使振动体310的推压方向相对于移动面倾斜地配置。这样一来，抑制θ组块240、Y组块260的晃动，因此能够进一步提高移动机构150整体的刚性。

另外，在前述的实施例中，虽构成为将压电马达300x固定于X组块220侧，将振动体310的凸部312朝单元基座200侧（受压体210）推压，但也可以与此相反，构成为将压电马达300x固定于单元基座200侧，将振动体310的凸部312朝X组块220侧推压。在该情况下，X组块220直接承受振动体310的作用力。而且，通过预先使振动体310的推压方向相对于移动面倾斜，在X组块220承受的作用力中包含有与移动面平行的成分和与移动面垂直的成分，因此与前述的实施例相同，不论在X轨道222的两侧的滚珠引导的哪一方都通过内槽224与外槽204夹持滚珠206，能够抑制X组块220的晃动。

另外，在前述的实施例中，虽构成为将X组块220、θ组块240、Y组块260相对于单元基座200朝下方悬吊，但不限定于此，也可以构成为将X组块220、θ组块240、Y组块260相对于单元基座200载置于上方。在这种情况下，若将驱动配置于靠近单元基座200一侧的X组块220的压电马达300x以使振动体310的推压方向相对于移动面倾斜的状态进行配置，则能够抑制施加其他组块（240、260）的重量的基端侧的X组块220的晃动，因此能够提高移动机构150整体的刚性。

另外，在前述的实施例中，外槽204以及内槽224的剖面形状形成为半圆形。但是，外槽204以及内槽224的剖面形状不限定于此，只要是对滚珠206等滚动体以能够滚动的方式进行夹持的形状即可。例如，可以形成V字形状。

另外，在前述的实施例中，在外槽204与内槽224之间插入有多个滚珠206作为滚动体。但是，只要是能够在外槽204与内槽224之间滚动并使X组块220顺利地移动的滚动体即可，不限定于滚珠206。例如，也可以设为使多个圆筒形的滚轴沿着外槽204以及内槽224交替地正交而排列的交叉辊。交叉辊的滚轴与V槽线接触，从而能够耐高负载，因此若使用交叉辊，则能够提高移动机构150的刚性。

附图标记说明：

1…电子部件；100…电子部件检查装置；110…基台；112d…下游侧工作台；112u…上游侧工作台；114…摄像装置；116…检查台；118…控制装置；130…支承台；132…Y工作台；134…臂部；136…X工作台；138…摄像照相机；140…把持装置；142…把持部；150…移动机构；200…单元基座；202…X轨道座；204…外槽；206…滚珠；208…贯通孔；210…受压体；220…X组块；222…X轨道；224…内槽；226…贯通孔；240…θ组块；242…导向轴；244…贯通孔；246…内槽；248…滚珠；250…受压台；252…受压体；254…Y轨道；256…内槽；260…Y组块；262…Y轨道座；264…外槽；266…滚珠；268…受压体；270…轴支承部；280…轴；300x、300y、300θ…压电马达；310…振动体；312…凸部；314…表面电极；320…推压弹簧。

Claims (17)

1.一种移动机构，其特征在于，具备：

支承体，其设置于规定的位置，并支承所述移动机构；

第一移动体，其相对所述支承体能够沿第一方向移动；

第一振动体，其包含压电材料并能够产生所述第一方向的振动，在被向所述支承体或者所述第一移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第二移动体，其隔着所述第一移动体设置于与所述支承体相反的一侧，随同所述第一移动体的移动，相对所述第一移动体能够沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；

第二振动体，其包含压电材料并能够产生所述第二方向的振动，在被向所述第一移动体或者所述第二移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第一槽，其在所述支承体设置一对，并形成为与所述第一方向平行；

第二槽，其在所述第一移动体设置一对，并形成为与所述第一槽相对；

多个滚动体，它们设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述第一移动体的移动而滚动；以及

移动轴，其包含所述滚动体，并与所述第一方向平行，

所述移动轴以在与所述支承体和所述第一移动体相对的方向交叉的方向上分离的方式设置有两列，

所述第一槽和所述第二槽相对的方向与所述支承体和所述第一移动体相对的方向交叉，并且，所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和在另一方是相反的，

所述第一振动体被推压的推压方向相对于包含所述两列移动轴的移动面倾斜。

2.根据权利要求1所述的移动机构，其特征在于，

所述支承体设置于能够沿规定方向移送所述移动机构的移送体，

所述第一方向是与所述移送体的移送方向不同的方向。

3.根据权利要求2所述的移动机构，其特征在于，具备：

转动体，其以与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向为轴进行转动；和

第三振动体，其包含压电材料并能够产生振动，并通过该振动来驱动所述转动体，

所述第三振动体产生的振动的方向是与所述移送体的移送方向不同的方向。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的移动机构，其特征在于，

在所述支承体或者所述第一移动体中的任意一方的所述第一振动体所推压的部分，以供所述振动体抵接的面与所述推压方向成为垂直的姿态埋入有形成为大致长方体形状的受压体。

5.根据权利要求4所述的移动机构，其特征在于，

所述受压体由硬度高于所述支承体或者所述移动体中的埋入有所述受压体的一侧的材料形成。

6.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：

把持部，其对电子部件进行把持；以及

移动机构，其使把持了所述电子部件的所述把持部移动，

所述移动机构具备：

支承体，其设置于规定的位置，并支承移动机构；

第一移动体，其相对所述支承体能够沿第一方向移动；

第一振动体，其包含压电材料并能够产生所述第一方向的振动，在被向所述支承体或者所述第一移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第二移动体，其隔着所述第一移动体设置于与所述支承体相反的一侧，随同所述第一移动体的移动，相对所述第一移动体能够沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；

第二振动体，其包含压电材料并能够产生所述第二方向的振动，在被向所述第一移动体或者所述第二移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第一槽，其在所述支承体设置一对，并形成为与所述第一方向平行；

第二槽，其在所述第一移动体设置一对，并形成为与所述第一槽相对；

多个滚动体，它们设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述第一移动体的移动而滚动；以及

移动轴，其包含所述滚动体，并与所述第一方向平行，

所述移动轴以在与所述支承体和所述第一移动体相对的方向交叉的方向上分离的方式设置有两列，

所述第一槽和所述第二槽相对的方向与所述支承体和所述第一移动体相对的方向交叉，并且，所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和在另一方是相反的，

所述第一振动体被推压的推压方向相对于包含所述两列移动轴的移动面倾斜。

7.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：

把持部，其对电子部件进行把持；

移动机构，其使把持了所述电子部件的所述把持部移动；以及

检查部，其对所述电子部件进行检查，

所述移动机构具备：

支承体，其设置于规定的位置，并支承移动机构；

第一移动体，其相对所述支承体能够沿第一方向移动；

第一振动体，其包含压电材料并能够产生所述第一方向的振动，在被向所述支承体或者所述第一移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第二移动体，其隔着所述第一移动体设置于与所述支承体相反的一侧，随同所述第一移动体的移动，相对所述第一移动体能够沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；

第二振动体，其包含压电材料并能够产生所述第二方向的振动，在被向所述第一移动体或者所述第二移动体中的任意一方推压的状态下被任意另一方支承；

第一槽，其在所述支承体设置一对，并形成为与所述第一方向平行；

第二槽，其在所述第一移动体设置一对，并形成为与所述第一槽相对；

多个滚动体，它们设置于所述第一槽与所述第二槽之间，并伴随着所述第一移动体的移动而滚动；以及

移动轴，其包含所述滚动体，并与所述第一方向平行，

所述移动轴以在与所述支承体和所述第一移动体相对的方向交叉的方向上分离的方式设置有两列，

所述第一槽和所述第二槽相对的方向与所述支承体和所述第一移动体相对的方向交叉，并且，所述第一槽以及所述第二槽的位置关系在所述两列移动轴的一方和在另一方是相反的，

所述第一振动体被推压的推压方向相对于包含所述两列移动轴的移动面倾斜。

8.一种移动机构，其特征在于，具备：

支承体，其对能够移动的机构进行支承；

第一移动体，其以相对所述支承体能够沿第一方向移动的方式配置；

第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述第一方向平行；

第一振动体，其配置于所述支承体并能够按压所述第一移动体地被推压，或者配置于所述第一移动体并能够按压所述支承体地被推压；

第二移动体，其经由所述第一移动体设置于与所述支承体相反的一侧，相对所述第一移动体能够沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；

第二槽，其设置于所述第一移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；

第二振动体，其配置于所述第一移动体并能够按压所述第二移动体地被推压，或者配置于所述第二移动体并能够按压所述第一移动体地被推压；

所述第一槽和所述第二槽对置的方向与所述支承体和所述移动体对置的方向交叉，

所述第一振动体被推压的推压方向与所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向交叉。

9.根据权利要求8所述的移动机构，其特征在于，

所述支承体设置于能够沿规定方向移送所述移动体的移送体，

所述第一方向是与所述移送体的移送方向不同的方向。

10.根据权利要求9所述的移动机构，其特征在于，具备：

转动体，其以与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向为轴进行转动；以及

第三振动体，其驱动所述转动体。

11.根据权利要求10所述的移动机构，其特征在于，

所述转动体配置于所述第一移动体与所述第二移动体之间。

12.根据权利要求8～11中任一项所述的移动机构，其特征在于，

在所述支承体或者所述第一移动体中的任意一方的所述第一振动体所推压的部分配置有受压体，

所述受压体的供所述振动体抵接的面与所述推压方向垂直。

13.根据权利要求12所述的移动机构，其特征在于，

所述受压体由硬度高于配置有所述受压体的、所述支承体或者所述移动体的硬度的材料形成。

14.根据权利要求8～13中任一项所述的移动机构，其特征在于，

所述第一振动体、所述第二振动体以及所述第三振动体包含压电材料，并产生沿所述推压方向伸缩的振动和朝与所述推压方向正交的方向弯曲的振动。

15.根据权利要求14所述的移动机构，其特征在于，

所述第一振动体、所述第二振动体以及所述第三振动体被弹性部件朝与所述推压方向正交的方向按压。

16.一种电子部件输送装置，其特征在于，具备：

把持部，其对电子部件进行把持；

支承体，其对能够移动的机构进行支承；

第一移动体，其以相对所述支承体能够沿第一方向移动的方式配置；

第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述第一方向平行；

第一振动体，其配置于所述支承体并能够按压所述第一移动体地被推压，或者配置于所述第一移动体并能够按压所述支承体地被推压；

第二移动体，其具备所述把持部，并经由所述第一移动体设置于与所述支承体相反的一侧，相对所述第一移动体能够沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；

第二槽，其设置于所述第一移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；

第二振动体，其配置于所述第一移动体并能够按压所述第二移动体地被推压，或者配置于所述第二移动体并能够按压所述第一移动体地被推压；

所述第一槽和所述第二槽对置的方向与所述支承体和所述移动体对置的方向交叉，

所述第一振动体被推压的推压方向与所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向交叉。

17.一种电子部件检查装置，其特征在于，具备：

把持部，其对电子部件进行把持；

检查部，其对所述电子部件进行检查；

支承体，其对能够移动的机构进行支承；

第一移动体，其以相对所述支承体能够沿第一方向移动的方式配置；

第一槽，其设置于所述支承体，并形成为与所述第一方向平行；

第一振动体，其配置于所述支承体并能够按压所述第一移动体地被推压，或者配置于所述第一移动体并能够按压所述支承体地被推压；

第二移动体，其具备所述把持部，并经由所述第一移动体设置于与所述支承体相反的一侧，相对所述第一移动体能够沿与所述第一方向交叉的第二方向移动；

第二槽，其设置于所述第一移动体，形成为与所述移动方向平行，并形成于与所述第一槽对置的位置；

第二振动体，其配置于所述第一移动体并能够按压所述第二移动体地被推压，或者配置于所述第二移动体并能够按压所述第一移动体地被推压；

所述第一槽和所述第二槽对置的方向与所述支承体和所述移动体对置的方向交叉，

所述第一振动体被推压的推压方向与所述第一槽和所述第二槽对置的方向以及所述支承体和所述移动体对置的方向交叉。

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