CN103368455A - 压电电机、机械手以及机器人 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及压电电机、机械手以及机器人。压电电机具备支承压电元件的第1支承部件、第2支承部件、第3支承部件、以及第4支承部件,在各支承部件的接触面形成有凹凸。由此,接触面偏移的情况较少,能够可靠地保持压电元件,防止被驱动体的驱动能量损失。

Description

压电电机、机械手以及机器人
技术领域
本发明涉及压电电机、机械手以及机器人。
背景技术
以往,已知有利用平板的压电元件的面内振动来使被驱动体旋转或者进行直线运动的压电电机(压电致动器)。作为这种压电电机的一个例子,例如在专利文献1中公开了利用弹性部件在恒定方向上对与压电元件的振动节相应的侧面位置施力来进行保持的构造。
专利文献1:日本特开平8-237971号公报
然而,在专利文献1所记载的压电电机中,通过以限制压电元件的振动方向、特别是弯曲振动的方式而配置保持压电元件的弹性部件,从而存在压电元件的振动使弹性部件随着时间的推移而恶化,被驱动体的驱动能量损失的课题。
发明内容
本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的,能够作为以下的方式或者应用例实现。
应用例1
本应用例的压电电机的特征在于,具备:通过弯曲振动模式被激励而振动、或者通过上述弯曲振动模式和纵向振动模式被激励而振动的具有第1主面和第2主面的压电元件;与在上述压电元件的上述第1主面的4个角方向上分离配置的支承部面接触的第1主面支承部件;与上述第1主面支承部件的和上述第1主面相互面对的面面接触的按压部件;隔着上述压电元件被配置于与上述第1主面支承部件呈面对称的位置,并与上述压电元件的上述第2主面面接触的第2主面支承部件;与上述第2主面支承部件的和上述压电元件的接触面相反侧的面面接触的机壳部件,上述机壳部件、上述第2主面支承部件、上述压电元件、上述第1主面支承部件、上述按压部件被依次层叠,上述压电元件和第1主面支承部件的接触面、上述压电元件和第2主面支承部件的接触面由接合材料而接合,在上述第1主面支承部件侧以及上述第2主面支承部件侧的接触面形成有凹凸。
根据本应用例,由于在第1主面支承部件和第2主面支承部件的接触面形成有凹凸,并且通过接合材料与压电元件接合,所以接触面随着时间的推移而偏移的情况较少,能够可靠地保持压电元件,防止被驱动体的驱动能量损失。
应用例2
在上述应用例所述的压电电机中,在上述第1主面支承部件侧以及上述第2主面支承部件侧的接触面形成有凹凸,并且,优选在上述压电元件侧的接触面也形成有凹凸。
根据本应用例,能够进一步提高压电元件和第1主面支承部件以及第2主面支承部件的接触面的摩擦力,能够更加可靠地保持压电元件,由此能够防止被驱动体的驱动能量损失。
应用例3
本应用例的机械手的特征在于,是使用多根指部握住对象物的机械手,该机械手具有:以上述多根指部能够移动的方式竖立设置的基台、和通过驱动设置于上述基台的上述指部的基端来变更上述多根指部的间隔的驱动部,上述驱动部具备:通过弯曲振动模式被激励而振动、或者通过上述弯曲振动模式和纵向振动模式被激励而振动的压电元件;与在上述压电元件的第1主面的4个角方向上分离配置的支承部面接触的第1主面支承部件;与上述第1主面支承部件的和上述第1主面相互面对的面面接触的按压部件;隔着上述压电元件被配置在与上述第1主面支承部件呈面对称的位置,并与上述压电元件面接触的第2主面支承部件;与上述第2主面支承部件的和上述压电元件的接触面相反侧的面面接触的机壳部件,上述机壳部件、上述第2主面支承部件、上述压电元件、上述第1主面支承部件、上述按压部件被依次层叠,上述压电元件和第1主面支承部件的接触面、上述压电元件和第2主面支承部件的接触面由接合材料而接合,在上述第1主面支承部件以及上述第2主面支承部件的上述接触面形成有凹凸。
根据本应用例,由于在驱动部的第1主面支承部件和第2主面支承部件的接触面形成有凹凸,并且通过接合材料与压电元件接合,所以接触面随着时间的推移而偏移的情况较少,能够防止被驱动体的驱动能量损失。
由此,能够提供一种即使长时间使用,驱动能量也不降低的机械手。
应用例4
本应用例的机器人的特征在于,是具备设置有能够转动的关节部的臂部、和设置于上述臂部的手部的机器人,该机器人具有设置于上述关节部且使上述关节部弯曲或者旋转驱动的驱动部,上述驱动部具备:通过弯曲振动模式被激励而振动、或者通过上述弯曲振动模式和纵向振动模式被激励而振动的压电元件;与在上述压电元件的第1主面的4个角方向上分离配置的支承部面接触的第1主面支承部件;与上述第1主面支承部件的上述第1主面相互面对的面面接触的按压部件;隔着上述压电元件被配置于与上述第1主面支承部件面对称的位置,并与上述压电元件面接触的第2主面支承部件;与上述第2主面支承部件的和上述压电元件的接触面相反侧的面面接触的机壳部件,上述机壳部件、上述第2主面支承部件、上述压电元件、上述第1主面支承部件、上述按压部件被依次层叠,上述压电元件和第1主面支承部件的接触面、上述压电元件和第2主面支承部件的接触面通过接合材料而接合,在上述第1主面支承部件以及上述第2主面支承部件的上述接触面形成有凹凸。
根据本应用例,在驱动部的第1主面支承部件和第2主面支承部件的接触面形成有凹凸,并且通过接合材料与压电元件接合,所以接触面随着时间的推移而偏移的情况较少,能够防止被驱动体的驱动能量损失。
由此,能够提供一种即使长时间使用,驱动能量也不降低的机器人。
附图说明
图1是表示压电电机的俯视图。
图2是表示图1的D-D剖面的剖视图。
图3是表示压电元件的构成以及驱动方法的示意图,图3(a)表示静止时的俯视图,图3(b)以及图3(c)表示压电元件的振动、和被驱动体的驱动方法,图3(d)是将图3(b)和图3(c)的振动合成表示的示意图。
图4是表示压电元件的支承部S1、S2、S3、S4与支承部件的关系的俯视图。
图5是示意地表示压电元件的按压支承构造的剖视图。
图6是表示第1实施方式的压电电机的一部分的示意图,图6(a)表示按压之前的状态,图6(b)是表示按压后的状态的一部分的剖视图,图6(c)是表示凹凸的形状例子的剖视图和俯视图。
图7是表示第2实施方式的压电电机的一部分的示意图,图7(a)表示按压之前的状态,图7(b)表示凹凸形状的1个例子,图7(c)是表示按压后的状态的剖视图。
图8是例示了组入有本实施例的压电电机的机械手的说明图。
图9是例示了具备机械手的单臂机器人的说明图。
图10是例示了具备机械手的多臂机器人的说明图。
具体实施方式
以下,参照附图对本发明的实施方式进行说明。其中,在以下各图中,为了使各层、各部件成为能够识别的程度的大小,而使各层、各部件的尺寸与实际不同。
(压电电机)
图1是表示压电电机10的俯视图,图2是表示图1的D-D剖面的剖视图。在图1、图2中,压电电机10具有:压电元件20,其具有矩形的俯视面,并通过面内振动来驱动被驱动体;第1支承部件30以及第2支承部件31,它们与在压电元件20的第1主面20a的4个角方向上分离地配置的各支承部抵接。另外,将第1支承部件30以及第2支承部件31设为第1主面支承部件。
另外,压电电机10具有由按压第1支承部件30的第1按压板40和按压第2支承部件31的第2按压板41构成的按压部件;与压电元件20的和第1主面20a相互面对的第2主面20b抵接,并隔着压电元件20配设在与第1支承部件30呈面对称的位置上的第3支承部件32;与压电元件20的和第1主面20a相互面对的第2主面20b抵接,并隔着压电元件20配设在与第2支承部件31呈面对称的位置上的第4支承部件33。将这些第3支承部件32和第4支承部件33设为第2主面支承部件。压电电机10还具有将这些第2主面支承部件按压至压电元件20的作为机壳部件的壳体70。
并且,在壳体70的壳体底面71依次层叠第2主面支承部件(第3支承部件32以及第4支承部件33)、压电元件20、第1主面支承部件(第1支承部件30以及第2支承部件31)、按压部件(第1按压板40以及第2按压板41),并具备在支承部的位置进行按压的作为弹性部件的第1按压弹簧60以及第2按压弹簧61。
第1按压弹簧60被夹在第1按压板40和第1固定板50之间,通过将固定螺丝80紧固于壳体70,从而使第1支承部件30和第3支承部件32按压压电元件20。
第2按压弹簧61被夹在第2按压板41和第2固定板51之间,通过将固定螺丝80紧固于壳体70,从而使第2支承部件31和第4支承部件33按压压电元件20。另外,在图2中示出第1按压弹簧60以及第2按压弹簧61未进行按压的初始状态。
此时,如图2所示,在第1固定板50以及第2固定板51和壳体70之间在厚度方向存在间隙。这是为了在层叠压电元件20、第1主面支承部件、第2主面支承部件、第1按压板40以及第2按压板41的情况下,用第1按压弹簧60和第2按压弹簧61吸收这些构成要素的厚度的偏差。另外,在本实施方式中,第1按压弹簧60和第2按压弹簧61的按压力大概为几kg。
在压电元件20的短边侧的端部设置有突起部28。突起部28与被驱动体接触,由于通过其摩擦力来使被驱动体驱动,所以使用与被驱动体的摩擦系数高、且耐磨性优异的材料。例如使用氧化锆、陶瓷等硬质材料。突起部28通过压电元件20的弯曲振动而进行椭圆运动,并驱动被驱动体。
接下来,对本实施方式的压电电机10所使用的压电元件20以及驱动方法进行说明。
图3是表示压电元件20的构成以及驱动方法的示意图,图3(a)是静止时的俯视图,图3(b)以及图3(c)表示压电元件20的振动和被驱动体的驱动方法,图3(d)是将图3(b)和图3(c)的振动合成表示的示意图。
在图3(a)中,在压电元件20的压电体21的第1主面20a侧形成有第1励振电极22、第2励振电极23、第3励振电极24、第4励振电极25。另外,在与第1主面20a为表面背面关系的第2主面20b侧形成有共用电极26(参照图2),该共用电极26形成在压电体21的第2主面20b侧的几乎整个面上。
作为压电体21的材料,只要是具有压电性的材料即可,并不进行特别限定,但是优选使用PZT(锆钛酸铅)。另外,作为第1励振电极22、第2励振电极23、第3励振电极24、第4励振电极25以及共用电极26的材质,只要是导电性金属即可,并不进行限定,能够利用将银膏以丝网印刷等方法来形成或利用将铝、金、钨、铜等以溅射法、蒸镀法等方法来形成。
另外,第1励振电极22和第3励振电极24电连接,第2励振电极23和第4励振电极25电连接。通过这样的电极构成,若对第1励振电极22和第3励振电极24施加电荷,则压电体21伸长(以实线的箭头表示),若去除电荷,则要复原的纵向振动被激发。另一方面,若对第2励振电极23和第4励振电极25施加电荷,则压电体21伸长(以虚线的箭头表示),若去除电荷,则要复原的纵向振动被激发。
这样,通过对第1励振电极22和第3励振电极24、或者第2励振电极23和第4励振电极25施加电荷,压电元件20的面内的弯曲振动被励振。参照图3(b)、图3(c)、图3(d)对被这样激发的弯曲振动进行说明。
图3(b)表示在第1励振电极22以及第3励振电极24和共用电极26之间施加电荷,而不对第2励振电极23和第4励振电极25施加电荷的情况,在形成第1励振电极22以及第3励振电极24的范围内纵向振动被激发(参照图3(a))。但是由于未对第2励振电极23和第4励振电极25施加电荷,所以第2励振电极23和第4励振电极25的范围内的纵向振动未被激发,其结果,压电元件20如图3(b)那样在面内激发二次弯曲振动,突起部28向图示的椭圆轨道QL的箭头方向进行椭圆运动。由于突起部28被按压至被驱动体90,所以通过突起部28的QL方向的椭圆轨道,使抵接的被驱动体90向HL方向移动。
另外,如图3(b)所示,用L表示弯曲振动的中心轴,用P1、P2、P3表示振动节,用La表示振动模式。
在突起部28和被驱动体90的接触部,通过突起部28的椭圆轨道QL,并基于接触部的摩擦力对被驱动体90产生驱动力。通过该驱动力被驱动体90被向HL方向驱动。
图3(c)表示在第2励振电极23以及第4励振电极25和共用电极26之间施加电荷,而未对第1励振电极22和第3励振电极24施加电荷的情况,在形成第2励振电极23以及第4励振电极25的范围内纵向振动被激发(参照图3(a))。但是由于未对第1励振电极22和第3励振电极24施加电荷,所以在形成第1励振电极22和第3励振电极24范围内的纵向振动未被激发,其结果,压电元件20如图3(c)那样在面内二次弯曲振动被激发,突起部28向图示的椭圆轨道QR的箭头方向进行椭圆运动。突起部28被按压至被驱动体90,所以通过突起部28的QR方向的椭圆运动,使被驱动体90向HR方向被驱动。
另外,如图3(c)所示,用L表示弯曲振动的中心轴,用P1、P2、P3表示振动节,用Lb表示振动模式。
在突起部28和被驱动体90的接触部,通过突起部28的椭圆轨道QR,并基于摩擦力对被驱动体90产生驱动力。通过该驱动力向HR方向驱动被驱动体90。
这样,通过切换向第1励振电极22以及第3励振电极24和第2励振电极23以及第4励振电极25的电荷施加,能够改变压电元件20的弯曲振动的方向,进而能够容易地切换被驱动体90的驱动方向。
使用图3(d),对上述的压电元件20的弯曲振动以及纵向振动的2个振动模式中的振动节进行说明。
图3(d)是表示压电元件20的振动模式的示意图。如图3(d)所示,表示压电元件20的使用图3(b)、图3(c)说明的振动状态的弯曲振动模式。若将振动模式La、Lb合成来表示,则在振动的中心轴L上存在振动节P1、P2、P3。
通过该振动节P1、P2、P3,并在与压电元件20的纵向振动正交的方向上延长的线Pr1、Pr2、Pr3(以后,表示为节线Pr1、Pr2、Pr3)上的范围是压电元件20的位移比其他位置小的区域。因此,优选在节线Pr1、Pr2、Pr3上的范围配置按压支承压电元件20的支承部,更优选在包含与压电元件20的外形部最近的振动节P2、P3的区域配置支承部。
接下来,参照图4、图5对压电元件20的按压支承构造进行说明。
图4是表示压电元件20的支承部S1、S2、S3、S4与支承部件的关系的俯视图。这里,第1支承部件30被配置为在节线Pr2上横跨第1励振电极22和第2励振电极23。第1支承部件30和第1励振电极22交叉的区域是支承部S1,第1支承部件30和第2励振电极23交叉的区域是支承部S2。第3支承部件32被配置成隔着压电元件20与第1支承部件30大致呈面对称(参照图5)。
另一方面,第2支承部件31被配置成在节线Pr3上横跨第3励振电极24和第4励振电极25。第2支承部件31和第3励振电极24交叉的区域是支承部S3,第2支承部件31和第4励振电极25交叉的区域是支承部S4。第4支承部件33被配置成隔着压电元件20与第2支承部件31大致呈面对称(参照图5)。
如以上说明,支承部S1、S2、S3、S4分别被配置在压电元件20的4个角方向上。
另外,本实施方式的压电元件20是长度为30mm、宽度为7.5mm、厚度为3.0mm的扁平的长方体,与其他的步进电机、伺服电机相比,能够使压电电机10小型化、轻量化。
图5是示意性表示压电元件20的按压支承构造的剖视图,表示图4的C-C剖面。如图5所示,在壳体底面71上配设第3支承部件32以及第4支承部件33,并且在第3支承部件32以及第4支承部件33的上部重叠压电元件20,在压电元件20的上部重叠第1支承部件30以及第2支承部件31,并进一步层叠第1按压板40以及第2按压板41,压电元件20在支承部S1、S2、S3、S4的位置(参照图4)被第1按压弹簧60和第2按压弹簧61(省略图示)以按压力F按压支承。
更具体地说,如图4、图5所示,第1支承部件30与第1励振电极22的表面22a和第2励振电极23的表面23a面接触,第2支承部件31与第3励振电极24的表面24a和第4励振电极25的表面25a面接触。另外,第3支承部件32以及第4支承部件33与共用电极26的表面26a面接触。另外,对于压电元件20的按压支承而言,优选在上述各要素的接触面夹有接合材料,并且形成凹凸以增大摩擦力。关于上述各要素的接触面的构成,在图6、图7中示出实施方式并对其进行说明。
(第1实施方式)
图6是表示压电电机的第1实施方式的示意图,图6(a)表示接合各要素之前的状态,图6(b)是表示接合各要素后的状态的一部分的剖视图。本实施方式示出在第1支承部件30、第2支承部件31、第3支承部件32、第4支承部件33的与压电元件20接触的接触面形成有凹凸T的构成。另外,图6(c)例示了凹凸T的形状。另外,第1支承部件30、第2支承部件31、第3支承部件32、第4支承部件33为大致相同规格,故例示第1支承部件30和与第1支承部件30对置的第3支承部件32来进行说明。
如图6(a)所示,在第1支承部件30的与压电元件20接触侧的表面30a以及第3支承部件32的压电元件20侧的表面32a形成有凹凸T。在本实施方式中,第1支承部件30、第2支承部件31、第3支承部件32以及第4支承部件33的材质为聚酰亚胺或者ABS树脂等,各支承部件为长度为5.0mm、宽度为6.5mm、厚度为1.0mm的长方体。另外,第1励振电极22、第2励振电极23、第3励振电极24、第4励振电极25以及共用电极26为银膏。
接下来,若在励振电极22、23和第1支承部件30之间以及共用电极26和第3支承部件32之间涂敷接合材料S,则接合材料S包围第1支承部件30、第3支承部件32的凹凸T的整个面,如图6(b)所示那样接合。另外,在图6(b)中省略接合材料S。作为接合材料S的材料,例如使用丙烯粘合剂等。该丙烯粘合剂的特征在于强度随着温度变化恶化较少。
这样,通过存在接合材料S的接合力、第1支承部件30和第3支承部件32的凹凸T,能够增大接触面的摩擦力。另外,凹凸T也能够适用各种方式,因此例示说明了代表性的实施方式。
图6(c)是直线形成了凹凸T的例子,上面的图表示剖视图,下面的图表示俯视图。凹凸T在与压电元件20的纵向振动方向大致正交的方向上形成为直线状。使用锉刀、砂纸、硬质的转印模具等来形成该凹凸T。凹凸T的间距、深度根据成为对象的各电极的表面硬度而被决定。
如以上所述,根据第1实施方式的压电电机10,能够取得以下的效果。
上述的压电电机10在第1支承部S1、第2支承部S2、第3支承部S3、第4支承部S4的各接触面形成有凹凸T。由此,接触面随着时间的推移而偏移的情况较少,能够可靠地保持压电元件20,防止被驱动体90的驱动能量损失。
另外,也可以在各电极上也形成凹凸,参照图7对第2实施方式进行说明。
(第2实施方式)
图7是表示第2实施方式的一部分的示意图,图7(a)表示接合之前的状态,图7(b)表示凹凸形状的1个例子,图7(c)是表示接合后的状态的剖视图。本实施方式是在各支承部件、形成在压电元件20上的第1励振电极22、第2励振电极23、第3励振电极24以及第4励振电极25、共用电极26形成有凹凸的构成。例示第1支承部件30以及第1励振电极22、第3支承部件32和共用电极26进行说明。另外,对与第1实施方式(参照图6)相同的部分赋予相同的附图标记。
如图7(a)所示,在第1支承部件30以及第3支承部件32上形成有凹凸T,在第1励振电极22以及共用电极26上形成有凹凸T2。
如图7(b)所示,对第1励振电极22进行图案化,从而在第1支承部件30和第1励振电极22的交叉的区域,即、支承部S1的区域形成凹凸T2。共用电极26也同样。能够通过丝网印刷容易地将凹凸T2形成为所希望的形状、且根据电极材料和支承部件的表面硬度来决定相当于凸部或者凹部的部分的宽度以及间距。
并且,若在励振电极22、23和第1支承部件30之间以及共用电极26和第3支承部件32之间涂敷接合材料S,则接合材料S包围第1支承部件30、第3支承部件32的凹凸T以及各电极的凹凸T2的整个表面,如图7(c)所示那样接合。另外,在图7(c)中省略了接合材料S。
这样,由于存在接合材料S的接合力、第1支承部件30和第3支承部件32的凹凸T以及各电极的凹凸T2,所以能够增大接触面的摩擦力。另外,励振电极侧的凹凸T2和共用电极侧的凹凸T2的形状未必相同。
如以上所述,根据第2实施方式的压电电机10,能够取得以下的效果。
上述的压电电机10在第1支承部S1、第2支承部S2、第3支承部S3、第4支承部S4的各接触面形成有凹凸T,并且在第1励振电极22、第2励振电极23、第3励振电极24以及第4励振电极25和共用电极26形成有凹凸T2。由此,能够进一步提高摩擦力,接触面随着时间的推移而偏移的情况较少,能够可靠地保持压电元件20,防止被驱动体90的驱动能量损失。
(第3实施方式)
能够优选将上述的本实施例的压电电机10作为驱动机械手的驱动部来组入。
图8是例示了组入有上述实施方式的压电电机10的机械手200的说明图。图示的机械手200(手部)从基台202竖立设置有多根指部203,经由手腕204与手臂210连接。这里,指部203的指根部分能够在基台202内移动,以将突起部28按压至该指部203的指根部分的状态搭载有压电电机10。因此,通过使压电电机10动作,能够使指部203移动并握住对象物。该压电电机10成为变更多根指部203的间隔的“驱动部”。另外,对于手腕204的部分而言,也是以将突起部28按压至手腕204的端面的状态搭载有压电电机10。因此,通过使压电电机10驱动,能够使基台202整体旋转。
(第4实施方式)
图9是例示了具备机械手200(手部)的单臂机器人250的说明图。如图所示,机器人250具有手臂210(臂部),该手臂210具备:多根连接部212(连接部件)、和使这些连接部212间能够以弯曲的状态连接的关节部220。另外,机械手200与手臂210的前端连接。并且,关节部220内置有压电电机10作为用于使关节部220弯曲的驱动部。因此,通过使压电电机10动作,能够使各关节部220以任意的角度弯曲。
图10是例示了具备机械手200的多臂机器人260的说明图。如图所示,机器人260具有多根(在图示的例子中为2根)手臂210,该手臂210具备:多根连接部212、和使这些连接部212之间能够以弯曲状态连接的关节部220。在手臂210的前端连接有机械手200、工具201(手部)。另外,在头部262搭载有多台照相机263,在主体部264的内部搭载有控制整体的动作的控制部266。并且,通过在主体部264的底面设置的小脚轮268能够进行搬送。对于该机器人260而言,在关节部220中内也设置有压电电机10作为用于使关节部220弯曲的驱动部。因此,通过使压电电机10驱动,能够使各关节部220以任意的角度弯曲。
符号说明
10…压电电机,20…压电元件,20a…第1主面,20b…第2主面,22…第1励振电极,23…第2励振电极,24…第3励振电极,25…第4励振电极,26…共用电极,30…第1支承部件,30a…表面,31…第2支承部件,32…第3支承部件,32a…表面,33…第4支承部件,70…壳体,200…机械手,250…机器人,260…机器人

Claims (13)

1.一种压电电机,其特征在于,
具备:
压电元件,其具有第1主面和第2主面,该压电元件通过弯曲振动模式被激发而振动、或者通过所述弯曲振动模式和纵向振动模式被激发而振动;
第1主面支承部件,其与在所述压电元件的所述第1主面的4个角方向上分离配置的支承部面接触;
按压部件,其与所述第1主面支承部件的和所述第1主面相互面对的面面接触;
第2主面支承部件,其隔着所述压电元件而配置于与所述第1主面支承部件呈面对称的位置,且与所述压电元件的所述第2主面面接触;以及
机壳部件,其与所述第2主面支承部件的和所述压电元件的接触面相反侧的面面接触,
所述机壳部件、所述第2主面支承部件、所述压电元件、所述第1主面支承部件、所述按压部件被依次层叠,所述压电元件和所述第1主面支承部件的接触面以及所述压电元件和所述第2主面支承部件的接触面通过接合材料而接合,在所述第1主面支承部件以及所述第2主面支承部件的所述接触面形成有凹凸。
2.根据权利要求1所述的压电电机,其特征在于,
在所述第1主面支承部件以及所述第2主面支承部件的所述接触面形成有凹凸,
并且,在所述压电元件的所述接触面上也形成有凹凸。
3.一种机械手,其特征在于,是使用多根指部握住对象物的机械手,该机械手具有:
基台,所述多根指部以能够移动的方式被竖立设置于该基台;
驱动部,其通过被设置于所述基台并对所述指部的基端进行驱动,从而变更所述多根指部的间隔,
所述驱动部具备:
压电元件,其通过弯曲振动模式被激发而振动、或者通过所述弯曲振动模式和纵向振动模式被激发而振动;
第1主面支承部件,其与在所述压电元件的第1主面的4个角方向上分离配置的支承部面接触;
按压部件,其与所述第1主面支承部件的和所述第1主面相互面对的面面接触;
第2主面支承部件,其在隔着所述压电元件而配置于与所述第1主面支承部件呈面对称的位置,且与所述压电元件面接触;以及
机壳部件,其与所述第2主面支承部件的和所述压电元件的接触面相反侧的面面接触,
所述机壳部件、所述第2主面支承部件、所述压电元件、所述第1主面支承部件、所述按压部件被依次层叠,所述压电元件和所述第1主面支承部件的接触面、所述压电元件和所述第2主面支承部件的接触面通过接合材料而接合,在所述第1主面支承部件以及所述第2主面支承部件的所述接触面形成有凹凸。
4.一种机器人,其特征在于,是具备设置有能够转动的关节部的臂部、和设置于所述臂部的手部的机器人,
该机器人具有设置在所述关节部来使所述关节部弯曲或者旋转驱动的驱动部,
所述驱动部具备:
压电元件,其通过弯曲振动模式被激发而振动、或者通过所述弯曲振动模式和纵向振动模式被激发而振动;
第1主面支承部件,其与在所述压电元件的第1主面的4个角方向上分离配置的支承部面接触;
按压部件,其与所述第1主面支承部件的和所述第1主面相互面对的面面接触;
第2主面支承部件,其隔着所述压电元件而配置于与所述第1主面支承部件呈面对称的位置,且与所述压电元件面接触;
机壳部件,其与所述第2主面支承部件的和所述压电元件的接触面相反侧的面面接触,
所述机壳部件、所述第2主面支承部件、所述压电元件、所述第1主面支承部件、所述按压部件被依次层叠,所述压电元件和所述第1主面支承部件的接触面、所述压电元件和所述第2主面支承部件的接触面通过接合材料而接合,在所述第1主面支承部件以及所述第2主面支承部件的所述接触面形成有凹凸。
5.一种压电电机,其特征在于,具备:
弯曲振动的压电元件;
第1支承部件以及第2支承部件,它们被配置于所述压电元件的一方的面,并支承所述压电元件;以及
第3支承部件以及第4支承部件,它们被配置于与所述压电元件的一方的面相反侧的另一方的面,并支承所述压电元件,
所述一方的面以及所述另一方的面包括所述压电元件进行所述弯曲振动的方向,
在所述第1支承部件、所述第2支承部件、所述第3支承部件以及所述第4支承部件在与所述压电元件接触的接触部有凹凸。
6.根据权利要求5所述的压电元件,其特征在于,
所述第3支承部件被配置成经由所述压电元件与所述第1支承部件对置,
所述第4支承部件被配置成经由所述压电元件与所述第2支承部件对置。
7.根据权利要求5或者6所述的压电电机,其特征在于,
在所述压电元件的所述一方的面以及所述另一方的面有凹凸。
8.根据权利要求5至7中的任意一项所述的压电电机,其特征在于,
配置于所述压电元件的所述一方的面以及所述另一方的面的励振电极有凹凸。
9.根据权利要求5至8中的任意一项所述的压电电机,其特征在于,
所述凹凸在所述压电元件与被驱动体抵接的方向的剖面。
10.根据权利要求5至9中的任意一项所述的压电电机,其特征在于,具备:
按压部件,其从所述一方的面按压所述第1支承部件以及所述第2支承部件;
机壳部件,其从所述另一方的面按压所述第3支承部件以及所述第4支承部件;
弹性部件,其与所述按压部件接触,向所述压电元件按压所述按压部件。
11.根据权利要求10所述的压电元件,其特征在于,
所述弹性部件是弹簧。
12.一种机械手,其特征在于,具备:
能够开合的指部;
设置有所述指部的基部;
进行弯曲振动的压电元件;
第1支承部件以及第2支承部件,它们被配置于所述压电元件的一方的面,支承所述压电元件;以及
第3支承部件以及第4支承部件,它们被配置于与所述压电元件的一方的面相反侧的另一方的面,支承所述压电元件,
所述一方的面以及所述另一方的面包括所述压电元件进行所述弯曲振动的方向,
在所述第1支承部件、所述第2支承部件、所述第3支承部件以及所述第4支承部件在与所述压电元件接触的接触部有凹凸。
13.一种机器人,其特征在于,具备:
臂部,其具备能够弯曲的关节部;
进行弯曲振动的压电元件;
第1支承部件以及第2支承部件,它们被配置于所述压电元件的一方的面,支承所述压电元件;以及
第3支承部件以及第4支承部件,它们被配置于与所述压电元件的一方的面相反侧的另一方的面,支承所述压电元件,
所述一方的面以及所述另一方的面包括所述压电元件进行所述弯曲振动的方向,
在所述第1支承部件、所述第2支承部件、所述第3支承部件以及所述第4支承部件在与所述压电元件接触的接触部有凹凸。
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