JP4981547B2 - 駆動装置および撮像装置 - Google Patents

Description

本発明は、振動子の楕円振動を利用して移動体を駆動して所定の方向に移動させる駆動装置および該駆動装置によりブレ補正するデジタルカメラ等の撮像装置に関するものである。

従来、ブレ補正機能を備える撮像装置として、例えば、カメラがある。このカメラが備えるブレ補正機能としては、カメラピッチ方向のブレ振動とカメラヨー方向のブレ振動とを角速度センサ等のブレ検出手段を用いて検出し、検出されたブレ信号に基づいて、ブレを打ち消す方向に撮像光学系の一部、若しくは、撮像素子を撮影光軸に直交する平面内で水平方向および垂直方向にそれぞれ独立的にシフトさせることにより撮像素子の撮像面上での像のブレを補正する手ブレ補正機能が知られている。

このような手ブレ補正機能を実現する手ブレ補正機構においては、手ブレを補正するために撮影レンズの一部のレンズ、或いは、撮像素子そのものを撮影光軸に直交する平面内で水平方向および垂直方向に移動する駆動手段が用いられている。この駆動手段は、手ブレに追随して動作させるために高い応答性と、精密駆動（微小駆動）と、電源を切っても移動体の位置が保持される自己保持性が要求される。

このような要求に対して、本出願人は特願２００６−３３８７１５号により手ブレ補正機構として楕円振動をその表面に発生する振動子と、その振動子に押圧された移動体を夫々２つを組み合わせた駆動装置を提示している。

しかしながら、前記の駆動装置では第１の振動子と第２の振動子の共振周波数が略同じでかつ、第１の振動子が接触する第１の移動体部と第２の振動子が接触する第２の移動体部が略同じ剛性をもつことにより共振周波数が略同じであり、しかも、第１の振動子の振動が第１の移動体部及び第１の移動体を通して第２の振動子に伝播して不要な共振を発生させていた。この不要な共振により、振動子の振動エネルギーが浪費され、駆動装置の出力が低下したり、不要な共振により可聴音が発生するといった不具合が生じていた。上記では第１の振動子の駆動による第２の振動子側での不要共振について述べたが、第２の振動子の駆動による第１の振動子側での不要共振の発生は、上述した経路を逆に辿ることによっても発生していた。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、小型で駆動力が大きくて高効率な駆動装置および該駆動装置を適用する撮像装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る請求項１記載の駆動装置は、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有する固定部材と、前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第１の移動体部が固定されている第１の移動体と、前記第１の移動体に設けられた第２の保持部に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、前記第２の振動子の駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第１の方向と異なる第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する第２の移動体部が固定されている第２の移動体とを備え、前記第１の振動子と前記第２の振動子は略同一の共振周波数をもち、前記第１、第２の移動体部は、それらの剛性および密度の内、少なくとも一方が異なる。

本発明の請求項２記載の駆動装置は、請求項１記載の駆動装置において、前記第１の移動体部と第２の移動体部の弾性率が異なる。

本発明の請求項３記載の駆動装置は、請求項１記載の駆動装置において、前記第１の移動体部と第２の移動体部の断面二次モーメントが異なる。

本発明の請求項４記載の駆動装置は、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有する固定部材と、前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して前記第１の方向に移動する第１の移動体部が固定されている第１の移動体と、前記第１の移動体に設けられた第２の保持部に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、前記第２の振動子の駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第１の方向と異なる第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する第２の移動体部が固定されている第２の移動体とを備えており、前記第１の振動子と前記第２の振動子は略同一の共振周波数をもち、前記第１の移動体部と第２の移動体部は、前記第１の移動体、第２の移動体への固定方法が異なる。

本発明の請求項５記載の駆動装置は、請求項４記載の駆動装置において、前記第１の移動体部と第２の移動体部の固定方法により前記第１の移動体部と第２の移動体部の屈曲振動状態を異ならせる。

本発明の請求項６記載の駆動装置は、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有する固定部材と、前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して前記第１の方向に移動する第１の移動体部が固定されている第１の移動体と、前記第１の移動体に設けられた第２の保持部に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、前記第２の振動子の駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第１の方向と異なる第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する第２の移動体部が固定されている第２の移動体とを備えており、前記第１の振動子と前記第２の振動子は、異なる共振周波数をもつ。

本発明の請求項７記載の撮像装置は、撮影光軸に直交する平面内で直交する第１の方向および第２の方向に撮像素子をブレを補償するように変位移動させる撮像装置において、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有して、撮像装置本体に固着された固定部材と、前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により前記第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第１の移動体部が固定された第１の移動体と、第２の保持部を有する前記第１の移動体に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、前記第２の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する、前記撮像素子を前記撮影光軸上に保持した第２の移動体部が固定された第２の移動体とを備えており、前記第１の移動体部と第２の移動体部との剛性および密度の内、少なくとも１つが異なる。

本発明に係る駆動装置および撮像装置によれば、効率が高く大きな駆動力を得やすい楕円振動を生ずる第１及び、第２の振動子を駆動源として用いる一方、移動体側は、第１の振動子が直接接触駆動する第１の移動体部が固定された第１の移動体と、この第１の移動体に保持されてほぼ第１の振動子と同じ共振周波数をもつ第２の振動子を駆動源として動作する第２の移動体部が固着された第２の移動体からなっており、第１の移動体部と第２の移動体部の剛性が異なることにより、第１あるいは第２の振動子が駆動のために振動した時に第１の移動体を通して振動が他方の移動体部及び振動子に伝わり、共振振動を発生させることがないので、振動子の振動が不要な振動に奪われることがなく出力の高い駆動装置を提供できる。また、不要な共振振動が発生しないので、不要な可聴音も発生することがない。

以下、本発明に係る駆動装置および撮像装置を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。なお、各実施の形態の撮像装置は、光電変換によって画像信号を得る撮像素子を含む撮像ユニットの手ブレ補正を行うための駆動装置を搭載したものであり、ここでは、一例としてレンズ交換可能な一眼レフレックス式電子カメラ（デジタルカメラ）への適用例として説明する。本発明は、以下の実施の形態に限らず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、種々の変形が可能である。

まず、本発明の第１の実施の形態の撮像装置であるカメラのシステム構成例について、図１を参照して説明する。
図１は、本実施の形態のカメラの主に電気的なシステム構成を概略的に示すブロック図である。

本実施の形態のカメラは、カメラ本体としてのボディユニット１００と、アクセサリ装置の一つである交換レンズとしてのレンズユニット１０とによりシステム構成されている。

レンズユニット１０は、ボディユニット１００の前面に設けられた図示しないレンズマウントを介して着脱自在である。レンズユニット１０の制御は、自身が有するレンズ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｌμｃｏｍ”と称する）５が行う。ボディユニット１００の制御は、ボディ制御用マイクロコンピュータ（以下、“Ｂμｃｏｍ”と称する）５０が行う。これらＬμｃｏｍ５とＢμｃｏｍ５０とは、ボディユニット１００にレンズユニット１０を装着した状態において通信コネクタ６を介して通信可能に電気的に接続される。そして、カメラシステムとして、Ｌμｃｏｍ５がＢμｃｏｍ５０に従属的に協働しながら稼動するように構成されている。

レンズユニット１０は、撮影レンズ１と絞り３を備える。撮影レンズ１は、レンズ駆動機構２内に設けられた図示しないＤＣモータによって駆動される。絞り３は、絞り機構４内に設けられた図示しないステッピングモータによって駆動される。Ｌμｃｏｍ５は、Ｂμｃｏｍ５０の指令に基づいてこれら各モータを制御する。

ボディユニット１００内には、以下のような構成部材が図示の如く配設されている。例えば、光学系としてペンタプリズム１２、クイックリターンミラー１１、接眼レンズ１３、サブミラー１１ａからなる一眼レフ方式の構成部材と、撮影光軸上のフォーカルプレーン式のシャッタ１５と、サブミラー１１ａからの反射光束を受けてデフォーカス量を検出するためのＡＦセンサユニット１６とが設けられている。

さらに、ボディユニット１００内には、ＡＦセンサユニット１６を駆動制御するＡＦセンサ駆動回路１７と、クイックリターンミラー１１を駆動制御するミラー駆動回路１８と、シャッタ１５の先幕と後幕を駆動するばねをチャージするシャッタチャージ機構１９と、これら先幕と後幕の動きを制御するシャッタ制御回路２０と、ペンタプリズム１２からの光束を検出する測光センサ２１ａに基づき測光処理を行う測光回路２１が設けられている。また、ストロボ制御回路３７２により発光制御されるストロボ３７１が設けられている。

また、撮影光軸上には上述の光学系を通過した被写体像を光電変換するための撮像ユニット３０が設けられている。撮像ユニット３０は、撮像素子であるＣＣＤ３１やその前面に配設された光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）３２、防塵フィルタ３３をユニットとして一体化してなるものである。防塵フィルタ３３の周縁部には、圧電素子３４が取り付けられている。圧電素子３４は、２つの電極を有しており、防塵フィルタ制御回路４８によって圧電素子３４を所定の周波数で振動させることで防塵フィルタ３３を振動させることで、フィルタ表面に付着した塵を除去し得るように構成されている。撮像ユニット３０に対しては、後述する手ブレ補正用の防振ユニット（駆動装置）３００が付加されている。

また、本実施の形態のカメラシステムは、ＣＣＤ３１に接続したＣＣＤインターフェース回路２３と、液晶モニタ２４、記憶領域として機能するＳＤＲＡＭ２５、ＦＬＡＳＨ ＲＯＭ２６などを利用して画像処理する画像処理コントローラ２８とを備え、電子撮像機能とともに電子記録表示機能を提供できるように構成されている。ここで、記録メディア２７は、各種のメモリカードや外付けのＨＤＤ等の外部記録媒体であり、通信コネクタを介してカメラ本体と通信可能かつ交換可能に装着される。そして、この記録メディア２７に撮影により得られた画像データが記録される。その他の記憶領域としては、カメラ制御に必要な所定の制御パラメータを記憶する、例えばＥＥＰＲＯＭからなる不揮発性メモリ２９がＢμｃｏｍ５０からアクセス可能に設けられている。

Ｂμｃｏｍ５０には、当該カメラの動作状態を表示出力によってユーザへ告知するための動作表示用ＬＣＤ５１および動作表示用ＬＥＤ５１ａと、カメラ操作スイッチ群（以下、スイッチは、ＳＷと記載する）５２とが設けられている。カメラ操作ＳＷ群５２は、例えばレリーズＳＷ、モード変更ＳＷおよびパワーＳＷなど、当該カメラを操作するために必要な操作釦を含むスイッチ群である。さらに、電源としての電池５４と、電池５４の電圧を当該カメラシステムを構成する各回路ユニットが必要とする電圧に変換して供給する電源回路５３が設けられ、外部電源からジャックを介して電流が供給されたときの電圧変化を検知する電圧検出回路も設けられている。

上述のように構成されたカメラシステムの各部は、概略的には以下のように稼動する。まず、画像処理コントローラ２８は、Ｂμｃｏｍ５０の指令に従ってＣＣＤインターフェース回路２３を制御してＣＣＤ３１から画像データを取り込む。この画像データは画像処理コントローラ２８でビデオ信号に変換され、液晶モニタ２４で出力表示される。ユーザは、この液晶モニタ２４の表示画像から、撮影した画像イメージを確認できる。

ＳＤＲＡＭ２５は、画像データの一時的保管用メモリであり、画像データが変換される際のワークエリアなどに使用される。また、画像データは、ＪＰＥＧデータに変換された後、記録メディア２７に保管される。

ミラー駆動機構１８は、クイックリターンミラー１１をアップ位置とダウン位置へ駆動するための機構であり、このクイックリターンミラー１１がダウン位置にある時、撮影レンズ１からの光束はＡＦセンサユニット１６側とペンタプリズム１２側へと分割されて導かれる。ＡＦセンサユニット１６内のＡＦセンサからの出力は、ＡＦセンサ駆動回路１７を介してＢμｃｏｍ５０へ送信されて周知の測距処理が行われる。一方、ペンタプリズム１２を通過した光束の一部は測光回路２１内の測光センサ２１ａへ導かれ、ここで検知された光量に基づき周知の測光処理が行われる。

次に、図２を参照してＣＣＤ３１を含む撮像ユニット３０について説明する。
図２は、撮像ユニット３０の構成を示す縦断側面図である。

撮像ユニット３０は、撮影光学系を透過し自己の光電変換面上に照射された光に対応した画像信号を得る撮像素子としてのＣＣＤ３１と、ＣＣＤ３１の光電変換面側に配設され、撮影光学系を透過して照射される被写体光束から高周波成分を取り除く光学ローパスフィルタ（ＬＰＦ）３２と、この光学ＬＰＦ３２の前面側において所定間隔をあけて対向配置された防塵フィルタ３３と、この防塵フィルタ３３の周縁部に配設されて防塵フィルタ３３に対して所定の振動を与えるための圧電素子３４とを備える。

ここで、ＣＣＤ３１のＣＣＤチップ３１ａは固定板３５上に配設されたフレキシブル基板３１ｂ上に直接実装され、フレキシブル基板３１ｂの両端から出た接続部３１ｃ，３１ｄが主回路基板３６に設けられたコネクタ３６ａ，３６ｂを介して主回路基板３６側と接続されている。また、ＣＣＤ３１が有する保護ガラス３１ｅは、スペーサ３１ｆを介してフレキシブル基板３１ｂ上に固着されている。

また、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２との間には、弾性部材等からなるフィルタ受け部材３７が配設されている。このフィルタ受け部材３７は、ＣＣＤ３１の前面側周縁部で光電変換面の有効範囲を避ける位置に配設され、かつ、光学ＬＰＦ３２の背面側周縁部の近傍に当接することで、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２との間を略気密性が保持されるように構成されている。そして、ＣＣＤ３１と光学ＬＰＦ３２とを気密的に覆うホルダであるＹ枠３８が配設されている。Ｙ枠（ホルダ）３８は、撮影光軸周りの略中央部分に矩形状の開口３８ａを有し、この開口３８ａの防塵フィルタ３３側の内周縁部には断面が略Ｌ字形状の段部３８ｂが形成され、開口３８ａに対してその後方側から光学ＬＰＦ３２およびＣＣＤ３１が配設されている。ここで、光学ＬＰＦ３２の前面側周縁部を段部３８ｂに対して略気密的に接触させるように配置することで、光学ＬＰＦ３２は段部３８ｂによって撮影光軸方向における位置規制がなされ、Ｙ枠（ホルダ）３８の内部から前面側に対する抜け止めがなされる。

一方、Ｙ枠（ホルダ）３８の前面側の周縁部には、防塵フィルタ３３を光学ＬＰＦ３２の前面に所定間隔あけて保持するために段部３８ｂ周りで段部３８ｂよりも前面側に突出させた防塵フィルタ受け部３８ｃが全周に亘って形成されている。全体として円形ないしは多角形の板状に形成された防塵フィルタ３３は、板ばね等の弾性体によって形成されてねじ３９で防塵フィルタ受け部３８ｃに固定された押圧部材４０による押圧状態で防塵フィルタ受け部３８ｃに支持される。ここで、防塵フィルタ３３の背面側の外周縁部に配設された圧電素子３４部分には、防塵フィルタ受け部３８ｃとの間に環状のシール４１が介在され、気密状態が確保されている。撮像ユニット３０は、このようにしてＣＣＤ３１を搭載する所望の大きさに形成されたＹ枠（ホルダ）３８を備える気密構造に構成されている。

次に、本実施の形態のカメラの手ブレ補正機能について説明する。

本実施の形態では、撮影光軸の方向をＺ軸方向とした場合、撮影光軸に直交するＸＹ平面内で直交する第１の方向であるＸ軸方向および第２の方向であるＹ軸方向に撮像素子であるＣＣＤ３１をブレを補償するように変位移動させるものであり、手ブレ補正用の駆動装置を含む防振ユニットは、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる振動子を駆動源として用い、撮像ユニット３０中のＣＣＤ３１を搭載したＹ枠（ホルダ）３８を移動対象物として構成される。

まず、本実施の形態の駆動装置で駆動源として用いる振動子の動作原理について図３（Ａ）〜（Ｄ）および図４を参照して説明する。
図３（Ａ）〜（Ｄ）は、振動子の動作原理を示す模式図である。図４は、上記振動子と被駆動体である移動体との斜視図である。

図３（Ａ）等に示す振動子２００は、所定の大きさで矩形状に形成された圧電体２０１と、この圧電体２０１の片面側に片寄らせて中心対称に形成された一対の駆動電極２０２，２０３と、駆動電極２０２，２０３に対応する圧電体２０１の表面位置に設けられた駆動部としての駆動子２０４，２０５とを備えている。

駆動電極２０２に＋の電圧を印加すると、図３（Ａ）に示すように、駆動電極２０２部分が伸びるように変形する一方、その背面側の圧電体２０１部分は伸びるように変形しないので全体として円弧状に変形する。逆に、駆動電極２０２に−の電圧を印加すると、図３（Ｃ）に示すように、駆動電極２０２部分が縮むように変形する一方、その背面側の圧電体２０１部分は縮まないので全体として、図３（Ａ）とは逆向きの円弧状に変形する。駆動電極２０３側でも同様である。

そこで、駆動子２０４，２０５の表面に楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 を発生させるには、圧電体２０１の分極された一方の駆動電極２０２に所定周波数の正弦波による周波電圧を印加するととともに、他方の駆動電極２０３に駆動電極２０２に印加する周波電圧の周波数と同じ周波数で位相のずれた正弦波による周波電圧を印加する。印加する周波電圧の周波数は、圧電体２０１の中央が屈曲振動の節Ｑ0 となり、駆動子２０４，２０５部分が屈曲振動の腹となり、かつ、圧電体２０１の縦振動（直方体の長手方向に伸び縮みする振動、図３（Ｄ）参照）の節が屈曲振動の節と一致するような所定の数値に設定する。この設定状態で印加される周波電圧の＋，−の変化に伴い、振動子２００は、図３（Ｂ）に示す状態を含めて、図３（Ａ）〜（Ｃ）に示す屈曲振動を繰り返し、駆動子２０４，２０５の表面には楕円振動が発生する。図４に示す駆動対象となる移動体２０６を振動子２００の駆動子２０４，２０５側に押圧接触させて配設することによって、移動体２０６は、駆動子２０４，２０５の表面に生ずる楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 の向きに従い移動することとなる。

この際、駆動電極２０２，２０３に印加する周波電圧の位相差を変えることで、駆動子２０４，２０５の表面に発生する楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 の形状を変えることが可能であり、これにより振動子２００に駆動されて移動する移動体２０６の移動速度を変えることができる。例えば、周波電圧の位相差が０°であれば速度は０であるが、位相差を増やすと速度は次第に上がり、位相差９０°で最大速度となり、また、９０°を超えて位相差を大きくすると逆に速度は次第に下がり、位相差１８０°では再び速度０となる。位相差を負の値にすると、駆動子２０４，２０５に発生する楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 の回転方向が逆転し、移動体を逆方向に駆動することが可能となる。この場合も、位相差−９０°のときに最大速度となる。

上述のような振動子を駆動源として用いる本実施の形態の防振ユニットについて図５〜図１０を参照して説明する。
図５は、本実施の形態の防振ユニットの構成を示す分解斜視図であり、図６は、図５の防振ユニットの各構成要素の形状を簡略化して示し、撮影光軸前方側から見た概略の防振ユニット配置図である。図７は、図６のＡ−Ａ断面図である。図８は、図６のＢ−Ｂ断面図である。図９は、図６のＣ−Ｃ断面図である。図１０は、図７のＤ−Ｄ断面図である。

まず、本実施の形態の防振ユニット３００は、光学ＬＰＦ３２、防塵フィルタ３３等ともにＣＣＤ３１を搭載したホルダであるＹ枠（第２の移動体）３８をＸ軸方向（第１の方向）およびＹ軸方向（第２の方向）に移動させる最終的な移動対象物とするものであり、撮影光軸周りの開口３０１ａを囲む枠部３０１ｂを有する枠形状でＹ枠３８をＹ軸方向に移動可能に搭載するよう所望の大きさに形成されたＸ枠（第１の移動体、また、Ｙ枠に対する固定部材）３０１と、撮影光軸周りの開口３０２ａを囲む枠部３０２ｂを有する枠形状でＸ枠３０１をＸ軸方向に移動可能に搭載するよう所望の大きさに形成されて図示しないカメラ本体に固着されたフレーム（固定部材）３０２とを備える。なお、Ｘ軸方向とＹ軸方向は、互いに垂直な方向であって、撮影光軸（図中、Ｏで示す）に対して垂直に交差する方向とする。

そして、Ｘ枠３０１をフレーム３０２に対してＸ軸方向に変位移動させるＸ軸駆動機構部３１０ｘと、Ｙ枠３８をＸ枠３０１に対してＹ軸方向に変位移動させるＹ軸駆動機構３１０ｙとを備え、Ｙ枠３８をＸ枠３０１とともにフレーム３０２に対してＸ軸方向に変位移動させるとともにＸ枠３０１に対してＹ軸方向に変位移動させることにより、Ｙ枠３８に搭載されたＣＣＤ３１はＸＹ平面内でＸ軸方向およびＹ軸方向にブレを補償するように変位移動される。

ここで、Ｘ軸駆動機構部３１０ｘの構成について説明する。Ｘ軸駆動機構部３１０ｘは、Ｘ軸振動子（第１の振動子）３２０ｘと、Ｘ枠３０１に一体に固定されてＸ枠３０１とともに駆動対象となる摺動体（第１の移動体部）３３０ｘと、Ｘ軸振動子３２０ｘを摺動体３３０ｘ側に付勢する押圧機構（付勢手段）３４０ｘとを備える。

Ｘ軸振動子３２０ｘは、前記図３，４で説明した振動子２００の動作原理に従い、所定の周波電圧が印加されることにより楕円振動が発生する駆動子（駆動部）３２１ｘ，３２２ｘを矩形状の圧電体３２３ｘの片面に備えている。さらに、Ｘ軸振動子３２０ｘは、圧電体３２３ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘと相反する側の中央位置に振動子ホルダ３２４ｘを有し、振動子ホルダ３２４ｘに形成された突起３２５ｘがフレーム３０２の溝状保持部３４２ｘ（第１の保持部）に嵌合することで、Ｘ軸振動子３２０ｘはＸ軸方向の移動が規制されるように位置決めされて保持されている。このような構成により駆動子３２１ｘ，３２２ｘに生じる楕円振動による駆動力がＸ軸方向に作用する。

また、摺動体３３０ｘは、軸受け（被ガイド部）３３１ｘ上に摺動板（摺動部）３３２ｘを固着してなる。軸受け３３１ｘは、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが押圧されて摺動板３３２ｘに接触する位置でＸ枠３０１の一部に対して例えば、ビス３３３ｘにより一体となるように固定されている。なお、Ｘ枠３０１に対する摺動体３３０ｘの固定は、ビス止めに限らず、接着等であってもよく、固定方式は、特に問わない。ここで、摺動体３３０ｘは、図５からも明らかなように、所望の大きさに形成されたＸ枠３０１に比して小さな大きさ、即ち、Ｘ軸振動子３２０ｘ相当の大きさに形成されたものである。また、Ｘ枠３０１が剛性の低い樹脂材料やアルミニウム等により形成されているのに対して、摺動板３３２ｘは、耐磨耗性を有して剛性の高いセラミックス等の材質で形成され、軸受け３３１ｘは、フェライト系のステンレス等の焼入れ可能な材質に焼入れをして剛性を高めたものである。

また、フレーム３０２は、フレーム３０２に形成された開口形状の取付部に配置されて摺動体３３０ｘの軸受け３３１ｘに対向するようにビス３０３ｘで固定された軸受け（ガイド部）３０４ｘを備える。この軸受け３０４ｘには、図７，１０に示すように、Ｘ軸方向に沿わせたＶ溝３０５ｘが形成された磨耗防止用のＶ溝板３０６ｘを固着している。軸受け３３１ｘには、図７，１０に示すように、軸受け３０４ｘ側のＶ溝板３０６ｘのＶ溝３０５ｘに対向するＶ溝３３４ｘが形成されている。ここで、リテーナ３３５ｘで位置決めされた２個のボール３３６ｘ（転動体）をＶ溝３０５ｘ，３３４ｘ間に挟み込ませることにより、軸受け３０４ｘ，３３１ｘは、Ｘ軸方向に沿って１列に配列された２個のボール３３６ｘを有する構造となっている。２個のボール３３６ｘは、図７等に示すように、駆動子３２１ｘ，３２２ｘ直下より少しＸ軸方向外側となる位置付近に位置決めされており、リテーナ３３５ｘによりＸ軸方向の移動が規制されている。なお、上記転動体としてはボールに限らず、ローラを適用してもよい。

押圧機構３４０ｘは、座板３４４ａｘおよびスペーサ３４３ｘを介して一端がビス３４４ｘによりフレーム３０２に固定されてＸ軸振動子３２０ｘを保持する押圧板３４１ｘと、この押圧板３４１ｘの他端側をフレーム３０２に固定するビス３４５ｘ周りの座板３４５ａｘおよびスペーサ３４６ｘを挟んで配設され、該押圧板３４１ｘを付勢する押圧ばね３４７ｘとを備えている。この押圧ばね３４７ｘによる付勢力によって押圧板３４１ｘを介してＸ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘが摺動板３３２ｘに所定の力で押圧接触する。この押圧機構３４０ｘによる押圧力は、１５Ｎ（ニュートン）程度の非常に大きな力に設定されている。なお、押圧板３４１ｘの振動子側の面にゴムシート３５５ｘが貼付されており、Ｘ軸振動子３２０の振動子ホルダ３２４ｘをゴムシート３５５ｘを介して押圧する。

軸受け３３１ｘは、ボール３３６ｘの中心を通り、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りに回転可能であるが、軸受け３３１ｘがＸ枠３０１に一体化され、軸受け３３１ｘからＸ軸方向とは異なる方向の離れた位置、詳しくは、フレーム枠部３０２ｂ上で最も離れた、略対角位置でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に１つのボール（転動体）３０７ｘが配設されている（図９）。このボール３０７ｘは、該ボール３０７ｘ近傍でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に係止させたばね３０８ｘによる付勢力で溝３０２ｄに挟持状態に維持され（図６）、フレーム３０２に対するＸ枠３０１の撮影光軸（Ｚ軸）方向の間隔を維持するように位置決めする。ここで、ばね３０８ｘの付勢力は、ボール３０７ｘの挟持状態を維持できればよく、押圧ばね３４７ｘの付勢力に比して数段弱く設定されている。これにより、摺動体（移動体部）３３０ｘが取り付けられて一体となったＸ枠（移動体）３０１は、フレーム３０２に対して２個のボール３３６ｘと１個のボール３０７ｘとによる３点支持で移動し得る構成となっている。また、ボール３０７ｘをボール３３６ｘに対して、撮影光軸及び開口３０１ａを挟んで反対側に配することで、ボール３０７ｘとボール３３６ｘとの距離を離間して配置することができ、安定した３点支持構造を採用することができる。このように本実施の形態によれば、３つのボール（転動体）で、Ｘ枠（移動体）３０１の移動方向のガイドを行うとともに傾きをも規定することができ、安定した駆動が可能となる。

一方、Ｙ軸駆動機構部３１０ｙも、基本構造はＸ軸駆動機構部３１０ｘと同様であり、フレーム３０２に代えてＸ枠３０１を固定部材とし、Ｘ枠３０１に代えてＹ枠３８（第２の移動体）を移動対象としており、Ｙ軸振動子（第２の振動子）３２０ｙと、Ｙ枠３８に一体に固定され、該Ｙ枠３８とともに駆動対象となる摺動体（第２の移動体部）３３０ｙと、Ｙ軸振動子３２０ｙを摺動体３３０ｙ側に付勢する押圧機構（付勢手段）３４０ｙとを備えている。このＹ軸駆動機構部３１０ｙの各構成要素については、Ｘ軸駆動機構部３１０ｘに対して同一または対応する部分には同一符号に添え字ｙを付して示し、Ｘ軸駆動機構部３１０ｘと異なる部分のみを説明する。

Ｙ軸駆動機構部３１０ｙがＸ軸駆動機構部３１０ｘと異なるところは夫々の摺動板３３２ｘ，３３２ｙの厚さである（材料は同じであり、密度も同じ）。ここではＸ軸駆動機構部３１０ｘの板厚がＹ軸駆動機構部３１０ｙのそれより厚く構成されている。従って、摺動板３３２ｘの屈曲（即ち、振動子の屈曲振動に対応する屈曲）に対する剛性は、厚さの３乗に比例して大きくなり、摺動板３３２ｙを固着して構成される摺動体３３０ｙの剛性は摺動体３３０ｘよりも小さくなる。ここで、Ｘ軸駆動機構部３１０ｘの摺動板３３２ｘを厚くしてあるが、これはＸ軸駆動機構部３１０ｘが駆動するＸ枠３０１は、Ｙ軸駆動機構部３１０ｙも保持しており、より大きな駆動力を発生する必要があり、Ｘ軸振動子３２０ｘの振動振幅はより大きく、剛性を高めて摺動板３３２ｘへの振動印加での撓みによる振動エネルギー損失を少なくするためである。また、摺動板３３２ｘの厚さを厚くすることにより、摺動体３３０ｘの剛性を大きくすることができ、摺動体３３０ｘの屈曲の基本周波数を高くすることにより、摺動体３３０ｘがＸ軸振動子の駆動周波数に重ならないように設定することができ、摺動体３３０ｘの共振による振動エネルギーの損失も抑えることができる。

なお、上述したように摺動板３３２ｘ，３３２ｙを含む摺動体３３０ｘと３３０ｙとの厚さを異ならせるる以外にも構成材料の弾性率、または、剛性を異ならせたり（例えば、摺動板の中立軸に関する断面２次モーメントを異ならせる）、さらには、密度の異なる材料を適用するなどにより摺動体３３０ｘ側の屈曲の基本周波数を高くして同様の効果を得ることができる。

また、本実施の形態の防振ユニット３００は、ボディユニット１００のＸ軸周りのブレ（ピッチ方向のブレ）を検出するセンサであるＸ軸ジャイロ３５０ｘとボディユニット１００のＹ軸周りのブレ（ヨー方向のブレ）を検出するセンサであるＹ軸ジャイロ３５０ｙとがボディユニット１００の本体部に配設されている。また、フレーム３０２に配設させたホール素子３５１とホール素子３５１に対向するようにＹ枠３８の一部に配設させたマグネット３５２とからなる位置検出センサ３５３を備える。そして、これらＸ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙおよび位置検出センサ３５３からの信号に基づきＸ軸振動子３２０ｘ、Ｙ軸振動子３２０ｙに対する振動子駆動回路３５４を制御する防振制御回路３５５を備える。防振制御回路３５５は、Ｂμｃｏｍ５０からの指示に従い制御動作を実行する。

次に、Ｘ軸駆動機構３１０ｘの動作について図１１〜１５および図１６（Ａ）〜（Ｈ）を参照して説明する。
なお、図１１〜１５は、Ｘ軸振動子の振動がＹ軸振動子側に伝わる状態を示しており、そのうち、図１１は、防振ユニットを撮影光軸後方側から見た図である。図１２は、図１１のＥ−Ｅ断面を示し、図１３は、図１１のＦ−Ｆ断面を示し、図１４は、図１１のＧ−Ｇ断面を示し、さらに、図１５は、図１１のＨ−Ｈ断面を示している。また、図１６（Ａ）〜（Ｈ）は、それぞれＸ軸駆動機構のＸ軸振動子の振動動作状態を示す図である。

Ｘ軸振動子３２０ｘに所定の周波電圧を印加して駆動子３２１ｘ，３２２ｘに楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 を発生させると、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動子３２１ｘ，３２２ｘの作用点Ｐ1 ，Ｐ2 が押圧機構３４０による強い付勢力で摺動板３３２ｘに押圧接触しているので、摺動体３３０ｘは、駆動子３２１ｘ，３２２ｘの楕円振動の回転方向に駆動される。例えば、図１６（Ａ）から（Ｈ）の状態へ順次変化して、楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 する駆動子３２１ｘ，３２２ｘが接触している摺動板３３２ｘが図の左方向に移動する。上記楕円振動Ｅ1 ，Ｅ2 が逆方向まわりの振動であれば、摺動板３３２ｘは、当然ながら図の右方向に移動する。

この際、Ｘ軸振動子３２０ｘとＹ軸振動子３２０ｙの共振周波数が略同じで、かつ、摺動体の剛性が同じであるとした場合、Ｘ軸振動子の振動がＹ軸振動子側に伝わる状態を示す図である図１１〜１５のようにＸ軸振動子３２０ｘの振動波Ｗは、摺動板（摺動部）３３２ｘ、軸受け（被ガイド部）３３１ｘ、Ｘ枠３０１、軸受け（ガイド部）３０４ｙ、Ｖ溝板３０６ｙ、ボール３３６ｙ、軸受け（ガイド部）３０４ｙ、摺動板（摺動部）３３２ｙを経てＹ軸振動子３２０ｙに伝達される。そして、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動振動に共振して、振動伝達経路も含めた系での振動をし易くなり、Ｘ軸振動子３２０ｘの駆動振動エネルギーを吸収し、動作が不安定になったり、動作しなくなってしまったり、駆動振動と共鳴して可聴音を発生したりする。また、Ｙ軸振動子３２０ｙを駆動させた場合は、上述した経路を逆に振動が伝達し、同様な不具合が発生する。

しかしながら本実施の形態では、摺動体３３０ｘを構成する摺動板３３２ｘが摺動板３３２ｙより厚く構成されており、摺動体３３０ｘと摺動体３３０ｙの剛性が異なるために上記の振動伝達系を含めた共振周波数を駆動振動からずらすことができて、防振ユニットの動作が不安定になったり、出力が低下したり、共鳴して可聴音が発生することがない。例えば、摺動板と軸受けの両方の厚さを２倍にすると摺動体の剛性は、厚さの３乗に比例するので、８倍にすることが可能で、その時の共振周波数は２倍にすることができる。材質を変更してヤング率Ｅを２倍にし、密度ρを１／２とすると、共振周波数はヤング率／密度の平方根に比例するので２倍にすることが可能である。この場合にＹ軸振動子３２０ｙを駆動してもＸ軸駆動機構３１０ｘが共振することが無く、動作が不安定になったり、動作しなくなってしまったり、可聴音が発生することがない。

また、摺動体３３０ｘおよび軸受け３３１ｘの剛性が高いため、駆動子３２１ｘ，３２２ｘと摺動板３３２ｘとの押圧接触状態が安定し、楕円振動に伴う駆動力が摺動板３３２ｘに確実に伝達され、高効率で楕円振動の回転方向に駆動することができる。この際、摺動板３３２ｘを有する摺動体３３０ｘ側はフレーム３０２に対して面接触ではなく、軸受け３３１ｘ，３０４ｘ部分でのボール３３６ｘによる転動方式で接触しているので、押圧力が強くても摺動体３３０ｘはフレーム３０２に対して摩擦の少ない状態で確実に移動することとなる。そして、軸受け３３１ｘ，３０４ｘは、Ｘ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造からなるので、摺動体３３０ｘはＸ軸振動子３２０ｘによる駆動を受けた場合にＸ軸方向にのみ移動する。このように摺動体３３０ｘが移動すると、摺動体３３０ｘが固定されたＸ枠３０１も、摺動体３３０ｘと一体となってＸ軸方向に移動する。すなわち、Ｘ枠３１０ｘの移動方向も、Ｘ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造からなる軸受け３３１ｘ，３０４ｘ同士の係合によりガイドされる。

このような動作において、軸受け３３１ｘはボール３３６ｘの中心を通り、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りに回転可能であるが、軸受け３３１ｘがＸ枠３０１に一体化され、軸受け３３１ｘからＸ軸方向とは異なる方向の離れた位置でフレーム３０２とＸ枠３０１との間に１つのボール３０７ｘが配設され、摺動体３３０ｘを固定したＸ枠３０１（移動体）が、フレーム３０２に対して２個のボール３３６ｘと１個のボール３０７ｘとによる離れた位置での３点支持とされているので、Ｖ溝３３４ｘに平行な軸周りの回転による煽りを生ずることなく安定してフレーム３０２上をＸ軸方向に移動する。よって、Ｘ軸振動子３２０ｘに対する強い押圧部分のガイド支持機構が、軸受け３３１ｘ，３０４ｘによるＸ軸方向に沿った１列のボールベアリング軸受構造で済み、小型化・構造単純化が可能となる。

Ｙ軸駆動機構３１０ｙも、Ｘ軸駆動機構３１０ｘの場合と同様に動作する。

次に、本実施形態のカメラにおける手ブレ補正動作について説明する。

カメラ操作ＳＷ群５２中の図示しない手ブレ補正ＳＷがオンされており、図示しないメインＳＷがオンされると、Ｂμｃｏｍ５０から防振制御回路３５５に対して、振動子駆動回路３５４が初期動作を実行する信号が伝達され、振動子駆動回路３５４からＸ軸振動子３２０ｘおよびＹ軸振動子３２０ｙに所定の周波電圧が印加され、ＣＣＤ３１の中心が撮影光軸上にくるようにＸ枠３０１およびＹ枠３８がＸ軸方向およびＹ軸方向に駆動される。

そして、Ｘ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙによって検出されるボディユニット１００のブレ信号を防振制御回路３５５に取り込む。ここで、Ｘ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙにてその一方の軸周りのブレを検出する角速度センサから出力された信号が、処理回路で信号増幅後、Ａ／Ｄ変換されて防振制御回路３５５に入力される。

防振制御回路３５５では、Ｘ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙの出力信号に基づきブレ補正量を演算し、演算されたブレ補正量に応じた信号を振動子駆動回路３５４に出力する。ＣＣＤ３１を搭載したＹ枠３８およびＸ枠３０１は、振動子駆動回路３５４によって生成される電気信号によって動作するＹ軸振動子３２０ｙ、Ｘ軸振動子３２０ｘによって駆動される。ＣＣＤ３１の駆動位置、即ち、Ｙ枠３８の駆動位置は、位置検出センサ３５３によって検出され、防振制御回路３５５に送られフィードバック制御が行われる。

すなわち、防振制御回路３５５では、入力されたＸ軸ジャイロ３５０ｘ、Ｙ軸ジャイロ３５０ｙからの信号（以下、「ブレ信号」または「ブレ角速度信号」ともいう）に基づいて基準値を演算する。基準値の演算は、カメラの主電源を投入してから静止画撮影のための露光を行うまでの間、行う。この演算としては、比較的長時間のブレ信号の移動平均値を算出する方法、またはカットオフ周波数が比較的低いローパスフィルタによりＤＣ成分を求める方法等があり、何れかの方法を用いればよい。この演算により求めた基準値をブレ信号より差分することにより、ブレ信号の低周波成分が除去された信号が得られる。そして、この信号と位置検出センサ３５３の出力信号とに基づいて振動子駆動回路３５４が制御されて、ＣＣＤ３１、即ち、Ｙ枠３８の位置を、ブレを補償するように移動させる。

ここで、本実施形態のカメラにおける静止画撮影時のブレ補正動作について図１７を参照して説明する。
図１７は、静止画撮影時のブレ補正動作を示す概略フローチャートである。なお、本動作は、レリーズＳＷにより撮影準備開始が指示される以前、即ち、レリーズＳＷの１段目レリーズ操作である１Ｒオンの前においては行われず、１Ｒオン操作されると、即ち、撮影準備開始が指示されると開始する。

本動作が開始されると、上述の基準値を用いて補正量を演算し、算出された補正量に従ってブレ補正駆動を開始する（ステップＳ１１）。続いて、レリーズＳＷによる撮影準備開始指示が解除されたか、即ち、１Ｒオフになったか否かを判定し（ステップＳ１３）、解除された場合には（ステップＳ１３の判別でＹＥＳの場合）、ステップＳ１１で開始されたブレ補正駆動を停止するとともにＣＣＤ３１をセンタリングし（ステップＳ１９）、撮影準備開始の指示待ち状態（１Ｒ待ち状態）に戻る。

一方、レリーズＳＷによる撮影準備開始指示が解除されない場合には（ステップＳ１３の判別でＮＯの場合）、続いて、レリーズＳＷにより撮影開始が指示されたか、即ち、２段目レリーズ操作である２Ｒがオンになったか否かを判定し（ステップＳ１４）、指示されない場合には（ステップＳ１４の判別でＮＯの場合）、ステップＳ１３に戻り、指示待ち状態で待機する。レリーズＳＷにより撮影開始が指示された場合には（ステップＳ１４の判別でＹＥＳの場合）、ステップＳ１１で開始されたブレ補正駆動を停止するとともにＣＣＤ３１をセンタリングする（ステップＳ１５）。続いて、保持された基準値を用いて補正量を演算し、その補正量に従ってブレ補正駆動を開始する（ステップＳ１７）。そして、露光を行い（ステップＳ１８）、露光が終了すると、ブレ補正駆動を停止するとともにＣＣＤ３１をセンタリングし（ステップＳ１９）、撮影準備開始の指示待ち状態（１Ｒ待ち状態）に戻る。

以上、説明したように本実施形態の駆動装置を内蔵する撮像装置であるカメラによれば、撮像ユニットを保持するＹ枠を効率よく安定した状態で手ブレに応じて駆動することができ、より確実な手ブレ補正を行うことが可能であり、カメラの小型化も実現できる。

次に、第２の実施の形態の防振ユニット（駆動装置）を内蔵するカメラについて図１８〜２２を用いて説明する。
図１８は、本実施形態のカメラに適用される防振ユニットの要部を撮影光軸後方側から見た簡略図である。図１９は、図１８のＪ−Ｊ断面を示し、図２０は、図１８のＫ−Ｋ断面を示し、図２１は、図１８のＭ−Ｍ断面を示し、さらに、図２２は、図１８のＮ−Ｎ断面を示している。

本実施形態のカメラは、前記第１の実施形態のカメラに対して防振ユニットの摺動体の枠体への支持構造が異なっており、その他の構成は同一である。従って、同一の構成部材については、同一符号を適用する。以下、異なる部分について説明する。

本実施形態に適用される防振ユニット３００Ａにおいては、防振ユニット３００の場合と同様に摺動体３３０ｘの摺動板３３２ｘは、軸受け３３１ｘに接着されており、摺動体３３０ｘの屈曲振動の中立軸は、図１９に示す通りである（非駆動時での中立軸Ａｘ）。これにＸ軸振動子３２０ｘを前述の押圧機構で押圧し、駆動振動を発生させると、摺動体３３０ｘＡは屈曲振動を発生して図１９に示すような２次の屈曲振動（屈曲振動時の中立軸の最大変位Ｂｘ）を発生させる。この状態でＸ枠３０１の２つの受け部３０１ｅの間であって、２次屈曲振動の振動の腹となる位置に２つのスペーサ３６１ｘを挟みこむ。このスペーサ３６１ｘは、ビス３７１ｘにより軸受け３３１ｘを取り付けた場合、押圧状態で挟み込まれる。なお、スペーサ３６１ｘには剛体である金属、あるいは、高硬度のゴム等を適用できるが、スペーサ３６１ｘが金属であった場合、ビス３７１ｘからの押圧力をスペーサ３６１ｘを介して軸受け３３１ｘで受ける状態となる。一方、スペーサ３６１ｘが高硬度のゴムであった場合、ビス３７１ｘからの押圧力を押しつぶされたスペーサ３６１ｘを介して軸受け３３１ｘで受ける状態となる。

このように軸受け３３１ｘをスペーサ３６１ｘを挟んでＸ枠３０１に取り付けることにより２次屈曲振動を変形した屈曲振動のモード（倍の振動数の４次屈曲モード側に近い振動モード）にすることが可能で、共振の周波数を変えることができ、摺動体３３０ｘＡがＸ軸振動子３２０ｘの駆動周波数では共振しないようにすることができる。

一方、Ｙ枠３８に固着される摺動体３３０ｙは、屈曲振動の中立軸（非駆動時の中立軸Ａｙ）が図２１に示され、振動伝達系も含め、Ｙ軸振動子３２０ｙを摺動体３３０ｙＡに押圧して駆動振動を発生した場合に図２１に示すような１次屈曲振動（屈曲振動時の中立軸の最大変位Ｂｙ）を発生する。振動体３３０ｘＡと同様にＹ枠３８の２つの受け部３８ｅの間であって１次屈曲振動の腹の位置にスペーサ３６１ｙを挟むことで１次屈曲振動を変形した屈曲振動のモード（２次屈曲モード側に近い振動モード）にすることが可能であり、摺動体３３０ｙＡの共振周波数を変えることができる。ここでスペーサ３６１ｘ、３６１ｙは、金属、樹脂等の弾性体でも良いし、ゴム、フェルト等の振動吸収材でも良い。但し、ゴム、フェルト等を用いる場合は、図１９，２１に示すように受け部３０１ｅ，３８ｅを摺動体取り付け部に形成して、ゴム、フェルトの変形量を一定になるようにする必要がある。また、金属、樹脂の場合は確実に該スペーサで支持させるために図１９，２１の受け部３０１ｅ，３８ｅは、ねじ締め付け状態で僅かな隙間が発生するようにスペーサ３６１ｘ、３６１ｙの厚さを調整する。

本実施形態の防振ユニット３００Ａを適用したカメラによれば、第１の実施形態の場合と同様の効果に加えて、より確実に摺動体の共振状態を避けることができる。

次に、第３の実施の形態の防振ユニット（駆動装置）を内蔵するカメラについて説明する。

本実施形態のカメラにおける防振ユニットにおいては、駆動振動を発生するＸ軸振動子３２０ｘ、Ｙ軸振動子３２０ｙの形状を異なるものにし、双方の駆動振動の周波数を変更する。この場合、駆動対象が大きく、重いＸ軸振動子３２０ｘの方を大型にし、駆動対象が小さく、軽いＹ軸振動子３２０ｙの方を小型にする。図３（Ｂ）に示した振動子の長さＬに対して振動子の屈曲振動の共振周波数は、長さＬの２乗で反比例する。従って、Ｘ軸振動子３２０ｘの長さＬｘに対してＹ軸振動子ｙのＬｙを例えば、３０％ほど短くすると共振周波数は２倍となり、共振しないようにするには顕著な効果がある。

本実施の形態のカメラによれば、効率が高く大きな駆動力を得やすい楕円振動を生ずる振動子３２０ｘ，３２０ｙを駆動源として用いる。一方、本来の移動対象物として所望の大きさに形成されたＸ枠３０１やＹ枠（ホルダ）３８のような移動体は、夫々に固着された摺動体３３０ｘや摺動体３３０ｙを持ち、摺動体３３０ｘと摺動体３３０ｙの剛性、密度、移動体への固着の方法を夫々変えることで、夫々の振動子の駆動振動で共振しないように構成し、振動子の駆動振動のエネルギーが不要な振動の発生で損失しないので駆動装置の出力の高効率化を図ることができる。また、不要な振動が発生しないので不快な可聴音が発生しないようにできる。

本発明による駆動装置は、小型で駆動力が大きく、高効率の駆動装置として利用することができる。

本発明の実施の形態のカメラの主に電気的なシステム構成を概略的に示すブロック図である。 図１のカメラに内蔵される撮像ユニットの構成を示す縦断側面図である。 図１のカメラの防振ユニットに適用される振動子の動作原理を示す模式図である。 図３の振動子と被駆動体である移動体との斜視図である。 図１のカメラに内蔵される防振ユニットの構成を示す分解斜視図である。 図５の防振ユニットの各構成要素の形状を簡略化して示し、撮影光軸前方側から見た概略の防振ユニット配置図である。 図６のＡ−Ａ断面図である。 図６のＢ−Ｂ断面図である。 図６のＣ−Ｃ断面図である。 図７のＤ−Ｄ断面図である。 図５の防振ユニットの各構成要素の形状を簡略化して示し、撮影光軸後方側から見た図であって、Ｘ軸振動子の振動がＹ軸振動子側に伝わる状態を示す。 図１１のＥ−Ｅ断面図である。 図１１のＦ−Ｆ断面図である。 図１１のＧ−Ｇ断面図である。 図１１のＨ−Ｈ断面図である。 図５の防振ユニットのＸ軸駆動機構のＸ軸振動子の振動動作状態を示す図である。 図１のカメラにおける静止画撮影時のブレ補正動作を示す概略フローチャートである。 本発明の第２の実施形態のカメラに適用される防振ユニットの要部を撮影光軸後方側から見た簡略図である。 図１８のＪ−Ｊ断面図である。 図１８のＫ−Ｋ断面図である。 図１８のＭ−Ｍ断面図である。 図１８のＮ−Ｎ断面図である。

符号の説明

３１ …ＣＣＤ（撮像素子）
３８ …Ｙ枠（第二の移動体）
３０１ …Ｘ枠（第一の移動体）
３０２ …フレーム（固定部材）
３０４ｘ，３０４ｙ…軸受け（ガイド部）
３０７ｘ，３０７ｙ…ボール
３２０ｘ…Ｘ軸振動子（第１の振動子）
３２０ｙ…Ｙ軸振動子（第２の振動子）
３２１ｘ，３２２ｘ…駆動子（駆動部）
３２１ｙ，３２２ｙ…駆動子（駆動部）
３３０ｘ…摺動体（第１の移動体部）
３３０ｙ…摺動体（第２の移動体部）
３３１ｘ，３３１ｙ…軸受け
３３２ｘ，３３２ｙ…摺動板
３３６ｘ，３３６ｙ…ボール
３４０ｘ，３４０ｙ…押圧機構
３４２ｘ…保持部（第１の保持部）
３４２ｙ…保持部（第２の保持部）
Ｘ軸方向…第１の方向
Ｙ軸方向…第２の方向

Claims (7)

1. 所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、
   前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有する固定部材と、
   前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して前記第１の方向に移動する第１の移動体部が固定されている第１の移動体と、
   前記第１の移動体に設けられた第２の保持部に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、
   前記第２の振動子の駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第１の方向と異なる第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する第２の移動体部が固定されている第２の移動体と、
   を備えており、前記第１の振動子と前記第２の振動子は略同一の共振周波数をもち、前記第１の移動体部と第２の移動体部は、それらの剛性および密度の内、少なくとも一方が異なることを特徴とする駆動装置。
2. 前記第１の移動体部と第２の移動体部の弾性率が異なることを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
3. 前記第１の移動体部と第２の移動体部の断面二次モーメントが異なることを特徴とする請求項１記載の駆動装置。
4. 所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、
   前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有する固定部材と、
   前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して前記第１の方向に移動する第１の移動体部が固定されている第１の移動体と、
   前記第１の移動体に設けられた第２の保持部に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、
   前記第２の振動子の駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第１の方向と異なる第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する第２の移動体部が固定されている第２の移動体と、
   を備えており、前記第１の振動子と前記第２の振動子は略同一の共振周波数をもち、前記第１の移動体部と第２の移動体部は、前記第１の移動体、第２の移動体への固定方法が異なることを特徴とする駆動装置。
5. 前記第１の移動体部と第２の移動体部の固定方法により前記第１の移動体部と第２の移動体部の屈曲振動状態を異ならせることを特徴とする請求項４記載の駆動装置。
6. 所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、
   前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有する固定部材と、
   前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して前記第１の方向に移動する第１の移動体部が固定されている第１の移動体と、
   前記第１の移動体に設けられた第２の保持部に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、前記第２の振動子の駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第１の方向と異なる第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する第２の移動体部が固定されている第２の移動体と、
   を備えており、前記第１の振動子と前記第２の振動子は、異なる共振周波数をもつことを特徴とする。
7. 撮影光軸に直交する平面内で直交する第１の方向および第２の方向に撮像素子をブレを補償するように変位移動させる撮像装置において、
   所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第１の振動子と、
   前記第１の振動子を保持する第１の保持部を有して、撮像装置本体に固着された固定部材と、
   前記第１の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記固定部材が有するガイド部により前記第１の方向に移動方向が規制され、前記第１の振動子の楕円振動により駆動されて前記固定部材に対して第１の方向に移動する第１の移動体部が固定された第１の移動体と、
   第２の保持部を有する前記第１の移動体に保持されて、所定の周波電圧が印加されることにより駆動部に楕円振動を生ずる第２の振動子と、前記第２の振動子の前記駆動部が押圧され、かつ、前記第１の移動体が有するガイド部により第２の方向に移動方向が規制され、前記第２の振動子の楕円振動により駆動されて前記第１の移動体に対して第２の方向に移動する、前記撮像素子を前記撮影光軸上に保持した第２の移動体部が固定された第２の移動体と、
   を備えており、前記第１の移動体部と第２の移動体部との剛性および密度の内、少なくとも１つが異なることを特徴とする撮像装置。

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