CN111405984B - 振动装置、振动方法及丝网印刷装置 - Google Patents

Abstract

振动装置(100)具备丝网版(201)、使前述丝网版(201)的外侧的相向的多个侧面振动的振动单元(40)、控制前述振动单元(40)的振动的控制器(80)。前述振动单元(40)在前述丝网版(201)的端部使行波同时以相同的振幅且相同的波长且相同的频率产生，从前述丝网版(201)的外侧借助行波使前述丝网版(201)的端部上下振动，借助驻波使丝网版(201)振动。

Description

振动装置、振动方法及丝网印刷装置

技术领域

本发明涉及使丝网振动的振动装置及丝网印刷装置。

背景技术

以往，存在使丝网振动来在工件上印刷的丝网印刷装置。

专利文献1：日本特开昭63-199643号公报。

专利文献2：日本特开2005-238723号公报。

专利文献3：日本特开2010-221409号公报。

专利文献4：日本特开2009-126114号公报。

在丝网印刷装置中，即使使丝网振动，在填孔印刷时也有进入丝网的孔的浆料的量不均、浆料未以恒定量填充于孔的可能性。

发明内容

本发明的技术方案的目的为，提供进入丝网孔的浆料的量难以不均的振动装置。

本发明的振动装置的特征在于，具备丝网版、振动单元、控制器，前述振动单元使前述丝网版的外侧的相向的多个侧面振动，前述控制器控制前述振动单元的振动。

发明效果

根据本发明，振动单元从印刷件的外侧的相向的多个侧面施加振动，由此，丝网版稳定地振动。

附图说明

图1是实施方式1的振动装置100的立体图。

图2是实施方式1的图1的振动装置100的A-A剖视图。

图3是实施方式1的振动方法的说明图。

图4是表示振动测定的结构的图。

图5是0.2MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图6是0.3MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图7是0.4MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图8是0.5MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图9是水平方向的振动的分布图。

图10是表示单侧振动的比较例的图。

图11是单侧振动的分布图。

图12是表示横向两侧振动的比较例的图。

图13是横向两侧振动的上下振动的分布图。

图14是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图15是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图16是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图17是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图18是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图19是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图20是表示实施方式1的振动装置100的变形例的图。

图21是表示实施方式2的丝网印刷装置200的图。

图22是表示实施方式3的剪切装置300的图。

图23是表示实施方式4的开孔装置400的图。

图24是表示实施方式5的振动撒入装置500的图。

图25是实施方式5的振动撒入装置500的振动的说明图。

图26是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图27是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图28是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图29是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图30是表示实施方式5的振动撒入装置500的变形例的图。

图31是表示实施方式6的分配器47的图。

图32是表示实施方式7的板20和振动单元40的图。

图33是表示实施方式7的板20的平面形状的图。

图34是表示实施方式7的板20的图1的A-A截面形状的图。

图35是实施方式9的丝网印刷装置的印刷部600的3面图。

图36是实施方式9的振动装置100的立体图。

图37是实施方式9的印刷件260的主视图。

图38是实施方式9的印刷件260的侧视图。

图39是实施方式9的印刷件260的俯视图。

图40是实施方式9的印刷件260的侧视图。

图41是表示实施方式9的振动测定结果的图。

图42是表示实施方式9的振动测定结果的图。

图43是实施方式9的印刷件260的侧视图。

图44是表示实施方式9的振动测定结果的图。

图45是表示实施方式9的振动测定结果的图。

图46是实施方式9的印刷件260的5面图。

图47是实施方式10的印刷件260的5面图。

图48是实施方式10的印刷件260的3面图。

图49是实施方式10的印刷件260的3面图。

图50是实施方式10的印刷件260的5面图。

图51是表示实施方式9、10的印刷件260的变形例的图。

图52是表示实施方式11的丝网印刷装置200的图。

图53是实施方式11的振动装置100的立体图。

图54是实施方式11的振动装置100的立体图。

图55是实施方式11的振动装置100的立体图。

图56是实施方式11的振动装置100的立体图。

图57是表示实施方式11的振动装置100的变形例的图。

图58是表示实施方式11的丝网印刷装置200的变形例的图。

具体实施方式

实施方式1.

图1是实施方式1的振动装置100的立体图。

图2是实施方式1的图1的振动装置100的A-A剖视图。

图1中X表示前后方向。

图1和图2中，Y表示左右方向，Z表示上下方向。

＜＜＜振动装置100的结构＞＞＞

振动装置100具有基座10、板20、振动单元40、控制器80。

＜＜＜基座10的说明＞＞＞

基座10为上部开口的箱型形状。

基座10具有上表面11、底面12、壁13。

基座10在中央具有空间14。

上表面11由壁13的顶面构成，为中央具有开口的矩形形状。

底面12为矩形形状。

壁13为从底面12的周围立起设置的基座10的侧壁。

空间14为被底面12和壁13包围的六面体的空间。

＜＜＜板20的说明＞＞＞

板20优选为容易通过声波的坯料，金属较适合。

板20的材质优选为铝、钛、不锈钢。

进而，铝、钛较适合，铝最佳。

板20优选为矩形，正方形较适合。

板20具有正面21、背面22、四个侧面23。

正面21和背面22是相同形状的平行的矩形平面。

侧面23是处于板20的正面21与背面22之间的面。

侧面23是相对于板20的正面21和背面22正交的平面。

板20在周围具有多个螺纹孔24。

螺纹孔24在板20的角与各边的中央共计设置有8个。

板20被插入螺纹孔24的螺纹件25牢固地固定于基座10。

以下，将螺纹孔24的位置称作固定部位。

板20在设置于板20的周围的固定部位固定于基座10。

＜＜＜振动单元40的说明＞＞＞

振动单元40具有多个振动器，使板20的多个侧面23以相同频率振动。

振动单元40使板20的相向的侧面上下振动。

振动单元40具有振动器41、振动器42这两个振动器。

振动单元40使具有螺纹孔24的固定部位的外侧上下振动。

振动器41与振动器42这两个振动器是规格相同的振动器。

振动器41与振动器42这两个振动器是由气压驱动的振动器。

作为由气压驱动的振动器，能够使用以下的振动器。

(1)涡轮振动器

(2)辊振动器

(3)球振动器

(4)活塞振动器

前述(1)、(2)、(3)的振动器噪音少，能够高速动作。

特别是，动作稳定的涡轮振动器最佳。

活塞振动器有噪音大、动作慢的问题。

振动单元40具有分配器47。

分配器47将振动器41以及振动器42的振动向板20的侧面23传递。

分配器47将振动器41以及振动器42固定于板20的侧面23。

分配器47是弯折成L字型的金属件。

分配器47具有水平部48与垂直部49。

水平部48将振动器41或振动器42的顶面固定。

水平部48以振动器41振动器42的旋转互相颠倒的方式将振动器41或振动器42固定。

图2中，振动器41逆时针旋转，振动器42顺时针旋转。

垂直部49具有侧面23的上下宽度以下的上下宽度，固定于侧面23。

分配器47具有比振动器41以及振动器42的顶面的前后方向的宽度大的前后宽度。

分配器47的前后方向的宽度超过振动器41以及振动器42的顶面的前后方向的宽度的2倍超且不足10倍较好，优选为5倍。

分配器47具有比板20的前后方向的宽度的二分之一小比八分之一大的前后宽度，优选为五分之一。

分配器47将振动器41以及振动器42的振动向板20的侧面23的较宽的范围传递。

＜＜＜控制器80的说明＞＞＞

控制器80控制振动单元40的振动。

控制器80使振动器以10Hz以上800Hz以下的频率振动。

控制器80使多个振动器以相同频率振动。

控制器80具有空气压缩机81、空气管路82、调节器83、处理器84。

空气压缩机81生成压缩空气。

空气管路82与空气压缩机81连接，流过压缩空气。

空气管路82在途中分岔成Y字形，与振动器41和振动器42连接。

调节器83是控制压缩空气的压力的控制设备。

调节器83通过控制压缩空气的压力来确定振动器41与振动器42的振动频率。

处理器84具有中央处理装置和程序。

处理器84能够由集成电路、电路板等实现。

处理器84控制振动装置100的动作。

处理器84与空气压缩机81连接，控制空气压缩机81的开启关闭动作及动作时间。

＜＜＜振动方法的说明＞＞＞

对振动装置100的振动方法进行说明。

＜初期设定步骤＞

板20的周围借助螺纹件25固定于基座10的状态下，作业员接通振动装置100的电源开关。

作业员具有压缩空气的压力与振动器41以及振动器42的振动频率的对应表。

作业员参照对应表，借助调节器83，设定与振动器41以及振动器42的振动频率对应的压缩空气的压力。

作业员设定成与10Hz以上800Hz以下的某个的可听频带频率对应的压力。

＜行波产生步骤＞

空气管路82分岔成Y字形而与振动器41和振动器42连接，所以向振动器41与振动器42供给相同压力的空气。结果，振动器41和振动器42以相同频率上下振动。

振动器41与振动器42的振动频率为，可听频带频率较适合。

振动器41与振动器42固定于板20的左右的侧面23，对板20的左右的侧面23施加正弦波的行波60。

振动器41与振动器42同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率产生行波60。

＜驻波产生步骤＞

同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率反向产生行波60时，在板20来自左右的行波60重合而产生驻波70。

驻波是指即使时间经过位置也不移动的波。

板20由于驻波70以与振动器41和振动器42相同的振动频率上下振动。

＜同步化步骤＞

即使以振动器41与振动器42的相位偏离的非同步状态开始振动，也由于同步现象而振动器41与振动器42的相位短时间一致，振动器41与振动器42的振动呈同步状态，立即向驻波的振动过渡。

＜上下振动步骤＞

以下，利用图3说明基于振动方法的上下振动。

图3是从板20的左右方向的中心的前后方向观察的上下振动的示意图。

图3中，支点26称作板20的上下方向的中心且为螺纹孔24的中心的点。

(a)若由于振动器41与振动器42对板20的侧面23施加向下的力，则经由支点26，在板20的中央产生向上的力。

(b)若由于振动器41与振动器42向板20的侧面23进一步施加较大的向下的力，则板20的中央上升。

(c)若基于振动器41与振动器42的板20的侧面23的向下的力变弱，则板20的中央下降。

(d)若由于振动器41与振动器42向板20的侧面23施加向上的力，则经由支点26，板20的中央产生向下的力。

(e)若由于振动器41与振动器42对板20的侧面23进一步施加较大的向上的力，则板20的中央下降。

(f)若基于振动器41与振动器42的板20的侧面23的向上的力变弱，则板20的中央上升。

＜振翅现象＞

将(a)至(f)设为一个周期，通过重复(a)至(f)的动作，板20以与振动器41和振动器42的振动频率相同的频率上下振动。

板20在支点26间的左右以振翅的方式振动，所以以下将该现象称作振翅现象。

振翅现象是指，通过向固定于板20的左右的侧面的振动器供给空气而板20以支点26间为中心上下振动的现象。

为了容易产生振翅现象，希望振动器41及振动器42的固定位置与两个螺纹孔24的位置处于直线上。即，希望多个振动器存在于连结板20的分别相向的边的相向的固定部位的线的延长线。

即使振动器41及振动器42的固定位置与两个螺纹孔24的位置不在直线上而处于偏离的位置，只要板20切实地固定于基座10，也会产生振翅现象。

若壁13的厚度增加，则有妨碍振翅现象可能性，所以壁13的厚度较薄的话较好，空间14的开口较宽的话较好。壁13的厚度优选为比螺纹孔24的直径大且不足螺纹孔24的直径的2倍。

＜＜＜具体例＞＞＞

以下，对具体例进行说明。

作为板20，使用一边约0.5m的正方形的铝板。

将铝的音速V设为6320[m/s]。其中，铝的温度恒定，不考虑由温度引起的音速的变化。

作为振动器41以及振动器42，使用以下的规格的爱科升株式会社制的空气振动器。

优选为，空气压力为0.2以上0.6MPa以下时振动频率f为119Hz以上414Hz以下的空气振动器。或者，优选为，空气压力为0.3以上0.6MPa以下时振动频率f为110Hz以上290Hz以下的空气振动器。

这里，空气压力为以下时使用振动频率f为以下的值的空气振动器。

空气压力为0.5MPa时的振动频率f：216.5Hz

空气压力为0.4MPa时的振动频率f：206.6Hz

空气压力为0.3MPa时的振动频率f：177.3Hz

空气压力为0.2MPa时的振动频率f：133.0Hz

波长能够根据以下式子计算。

波长λ[m]＝音速V[m/s]/振动频率f[Hz]

计算行波60的波长时如下所述。

空气压力为0.5MPa时：

波长λ[m]＝6320[m/s]/216.5[Hz]＝29.19m

空气压力为0.4MPa时：

波长λ[m]＝6320[m/s]/206.6[Hz]＝30.59m

空气压力为0.3MPa时：

波长λ[m]＝6320[m/s]/177.3[Hz]＝35.65m

空气压力为0.2MPa时：

波长λ[m]＝6320[m/s]/133.0[Hz]＝47.52m

从振动器41和振动器42产生的行波60能够由以下的式子表示。

R(y，t)＝A＊sin2π((t/T)-(y/λ))

L(y，t)＝A＊sin2π((t/T)＋(y/λ))

y[m]：板的Y方向的场所

t[s]：时刻

R(y，t)：场所y[m]、时刻t[s]的Z方向的行波60的位移[m]

L(y，t)：场所y[m]、时刻t[s]的Z方向的行波60的位移[m]

A：行波60的振幅[m]

T：行波60的周期[s]

λ：行波60的波长[m]

由于从振动器41和振动器42产生的行波60的重叠生成的驻波70能够用以下的表示正弦驻波的式子表示。

z(y，t)

＝R(y，t)＋L(y，t)

＝2A＊sin(2π(t/T))＊cos(2π(y/λ))

y[m]：板的Y方向的场所

t[s]：时刻

z(y，t)：场所y[m]、时刻t[s]的驻波70的Z方向的位移[m]

A：行波60的振幅[m]

T：行波60的周期[s]

λ：行波60的波长[m]

cos(2π(y/λ))表示驻波70的振幅。

将驻波70的振幅为0的场所，即cos(2π(y/λ))为0的场所y称作“节”。

将驻波70的振幅最大的场所，即cos(2π(y/λ))的绝对值为1的场所y称作“腹”。

为使板20上下振动，使得在支点26之间在左右方向的某个场所y均不产生驻波的节即可。

驻波的节每半波长产生，所以若使支点26间的距离不足驻波的半波长，则能够在板20的左右方向的任意场所y，均不存在驻波的节。

将驻波70的“节”的位置设为固定部位，若将该固定部位保持(螺纹固定)，则“节”为振翅的支点。

如果支点26间的距离比驻波的半波长大，则在板20产生节。

因此，板20的左右方向的固定部位的距离不得不为不足以下的长度。

空气压力为0.5MPa时的半波长：波长λ[m]/2＝14.56m

空气压力为0.4MPa时的半波长：波长λ[m]/2＝15.29m

空气压力为0.3MPa时的半波长：波长λ[m]/2＝17.82m

空气压力为0.2MPa时的半波长：波长λ[m]/2＝23.766m

如上所述，根据振动器41与振动器42的空气压力确定驻波的频率和波长，确定板20的最大长度。

＜＜＜振动测定结果＞＞＞

作为板20使用一边为约0.5m的正方形的铝板，测定板20的振动。

如图4所示，从图1的振动装置100卸下基座10，将板20载置于气垫，使板20的周围自由，使板20振动，测定振动的振幅。

图5至图8是表示板20的下半的区域的49点的上下方向的振动的测定结果的图。

图5至图8将板20为平面的情况的Z方向的位移设为0，表示图3的(b)的情况的Z方向的位移(向上的位移)。

能够认为图5至图8所示的板20的上半的区域的振动与板20的下半的区域对称地振动所以不测定。

图5是0.2MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图6是0.3MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图7是0.4MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

图8是0.5MPa的空气压引起的板20的上下振动的分布图。

观察图5的第一行，上下振动的振幅为14.8μm＞12.6μm＞9.60μm＞7.68μm＜8.00μm＜10.5μm＜15.0μm，比板20的中央部分靠端部的一方振动的振幅较大。即，在板20的中央部分产生节那样的振动不均。

作为其理由，考虑可能会是0.2MPa的空气压下压力较弱，不能使振动器41和振动器42稳定地振动。

观察图6的第一行，上下振动的振幅为5.28μm＜9.53μm＜12.2μm＜13.2μm＞13.1μm＞11.0μm＞8.40μm，板20的中央部分的一方与端部相比振动的振幅较大。即，认为在板20的中央部分产生腹。

图7与图8的情况下，板20的中央部分的一方与端部相比振动的振幅均较大。即，认为在板20的中央部分产生腹。

因此，0.2MPa的空气压下，不能使板20准确地沿上下方向振动。

另一方面，0.3MPa以上0.5MPa以下的空气压下，能够使板20准确地沿上下方向振动。

利用图9对前后左右方向的振动的测定结果进行说明。

图9是表示图5至图8中的、板20的两个边的测定点1~12的水平方向的振动的测定结果的表。

0.2MPa的空气压下，在测定点1、测定点2表示超过两微米的值。

0.3MPa以上0.5MPa以下的空气压下，在全部点表示不足两微米的值。

0.3MPa以上0.5MPa以下的空气压下，前后左右方向的振动的振幅为不足向上下方向的振动的振幅约10%或者不足15%，能够看作，没有向水平方向的振动。

以上的测定结果为使板20的周围自由来使板20振动的情况的测定结果。

如图1所示，振动装置100的板20为周围借助螺纹件25固定于基座10，所以实际上，板20的周围(特别是螺纹孔24的部分)的上下的振动被限制。

使板20的周围自由来使板20振动的情况下，板20以中央为腹上下振动。因此，即使在将板20的周围在固定部位固定来使板20振动的情况下，板20也欲以中央为腹上下振动。结果，如图3所示，能够认为在支点26间作为振翅的中心产生振翅现象。

并且，在将板20的周围固定于基座10来使板20振动的情况下，与使板20的周围自由来使板20振动的情况相比，能够认为向横向的振动进一步减少。

进而，若观察以上的测定结果，则若板20的左右方向的固定部位的距离比半波长小，即使不使驻波70的“节”的位置为固定部位，也能够认为固定部位为振翅的支点。

例如，空气压力为0.4MPa时半波长为15m，但即使在板20的左右方向的固定部位的距离为0.5m左右的情况下，“节”也不出现。

结果，固定部位的距离为10m、5m或1m等情况下，都能够认为固定部位为振翅的支点。

＜＜＜比较例的说明＞＞＞

＜单侧振动＞

图10是从图4的结构将振动器42和分配器47卸下的。

板20仅借助处于单侧的振动器41振动。

从处于板20的一方的侧面23的振动器41产生的行波60在另一方的侧面23反射而生成反射波。

行波60与反射波重合而成为驻波。

图10的结构中，如图11所示，确认在板20的中央右侧产生节那样的振动不均。

此外，如图11所示，产生前述12点处水平方向的振动的振幅超过9微米的部位。其理由认为是在板20产生椭圆振动。

因此，使板20从单侧振动的情况下不能使板20准确地振动。

＜横向两侧振动＞

图12是从图4的结构使振动器41和振动器42的固定方向90度旋转而以振动器41与振动器42的旋转方向相反的方式固定的。

图12的结构中，如图13所示，确认在板20的中央部分产生节那样的振动不均。

因此，使振动器41与振动器42的旋转方向保持相反地设为横向的情况下，不能使板20准确地振动。

同样地，在使振动器41与振动器42的旋转方向相同地朝向横向的情况下，也认为不能使板20准确地振动。

＜横向单侧振动＞

虽无图示，但从图12的结构将振动器42和分配器47卸下也确认在板20的中央部分产生节那样的振动不均。

因此，横向单侧振动的情况下不能使板20准确地振动。

＜＜＜总结＞＞＞

本实施方式的振动装置100借助可听频带频率振动源即振动器41及振动器42从板20的左右使行波60同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率产生。结果，板20中，通过逆向的行波的重叠生成驻波。

本实施方式的振动装置100的上下方向的振动生成过程为，从可听频带频率振动源向板20从左右使行波60同时以相同的频率在板20产生。板20由于驻波振动，但由于驻波的振动作用，仅上下方向振动。并且，在前后左右方向不振动。振动装置100利用该仅上下方向的振动。

振动装置100能够借助控制器80在施振时改变可听频带频率。可听频带频率是指10Hz以上20000Hz以下的范围，但本实施方式中使用的可听频带频率设为10Hz以上800Hz以下的范围。

振动单元40作为振动源也可以具有音圈马达式振动源、电磁式振动源或压电式振动源。

振动单元40能够根据必要的频率的范围，将振动器41以及振动器42等振动源适当地更换成其他声波振动源即音圈马达式振动源、电磁式振动源或压电式振动源等。

控制器80也可以具有任意波形产生器或双极电源作为控制零件。控制器80为了以任意的频率使振动源振动，能够更换成任意波形产生器或双极电源等作为与声波振动源对应的控制零件。

振动单元40使在板20的面对的两边的中央外侧安装的振动器成对地使板20上下振动。

振动单元40借助在板20的面对的两边的中央外侧安装的成对的振动器使行波同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率产生，使板20以驻波振动。

本实施方式的振动装置100将振动器41和振动器42固定于板20的外侧。

即，俯视时振动器41和振动器42不与板20重叠。

因此，振动器41和振动器42不妨碍板20的上下振动。

本实施方式的振动装置100将振动器41和振动器42固定于板20的侧面23。

振动器41和振动器42不固定于板20的正面21以及背面22。

因此，行波60从板20的左右方向的两端产生，板20的左右方向的全部区域上下振动。

本实施方式的振动装置100不使板20的整体均匀地上下振动。

板20的中央部分振幅最大，从板20的中央部分向左右方向的周边振幅减少。

向左右方向的周边振幅减少的理由是由于将板20的左右两端固定及使板20产生驻波。

此外，板20的中央部分振幅最大，从板20的中央部分向前后方向的周边振幅减少。

向前后方向的周边振幅减少的理由是由于将板20的前后两端固定。

也可以将板20的前后两端设为上下振动能够自由的自由端。

若板20的前后两端为自由端，则板20的前后方向的振幅均匀。或者，板20的前后方向的振幅接近均匀。

本实施方式的振动装置100将振动器41和振动器42及两个固定部位(螺纹孔24)配置于直线上。

振动器41和振动器42处于两个固定部位(螺纹孔24)的外侧。

振动器41和振动器42不处于两个固定部位(螺纹孔24)的内侧。

板20由于以两个固定部位(支点26)之间为中心的振翅现象而上下震动。

＜＜＜实施方式1的效果＞＞＞

根据本实施方式，借助振动器41及振动器42从板20的左右使行波60同时以相同的频率产生，由此生成驻波，板20仅在上下方向振动。

即使在前后左右方向上振动的情况下，与上下方向的振动相比较也能够无视。

通过在振动装置100的板20上载置工件能够使工件仅在上下方向上振动。

＜＜＜改变例＞＞＞

改变例1.

图14所示的振动装置100从图1的结构拆除分配器47，将振动单元40的振动器41和振动器42直接固定于板20的侧面23。

改变例2.

图15所示的振动装置100为，俯视时板20具有比基座10大的尺寸，将振动单元40的振动器41和振动器42直接固定于板20的背面22的外边缘。

改变例3.

图16所示的振动装置100在基座10与板20之间夹着分配器47地将振动器41与振动器42固定。

分配器47也可以是平板。

改变例4.

图2中，也可以以使振动器41顺时针旋转而使振动器42逆时针旋转的方式安装。

图2中，与振动器41和振动器42向相同方向旋转相比，更希望使振动器41和振动器42的旋转方向颠倒。

使振动器41和振动器42的旋转方向颠倒的情况下，也希望如图2所示地使振动器41逆时针旋转而使振动器42顺时针旋转。

改变例5.

振动单元40也可以具有比两个多的偶数个可听频带频率振动源。

如图17所示，也可以在板20安装振动器41、振动器42、振动器43以及振动器44。

(a)为振动器41与振动器42相向，振动器43与振动器44相向。

振动器41和振动器43固定于相同的侧面23，振动器42和振动器44固定于另外的侧面23。

驻波被平行地生成。

(b)为振动器41与振动器42相向，振动器43与振动器44相向。

振动器41、振动器42、振动器43、振动器44分别固定于各个侧面23。

驻波被正交地生成。

(c)为振动器41与振动器44相向，振动器42与振动器43相向。

振动器41、振动器42、振动器43、振动器44分别固定于板20的各角。

驻波被正交地生成。

虽无图示，但板20的形状俯视也可以是圆形、椭圆形、其他形状。

改变例6.

板20的形状俯视时为多边形即可。

振动单元40也可以具有奇数个可听频带频率振动源。

如图18所示，板20也可以是三角形或六边形的板20。

(a)表示三角形的板20。

振动器41、振动器42、振动器43分别固定于各个侧面23。

(b)表示六边形的板20。

振动器41、振动器42、振动器43分别隔着一个地固定于各个侧面23。

虽无图示，但也可以在六边形的板20的全部侧面23固定振动器。

虽无图示，但板20的形状俯视时也可以为圆形、椭圆形、其他形状。

振动单元40具有固定于板20的一边或多个边的外侧的一个或多个空气振动器即可。

具体地，振动单元40也可以以下那样地配置空气振动器。

仅在板20的一边在边的外侧有一个空气振动器

仅在板20的一边在边的外侧有多个空气振动器

在板20的多个边的一部分的边的各边的外侧有一个空气振动器(图18的(b))

在板20的多个边的一部分的边的各边的外侧有多个空气振动器(图17的(a))

在板20的全部的边的各边的外侧有一个空气振动器(图17的(b)和图18的(a))

在板20的全部的边的各边的外侧有多个空气振动器

控制器80使所有的空气振动器以相同频率振动。

也可以取代空气振动器而为其他形式的振动器。

改变例7.

振动单元40也可以具有一个可听频率振动源。

图19的振动装置100具有一个振动器45和框46。

框46是U字形状的金属零件。

框46将振动器45固定于底部的中央，两末端的上部固定于分配器47。

振动器45上下振动。

振动器45的振动被向两个分配器47传递，使两个分配器47上下振动。

这样，并非必须在板20的两侧安装多个振动器，在振动单元40有从板20的多个侧面使行波60同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率产生的机构即可。

改变例8.

图20的振动装置100在板20与分配器47之间具有间隔件50。

间隔件50是被板20的侧面23和分配器47的垂直部49夹着固定的四棱柱的金属棒。

间隔件50是使行波60的产生位置从振翅现象的支点26远离的零件。

通过改变间隔件50的左右方向的长度，能够改变可听频率振动源与固定部位的距离。

行波60即使为相同的振幅、相同的波长且相同的频率，间隔件50的左右方向的长度越大，振翅现象越强地表现。

借助间隔件50，能够调整板20的上下振动的振幅。

改变例9.

为了固定基座10和板20，也可以取代螺纹孔24和螺纹件25而使用其他固定金属件或其他固定机构。

实施方式2.

对实施方式2中不同于实施方式1的方面进行说明。

＜＜＜结构的说明＞＞＞

图21是实施方式2的丝网印刷装置200的结构图。

丝网印刷装置200具有实施方式1中说明的振动装置100。

丝网印刷装置200是对工件900印刷的装置。

工件900是电子设备的基板或回路的基板。

丝网印刷装置200具有将丝网202绷在框上的丝网版201。

丝网202为网筛丝网、金属丝网或其他丝网。

丝网202具有电极端子、电极、配线等印刷图案。

丝网202的正面存在浆料204。

丝网印刷装置200具有刮刀203。

刮刀203在丝网202的正面移动，借助浆料204在工件900印刷电极端子、电极、配线等。

振动装置100的板20是载置工件900的台。

板20作为吸附工件900的吸附板发挥功能。

板20具有上下贯通的多个通孔205。

基座10作为抽吸空气的抽吸箱发挥功能。

丝网印刷装置200具有抽吸管206和真空泵207。

抽吸管206连接于基座10和真空泵207，从空间14抽吸空气。

如图21所示，振动器41和振动器42优选地在与刮刀203的印刷方向相同的方向配置。即，希望使刮刀203的印刷方向与驻波的产生方向一致。

＜＜＜动作的说明＞＞＞

丝网印刷装置200的处理器84在印刷中使振动装置100动作，使板20振动。

板20的振动传向工件900和丝网版201，使浆料204振动。

通过浆料204振动，浆料204容易通过丝网202的印刷图案。

进行对工件900的孔或槽填充浆料的填孔印刷的情况下，工件900振动，所以浆料204容易填充于工件900的孔或槽。

填孔印刷的情况下，处理器84印刷后也使振动装置100动作，使板20振动。印刷后也使板20振动，由此能够将浆料204填充至孔或槽的底。

＜＜＜实施方式2的效果＞＞＞

根据本实施方式，能够将振动装置100用于丝网印刷装置200。

根据本实施方式，丝网印刷的填孔时，能够使进入孔的浆料的填充量的不均变小。

特别是，使用硬质浆料进行填孔印刷的情况下，填充量提高。

根据本实施方式，板20仅上下方向振动而前后左右方向不振动，所以工件900与丝网版201不沿前后左右方向偏离。因此，工件900的印刷图案不会模糊。

实施方式3.

对实施方式3中不同于实施方式1的方面进行说明。

图22是实施方式3的剪切装置300的立体图。

剪切装置300具有实施方式1中说明的振动装置100。

剪切装置300是切削工件900的装置。

剪切装置300具有切削工件900的刀片301。

振动装置100的板20是载置工件900的台。

剪切装置300的处理器84在动作中使振动装置100动作，使板20沿上下方向振动。

板20的振动传向工件900，使工件900振动。

工件900沿上下方向振动，由此，从刀片301向工件900的压力为间断的。

＜＜＜实施方式3的效果＞＞＞

根据本实施方式，能够将振动装置100用于剪切装置300。

根据本实施方式，从刀片301向工件900的压力为间断的，所以刀片301的耐久时间延长。

实施方式4.

对实施方式4中不同于实施方式1的方面进行说明。

图23为实施方式4的开孔装置400的立体图。

开孔装置400具有实施方式1中说明的振动装置100。

开孔装置400是在工件900形成孔的装置。

开孔装置400具有在工件900形成孔的钻头401。

振动装置100的板20是载置工件900的台。

开孔装置400的处理器84在动作中使振动装置100动作，使板20沿上下方向振动。

板20的振动传向工件900，使工件900振动。

工件900沿上下方向振动，由此，从钻头401向工件900的压力为间断的。

＜＜＜实施方式4的效果＞＞＞

根据本实施方式，能够将振动装置100用于开孔装置400。

根据本实施方式，从钻头401向工件900的压力为间断的，所以钻头401的耐久时间延长。

实施方式5.

对实施方式5中不同于实施方式1的方面进行说明。

＜＜＜振动撒入装置500的结构＞＞＞

图24是实施方式5的振动撒入装置500的立体图。

振动撒入装置500是通过振动将多个零件插入多个凹陷的装置。

板20为正方形的平板。

在板20排列有多个凹陷29。

多个零件901被随机向板20投入。

虽未图示，但在板20的外周围有框，使得零件901不会从板20溢出而掉落。

振动撒入装置500具有平板的基座10、板20、振动单元40。

板20经由四个振动器固定于基座10。

板20的侧面23未被固定而是自由端。

振动单元40具有固定于板20的4角的外侧的多个振动器。

图24的振动单元40具有四个振动器和四张分配器47。

四个振动器相对于前后方向和左右方向45度倾斜，固定于平板的基座10。

四个振动器分别固定于板20的4个角27的外侧。

振动器配置于板20的对角线的延长线。

振动器41和振动器44被相向地固定于处于板20的一根对角线的端部的两个角。

振动器43和振动器42被相向地固定于处于板20的其他对角线的端部的两个角。

分配器47是矩形板。

分配器47在上表面固定板20的角27。

分配器47在下表面固定振动器的上表面。

板20的四个角27借助插入螺纹孔24的螺纹件固定于分配器47。

板20的四个角27为板20的四个固定部位。

俯视时振动器固定于板20的角27的外侧。即，俯视时四个振动器不与板20重叠。

用于振动撒入装置500的四个振动器优选为电磁振动器等电磁式振动源。电磁式振动源与空气振动器相比能够将频率更精细地控制。

＜＜＜振动撒入装置500的动作＞＞＞

控制器80使固定于处于板20的对角线的端部的两个角的两个振动器以相同频率振动。

四个振动器连接于处理器84，借助处理器84控制四个振动器的振动。

来自四个振动器的行波从板20的4角向板20的中央进行。

振动器41和振动器44使行波同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率在一根对角线方向上产生，行波重叠。

振动器43和振动器42使行波同时以相同的振幅、相同的波长且相同的频率在另外的对角线方向产生，正交的四个行波重合，在前述板上驻波重叠而上下振动。

处理器84通过改变四个行波的相位、振幅、波长、频率，能够使在板20产生的振动变化。

特别是，处理器84在相同的振幅、相同的波长且相同的频率的行波中，使仅改变相位的四个行波重合的驻波在板上产生，通过驻波的上下振动，能够在板20上使零件901旋转，或使其沿左右前后移动，或使其跳跃。

处理器84能够使四个行波的相位以90度、180度、270度或者任意的角度错开地生成。

以下，利用图25说明振动撒入装置500的上下振动。

图25表示相位、振幅、波长及频率相同的行波重叠而驻波重叠的情况的板20的上下振动状态。

图25的(a)是板20的左右方向的中心的前后方向的上下振动的示意图。

图25的(b)是连结板20的角27的一根对角线的上下振动的示意图。

侧面23是自由端，所以如图25的(a)所示，侧面23上下移动的同时板20振动。

另一方面，角27固定，角27为支点26，所以如图25的(b)所示，在角27不上下移动的状态下，板20振动。

处理器84使板20上下振动。板20的振动传向零件901，使零件901振动。

零件901上下振动，由此在板20的正面移动，嵌入凹陷29。

改变例1.

图26的振动撒入装置500将板20的角27切削，将振动器固定于切削面。

图26的振动撒入装置500无需分配器47。

俯视时振动器固定于板20的角27的外侧。即，俯视时四个振动器不与板20重叠。

改变例2.

也可以将前述实施方式的振动装置100用于振动撒入装置500。

振动撒入装置500优选地使用能够使四个行波正交或者使多个行波交叉而产生驻波的振动装置。此外，优选地，振动装置使行波交叉的情况下，行波的交叉角度全部相等，由此使行波重叠而产生稳定的驻波。

改变例3.

图27的振动撒入装置500在板20的角27设置支柱51，将板20借助四个支柱51固定于基座10。

支柱51借助插入螺纹孔24的螺纹件将板20固定。

振动器仅固定于板20的角27的切削面，振动器以悬空状态安装于板20。

图27的情况下，将处于螺纹孔24的固定部位作为支点，由于前述振翅现象，板20振动。

图27的情况下，板20借助四个支柱51固定，但支柱51为细柱，所以板20能够不仅上下而且也前后左右地振动。

改变例4.

板20的形状俯视时为多边形即可。

如图28所示，板20也可以是三角形或六边形的板20。

(a)表示三角形的板20。

振动器41、振动器42、振动器43分别固定于各个角27。

(b)表示六边形的板20。

振动器分别固定于各个角27。

虽无图示，但板20的形状俯视时也可以是圆形、椭圆形、其他形状。

改变例5.

如图29所示，振动器也可以不在所有的角。

(a)表示在四边形的板20的一个对角线上配置振动器的情况。

振动器41和振动器42固定于隔着一个的角27。

(b)表示在六边形的板20的两个对角线上配置振动器的情况。

虽无图示，但板20的形状俯视时可以是圆形、椭圆形、其他形状。

改变例6.

如图30所示，振动器也可以是在角处有多个。

(a)表示在四边形的板20的四个角的各角分别配置两个振动器的情况。

(b)表示在四边形的板20的四个角的各角各配置两个振动器、进而在相向的侧面的中央外侧配置振动器的情况。

虽无图示，但板20的形状俯视时可以是八边形、十边形、其他多边形。

振动单元40具有固定于板20的一个角或多个角的外侧的一个或多个空气振动器即可。

具体地，振动单元40将空气振动器以下那样地配置。

仅在板20的一个角的外侧有一个空气振动器

在板20的多个角的一部分的角的各角的外侧有一个空气振动器(图29的(a)和(b))

在板20的多个角的全部的角的各角的外侧有一个空气振动器(图28的(a)和(b))

在板20的多个角的全部的角的各角的外侧有两个空气振动器(图30的(a)和(b))

控制器80使全部空气振动器以相同频率振动。

也可以取代空气振动器而使其他的形式的振动器。

实施方式6.

对实施方式6中不同于实施方式1的方面进行说明。

＜＜＜分配器47的结构＞＞＞

图31是表示分配器47的图。

图31的分配器47隔着板20的正面21和背面22固定于板20。

(a)表示在四边形的板20的一边的中央外侧配置有振动器的情况。

分配器47在侧面具有从前后方向观察U字形状的槽52，将板20的中央外边缘嵌入槽52。

板20在固定有振动器的两边具有作为固定部位的三个螺纹孔24。

板20将分配器47借助中央的螺纹孔的螺纹件固定。

板20在未固定有振动器的边不具有螺纹孔24。

也可以像(a)那样，无需将固定部位设置于全部边，而仅设置于相向的两边。

(b)表示在四边形的板20的四个角配置振动器的情况。

分配器47在侧面具有从上下方向观察V字形状的槽53，将板20的角嵌入槽53。

V字形状的槽53的直行的底部与两个侧面的正交的两个端部面接触。

V字形状的槽53的三角形的侧表面与角27的正面和背面面接触。

板20在角的外边缘具有螺纹孔24。

板20将分配器47借助螺纹孔的螺纹件固定。

＜＜＜分配器47的效果＞＞＞

分配器47夹着板20固定于板20，所以在板20较薄而侧面的上下方向的高度较小的情况下，也能够从板20的侧面传递振动器的振动。

变形例1.

分配器47的形状为能够将振动器的振动向板20的侧面传递的形状即可。

分配器47可以仅固定于板20的侧面或角，但也可以将分配器47固定于以下的部位。

板20的侧面和正面

板20的侧面和背面

板20的侧面、正面和背面

仅板20的侧面的正面

仅板20的侧面的背面

板20的侧面的正面和背面

板20的角和正面

板20的角和背面

板20的角、正面和背面

仅板20的角的正面

仅板20的角的背面

板20的角的正面和背面

上述任意情况均能够得到与将分配器47仅固定于板20的侧面或角的情况相同的效果，在上述任意情况下均能够实现使前述板的侧面振动的结构。

实施方式7.

对实施方式7中不同于实施方式1的方面进行说明。

＜＜＜板20和振动单元40的结构＞＞＞

图32是表示板20和振动单元40的图。

图32表示使板20的外周的多处从板20的外侧振动的振动单元40。

板20的外周是指俯视板20的情况下的轮廓。

板20的外侧是指板20的轮廓的外侧。

振动单元40从板20的外周向板的中央使行波同时以相同的波长产生。

(a)表示在三角形的板20的角27配置振动器41而在与角27相向的侧面23的中央外侧配置振动器42的情况。

(b)表示在五边形的板20的角27配置振动器41而在与角27相向的侧面23的中央外侧配置振动器42的情况。

振动单元40使板20的多处振动。

多处也可以如实施方式1中说明那样是指仅由板20的多个侧面23构成的多处。

多处也可以如实施方式5中说明那样是指仅由板20的多个角27构成的多处。

多处也可以如图32的(a)和(b)说明那样是指由板20的侧面23和角27构成的多处。

由侧面23和角27构成的多处的情况下为以下的某个即可。

一个侧面23和一个角

多个侧面23和一个角

一个侧面23和多个角

多个侧面23和多个角

多个侧面23和多个角的典型例为全部侧面23和全部角。

多处优选地在板20的对角线或直径等穿过板20的中央或重心的直线上被成对配置。

侧面23并非必须是平面。

(c)表示在圆形的板20的直径方向上配置振动器41和振动器42、在正交的直径方向上配置振动器43和振动器44的情况。

(c)的情况表示侧面23为圆筒的外周曲面的情况。

侧面23可以是其他曲面，也可以是曲面和平面的组合。

(c)中也可以没有振动器43和振动器44。

(c)中也可以增加振动器的数量。

＜＜＜板20的平面形状＞＞＞

图33是表示板20的平面形状的图。

板20的平面形状不限于正多边形或圆形。

(a)表示板20的平面形状为十字形的情况。

(b)表示板20的平面形状为星形的情况。

(c)表示板20的平面形状为圆角的长条四边形的情况。

(d)表示板20的平面形状为椭圆形的情况。

虽无图示，但板20的平面形状也可以是梯形、云形、山形、不规则形状或其他形状。

＜＜＜板20的截面形状＞＞＞

图34是表示板20的图1的A-A截面形状的图。

板20的截面形状不限于矩形。

(a)、(c)及(e)表示板20的中央下部向上侧凹陷的情况。

(a)表示凹陷成凹形的情况。

(b)表示凹陷成V形的情况。

(c)表示凹陷成弧状的情况。

(b)、(d)及(f)表示板20的中央上部向下侧膨出的情况。

(b)表示膨出成凸形的情况。

(d)表示膨出成V形的情况。

(f)表示膨出成弧状的情况。

(g)表示板20的中央部向上侧和下侧凹陷的凹形的情况。

(h)表示板20的中央部向上侧和下侧膨出的凸形的情况。

虽无图示，但板20的截面形状也可以是凹凸形状、波形或其他形状。

(i)表示侧面23倾斜的情况。

侧面23倾斜的情况下，设置分配器47的斜面，安装振动器41和振动器42即可。

分配器47的截面为三角形。

分配器47的斜面与侧面23具有相同的倾斜角度。

振动器41和振动器42能够经由分配器47使板20的外周上下振动。

实施方式8.

振动装置100能够用于不适合水平方向的振动的装置。

振动装置100能够用于工件的加工装置。

振动装置100能够用于加工装置、搬运装置、挑选装置、组装装置、制造装置、振动撒入装置或其他物料处理装置。

物料是指物质、材料、原料、质地、坯料、用具、器具或工具等。

物料的形状、材质、性质、个数不限。

物料可以是块，可以是板，或者可以是粒或粉。

物料可以是固体，可以是液体，可以是弹性体。

实施方式9.

对实施方式9中不同于前述实施方式的方面进行说明。

＜＜＜印刷部600的结构的说明＞＞＞

图35是实施方式9的丝网印刷装置200的印刷部600的3面图。

印刷部600借助丝网印刷装置200的驱动机构(无图示)沿印刷方向P移动。

印刷部600具有固定机构620，借助固定机构620将振动装置100的印刷件260固定。

印刷部600具有升降机构610。

升降机构610使振动装置100的印刷件260升降，并且印刷中产生向下方的印压。

如图35所示，印刷件260倾斜地固定于印刷部600，印刷时保持倾斜地沿印刷方向P移动。

＜＜＜振动装置100的结构的说明＞＞＞

图36是实施方式9的振动装置100的立体图。

图37是实施方式9的印刷件260的主视图。

图38是实施方式9的印刷件260的侧视图。

图39是实施方式9的印刷件260的俯视图。

图36中X表示前后方向。

印刷方向P与前后方向X的前方向一致。

图36与图37中，Y表示左右方向，Z表示上下方向。

如图35所示，印刷件260在印刷时被倾斜地使用，但以下为了方便说明，将图36和图37所示的Z方向称作上下方向Z。

振动装置100具有印刷件260、振动单元40、控制器80。

印刷件260用于丝网印刷装置的印刷。

印刷件260借助印刷压力在工件上印刷。

振动单元40使印刷件260的外侧的相向的多个侧面振动。

控制器80控制振动单元40的振动。

＜＜印刷件260的说明＞＞

印刷件260具有架210、安装于架210的刮刀203。

如图39所示，印刷件260(架210)在与印刷方向P正交的方向上具有长边W，在与印刷方向P相同的方向上具有短边V。

＜＜架210的说明＞＞

架210是铝等金属制的。

如图35所示，架210具有基部211和推压板212。

架210借助印刷部600的固定机构620固定于印刷部600的升降机构610。

刮刀203借助紧固螺纹件213被基部211和推压板212所夹地固定。

基部211在两端上部具有固定振动器41和振动器42的螺纹孔。

基部211的中央上部具有固定部214。

固定部214配置于将基部211的振动器41和振动器42固定的螺纹孔的内侧。

固定部214借助固定机构620固定。

＜＜刮刀203的说明＞＞

刮刀203具有支承部220和刮刀部230。

刮刀部230用聚氨酯橡胶或弹性体作成。

支承部220被用包括玻璃纤维(玻璃丝)的玻璃环氧树脂作成。

支承部220在两面具备粗切削部，聚氨酯橡胶被在玻璃环氧树脂的两面的粗切削部熔接地固定。

＜＜＜振动单元40的说明＞＞＞

振动单元40具有多个振动器，使架210的多个侧面23以相同频率振动。

振动单元40使在处于架210的相向侧面23的架210的左右方向上的侧表面上下振动。

振动单元40具有振动器41和振动器42这两个振动器。

振动单元40使架210的螺纹孔24存在的固定部位(支点26)的外侧上下振动。

振动器41和振动器42是规格相同的振动器。

振动器41和振动器42是由气压驱动的振动器。

＜＜分配器47的说明＞＞

振动单元40具有分配器47。

分配器47将振动器41和振动器42的振动向架210的侧面23或其附近传递。

分配器47将振动器41和振动器42固定于架210的侧面23。

分配器47在端部具有螺纹孔24，借助螺纹件固定于架210的两侧端部。

分配器47为矩形的金属板。

分配器47将振动器41和振动器42比处于架210的侧面23的侧表面靠外侧地配置。

分配器47将振动器41和振动器42的振动向形成有架210的短边V的侧表面或侧表面附近传递。

分配器47使振动器41和振动器42的振翅增长。

越使分配器47的左右方向Y的长度变长，使振动器41和振动器42远离处于架210的侧面的侧表面，越借助分配器47的弹力，分配器47弯曲，振翅变大。

越使分配器47的上下方向Z的厚度越薄，越借助分配器47的弹力，分配器47弯曲，振翅变大。

＜＜振动器41和振动器42的说明＞＞

振动器41和振动器42被比架210的侧面23靠外侧地翼状地安装。

振动器41和振动器42被相对于架210平行地安装。

振动器41和振动器42被以空气供给口为内侧的方式安装。

振动器41和振动器42的旋转轴J与前后方向X平行。

振动器41和振动器42的旋转面K与左右方向Y平行。

＜＜＜振动单元40的动作的说明＞＞＞

控制器80使振动器41和振动器42以10Hz以上800Hz以下的频率振动。

振动单元40在支点26的两侧振翅，使印刷件260振动。

振动单元40使印刷件260的长边W的两侧面两处振动。

振动单元40使印刷件260的外侧的相向的多个侧面23以相同的振幅且相同的波长且相同的频率振动，使印刷件260以驻波振动。

振动单元40在印刷件260的端部使行波同时以相同的振幅且相同的波长且相同的频率产生。

振动单元40从印刷件260的外侧借助行波使印刷件260的端部上下振动，借助驻波使印刷件260振动。

振动单元40借助前述实施方式中说明的振翅现象使架210沿上下方向振动。

＜＜＜振动测定结果＞＞＞

以下表示振动测定结果。

振动测定时，控制器80向振动器41和振动器42分别供给0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的空气压，使其以相同的振幅且相同的波长且相同的频率振动。

＜＜测定结果1＞＞

使用铝制的架210测定图40所示的印刷件260的振动。

图40所示的印刷件260除了将调整夹具240沿着支承部220地将刮刀203固定于架210的方面以外，与图37的印刷件260结构相同。

调整夹具240为矩形的金属板，是不锈钢制的，由比架210坚固的金属形成。

调整夹具240被夹于支承部220和基部211之间。

使图40所示印刷件260横向载于气垫，使印刷件260的周围自由，使架210振动，测定振动的振幅。

振动器41与振动器42和实施方式1规格相同。

振动器41和振动器42的旋转方向如图37的箭头所示，是从内侧向外侧的旋转。即，如图37所示，振动器41的旋转方向为顺时针旋转，振动器42的旋转方向为逆时针旋转。

刮刀203的左右方向Y的长度为185mm。

测定点如图37所示，为刮刀部230的底面的测定点1~17、左侧表面、右侧表面。

测定点1~17为10mm间隔。

图41是表示架210的刮刀部230的底面的上下方向Z与侧表面的左右方向Y的振动的测定结果的图。

图42是表示架210的刮刀部230的底面的前后方向X的振动的测定结果的图。

纵轴表示振动距离。“P-P”意味着“峰到峰”，表示振动距离。

横轴如图37所示，表示刮刀部230的左侧表面、底面的测定点1~17、右侧表面。

如图41所示，在0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，刮刀部230的底面的测定点1~17的上下方向Z的振动距离大致相等。

如图41所示，0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，刮刀部230的左侧表面和右侧表面的左右方向Y的振动距离大致为零。特别是，空气压为0.4Mpa和0.5Mpa时，左右方向Y的振动距离为零，适合印刷。

如图42所示，0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，刮刀部230的底面的测定点1~17的前后方向X的振动距离大致相等。

因此，印刷件260整体上下前后振动，不左右振动。

＜＜测定结果2＞＞

进而，测定图43所示的印刷件260的振动。

图43所示的印刷件260除了支承部220具有薄板部221和厚板部222的方面以外，与图40的印刷件260结构相同。厚板部222的厚度为支承部220的厚度，薄板部221是将支承部220的正面切削而变薄的部分。

如图44所示，在0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，刮刀部230的底面的测定点1~17的上下方向Z的振动距离大致相等。

如图44所示，0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，刮刀部230的左侧表面和右侧表面的左右方向Y的振动距离大致为零。特别是，空气压为0.4Mpa和0.5Mpa时，左右方向Y的振动距离为零，适合印刷。

如图45所示，0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，刮刀部230的底面的测定点1~17的前后方向X的振动距离大致相等。

因此，印刷件260整体上下前后振动，不左右振动。

＜测定结果1和测定结果2的比较＞

支承部220具有薄板部221和厚板部222，但前后方向X的振动距离变大，存在不均。前后方向X的振动距离变大的理由考虑是因为存在薄板部221。

丝网印刷中，欲利用前后方向X的振动的情况下，使用有薄板部221的支承部220较适合。

＜＜测定结果3＞＞

使用铝制的架210，不使用调整夹具240，测定图37所示的印刷件260的振动。

虽无图示，但0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，刮刀部230的底面的测定点1~17的上下方向Z的振动距离大致相等，左侧表面和右侧表面的左右方向Y的振动距离大致为零。

0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，刮刀部230的底面的测定点1~17的前后方向X的振动距离不相等，中央部分与端部相比振动距离变大。

丝网印刷的情况下，越靠丝网版的丝网的中央，能够上下移动的距离越增加，所以即使在刮刀部230的底面的中央部分比端部振动距离大的情况下也能够使用。

＜＜测定结果4＞＞

图37的结构中，以振动器41和振动器42的空气供给口为外侧的方式安装，使振动器41与振动器42的旋转方向与图37的箭头相反的情况下，左右方向Y的振动稍微产生，但上下方向Z的振动距离大致相等。

＜＜测定结果5＞＞

图37的结构中，使振动器41与振动器42的旋转方向均为相同的方向的情况下，上下方向Z的振动距离与前后方向X的振动距离不均。左右方向Y的振动以与上下方向Z的振动距离相同的程度产生。

丝网印刷中，欲利用左右方向Y的振动的情况下有效。

＜＜测定结果6＞＞

图37的结构中，若使分配器47的上下方向X的厚度为10.9mm和1.9mm来测定，则0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，上下方向Z的振动距离大致相同或分配器47的厚度较厚的一方稍微减少。

此外，分配器47的厚度较厚的一方在0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压下，前后方向X的振动距离为一半左右。

＜＜测定结果7＞＞

进而，测定图46所示的印刷件260的振动。

图46所示的印刷件260除了附加振动器43、44以外与图37的印刷件260结构相同。

如图46所示，振动器43、44配置于印刷方向P的前侧。

振动器43、44的旋转轴J为相同的轴。

振动器43、44的旋转轴J与左右方向Y平行。

测定的结果为，由于存在振动器43、44，所以产生左右方向Y的振动。

图46所示的印刷件260在丝网印刷中在欲利用左右方向Y的振动的情况下有效。

＜＜比较例＞＞

图37的结构中，仅为振动器41或仅为振动器42的情况下，上下方向Z的振动距离与前后方向X的振动距离不均。

图37的结构中，仅振动器42的旋转轴J与左右方向Y平行的情况下，上下方向Z的振动距离不均。此外，产生左右方向Y的振动。

图37的结构中，使振动器41与振动器42的旋转轴J均与左右方向Y平行、将振动器41和振动器42均配置于印刷方向P的前侧或印刷方向P侧的情况下，上下方向Z的振动距离和前后方向X的振动距离不均。

＜＜基于振动测定的考察＞＞

架210是上下方向X上具有厚度的金属块，所以即使从架210的两侧面23输入行波而在架210的内部产生驻波，架210也不弯曲。因此，在架210的内部产生驻波的情况下，可以认为架210整体左右无差别地同样稳定地振动。因此，刮刀203的底面也应该左右无差别地同样稳定地振动。

此外，没有左右方向Y的振动的情况下，可以认为由于驻波产生振动。

如图37所示，以两个振动器的旋转面K相对于刮刀对平行且空气的供给口为内侧的方式安装时，可以认为在架210的内部产生驻波，刮刀203的底面的振动最稳定，也抑制向左右方向Y的振动。

仅使一个振动器振动的情况下，产生行波，在另一方的侧面反射而生成反射波。产生的反射波与行波重合而成为驻波。

一个振动器中，刮刀底面的振动不稳定，也产生向左右方向Y的振动。能够确认由于行波和反射波重合的驻波产生节。

来自能够由一个振动器产生节的反射波的驻波不实用。

印刷件260在与载置于气垫而使周围自由地振动的测定状态不同的环境下被使用。

具体地，印刷件260由于固定机构620固定于升降机构610，印刷中在被向工件加压的状态下使用。

振动测定时以在图37所示的支点26间的左右振翅的方式振动，但在印刷件260借助固定机构620固定于升降机构610的情况下，由于分配器47的弹力，也能够在支点26间的左右以振翅的方式振动。

这样，即使在使用环境不同的情况下，在印刷件260也生成驻波。

＜＜＜实施方式的效果＞＞＞

根据本实施方式，印刷件260整体沿上下方向Z均匀振动而不沿左右振动，所以填孔印刷有效。

根据本实施方式，印刷件260整体也沿前后方向X均匀振动，所以填孔印刷更有效。特别是，印刷件260印刷时被倾斜地使用，所以沿上下方向Z和前后方向X的两方振动适合填孔印刷。

根据本实施方式，通过旋转方向的改变或振动源的追加，能够使印刷件260也沿左右方向Y振动，对于利用左右方向Y的振动的丝网印刷有效。

＜＜＜改变例＞＞＞

改变例1.

振动器的振动频率能够由于空气压改变，10Hz以上800Hz以下的可听频率域的振动频率是有效的。

波长λ[m]＝音速V[m/s]/振动频率f[Hz]，f＝800Hz的情况下，

波长λ[m]＝6320[m/s]/800[Hz]＝7.9m

半波长λ/2[m]＝7.9m/2＝3.95m

因此，800Hz以下的话可以认为是不产生节的实用的数值。

改变例2.

刮刀部230的坯料也可以不是聚氨酯，也可以是橡胶或含有硅的弹性体。

刮刀部230的坯料可以是金属，也可以是个体物。

刮刀203也可以没有支承部220，也可以仅有刮刀部230构成。

此外，刮刀203也可以是金属刮刀。

改变例3.

也可以将调整夹具240不夹于支承部220和基部211之间而夹于支承部220和推压板212之间。

也可以准备两个调整夹具240夹于支承部220和基部211之间以及支承部220和推压板212之间。

支承部220也可以是金属制的。此时，将支承部220由比架210坚硬的金属形成。

改变例4.

振动单元40可以是由气压驱动的空气振动器，也可以是由音圈马达驱动的振动器或前述实施方式中说明的振动器。

实施方式10.

对实施方式10中不同于前述实施方式的方面进行说明。

实施方式10中，对将刮刀203设置成辊250的印刷件260进行说明。

图47是实施方式10的振动装置100的印刷件260的五面图。

图47是将图36的刮刀203改变成辊250的。

辊250安装于架210。

辊250是金属制的，以左右方向Y的辊轴251为中心旋转。

振动单元40使印刷件260的短边V的两侧面231的两处振动。

图47的印刷件260以使振动器41和振动器42的旋转面K相对于辊250平行且空气的供给口为内侧的方式安装。

图48的印刷件260使振动器41和振动器42的旋转轴J与左右方向Y平行，安装于架210的左右方向Y的中央。

印刷件260将振动器42安装于印刷方向P的前侧，将振动器41安装于印刷方向P的后侧。

振动器41的旋转方向如图48的箭头所示为从印刷方向P的后侧向前侧的旋转。

振动器42的旋转方向如图48的箭头所示为从印刷方向P的前侧向后侧的旋转。

图49的印刷件260使图47的印刷件260的振动器42的旋转方向为从后侧向前侧的旋转。

＜＜＜基于振动测定的考察＞＞＞

与实施方式9同样地，实施振动测定。

与实施方式9同样地，振动测定时，控制器80向振动器供给0.2MPa、0.3MPa、0.4MPa及0.5MPa的各空气压，使其以相同的振幅且相同的波长且相同的频率振动。

如图47的印刷件260那样，将振动器的旋转面K以相对于辊250平行且空气的供给口为内侧的方式安装时，刮刀的底面的振动稳定，也抑制向左右方向的振动。

图47的印刷件260具有相对于工件推压的振动恒定的驻波的推压效果且抑制左右方向Y的振动，适合印刷。

如图48所示，使振动器41和振动器42的旋转轴J与左右方向Y平行，安装于架210的左右方向Y的中央时，两个振动源从架210的前侧面231和后侧面231输入行波，所以生成驻波，驻波振动。

图48的印刷件260具有相对于工件推压的振动恒定的驻波的推压效果且抑制左右方向Y的振动，适合印刷。

如图49所示，振动器41和振动器42的旋转方向相同时，也具有两个振动源，所以为驻波振动。

图49的情况下，振动器41和振动器42为旋转振动方式的空气振动器，旋转方向相同，所以施加振动器41和振动器42的旋转方向的振动，其为圆振动，在前后方向X上，施加作为辊250的推压的辅助的与印刷方向P相同的方向的振动。

＜＜比较例＞＞

图48中，仅使一个振动器振动的情况下，产生行波，到达侧面而反射时产生反射波。产生的反射波与行波重合，成为驻波。

一个振动器中，刮刀底面的振动不稳定，也产生向左右方向Y的振动。能够确认由于行波和反射波而重合的驻波产生节。

来自能够由一个振动器产生节的反射波的驻波不实用。

＜＜＜实施方式的效果＞＞＞

根据本实施方式，印刷件260具有辊250的情况下，也能够得到与实施方式9相同的效果，相对于辊250能够在上下方向Z及前后方向X上施加振动。

根据本实施方式，能够加入作为辊250的推压的辅助的与印刷方向P相同的方向的振动。

＜＜＜改变例＞＞＞

改变例1.

印刷件260能够作为丝网印刷装置的印刷件使用。

使用辊250的印刷件260也能够作为推压件使用，能够用于制品的拉伸的轧制装置。

升降机构610将印刷件260相对于制品带角度地安装的情况下，辊250相对于制品进行摩擦那样的运动。

改变例2.

辊250的坯料也可以不是金属，也可以是橡胶、聚氨酯或含有硅的弹性体。

辊250的坯料也可以不是树脂，为个体物即可。

改变例3.

图50所示的印刷件260相对于图47所示的印刷件260附加振动器43、44。

振动器43、44的旋转轴J与左右方向Y平行，将振动器43、44配置于印刷方向P的后侧。

图50所示的印刷件260在欲利用左右方向Y的振动的情况下是有效的。

＜＜＜其他结构＞＞＞.

图51是表示实施方式9和10的印刷件260的变形例的图。

图51是改变振动器41和振动器42的安装方法或安装位置的图。

(a)是振动器41和振动器42的安装位置为架210的上下方向Z的中央的。在架210的侧面23的上下中央具有狭缝，分配器47被插入架210的侧面23的上下中央的狭缝而被固定。

(b)是使分配器47为L字型而在架210的侧面23的上下方向Z整体固定有分配器47的。

(c)表示使振动器41和振动器42的安装位置不为架210而为刮刀203的支承部220的侧面23的情况。

振动器41和振动器42的振动容易向刮刀203传递。

(d)表示使振动器41和振动器42的安装位置不为架210而为刮刀203的刮刀部230的侧面23的情况。

刮刀203没有支承部220而仅由刮刀部230构成。

(e)表示使振动器41和振动器42的安装位置为辊轴251的侧面23的情况。

分配器47为筒状，固定于辊轴251。

分配器47将振动器41和振动器42的振动向辊轴251传递。

(f)表示将振动器41和振动器42没有分配器47地直接固定于架210的两端的侧面23的情况。

虽无图示，但也可以使振动器41和振动器42与架210的两端部分重叠地安装。例如，也可以将振动器41和振动器42的下表面的半部分在架210的两端的上表面无分配器47地固定。

实施方式11.

对实施方式11中不同于前述实施方式的方面进行说明。

实施方式11中，对使丝网印刷装置200的丝网版201振动的情况进行说明。

＜＜＜振动装置100的结构的说明＞＞＞

图52是表示实施方式11的丝网印刷装置200的图。

图53是实施方式11的振动装置100的立体图。

图52与图53中X表示前后方向。

印刷方向P与前后方向X的前方向一致。

图52与图53中，Y表示左右方向，Z表示上下方向。

振动装置100具有丝网版201、振动单元40、控制器80。

丝网版201用于丝网印刷装置200的印刷。

丝网版201借助刮刀203的印刷压力在工件900上印刷。

振动单元40使丝网版201的外侧的相向的多个侧面振动。

控制器80控制振动单元40的振动。

＜＜丝网版201的说明＞＞

丝网版201具有丝网202和安装有丝网202的丝网框208。

如图53所示，丝网版201具有矩形的丝网框208。

＜＜丝网202的说明＞＞

丝网202是在中央形成有印刷图案的薄的膜。

丝网202张紧地绷在丝网框208上。

丝网202为金属罩丝网、网筛丝网等。

＜＜丝网框208＞＞

丝网框208为由四个直线框构成的矩形的框。

丝网框208是铝、不锈钢、铁、合金等的金属制的，具有不变形的刚性。

丝网框208将丝网202缠于框。

丝网框208在与印刷方向P正交的方向具有两个平行的前后框2081，在与印刷方向P相同的方向具有两个平行的肋框2082。

两个前后框2081为丝网版201的相向的框。

两个肋框2082为丝网版201的相向的框。

丝网框208在周围具有多个螺纹孔209。

螺纹孔209处于丝网框208的角。

螺纹孔209处于两个前后框2081和两个肋框2082的各框的两端，共计设置有八个。

丝网框208借助插入螺纹孔209的螺纹件牢固地固定于丝网印刷装置200的版框固定部270。

丝网印刷装置200将版框固定部270固定于壳体。

以下，将螺纹孔209的位置称作固定部位。

丝网框208在设置于丝网框208的周围的固定部位固定于版框固定部270。

固定丝网框208的固定部位的固定方法也可以不通过基于螺纹孔209和螺纹件的螺纹固定方式，也可以是夹持方式等。

＜＜＜振动单元40的说明＞＞＞

振动单元40具有多个振动器，使丝网框208的相向的框以相同频率振动。

振动单元40使丝网框208的相向的框上下振动。

振动单元40具有振动器41与振动器42这两个振动器。

振动器41与振动器42处于固定部位的外侧且处于框的外侧。

振动单元40仅使丝网框208的前后框2081上下振动。

振动器41与振动器42是规格相同的振动器。

振动器41与振动器42是借助气压驱动的振动器。

＜＜分配器47的说明＞＞

振动单元40具有分配器47。

分配器47将振动器41与振动器42的振动向丝网框208的前后框2081传递。

分配器47将振动器41与振动器42固定于丝网框208的前后框2081的上表面。

分配器47在端部具有螺纹孔，借助螺纹件固定于丝网框208的前后框2081。

分配器47为矩形的金属板。

分配器47将振动器41与振动器42比丝网框208靠外侧地配置。

分配器47使振动器41与振动器42的振翅增长。

使分配器47的前后方向X的长度变长，使振动器41与振动器42距丝网框208越远，由于分配器47的弹力，分配器47越弯曲，振翅变大。

使分配器47的上下方向Z的厚度越薄，越借助分配器47的弹力，分配器47弯曲，振翅变大。

＜＜振动器41与振动器42的说明＞＞

振动器41与振动器42被在比丝网框208的侧面23靠外侧翼状地安装。

振动器41与振动器42被相对于框正交地安装。

振动器41与振动器42安装于框的中央部。

振动器41与振动器42处于连结前后框2081的中央的直线的延长线，被安装于丝网框208的外周上的对称的部位。

振动器41与振动器42被以空气供给口为内侧的方式安装。

振动器41与振动器42的旋转轴与左右方向Y平行。

振动器41与振动器42的旋转面与前后方向X平行。

＜＜＜振动单元40的动作的说明＞＞＞

控制器80使振动器41和振动器42以10Hz以上800Hz以下的频率振动。

振动单元40在印刷中在前后框2081的两侧振翅来使丝网版201振动。

振动单元40使丝网版201的前后框2081振动。

振动单元40使丝网版201的相向的多个框以相同的振幅且相同的波长且相同的频率振动，使丝网202以驻波振动。

振动单元40经由框在丝网202的端部使行波同时以相同的振幅且相同的波长且相同的频率产生。

振动单元40从丝网版201的外侧借助行波使丝网202的端部上下振动，借助驻波使丝网202振动。

振动单元40由于前述实施方式中说明的振翅现象，使丝网202仅沿上下方向振动。

振动器41及振动器42的固定位置处于两个螺纹孔209的中央，但丝网框208具有刚性，丝网版201被切实地固定于版框固定部270，所以产生振翅现象。

＜＜＜实施方式的特征＞＞＞

本实施方式的振动装置100的振动单元40从丝网框208的外周上的对称的部位使行波同时以相同的振幅且相同的波长且相同的频率产生。

来自丝网框208的外周上的对称的部位的行波变化成驻波，丝网框208仅上下振动，由此丝网框内的丝网202也仅上下振动。

＜＜＜实施方式的效果＞＞＞

根据本实施方式，丝网202整体沿上下方向Z均匀地振动，前后左右上不振动，所以对于填孔印刷有效。

根据本实施方式，能够在与刮刀203的印刷方向P相同的方向使行波进行。

＜＜＜改变例＞＞＞

改变例1.

如图54所示，也可以在前后框2081的各框的两端部安装两个振动单元40。

振动单元40固定于前后框2081的两个螺纹孔209的临近或附近。

为了容易发生振翅现象，振动器41及振动器42的固定位置和两个螺纹孔209的位置(固定部位)优选处于直线上。即，多个振动器优选存在于将板20的分别相向的边的相向的固定部位连结的线的延长线。

图54的情况下，螺纹孔209借助版框固定部270使用，所以以不与版框固定部270碰撞的方式在两个螺纹孔209的内侧安装有两个振动单元40。

改变例2.

如图55所示，也可以在四个框都将振动单元40安装一个或两个以上。

图55中，振动器43和振动器44相对于肋框2082正交且安装于肋框2082的中央部。

虽无图示，但丝网框208为五边形、六边形、八边形、其他多边形的情况下，也可以在各框设置振动器。

虽无图示，但丝网框208为圆形、椭圆形的情况下，也可以在框的相向的位置设置振动器。

虽无图示，但也可以不将振动器安装于前后框2081而将振动器仅安装于肋框2082。

改变例3.

如图56所示，也可以将分配器47设为T字型。

分配器47在前后框2081的上表面存在至螺纹孔209的跟前。

图56中，振动器41与振动器42的振动被遍及前后框2081的大致全长地传递。

虽无图示，但分配器47为以比振动器的宽度大的宽度向框传递振动的结构的话，分配器47的形状也可以不是T字型，也可以是三角型、梯形型、山形、半圆型等其他形状。

改变例4.

如图57所示，相对于框的振动器的固定位置可以如(a)所示为框的下表面，也可以如(b)所示为框的外侧表面。

哪种情况下，振动器均处于固定部位的外侧且处于框的外侧，使丝网框208的相向的多个框以相同的振幅且相同的波长且相同的频率振动，从前述丝网202的外侧借助行波使前述丝网202的端部上下振动，借助驻波使丝网202振动。

虽无图示，但相对于框的振动器的固定位置也可以是框的内侧表面。

＊＊＊实施方式的补充说明＊＊＊

前述实施方式是优选的方式的例示，不意欲限制本发明的技术的范围。

实施方式可以部分地实施，也可以与其他方式组合实施。

此外，也可以将前述实施方式组合。

例如，图58表示在板20、刮刀203、丝网版201分别安装振动器的情况。

虽无图示，但也可以在板20、刮刀203、丝网版201的某两个安装振动器。

附图标记说明

100振动装置、10基座、11上表面、12底面、13壁、14空间、20板、21正面、22背面、23侧面、24螺纹孔、25螺纹件、26支点、27角、29凹陷、40振动单元、41、42、43、44、45振动器、46框、47分配器、48水平部、49垂直部、50间隔件、51支柱、52槽、53槽、60行波、70驻波、80控制器、81空气压缩机、82空气管路、83调节器、84处理器、200丝网印刷装置、201丝网版、202丝网、203刮刀、204浆料、205通孔、206抽吸管、207真空泵、208丝网框、2081前后框、2082肋框、209螺纹孔、210架、211基部、212推压板、213紧固螺纹件、214固定部、220支承部、221薄板部、222厚板部、230刮刀部、231侧面、240调整夹具、250辊、251辊轴、260印刷件、270版框固定部、300剪切装置、301刀片、400开孔装置、401钻头、500振动撒入装置、600印刷部、610升降机构、620固定机构、900工件、901零件。

Claims (13)

1.一种振动装置，其特征在于，

具备丝网版、振动单元、控制器，

前述丝网版具有丝网，

前述振动单元使前述丝网版的相向的多个框振动，

前述控制器控制前述振动单元的振动，

前述振动单元具有分别安装于前述多个框的外侧的多个振动器，借助前述多个振动器，从比前述多个框靠外侧的位置使前述丝网版的相向的多个框以相同的振幅且相同的波长且相同的频率振动，使前述丝网以由多个行波的重叠生成的驻波振动。

2.如权利要求1所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元在前述丝网版的前述丝网的端部使行波同时以相同的振幅且相同的波长且相同的频率产生，从前述丝网的外侧借助行波使前述丝网的端部上下振动，借助驻波使丝网振动。

3.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

前述丝网版具有安装有前述丝网的丝网框，

前述振动单元使前述丝网框振动。

4.如权利要求3所述的振动装置，其特征在于，

前述丝网框在与印刷方向正交的方向上具有前后框，

前述振动单元使前述丝网版的前后框的中央部或两端部振动。

5.如权利要求3所述的振动装置，其特征在于，

前述丝网框在与印刷方向相同的方向上具有肋框，

前述振动单元使前述丝网版的肋框的中央部或两端部振动。

6.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

前述控制器使前述振动器以10Hz以上800Hz以下的频率振动。

7.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元具有由气压驱动的空气振动器或由音圈马达驱动的振动器。

8.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

具备固定于前述丝网版的相向的多个框的外侧而安装有前述多个振动器的多个分配器，

前述多个振动器经由前述多个分配器使前述丝网版的相向的多个框振动。

9.如权利要求1或2所述的振动装置，其特征在于，

前述振动单元以前述多个振动器向前述多个框的固定部位为支点使前述丝网振动。

10.一种丝网印刷装置，其特征在于，

具备权利要求1至9中任一项所述的振动装置。

11.一种振动方法，其特征在于，

借助振动单元，从比丝网版的相向的多个框靠外侧的位置使前述丝网版的相向的多个框以相同的振幅且相同的波长且相同的频率振动，使丝网以由多个行波的重叠生成的驻波振动，前述振动单元具有分别安装于前述丝网版的相向的多个框的外侧的多个振动器。

12.如权利要求11所述的振动方法，其特征在于，

前述振动器经由固定于前述丝网版的相向的多个框的多个分配器，使前述丝网版的相向的多个框振动。

13.如权利要求11所述的振动方法，其特征在于，

前述振动单元以前述多个振动器向前述多个框的固定部位为支点使前述丝网振动。

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