JP2023009130A - 光学デバイス - Google Patents
光学デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023009130A JP2023009130A JP2022177023A JP2022177023A JP2023009130A JP 2023009130 A JP2023009130 A JP 2023009130A JP 2022177023 A JP2022177023 A JP 2022177023A JP 2022177023 A JP2022177023 A JP 2022177023A JP 2023009130 A JP2023009130 A JP 2023009130A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- axis direction
- mirror
- axis
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 255
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 45
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 57
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 49
- 244000126211 Hericium coralloides Species 0.000 description 31
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 14
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000009623 Bosch process Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical compound Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 description 1
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N copper tungsten Chemical compound [Cu].[W] SBYXRAKIOMOBFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000000678 plasma activation Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0841—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B3/00—Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
- B81B3/0035—Constitution or structural means for controlling the movement of the flexible or deformable elements
- B81B3/004—Angular deflection
- B81B3/0045—Improve properties related to angular swinging, e.g. control resonance frequency
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00436—Shaping materials, i.e. techniques for structuring the substrate or the layers on the substrate
- B81C1/00555—Achieving a desired geometry, i.e. controlling etch rates, anisotropy or selectivity
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
- H02N1/008—Laterally driven motors, e.g. of the comb-drive type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/04—Optical MEMS
- B81B2201/042—Micromirrors, not used as optical switches
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
- B81B2203/0109—Bridges
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
- B81B2203/0145—Flexible holders
- B81B2203/0154—Torsion bars
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
- B81C2201/01—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
- B81C2201/0101—Shaping material; Structuring the bulk substrate or layers on the substrate; Film patterning
- B81C2201/0128—Processes for removing material
- B81C2201/013—Etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
- B81C2201/01—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
- B81C2201/0174—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate for making multi-layered devices, film deposition or growing
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C2201/00—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems
- B81C2201/01—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate
- B81C2201/0198—Manufacture or treatment of microstructural devices or systems in or on a substrate for making a masking layer
Abstract
Description
[第1実施形態]
[光モジュールの構成]
[ミラーユニットの構成]
[ミラーユニットの他の構成]
[第1支持構造及びビームスプリッタユニットの構成]
[第2支持構造及び光入射部等の構成]
[ミラーデバイスの製造方法]
[第1実施形態の作用及び効果]
[第1実施形態の変形例]
[第2実施形態]
[第3実施形態]
Claims (10)
- 支持部と、
可動部と、
第1軸線上における前記可動部の両側に配置され、前記可動部が前記第1軸線周りに揺動可能となるように前記支持部と前記可動部とを互いに連結する一対のトーションバーと、を備え、
前記可動部は、光学機能部が配置された本体部と、前記第1軸線に垂直な所定方向から見た場合に前記本体部を囲むように環状に形成された環状部と、前記本体部と前記環状部とを互いに接続する2つの接続部と、前記本体部に設けられた梁部と、を有し、
前記2つの接続部の各々は、空間により互いに分離された2つの接続領域を有し、前記2つの接続領域の各々は、前記本体部と前記環状部とを互いに接続しており、
前記梁部は、前記所定方向から見た場合に前記本体部の中心側から前記4つの接続領域に向かってそれぞれ延在する4つの延在部と、を有している、光学デバイス。 - 前記第1軸線に平行な方向を第1軸線方向とし、前記所定方向から見た場合における前記本体部の中心を通り前記第1軸線及び前記所定方向に垂直な軸線を第2軸線とし、前記第2軸線に平行な方向を第2軸線方向とすると、
前記2つの接続部は、前記第2軸線方向における前記本体部の両側に配置されている、請求項1に記載の光学デバイス。 - 前記2つの接続部の各々において、前記2つの接続領域は、前記第2軸線に対して前記第1軸線方向の両側に配置されている、請求項2に記載の光学デバイス。
- 前記4つの延在部は、前記本体部の中心側において互いに接続されている、請求項1又は2に記載の光学デバイス。
- 前記梁部は、中央部を更に有し、
前記4つの延在部は、前記中央部から延在している、請求項1又は2に記載の光学デバイス。 - 前記中央部は、前記所定方向から見た場合に、前記本体部の中心に配置されている、請求項5に記載の光学デバイス。
- 前記4つの延在部は、前記中央部から放射状に真っ直ぐに延在している、請求項1又は2に記載の光学デバイス。
- 前記梁部は、前記本体部の中心側から前記第1軸線方向の一方側に向かって延在する2つの延在部と、前記本体部の中心側から前記第1軸線方向の他方側に向かって延在する2つの延在部と、を更に有している、請求項2に記載の光学デバイス。
- 前記支持部、前記可動部及び前記一対のトーションバーは、第1半導体層、第2半導体層、及び前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に配置された絶縁層を有する半導体基板によって構成されており、
前記本体部及び前記環状部は、前記第2半導体によって構成されており、
前記梁部は、前記第1半導体層によって構成されている、請求項1又は2に記載の光学デバイス。 - 前記一対のトーションバーの各々は板状を呈しており、前記第2半導体層によって構成されている、請求項9に記載の光学デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2024017078A JP2024050839A (ja) | 2017-11-15 | 2024-02-07 | 光学デバイス |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017220237 | 2017-11-15 | ||
JP2017220237 | 2017-11-15 | ||
PCT/JP2018/029117 WO2019097772A1 (ja) | 2017-11-15 | 2018-08-02 | 光学デバイスの製造方法 |
JP2019553693A JPWO2019097772A1 (ja) | 2017-11-15 | 2018-08-02 | 光学デバイスの製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019553693A Division JPWO2019097772A1 (ja) | 2017-11-15 | 2018-08-02 | 光学デバイスの製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2024017078A Division JP2024050839A (ja) | 2017-11-15 | 2024-02-07 | 光学デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023009130A true JP2023009130A (ja) | 2023-01-19 |
JP7434496B2 JP7434496B2 (ja) | 2024-02-20 |
Family
ID=66538633
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019553693A Pending JPWO2019097772A1 (ja) | 2017-11-15 | 2018-08-02 | 光学デバイスの製造方法 |
JP2022177023A Active JP7434496B2 (ja) | 2017-11-15 | 2022-11-04 | 光学デバイス |
JP2023113822A Pending JP2023145511A (ja) | 2017-11-15 | 2023-07-11 | 光学デバイスの製造方法 |
JP2024017078A Pending JP2024050839A (ja) | 2017-11-15 | 2024-02-07 | 光学デバイス |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019553693A Pending JPWO2019097772A1 (ja) | 2017-11-15 | 2018-08-02 | 光学デバイスの製造方法 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023113822A Pending JP2023145511A (ja) | 2017-11-15 | 2023-07-11 | 光学デバイスの製造方法 |
JP2024017078A Pending JP2024050839A (ja) | 2017-11-15 | 2024-02-07 | 光学デバイス |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US11906727B2 (ja) |
EP (3) | EP4160295A1 (ja) |
JP (4) | JPWO2019097772A1 (ja) |
KR (1) | KR102591487B1 (ja) |
CN (4) | CN111344622A (ja) |
WO (2) | WO2019097772A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6778134B2 (ja) * | 2017-03-14 | 2020-10-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール及びその実装方法 |
CN110392858B (zh) | 2017-03-14 | 2021-08-13 | 浜松光子学株式会社 | 光模块 |
US11513339B2 (en) | 2017-03-14 | 2022-11-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical module |
US11635615B2 (en) * | 2017-12-21 | 2023-04-25 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Actuator, optical scanning device, and manufacturing methods |
JP6688917B1 (ja) * | 2019-01-30 | 2020-04-28 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール、信号処理システム及び信号処理方法 |
CN114981704A (zh) * | 2020-01-16 | 2022-08-30 | 奇跃公司 | 扫描镜系统及制造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012042666A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
JP2012198298A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Ricoh Co Ltd | 光偏向装置並びにこれを備えた光走査装置、画像投影装置、画像読取装置および画像形成装置 |
JP2013080068A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Mitsumi Electric Co Ltd | 光走査装置 |
US20130194555A1 (en) * | 2012-01-27 | 2013-08-01 | Microvision, Inc. | Piezoelectric Actuated Device, Method and System |
JP2016212221A (ja) * | 2015-05-07 | 2016-12-15 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
Family Cites Families (132)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA2154357C (en) | 1993-02-04 | 2004-03-02 | Kevin A. Shaw | Microstructures and single-mask, single-crystal process for fabrication thereof |
US6384952B1 (en) | 1997-03-27 | 2002-05-07 | Mems Optical Inc. | Vertical comb drive actuated deformable mirror device and method |
US6392220B1 (en) | 1998-09-02 | 2002-05-21 | Xros, Inc. | Micromachined members coupled for relative rotation by hinges |
JP3552601B2 (ja) | 1998-11-16 | 2004-08-11 | 日本ビクター株式会社 | 光偏向子及びこれを用いた表示装置 |
US6507138B1 (en) | 1999-06-24 | 2003-01-14 | Sandia Corporation | Very compact, high-stability electrostatic actuator featuring contact-free self-limiting displacement |
WO2001053872A1 (en) | 2000-01-18 | 2001-07-26 | Cornell Research Foundation, Inc. | Single crystal silicon micromirror and array |
KR100738064B1 (ko) | 2001-02-27 | 2007-07-12 | 삼성전자주식회사 | 비선형적 복원력의 스프링을 가지는 mems 소자 |
JP2003029178A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-29 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 光スイッチの製造方法 |
US20040004775A1 (en) | 2002-07-08 | 2004-01-08 | Turner Arthur Monroe | Resonant scanning mirror with inertially coupled activation |
TWI231290B (en) | 2002-08-14 | 2005-04-21 | Fujitsu Ltd | Micro-pivotal device having torsion bars |
KR100486716B1 (ko) | 2002-10-18 | 2005-05-03 | 삼성전자주식회사 | 2-d 액튜에이터 및 그 제조방법 |
JP4102158B2 (ja) * | 2002-10-24 | 2008-06-18 | 富士通株式会社 | マイクロ構造体の製造方法 |
US20040160118A1 (en) | 2002-11-08 | 2004-08-19 | Knollenberg Clifford F. | Actuator apparatus and method for improved deflection characteristics |
JP3956839B2 (ja) | 2002-11-26 | 2007-08-08 | ブラザー工業株式会社 | 光走査装置および光走査装置を備えた画像形成装置 |
JP2004215534A (ja) | 2003-01-10 | 2004-08-05 | Nogyo Kagaku Kenkyusho:Kk | 農園芸作物栽培方法 |
US6947188B2 (en) | 2003-03-18 | 2005-09-20 | The Regents Of The University Of California | High stroke pixel for a deformable mirror |
JP2004325578A (ja) | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Fujitsu Ltd | 偏向ミラー |
JP4151959B2 (ja) | 2003-06-19 | 2008-09-17 | 株式会社リコー | 振動ミラー及びその製造方法、光書込装置、画像形成装置 |
JP2005107180A (ja) | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 微小光デバイスおよびその作製方法 |
KR20050043423A (ko) | 2003-11-06 | 2005-05-11 | 삼성전자주식회사 | 주파수 변조 가능한 공진형 스캐너 |
US8729770B1 (en) | 2003-12-02 | 2014-05-20 | Adriatic Research Institute | MEMS actuators with combined force and bi-directional rotation |
JP4422624B2 (ja) * | 2004-03-03 | 2010-02-24 | 日本航空電子工業株式会社 | 微小可動デバイス及びその作製方法 |
US7329930B2 (en) | 2004-03-08 | 2008-02-12 | Opus Microsystems Corporation | Micromechanical actuator with multiple-plane comb electrodes and methods of making |
JP4461870B2 (ja) | 2004-03-26 | 2010-05-12 | ブラザー工業株式会社 | 光走査装置およびそれを備えた画像形成装置 |
KR100624436B1 (ko) | 2004-10-19 | 2006-09-15 | 삼성전자주식회사 | 2축 액츄에이터 및 그 제조방법 |
JP4385938B2 (ja) | 2004-12-15 | 2009-12-16 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ |
EP1677086B1 (en) | 2004-12-30 | 2013-09-04 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Fourier transform spectrometer |
JP4573664B2 (ja) | 2005-02-16 | 2010-11-04 | 富士通株式会社 | マイクロ揺動素子およびその製造方法 |
CN100381862C (zh) | 2005-03-23 | 2008-04-16 | 精工爱普生株式会社 | 驱动器和具有驱动器的光学装置以及该驱动器的制造方法 |
JP4098792B2 (ja) | 2005-06-08 | 2008-06-11 | アンリツ株式会社 | ミラー装置 |
CN101316789B (zh) | 2005-11-25 | 2012-07-18 | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 | 可偏转微机械元件 |
JP4473209B2 (ja) | 2005-12-02 | 2010-06-02 | アンリツ株式会社 | 可変波長光フィルタ |
JP4437320B2 (ja) | 2006-01-06 | 2010-03-24 | 国立大学法人東北大学 | マイクロミラー、及び、マイクロミラーデバイス |
KR100682958B1 (ko) | 2006-01-10 | 2007-02-15 | 삼성전자주식회사 | 2축 마이크로 스캐너 |
US7359107B2 (en) | 2006-03-31 | 2008-04-15 | Texas Instruments Incorporated | Analog MEMS with non-linear support |
JP5098254B2 (ja) | 2006-08-29 | 2012-12-12 | 富士通株式会社 | マイクロ揺動素子 |
JP4626596B2 (ja) | 2006-09-26 | 2011-02-09 | パナソニック電工株式会社 | 可動構造体及びそれを備えた光学素子 |
US8165323B2 (en) | 2006-11-28 | 2012-04-24 | Zhou Tiansheng | Monolithic capacitive transducer |
JP4219383B2 (ja) | 2006-12-28 | 2009-02-04 | 日本航空電子工業株式会社 | 櫛歯型静電アクチュエータ |
JP2008203402A (ja) | 2007-02-19 | 2008-09-04 | Konica Minolta Opto Inc | センサ装置、および撮像装置 |
DE102007051820A1 (de) | 2007-04-02 | 2008-10-23 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit |
DE102008012825B4 (de) | 2007-04-02 | 2011-08-25 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 | Mikromechanisches Bauelement mit verkippten Elektroden |
US7535620B2 (en) | 2007-04-04 | 2009-05-19 | Precisely Microtechnology Corp. | Micro-electro-mechanical system micro mirror |
KR20090041766A (ko) | 2007-10-24 | 2009-04-29 | 삼성전기주식회사 | 미러로부터 분리된 액츄에이터를 구비한 멤스 스캐너 |
JP4538503B2 (ja) | 2008-01-18 | 2010-09-08 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 共振器 |
JP5223381B2 (ja) | 2008-03-04 | 2013-06-26 | 富士通株式会社 | マイクロ可動素子、光スイッチング装置、およびマイクロ可動素子製造方法 |
DE102008001071B4 (de) | 2008-04-09 | 2017-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanische Aktuatorstruktur und entsprechendes Betätigungsverfahren |
CN101290395B (zh) | 2008-04-14 | 2010-11-10 | 北京大学 | 一种微型多功能光学器件及其制备方法 |
JP4980990B2 (ja) | 2008-06-25 | 2012-07-18 | パナソニック株式会社 | 可動構造体及びそれを用いたマイクロミラー素子 |
JP5353101B2 (ja) * | 2008-07-29 | 2013-11-27 | 大日本印刷株式会社 | 微細構造体形成方法 |
JP5146204B2 (ja) | 2008-08-29 | 2013-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光スキャナ及び画像形成装置 |
JP2010085506A (ja) | 2008-09-29 | 2010-04-15 | Brother Ind Ltd | 光スキャナ及びこの光スキャナを備えた画像表示装置 |
JP5535079B2 (ja) | 2008-10-14 | 2014-07-02 | 日本電産サンキョー株式会社 | 撮影用光学装置 |
JP5168659B2 (ja) | 2008-11-27 | 2013-03-21 | 株式会社リコー | 可動板構造体及び光走査装置 |
JP2010151007A (ja) | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Seiko Instruments Inc | 駆動モジュールおよび電子機器 |
JP5302020B2 (ja) | 2009-01-26 | 2013-10-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール |
JP5444746B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2014-03-19 | 富士通株式会社 | マイクロ可動素子および光干渉計 |
WO2010113251A1 (ja) | 2009-03-31 | 2010-10-07 | 富士通株式会社 | マイクロ可動素子アレイおよび通信機器 |
WO2010121185A1 (en) | 2009-04-17 | 2010-10-21 | Si-Ware Systems | Opto-mechanical optical path retardation multiplier for optical mems applications |
JP4816762B2 (ja) | 2009-05-20 | 2011-11-16 | オムロン株式会社 | バネの構造および当該バネを用いたアクチュエータ |
DE102009026507A1 (de) | 2009-05-27 | 2010-12-02 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
JP2011069954A (ja) | 2009-09-25 | 2011-04-07 | Brother Industries Ltd | 光スキャナ |
US8269395B2 (en) | 2009-10-02 | 2012-09-18 | Siyuan He | Translating and rotation micro mechanism |
DE102009045720A1 (de) | 2009-10-15 | 2011-04-21 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil mit einer verstellbaren Komponente |
US8546995B2 (en) | 2009-11-06 | 2013-10-01 | Opus Microsystems Corporation | Two-dimensional micromechanical actuator with multiple-plane comb electrodes |
EP2506018A4 (en) | 2009-11-24 | 2013-06-19 | Panasonic Corp | ACCELERATION SENSOR |
US8792105B2 (en) | 2010-01-19 | 2014-07-29 | Si-Ware Systems | Interferometer with variable optical path length reference mirror using overlapping depth scan signals |
JP5577742B2 (ja) | 2010-02-23 | 2014-08-27 | セイコーエプソン株式会社 | 光スキャナーおよび画像形成装置 |
US8353600B1 (en) | 2010-06-23 | 2013-01-15 | Advanced Numicro Systems, Inc. | MEMS actuator assembly for optical switch |
DE102010040768B4 (de) | 2010-09-14 | 2022-02-17 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Spektralzerlegungsvorrichtung und Herstellung derselben |
US9036231B2 (en) | 2010-10-20 | 2015-05-19 | Tiansheng ZHOU | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
US10551613B2 (en) | 2010-10-20 | 2020-02-04 | Tiansheng ZHOU | Micro-electro-mechanical systems micromirrors and micromirror arrays |
US8803256B2 (en) | 2010-11-15 | 2014-08-12 | DigitalOptics Corporation MEMS | Linearly deployed actuators |
JP2012108165A (ja) | 2010-11-15 | 2012-06-07 | Seiko Epson Corp | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
JP5736766B2 (ja) | 2010-12-22 | 2015-06-17 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
JP2012145910A (ja) * | 2010-12-24 | 2012-08-02 | Mitsumi Electric Co Ltd | 構造体 |
JP2012184962A (ja) | 2011-03-03 | 2012-09-27 | Kagawa Univ | 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 |
JP5842356B2 (ja) | 2011-03-24 | 2016-01-13 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 |
JP2013009447A (ja) | 2011-06-22 | 2013-01-10 | Olympus Corp | 静電アクチュエータおよびその制御方法 |
JP2013016651A (ja) * | 2011-07-04 | 2013-01-24 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体光素子の製造方法 |
EP2544370B1 (en) | 2011-07-06 | 2020-01-01 | Nxp B.V. | MEMS resonator |
US9091856B2 (en) | 2011-09-30 | 2015-07-28 | Panasonic Intellctual Property Management Co., Ltd. | Optical reflecting element |
CN103988109B (zh) | 2011-10-07 | 2017-07-14 | 新加坡国立大学 | 基于mems的变焦镜头系统 |
NL2007554C2 (en) | 2011-10-10 | 2013-04-11 | Innoluce B V | Mems scanning micromirror. |
JP5832852B2 (ja) | 2011-10-21 | 2015-12-16 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
NL2007886C2 (en) * | 2011-11-29 | 2013-05-30 | Innoluce B V | Mems scanning micromirror. |
JP5988592B2 (ja) | 2012-01-19 | 2016-09-07 | キヤノン株式会社 | 可動ミラー、波面補正デバイスおよび眼底検査装置 |
CN103288034A (zh) | 2012-03-01 | 2013-09-11 | 北京大学 | 一种离面静电驱动器及其制作方法 |
US9523849B2 (en) | 2012-05-07 | 2016-12-20 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical reflection element |
GB201209595D0 (en) | 2012-05-30 | 2012-07-11 | Ibm | Positioning device for scanning a surface |
JP2014006418A (ja) | 2012-06-26 | 2014-01-16 | Olympus Corp | アクチュエータ |
JP5710843B2 (ja) | 2012-07-09 | 2015-04-30 | シャープ株式会社 | マスクユニットおよび蒸着装置 |
JP5936941B2 (ja) | 2012-07-13 | 2016-06-22 | 国立大学法人九州大学 | 回転型アクチュエータ |
JP2014035429A (ja) | 2012-08-08 | 2014-02-24 | Olympus Corp | 光偏向器 |
JP2014095758A (ja) | 2012-11-07 | 2014-05-22 | Canon Inc | アクチュエータ及び可変形状ミラー |
JP6260019B2 (ja) | 2012-11-09 | 2018-01-17 | 北陽電機株式会社 | 金属弾性部材、微小機械装置、微小機械装置の製造方法、揺動制御装置及び揺動制御方法 |
JP5714648B2 (ja) | 2012-11-16 | 2015-05-07 | 株式会社豊田中央研究所 | 力学量memsセンサ及び力学量memsセンサシステム |
JP6154636B2 (ja) | 2013-03-26 | 2017-06-28 | 住友精密工業株式会社 | ミラーデバイス |
JP2014215534A (ja) | 2013-04-26 | 2014-11-17 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
JP6015564B2 (ja) | 2013-05-31 | 2016-10-26 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
JP5873837B2 (ja) | 2013-05-31 | 2016-03-01 | 京セラドキュメントソリューションズ株式会社 | 光偏向器及び光走査装置 |
TWI557061B (zh) | 2013-07-26 | 2016-11-11 | Globalmems Taiwan Corp Ltd | Movable vehicle structure for microelectromechanical systems |
JP6653902B2 (ja) | 2013-08-08 | 2020-02-26 | 国立大学法人静岡大学 | アクチュエータ |
EP3037792B1 (en) * | 2013-08-19 | 2021-07-14 | Hamamatsu Photonics K.K. | Method for manufacturing an optical interferometer |
JP6196867B2 (ja) | 2013-10-01 | 2017-09-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学モジュール |
CN105637405B (zh) * | 2013-11-07 | 2018-06-12 | 住友精密工业株式会社 | 电子器件的制造方法 |
JP2015093340A (ja) | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 富士電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP5519067B1 (ja) | 2013-11-27 | 2014-06-11 | 株式会社テクノフロント | 光学干渉計、及びこれを用いたフーリエ変換型分光器 |
JP2015123526A (ja) | 2013-12-26 | 2015-07-06 | ソニー株式会社 | 機能素子、加速度センサおよびスイッチ |
US9372338B2 (en) | 2014-01-17 | 2016-06-21 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Multi-state interferometric modulator with large stable range of motion |
US9958271B2 (en) | 2014-01-21 | 2018-05-01 | Invensense, Inc. | Configuration to reduce non-linear motion |
CN203825034U (zh) | 2014-04-01 | 2014-09-10 | 南京信息工程大学 | 一种z轴电容式微机械加速度计 |
JP6284427B2 (ja) | 2014-05-21 | 2018-02-28 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及びその製造方法 |
JP5967145B2 (ja) | 2014-06-24 | 2016-08-10 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
JP6479354B2 (ja) | 2014-06-30 | 2019-03-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー駆動装置及びその製造方法 |
WO2016020716A1 (en) | 2014-08-04 | 2016-02-11 | Ba-Tis Faez | 3-dof mems piston-tube electrostatic microactuator |
JP6349229B2 (ja) | 2014-10-23 | 2018-06-27 | スタンレー電気株式会社 | 二軸光偏向器及びその製造方法 |
JP6459392B2 (ja) | 2014-10-28 | 2019-01-30 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
JP2016114798A (ja) * | 2014-12-16 | 2016-06-23 | 株式会社Jvcケンウッド | 光偏向器及び光偏向器の製造方法 |
JP2016136579A (ja) * | 2015-01-23 | 2016-07-28 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2016139009A (ja) | 2015-01-27 | 2016-08-04 | キヤノン株式会社 | アクチュエータ、及びアクチュエータを用いた可変形状ミラー |
JP2016151681A (ja) * | 2015-02-18 | 2016-08-22 | 株式会社Jvcケンウッド | Mems光スキャナ |
JP6516516B2 (ja) | 2015-03-16 | 2019-05-22 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
JP2017058418A (ja) | 2015-09-14 | 2017-03-23 | 富士電機株式会社 | 光走査装置および内視鏡 |
JP6682106B2 (ja) | 2015-10-02 | 2020-04-15 | 株式会社鷺宮製作所 | 振動発電素子 |
JP6319771B2 (ja) | 2015-11-06 | 2018-05-09 | 株式会社山王 | 多孔質ニッケル薄膜及びその製造方法 |
TWI581004B (zh) | 2015-11-18 | 2017-05-01 | 財團法人工業技術研究院 | 可調式光學裝置 |
JP6691784B2 (ja) | 2016-01-21 | 2020-05-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
JP2016200834A (ja) | 2016-08-10 | 2016-12-01 | キヤノン株式会社 | 可動ミラー |
CN106500682B (zh) | 2016-10-12 | 2019-10-22 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 一种mems陀螺仪 |
CN106597016B (zh) | 2016-12-22 | 2022-12-27 | 四川知微传感技术有限公司 | 一种电容式mems双轴加速度计 |
TWI785068B (zh) | 2017-07-06 | 2022-12-01 | 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司 | 光學裝置 |
-
2018
- 2018-08-02 EP EP22209052.4A patent/EP4160295A1/en active Pending
- 2018-08-02 EP EP18879093.5A patent/EP3712673B1/en active Active
- 2018-08-02 CN CN201880073320.6A patent/CN111344622A/zh active Pending
- 2018-08-02 JP JP2019553693A patent/JPWO2019097772A1/ja active Pending
- 2018-08-02 WO PCT/JP2018/029117 patent/WO2019097772A1/ja unknown
- 2018-08-02 CN CN202211330344.XA patent/CN115657296A/zh active Pending
- 2018-08-02 CN CN202211330346.9A patent/CN115657297A/zh active Pending
- 2018-08-02 US US16/761,294 patent/US11906727B2/en active Active
- 2018-09-04 US US16/762,174 patent/US11693230B2/en active Active
- 2018-09-04 CN CN201880073424.7A patent/CN111344623A/zh active Pending
- 2018-09-04 EP EP18879883.9A patent/EP3712674A4/en active Pending
- 2018-09-04 KR KR1020207014658A patent/KR102591487B1/ko active IP Right Grant
- 2018-09-04 WO PCT/JP2018/032760 patent/WO2019097818A1/ja unknown
-
2022
- 2022-11-04 JP JP2022177023A patent/JP7434496B2/ja active Active
- 2022-11-30 US US18/072,227 patent/US11953675B2/en active Active
-
2023
- 2023-07-11 JP JP2023113822A patent/JP2023145511A/ja active Pending
-
2024
- 2024-02-07 JP JP2024017078A patent/JP2024050839A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012042666A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 |
JP2012198298A (ja) * | 2011-03-18 | 2012-10-18 | Ricoh Co Ltd | 光偏向装置並びにこれを備えた光走査装置、画像投影装置、画像読取装置および画像形成装置 |
JP2013080068A (ja) * | 2011-10-03 | 2013-05-02 | Mitsumi Electric Co Ltd | 光走査装置 |
US20130194555A1 (en) * | 2012-01-27 | 2013-08-01 | Microvision, Inc. | Piezoelectric Actuated Device, Method and System |
JP2016212221A (ja) * | 2015-05-07 | 2016-12-15 | 株式会社デンソー | 光走査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11953675B2 (en) | 2024-04-09 |
CN111344622A (zh) | 2020-06-26 |
JPWO2019097772A1 (ja) | 2020-12-17 |
EP3712674A1 (en) | 2020-09-23 |
EP4160295A1 (en) | 2023-04-05 |
CN115657296A (zh) | 2023-01-31 |
KR102591487B1 (ko) | 2023-10-19 |
WO2019097772A1 (ja) | 2019-05-23 |
EP3712673B1 (en) | 2023-11-08 |
US11906727B2 (en) | 2024-02-20 |
JP2023145511A (ja) | 2023-10-11 |
CN111344623A (zh) | 2020-06-26 |
CN115657297A (zh) | 2023-01-31 |
EP3712674A4 (en) | 2021-09-15 |
US20200363630A1 (en) | 2020-11-19 |
US11693230B2 (en) | 2023-07-04 |
US20210191106A1 (en) | 2021-06-24 |
EP3712673A1 (en) | 2020-09-23 |
JP7434496B2 (ja) | 2024-02-20 |
WO2019097818A1 (ja) | 2019-05-23 |
JP2024050839A (ja) | 2024-04-10 |
KR20200087165A (ko) | 2020-07-20 |
EP3712673A4 (en) | 2021-09-15 |
US20230138044A1 (en) | 2023-05-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7434496B2 (ja) | 光学デバイス | |
JP6518850B1 (ja) | ミラーユニット及び光モジュール |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221124 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20221124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230728 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230808 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20230929 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240207 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7434496 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |