JP2014215534A - 光走査装置 - Google Patents
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Abstract
Description
射させる反射面を有する反射部を、圧電駆動部により変位させることで、光ビームを走査する。特許文献1には、蛇腹型の構造を有する圧電駆動部を用いることで、反射部の振幅角(変位の幅)を大きくする技術が開示されている。
<第1の実施形態>
1.光走査装置1の構成
光走査装置1の構成を図1〜図6に基き説明する。光走査装置1は、反射部3と、支持部5と、一対の梁部材7と、一対の第1の駆動部9とを備えている。
外周部11は矩形の枠であり、その枠内に、円板状の内周部13及び第2の駆動部17が配置されている。外周部11は、その外側の両端において、一対の梁部材7に接続している。梁部材7は棒状の部材である。一対の梁部材7は、内周部13の中心を通る一直線(以下、第1の軸18とする)上に配置されている。
、それぞれ、上述したとおり、1端において外周部11に接続しているが、その反対側の端部において、突出部5A、5Bに接続している。よって、突出部5A、5Bは、一対の梁部材7を介して反射部3を支持する。
光走査装置1は、以下の方法で製造することができる。まず、Siから成る厚さ350μmの支持層、SiO2から成る厚さ2μmの中間酸化膜、及びSiから成る厚さ10μ
mの活性層を積層したSOIウエハを用意する。
3.光走査装置1の動作
光走査装置1の動作を、図1、図5、図6に基き説明する。図1に示すように、一対の端子55に、それぞれ、第1駆動信号源101を接続し、60Hzの駆動信号S1を印加する。駆動信号S1により、第1の駆動部9における圧電薄膜47、49が図5に示すように屈曲する。反射部3の上端3Aは第1の駆動部9の接続部9Aに接続しているので、第1の駆動部9の上述した屈曲により、反射部3の上端3Aは、図1における紙面に直交
する方向(図5における上下方向)に変位する。
また、一対の端子43のうちの一方に、第2駆動信号源103を直接接続するとともに、他方の端子43に、位相反転回路105を介して第2駆動信号源103を接続する。この結果、一対の端子43のうちの一方には、30kHzの駆動信号S2が印加され、他方の端子43には、駆動信号S2とは逆位相の駆動信号S3が印加される。駆動信号S2、S3により、第2の駆動部17が、図6A、6Bに示すように屈曲し、内周部13に、反射部内梁部材15(第2の軸21)を中心軸とする捩れ振動を行わせる。この振動は共振振動である。
(1)反射部3は、梁部材7と、第1の駆動部9との両方を介して、支持部5に取り付けられている。そのため、反射部3の剛性が全体として高くなり、反射部3の最低共振周波数が高くなる。
<第2の実施形態>
1.光走査装置1の構成及び製造方法
光走査装置1の構成は基本的には前記第1の実施形態と同様であるが一部において相違する。以下では、相違点を中心に説明する。
光走査装置1の動作を、図5、図7に基き説明する。一対の端子55に、それぞれ、第
1駆動信号源101を接続し、60Hzの駆動信号S1を印加する。駆動信号S1により、第1の駆動部9における圧電薄膜47、49が図5に示すように屈曲する。反射部3の上端3Aは第1の駆動部9の接続部9Aに接続しているので、第1の駆動部9の上述した屈曲により、反射部3の上端3Aは、図7における紙面に直交する方向(図5における上下方向)に変位する。
また、一対の端子55のうちの一方に、第2駆動信号源103を直接接続するとともに、他方の端子55に、位相反転回路105を介して第2駆動信号源103を接続する。この結果、一対の端子55のうちの一方には、30kHzの駆動信号S2が重畳して印加され、他方の端子55には、駆動信号S2とは逆位相の駆動信号S3が重畳して印加される。
ここで、例えば、内周部13の振幅角と外周部11の第2の軸21を中心軸として捩れ振動する振幅角の比を「10:1」にし、この振動モードの共振周波数が30kHzとなるように設計した場合、第1の駆動部9の一方に30kHzの駆動信号を印加し、第1の駆動部9の他方に30kHzの駆動信号を逆位相で印加すると、前述の振動モードが励起され、内周部13を大きく共振振動できる。
(1)本実施形態の光走査装置1は、前記第1の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
<第3の実施形態>
1.光走査装置1の構成及び製造方法
光走査装置1の構成は基本的には前記第1の実施形態と同様であるが一部において相違する。以下では、相違点を中心に説明する。
光走査装置1の動作を、図5、図8に基き説明する。端子55に、第1駆動信号源101を接続し、60Hzの駆動信号S1を印加する。駆動信号S1により、第1の駆動部9における圧電薄膜47、49が図5に示すように屈曲する。反射部3の上端3Aは第1の駆動部9の接続部9Aに接続しているので、第1の駆動部9の上述した屈曲により、反射部3の上端3Aは、図8における紙面に直交する方向(図5における上下方向)に変位する。その結果、反射部3が、梁部材7(第1の軸18)を中心軸とする捩れ振動を行う。
3.光走査装置1が奏する効果
(1)本実施形態の光走査装置1は、前記第1の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
<第4の実施形態>
1.光走査装置1の構成及び製造方法
光走査装置1の構成は基本的には前記第3の実施形態と同様であるが一部において相違する。以下では、相違点を中心に説明する。
本実施形態の光走査装置1は、前記第1の実施形態と同様の方法で製造できる。
光走査装置1の動作を、図5、図9に基き説明する。端子55に、第1駆動信号源101を接続し、60Hzの駆動信号S1を印加する。駆動信号S1により、第1の駆動部9における圧電薄膜47が図5に示すように屈曲する。反射部3の上端3Aは第1の駆動部9の接続部9Aに接続しているので、第1の駆動部9の上述した屈曲により、反射部3の上端3Aは、図9における紙面に直交する方向(図5における上下方向)に変位する。その結果、反射部3が、梁部材7(第1の軸18)を中心軸とする捩れ振動を行う。
3.光走査装置1が奏する効果
(1)本実施形態の光走査装置1は、前記第3の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
<第5の実施形態>
1.光走査装置1の構成及び製造方法
光走査装置1の構成は基本的には前記第2の実施形態と同様であるが一部において相違する。以下では、相違点を中心に説明する。
において、板厚が周囲に比べて大きい部分である。また、リブ59は、外周部11において、板厚が周囲に比べて大きい部分である。
2.光走査装置1の動作
光走査装置1は、前記第2の実施形態と同様に動作させることができる。
(1)本実施形態の光走査装置1は、前記第2の実施形態と略同様の効果を奏することができる。
例えば、前記第1〜第5の実施形態において、第1の駆動部9は、反射部3の一方の側にのみに設けられていてもよい。
Claims (6)
- 光ビームを反射させる反射面(19)を有する反射部(3)と、
前記反射部の中心を通る第1の軸(18)に沿って配置され、前記反射部の両端にそれぞれ接続した、捩れ振動可能な一対の梁部材(7)と、
前記一対の梁部材を介して前記反射部を支持する支持部(5)と、
前記反射部における前記第1の軸から離間した位置A(3A)と前記支持部とを接続し、屈曲変形することで前記位置Aを変位させ、前記反射部に前記第1の軸を中心軸とする捩れ振動を行わせる第1の駆動部(9)と、
を備えることを特徴とする光走査装置(1)。 - 前記反射部が、
前記一対の梁部材に接続する外周部(11)と、
前記反射面を有する内周部(13)と、
前記内周部の中心を通る第2の軸(21)に沿って配置され、前記外周部と前記内周部とを捩れ振動可能に接続する一対の反射部内梁部材(15)と、
を備えることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。 - 前記外周部と前記内周部とを接続し、屈曲変形することで内周部に前記第2の軸を中心軸とする捩れ振動を行わせる第2の駆動部(17)を備えることを特徴とする請求項2に記載の光走査装置。
- 前記第1の駆動部は、前記屈曲変形する方向に沿ったスリット(51)を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 前記第1の駆動部のうち、屈曲変形する部分における前記屈曲変形する方向での中点(52)が、前記第1の軸上にあることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の光走査装置。
- 前記第1の駆動部は、前記位置Aと接続する部分を含む範囲にリブ(57)を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の光走査装置。
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