JP5569236B2 - 光走査装置、画像形成装置および画像投影装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、共振周波数のばらつきの発生を抑制しつつ、折れ難いカンチレバーと、捩り回転時にカンチレバーが折れ難く、大きい振れ角が実現可能な光走査装置、画像形成装置および画像投影装置を提供することにある。
・酸化膜により、エッチングのムラの発生を抑制し、エッチングによる捩り梁部分の板厚のばらつきの発生を抑制することができるので、ミラーの振動のばらつきを抑えることができ、
・捩り梁部分の板厚に比べてカンチレバーの部分の板厚を薄くすることにより、カンチレバーが変位しやすくなるので、ミラー部のより大きな振れ角を実現することができ、
・応力が集中するカンチレバーと捩り梁の連結部を酸化膜から離すことにより、異種材料(酸化膜)が介在しないために、カンチレバーが折れ難くなる。これにより、共振周波数のばらつきが小さく、振れ角が大きい光走査装置が得られる。
また、カンチレバーは、該カンチレバーの酸化膜側が、捩り梁との連結部が最も厚く、中央部が最も薄い曲線的な厚さの分布を有することにより、カンチレバーの応力集中が緩和され、カンチレバーが折れ難くなる。
さらに、カンチレバーの振れ角を大きくすることができる。
2 カンチレバー
3 PZT
4 ミラー
5 リブ
6 フレーム
7 上部Pad電極
8 下部Pad電極
Claims (3)
- Si基板+酸化膜+Si基板の3層構成からなり、ミラー部と、前記ミラー部を支持する捩り梁と、前記捩り梁に捩りトルクを与えるカンチレバーとを備え、前記カンチレバー及び前記捩り梁を介して前記ミラー部を捩り振動させることにより、光源からの光ビームを前記ミラー部で走査する光走査装置において、
前記カンチレバーと前記捩り梁は同一のSi基板に形成され、前記カンチレバーは前記捩り梁よりも板厚が薄く、
前記カンチレバーは、該カンチレバーの前記酸化膜側が、前記捩り梁との連結部が最も厚く、中央部が最も薄い曲線的な厚さの分布を有することを特徴とする光走査装置。 - 請求項1に記載の光走査装置と、前記光走査装置によって静電像が形成される感光体と、前記静電像をトナーで顕像化する現像手段と、前記顕像化されたトナー像を記録紙に転写する転写手段とを有することを特徴とする画像形成装置。
- 光源と、光源からの発散光を略平行光とするコリメート光学系と、前記光源からの光出力を画像信号に応じて変調する変調器と、請求項1に記載の光走査装置とを有することを特徴とする画像投影装置。
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