JP2006201519A - 光走査装置及び画像形成装置 - Google Patents
光走査装置及び画像形成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006201519A JP2006201519A JP2005013392A JP2005013392A JP2006201519A JP 2006201519 A JP2006201519 A JP 2006201519A JP 2005013392 A JP2005013392 A JP 2005013392A JP 2005013392 A JP2005013392 A JP 2005013392A JP 2006201519 A JP2006201519 A JP 2006201519A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mirror
- electrode
- optical scanning
- scanning device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】 第1及び第2のSi基板206、207で構成される、捩り回転軸に垂直方向に複数個の固定櫛歯電極を備える静電駆動型ミラーにおいて、第2のSi基板207に形成される固定櫛歯電極の対向する位置にダミーパターン600を配置する。固定櫛歯電極をエッチングで形成する際に開口率の異なる領域を分離することにより、固定櫛歯電極を良好に安定して形成することを可能となる。
【選択図】 図12
Description
(1)外的要因(温度、湿度、振動等)によって共振周波数が変動し、振れ角が極端に小さくなる。
(2)作製時に発生する形状ばらつきや外的要因によって共振周波数にばらつきが発生するため、そのばらつきが大きいと複数のミラーを使用する場合には各々駆動周波数を変えなければならなくなり、煩雑であるとともにコストがかかるといった走査安定性に関して問題がある。
さらに、静電力を用いる消費電力の小さい静電駆動型のミラーの場合は、
(3)大きな振れ角得ようとすると駆動電圧が高くなる。
という問題がある。
第2固定櫛歯電極をエッチングで形成する際に、ダミーパターンにより開口率の異なる領域を分離することができるため、エッチングレートの不連続性によって異なる領域の境界で発生するエッチング残渣の発生を抑えることができ、第2固定櫛歯電極の構造を良好かつ安定して形成できる。また、ダミーパターンは第2固定櫛歯間隔とほぼ等しき距離を隔てて配備することにより、エッチングレートの均一性が向上し、より良好な形状が得られる。
このようにすれば、第2固定櫛歯電極形成時に、櫛歯周辺のエッチングレートの均一性がさらに向上するため、より良好な櫛歯形状を得られる。また、第1、第2可動櫛歯電極、第1、第2固定櫛歯電極を各々個別に制御することにより、静電力を連続的に引加することができ、効率よくミラーを回転させられる。
また、第1の基板は、該基板を垂直方向に貫通したスリット溝によって空間的に絶縁分離されることによって、その一部が振動ミラーをなしており、スリット溝は、振動ミラーの揺動空間に連通していることが好ましい。スリット溝による電極部間の良好な絶縁分離性が得られるとともに、揺動空間を密閉封止する際には、スリット溝は揺動空間に連通しているため、スリット溝にゲッター(ガス吸着材)を備えることによって、所望の真空・気密封止空間を設定、維持できる。
また、可動櫛歯電極、第1固定櫛歯電極に所定の周波数の電圧を印加する駆動電圧発生手段とを有し、共振周波数の近傍かつ共振ピークから外れた帯域において振動ミラーを駆動することが好ましい。共振ピークから外れた帯域で用いることにより、駆動周波数に対する調整幅を広げられる。
このような構成とすることにより、従来のポリゴンミラーに比べ、消費電力が小さく、低騒音な画像形成装置が得られる。
本発明を好適に実施した光走査装置について説明する。ここでは、2枚のSi基板で構成される静電駆動型のマイクロミラーを例とするが、3枚以上の基板を用いてもよい。
図10に、可動櫛歯電極がミラー基板端部及び一対の連結枝部を備えている従来型のマイクロミラーの構造を示す。このマイクロミラーは、(a)に示す第1のSi基板と(b)に示す第2のSi基板とは、絶縁層を介して接合された構成となっている。
エッチング残渣が発生した場合、固定櫛歯電極と可動櫛歯電極とが適切に噛みあわず、振動ミラーが適切に振動運動しなくなってしまう。
図1に、本発明の好適な実施の形態に係る光走査装置に用いられる振動ミラーモジュールの構成を示す。
振動ミラー基板は、2枚のSi基板206、207を絶縁膜(酸化膜など)を介して接合して構成される。第1のSi基板206は、厚さ60μmのシリコン製の基板であり、可動ミラー202及び同一直線上で軸支するねじり梁208は、その周囲をエッチングによって除去して固定枠210から分離することによって形成されている。
可動ミラー202の初期状態は水平であるが、第3の固定電極211に電圧を印加すると対向する可動電極との間で負の方向での静電力を生じ、ねじり梁208を捩りながら回転し、ねじり梁208の復元力と釣り合う振れ角まで傾く。電圧が解除されると、ねじり梁208の復元力によって可動ミラー202は水平に戻るが、水平に戻る直前に第1及び第2の固定電極203、204に電圧を印加することによって正の方向での静電力を生じさせ、引き続き第4の固定電極212に電圧を印加することによって、正の方向の静電トルクをさらに強めるように電極の切換を行う。これを繰り返し行うことで、可動ミラーをその両端の可動電極が対向する第1及び第2の固定電極203、204を抜ける振れ角(ここでは約2°)にて往復振動させる。
また、後段において説明するように、複数の可動ミラーを有する構成の場合には、固有の共振振動数には各々にばらつきがあるため、共通の駆動周波数では駆動できない。
例えば、共振周波数が2kHz、加工誤差により共振振動数のばらつきを300Hz、温度による共振周波数の変動を3Hzとすると、駆動周波数は2.303KHz以上又は1.697kHz以下に設定することが好ましい。
I=(4abρd/3)・a2 ・・・(1)
K=(G/2L)・{cd(c2+d2)/12} ・・・(2)
f=(1/2π)・(K/I)1/2=(1/2π)・{Gcd(c2+d2)/24LI}1/2 ・・・(3)
θ=A/If2 (Aは定数) ・・・(4)
振れ角θは、慣性モーメントIに反比例するため、慣性モーメントIを低減せずに共振振動数fを高めると振れ角θは小さくなってしまう。このため、可動ミラー反射面の裏側(図1の202の裏面)は、基板厚dの部分を格子状に残し、それ以外の部分はd/10以下の厚さにエッチングして肉抜きすることで慣性モーメントIを約1/5に低減している。
F=εHV2/2δ ・・・(5)
また、振れ角θは下記式(6)のようにも表される。
θ=B・F/I (Bは定数) ・・・(6)
式(5)及び式(6)から明らかなように、電極長さHが大きいほど振れ角θが大きくなり、櫛歯状とすることで、櫛歯数nに対して2n倍の駆動トルクを得ている。このようにして外周長をできるだけ長くして電極長を稼ぐことで、低電圧で大きい静電トルクが得られるようにしている。
P=C・ηu2・E3 (Cは定数) ・・・(7)
本実施形態においては、第1及び第2の基板206、207を接合してなる振動ミラー基板の中央部に凹状に可動ミラーの揺動空間を形成している。振動ミラー基板は、反射面を上側に向け、基体の外縁に形成された一対のV溝を結ぶ直線上にねじり梁を合わせて、リード端子を備えたベース基板217上に装着される。また、キャップ状に成形された透明樹脂製のカバー205を第2の基板207の上面に接合し、揺動空間には非蒸発型ゲッタを同梱している。非蒸発型ゲッタは、外部からの加熱によって活性化し、揺動空間内の気圧を133.322Pa以下としている。なお、光ビームは、カバー205に形成されたスリット窓213を通じて入出射される。
このため、上記のように対向ミラーを設けることで走査角を拡大し、記録速度によらず必要十分な走査角が得られるようにしている。
光源である半導体レーザ101は、フレーム部材102に立設された壁に配備された段付きの貫通穴103に、反対側からステム外周を基準に圧入され、段差部に鍔面を突き当てて光軸方向の位置決めがなされている。U字状の凹部105には、UV接着剤を介してカップリングレンズ110の光軸が半導体レーザ101からの射出軸と合うように、また、射出光束が平行光束となるように発光点と光軸方向との位置決めを行い、凹部とカップリングレンズとの隙間のUV接着剤を硬化させて固定する。
図示する例では、光源部を三つ有するが、全て同一構成である。
この際、基準穴を回転軸としたガタ分で被走査面(感光体)において各振動ミラーモジュールのいずれかで走査された走査線が被走査面の移動方向yと直交する方向xと平行となるように調節される。
第1の走査レンズ116は、副走査方向基準面の中央に突出され主走査方向の位置決めを行う突起120、及び両端を係合して光軸方向の位置決めを行う平押面119を入射面側、出射面側各々備え、ハウジング106に一体形成された溝122に突起120を係合し、一対の切欠121の各々に各端の平押面119を挿入し、波板ばね143で入射面側に押し付けて同面内での姿勢を保持することで、光軸と直交する同一面に走査レンズ同士の相対的な位置をあわせる。また、副走査方向基準面をハウジング106から突出した突起145及び副走査方向に繰り返し自在な調節ネジ146の先端に突き当てて設置高さを位置決めし、カバー138と一体形成された板バネ141で押圧支持される。ネジ147は、カバー138を固定するためのねじである。
転写されたトナー像は定着ローラ512によって定着させられ、排紙トレイ514へ排出される。
102 フレーム部材
103 貫通穴
104 角穴
105 凹部
106 ハウジング
109 取付斜面
110 カップリングレンズ
112 プリント基板
113 同期検知センサ
115 ケーブル
116 第1の走査レンズ
117 第2の走査レンズ
119 平押面
120、135、145 突起
121 切欠
122 溝
130 振動ミラーモジュール
131、133 フランジ部
132 固定ねじ
136 シリンダミラー
137、147 ネジ
138 カバー
141 板バネ
143 波板ばね
146 調節ネジ
202 可動ミラー
203 第1の固定電極
204 第2の固定電極
205 カバー
206 第1の基板
207 第2の基板
208 ねじり梁
210 固定枠
211 第3の固定電極
212 第4の固定電極
213 スリット窓
214 指標
215 対向ミラー
217 ベース基板
500 光走査装置
501 転写ベルト
502 現像ローラ
503 トナーホッパ部
504 感光体ドラム
505 センサ
506 給紙コロ
507 給紙トレイ
508 クリーニング部
510 レジストローラ
511 転写部
512 定着ローラ
514 排紙トレイ
515 搬送ベルト
600 ダミーパターン
Claims (7)
- 可動櫛歯電極を備え発光源からの光ビームを偏向する振動ミラーと、前記可動櫛歯電極に対向して形成された第1固定櫛歯電極を備えた第1の基板と、前記振動ミラーの捩り回転軸と垂直方向に第2固定櫛歯電極が形成されている他の基板とを接合して構成された光走査装置であって、
前記第2固定櫛歯電極の先端と対向する位置に前記第2固定櫛歯電極の櫛歯間隔と略同一の間隔でダミーパターンを設けたことを特徴とする光走査装置。 - 前記ダミーパターンは、所定の間隔を保って前記第2固定櫛歯電極と互いにかみ合う櫛歯形状であることを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 前記ダミーパターンには駆動電圧が供給されることを特徴とする請求項2記載の光走査装置。
- 前記可動櫛歯電極又は前記固定櫛歯電極を備える各基板は導体であり、該基板の一部が電極として機能することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の光走査装置。
- 前記第1の基板は、該基板を垂直方向に貫通したスリット溝によって空間的に絶縁分離されることによって、その一部が前記振動ミラーをなしており、
前記スリット溝は、前記振動ミラーの揺動空間に連通していることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の光走査装置。 - 前記可動櫛歯電極、前記第1固定櫛歯電極に所定の周波数の電圧を印加する駆動電圧発生手段とを有し、
共振周波数の近傍かつ共振ピークから外れた帯域において前記振動ミラーを駆動することを特徴とする請求項1から5のいずれか1項記載の光走査装置。 - 請求項1から6のいずれか1項記載の光走査装置と、該光走査装置によって静電像が形成される感光体と、静電像をトナーで顕像化する現像手段と、顕像化されたトナー像を記録媒体に転写する転写手段とを有することを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005013392A JP2006201519A (ja) | 2005-01-20 | 2005-01-20 | 光走査装置及び画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005013392A JP2006201519A (ja) | 2005-01-20 | 2005-01-20 | 光走査装置及び画像形成装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006201519A true JP2006201519A (ja) | 2006-08-03 |
Family
ID=36959564
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005013392A Pending JP2006201519A (ja) | 2005-01-20 | 2005-01-20 | 光走査装置及び画像形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006201519A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012068675A (ja) * | 2011-12-09 | 2012-04-05 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
US8698315B2 (en) | 2011-08-30 | 2014-04-15 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Semiconductor device |
CN110501812A (zh) * | 2019-09-05 | 2019-11-26 | 上海汽车集团股份有限公司 | 一种mems扫描镜 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003172897A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-06-20 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置とその製造方法、光書込装置、画像形成装置、振動ミラーチップとその製造方法、光走査モジュール |
JP2004177957A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-24 | Advanced Nano Systems | 同調可能な固有周波数をもつmems走査ミラー |
JP2004341364A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Ricoh Co Ltd | 振動ミラーとその製造方法、光走査モジュール、光書込装置、画像形成装置 |
JP2004341320A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、画像形成装置 |
JP2005010453A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Ricoh Co Ltd | 振動ミラー及びその製造方法、光書込装置、画像形成装置 |
JP2005088187A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-04-07 | Fujitsu Ltd | マイクロ構造体の製造方法 |
-
2005
- 2005-01-20 JP JP2005013392A patent/JP2006201519A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003172897A (ja) * | 2001-08-20 | 2003-06-20 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置とその製造方法、光書込装置、画像形成装置、振動ミラーチップとその製造方法、光走査モジュール |
JP2004177957A (ja) * | 2002-11-22 | 2004-06-24 | Advanced Nano Systems | 同調可能な固有周波数をもつmems走査ミラー |
JP2004341364A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Ricoh Co Ltd | 振動ミラーとその製造方法、光走査モジュール、光書込装置、画像形成装置 |
JP2004341320A (ja) * | 2003-05-16 | 2004-12-02 | Ricoh Co Ltd | 光走査装置、画像形成装置 |
JP2005010453A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Ricoh Co Ltd | 振動ミラー及びその製造方法、光書込装置、画像形成装置 |
JP2005088187A (ja) * | 2003-08-12 | 2005-04-07 | Fujitsu Ltd | マイクロ構造体の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8698315B2 (en) | 2011-08-30 | 2014-04-15 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Semiconductor device |
JP2012068675A (ja) * | 2011-12-09 | 2012-04-05 | Fujitsu Ltd | マイクロ揺動素子 |
CN110501812A (zh) * | 2019-09-05 | 2019-11-26 | 上海汽车集团股份有限公司 | 一种mems扫描镜 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4416117B2 (ja) | 偏向ミラー、光走査装置及び画像形成装置 | |
US9766450B2 (en) | Light deflector, two-dimensional image display apparatus, optical scanner, and image forming apparatus | |
JP4219631B2 (ja) | 光走査装置および画像形成装置 | |
US7403317B2 (en) | Optical scanning device and method of manufacturing the same | |
US8681408B2 (en) | Optical scanning device, image forming apparatus, and image projection device | |
JP4349825B2 (ja) | 光走査装置および画像形成装置 | |
JP2009175611A (ja) | 光走査装置、光走査装置の製造方法、振動ミラーおよび画像形成装置 | |
JP6743353B2 (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置及びヘッドアップディスプレイ | |
JP2004341364A (ja) | 振動ミラーとその製造方法、光走査モジュール、光書込装置、画像形成装置 | |
JP2006195290A (ja) | 画像読取装置及び画像形成装置 | |
JP6682774B2 (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置、ヘッドアップディスプレイ装置、およびレーダ装置 | |
JP4398676B2 (ja) | 偏向ミラー、光走査装置および画像形成装置 | |
JP2006201519A (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP4409894B2 (ja) | 光走査装置、光書込装置および画像形成装置 | |
JP4332038B2 (ja) | 偏向ミラー、光走査装置および画像形成装置 | |
JP4420271B2 (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP4566014B2 (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2003005124A (ja) | 可動板の変位検出機能を備えた光偏向器、及び光偏向器を用いた光学機器 | |
JP2008009073A (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2008020540A (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP6648443B2 (ja) | 光偏向器、2次元画像表示装置、光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2005345866A (ja) | 偏向ミラー、光走査装置および画像形成装置 | |
JP2004279955A (ja) | 光走査装置及び画像形成装置 | |
JP2004191416A (ja) | 光走査装置および画像形成装置 | |
JP2005043612A (ja) | 光走査装置、光書込装置及び画像形成装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20100427 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100511 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20100706 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110105 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110222 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20110809 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |