JP5500016B2 - 光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 - Google Patents
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前記振動梁は、交流電圧を印加することで、前記弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記ミラー部を所望共振周波数で回転振動せしめる駆動梁と、直流電圧を印加することで、前記弾性支持部材に応力を与えて、前記共振周波数を調整する周波数調整梁とで構成され、
前記弾性支持部材の長手方向と前記振動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、一対の前記振動梁で、前記ミラー部と一対の前記弾性支持部材とが前記固定ベースに対して片持ち支持されることを特徴とする。
さらに、固定ベースと、前記可動枠を揺動可能に支持する一対の第2の弾性支持部材と、一端が前記固定ベースに接続され、他端が前記第2の弾性支持部材に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された複数の第2の振動梁とを有し、
前記第1の振動梁は、交流電圧を印加することで、前記第1の弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記ミラー部を第1の所望共振周波数で第1の方向に回転振動せしめる第1の駆動梁と、直流電圧を印加することで、前記第1の弾性支持部材に応力を与えて前記共振周波数を調整する第1の周波数調整梁とで構成され、
前記第2の振動梁は、交流電圧を印加することで、前記第2の弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記可動枠を第2の所望共振周波数で回転振動させ、前記ミラー部を第2の方向に回転振動せしめる第2の駆動梁と、直流電圧を印加することで、前記第2の弾性支持部材に応力を与えて前記共振周波数を調整する第2の周波数調整梁とで構成されることを特徴とする。また、周波数調整梁は、第1の周波数調整梁あるいは第2の周波数調整梁のいずれか一方のみとすることを特徴とする。
なお、本発明の光偏向器のさらなる構成・作用効果は、後述の実施の形態の説明で明らかになる。
示す。図7より、サンプルにより共振周波数がばらつくことが分かる。
いま、E0を温度0°におけるヤング率、αをヤング率温度係数とすると、温度fにおけるヤング率Eは、式(2)で与えられる。
E=E0(1−αt) (2)
また、バネ定数Kは、バネ形状によって定まる定数K′とヤング率の積Eで、式(3)のように与えられる。
K=K′*E (3)
式(2),(3)により、温度tの時のバネ定数Ktは、式(4)のようになる。
Kt=K′*E=K′*E0(1−αt) (4)
したがって、温度tにおける共振周波数ftは、式(1),(4)より
M=F*L (6)
で与えられる。この曲げモーメントMにより、弾性支持部材20には圧縮応力が作用する。
M′=F′*L (7)
で与えられる。この曲げモーメントM′により、弾性支持部材20には引張り応力が作用する。
第2の駆動梁(ブリッジ駆動梁)230a,230bには所定周波数の交流電圧が印加されるが、第2の周波数調整梁240a,240bには直流電圧が印加される。
M=F*L (8)
で与えられる。この曲げモーメントMは矢印3の方向に発生し、第2の弾性支持部材220は矢印4の方向に縮む。すなわち、曲げモーメントMにより、第2の弾性支持部材220には圧縮応力が作用する。
M′=F′*L (9)
で与えられる。この曲げモーメントM′は矢印7の方向に発生し、第2の弾性支持部材220は矢印8の方向に延びる。すなわち、曲げモーメントM′により、第2の弾性支持部材220には引張り応力が作用する。
20 弾性支持部材
30 駆動梁
31 梁状部材
32 圧電部材
40 周波数調整梁
41 梁状部材
42 圧電部材
50 振動梁
60 固定ベース
120 第1の弾性支持部材
130 第1の駆動梁
140 第1の周波数調整梁
150 第1の振動梁
160 可動枠
220 第2の弾性支持部材
230a,230b 第2の駆動梁(ブリッジ駆動梁)
240a,240b 第2の周波数調整梁
250a,250b 第2の振動梁
260 固定ベース
270a,270b 連結部材
Claims (11)
- 固定ベースと、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を揺動可能に支持する一対の弾性支持部材と、一端が前記固定ベースに接続され、他端が前記弾性支持部材に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された一対の振動梁とを有し、
前記振動梁は、交流電圧を印加することで、前記弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記ミラー部を所望共振周波数で回転振動せしめる駆動梁と、直流電圧を印加することで、前記弾性支持部材に応力を与えて、前記共振周波数を調整する周波数調整梁とで構成され、
前記弾性支持部材の長手方向と前記振動梁の長手方向とが略直交して配置されて、両者が接続され、一対の前記振動梁で、前記ミラー部と一対の前記弾性支持部材とが前記固定ベースに対して片持ち支持されることを特徴とする光偏向器。 - 振動梁において、駆動梁は梁状部材が弾性支持部材と接続されている部分で構成され、周波数調整梁は、梁状部材が弾性支持部材と接続されていない部分で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。
- ミラー部の重心が、弾性支持部材の中心軸に対して、振動梁と固定ベースとの接続部側に近接する方向にオフセットされていることを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。
- 可動枠と、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を揺動可能に支持する一対の第1の弾性支持部材と、一端が前記可動枠に接続され、他端が前記第1の弾性支持部材に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された第1の振動梁とを有し、
さらに、固定ベースと、前記可動枠を揺動可能に支持する一対の第2の弾性支持部材と、一端が前記固定ベースに接続され、他端が前記第2の弾性支持部材に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された複数の第2の振動梁とを有し、
前記第1の振動梁は、交流電圧を印加することで、前記第1の弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記ミラー部を第1の所望共振周波数で第1の方向に回転振動せしめる第1の駆動梁と、直流電圧を印加することで、前記第1の弾性支持部材に応力を与えて前記共振周波数を調整する第1の周波数調整梁とで構成され、
前記第2の振動梁は、交流電圧を印加することで、前記第2の弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記可動枠を第2の所望共振周波数で回転振動させ、前記ミラー部を第2の方向に回転振動せしめる第2の駆動梁と、直流電圧を印加することで、前記第2の弾性支持部材に応力を与えて前記共振周波数を調整する第2の周波数調整梁とで構成される、
ことを特徴とする光偏向器。 - 可動枠と、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を揺動可能に支持する一対の第1の弾性支持部材と、一端が前記可動枠に接続され、他端が前記第1の弾性支持部材に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された第1の振動梁とを有し、
さらに、固定ベースと、前記可動枠を揺動可能に支持する一対の第2の弾性支持部材と、一端が前記固定ベースに接続され、他端が前記第2の弾性支持部材に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された複数の第2の振動梁とを有し、
前記第1の振動梁は、交流電圧を印加することで、前記第1の弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記ミラー部を第1の所望共振周波数で第1の方向に回転振動せしめる第1の駆動梁と、直流電圧を印加することで、前記第1の弾性支持部材に応力を与えて前記共振周波数を調整する周波数調整梁とで構成され、
前記第2の振動梁は、交流電圧を印加することで、前記第2の弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記可動枠を第2の所望共振周波数で回転振動させ、前記ミラー部を第2の方向に回転振動せしめる第2の駆動梁で構成される、
ことを特徴とする光偏向器。 - 可動枠と、光反射面を有するミラー部と、前記ミラー部を揺動可能に支持する一対の第1の弾性支持部材と、一端が前記可動枠に接続され、他端が前記第1の弾性支持部材に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された第1の振動梁とを有し、
さらに、固定ベースと、前記可動枠を揺動可能に支持する一対の第2の弾性支持部材と、一端が前記固定ベースに接続され、他端が前記第2の弾性支持部材に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された複数の第2の振動梁とを有し、
前記第1の振動梁は、交流電圧を印加することで、前記第1の弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記ミラー部を第1の所望共振周波数で第1の方向に回転振動せしめる第1の駆動梁で構成され、
前記第2の振動梁は、交流電圧を印加することで、前記第2の弾性支持部材に捻り変形を発生して、前記可動枠を第2の所望共振周波数で回転振動させ、前記ミラー部を第2の方向に回転振動せしめる第2の駆動梁と、直流電圧を印加することで、前記第2の弾性支持部材に応力を与えて前記共振周波数を調整する周波数調整梁とで構成される、
ことを特徴とする光偏向器。 - 第2の振動梁は、第2の弾性支持部材に対して略直交し、且つ、対称に配置され、一端が固定ベースに接続され、他端が前記第2の弾性支持部材に接続されて、ブリッジ駆動梁を構成する第2の駆動梁と、前記ブリッジ駆動梁と前記第2の弾性支持部材との接続点近傍で、該ブリッジ駆動梁に直交方向に延びる連結部材に、一端が接続され、他端が固定ベースに接続された周波数調整梁とで構成されることを特徴とする請求項4又は6に記載の光偏向器。
- 前記第2の弾性支持部材は延伸されて固定ベースに接続されていることを特徴とする請求項4乃至7のいずれか1項に記載の光偏向器。
- 光源と、光源からの光ビームを偏向させる請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光偏向器と、偏向された光ビームを被走査面にスポット状に結像する結像光学系とを備えることを特徴とする光走査装置。
- 請求項9記載の光走査装置と、光ビームの走査により潜像を形成する感光体と、潜像をトナーで顕像化する現像手段と、トナー像を記録紙に転写する転写手段とを有することを特徴とする画像形成装置。
- 光源と、
前記光源からの光ビームを画像信号に応じて変調する変調器と、
前記光ビームを略平行光とするコリメート光学系と、
前記略平行光とされた光ビームを偏向して投影面に投射する請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光偏向器とを有することを特徴とする画像投影装置。
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