JP2007322466A - 光偏向器、及びそれを用いた光学機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光偏向器は、振動系160と、振動系を駆動する駆動手段を有する。振動系160は、反射面22を持つ第1揺動可動子11と、第1ねじりバネ12と、第2揺動可動子13と、第2ねじりバネ14と、支持体15と、発熱素子19と、検出素子25a、25bを有する。第1揺動可動子11は、第2揺動可動子13に、第1ねじりバネ12で揺動軸を中心にねじり振動可能に支持され、第2揺動可動子13は、支持体15に、第2ねじりバネ14で揺動軸を中心にねじり振動可能に支持される。振動系160は、揺動軸回りに、周波数が異なる複数の固有振動モードを有する。振動系160上に発熱素子と検出素子を設け、複数の固有振動モードの周波数の安定化と走査状態の検出の安定化を可能とし、安定な正弦波合成駆動を可能とする。
【選択図】図5
Description
図1、図2、図5、図6等の図は本発明の光偏向器の第1の実施例を説明する図である。図1は上面図、図2(a)は、揺動軸17を通り紙面に垂直な平面で切った断面図、図2(b)は、図1のA−A線での断面図である。また、図5は、図1に示した振動系160の構成要素を更に詳細に説明する上面図、図6は、図5を裏面から見た構成を説明する上面図である。
図3は、横軸を時間tとして、第1揺動可動子11の周波数f0のねじり振動の変位角を説明する図である(本明細書においては、可動子の往復振動の変位角と、光偏向器によって偏向走査される光の変位角とは定数分が異なるのみであるので、等価的に扱う)。図は、特に第1揺動可動子11のねじり振動の1周期T0に相当する部分を示している(−T0/2<X<T0/2)。
θ1=φ1sin[w0t] (式4)
θ2=φ2sin[2w0t] (式5)
θ=θ1+θ2=φ1sin[w0t]+φ2sin[2w0t] (式6)
θ=θ1+θ2=φ1sin[w0t]+φ2sin[2w0t+α] (式7)
図7、図8は本発明の光偏向器の第2の実施例を示す図である。図7は上面図、図8は揺動軸17を通り紙面に垂直な平面での断面を示す断面図である。これらの図面では、第1の実施例の要素と同じ機能を有する個所には同じ符号を付してある。以下、第1の実施例と同じ機能を有する個所の詳しい説明は省略し、特に異なる箇所について詳細に説明する。図7、図8に示す様に、本実施例の光偏向器では、振動系160の第1揺動可動子11、第1ねじりバネ12、第2揺動可動子13、第2ねじりバネ14、支持体15、反射面22は第1の実施例と同様の材質・構造・機能を有している。
図11(a)、(b)は、本発明の光偏向器の第3の実施例を示す図である。図11(a)は、振動系160の反射面22が形成されている側の構成を示す上面図、図11(b)は、その裏面を示す上面図である。これらの図面でも、第1の実施例の要素と同じ機能を有する個所に同じ符号を付している。以下、第1の実施例と同じ機能を有する個所の詳しい説明を省略し、特に異なる箇所について詳細に説明する。図11に示す様に、本実施例は、第1揺動可動子11、第1ねじりバネ12、第2揺動可動子13、第2ねじりバネ14、支持体15、反射面22は第1の実施例と同様の材質・構造・機能を有している。ただし、第1の実施例とは異なり、第1ねじりバネ12、第2ねじりバネ14はそれぞれ一本のみとなっている。ねじりバネを1本のみとすることにより、振動系160の揺動軸17方向の大きさを小型とすることができる。
図14は、本発明の光偏向器を用いた光学機器の実施例を示す概略斜視図である。ここでは、光学機器として画像形成装置を示している。図14において、3003は本発明の光偏向器であり、本実施例では入射光を1次元に走査する。3001はレーザ光源である。3002はレンズ或いはレンズ群であり、3004は書き込みレンズ或いはレンズ群、3005はドラム状の感光体である。
12 第1ねじりバネ
13 第2揺動可動子
14 第2ねじりバネ
15 支持体
17 揺動軸
19、20、21 発熱素子(ヒータ線、第1のヒータ線、第2のヒータ線)
22 光偏向素子(反射面)
25a、25b 検出素子(歪み検出素子)
26a、26b、26c、26d 検出素子(ピエゾ抵抗体)
150 固定体
151 駆動手段(永久磁石)
152 駆動手段(固定コイル)
160 振動系
3001 光源(レーザ光源)
3003 光偏向器(光走査系)
3005 感光体
Claims (5)
- 光を偏向走査する光偏向器であって、
振動系と、該振動系を駆動する駆動手段を有し、
前記振動系は、光偏向素子を有する第1揺動可動子と、第1ねじりバネと、第2揺動可動子と、第1ねじりバネと、支持体と、熱を発生する発熱素子と、機械的な変形を検出する検出素子を有し、
前記第1揺動可動子は、前記第2揺動可動子に、前記第1ねじりバネで揺動軸を中心にねじり振動可能に弾性支持され、
前記第2揺動可動子は、前記支持体に、前記第2ねじりバネで前記揺動軸を中心にねじり振動可能に弾性支持され、
前記振動系は、前記揺動軸回りに、周波数が異なる少なくとも2つの固有振動モードを有する、
ことを特徴とする光偏向器。 - 前記発熱素子は、前記支持体と前記第1ねじりバネと前記第2ねじりバネのうちの少なくとも1つに設けられている、
ことを特徴とする請求項1に記載の光偏向器。 - 前記振動系は2つの異なる周波数の前記固有振動モードを有し、一方の周波数が他方の周波数の略2倍、または略3倍である、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の光偏向器。 - 請求項1に記載の光偏向器の駆動方法であって、
前記検出素子の検出信号を用いて、前記発熱素子の発熱量を調整し、
前記固有振動モードの周波数を目標周波数へ調整した後、前記検出素子の検出信号を用いて、前記駆動手段を駆動する駆動信号の補正信号を生成する、
ことを特徴とする光偏向器の駆動方法。 - 光源と、請求項1に記載の光偏向器と、感光体または画像表示体を有し、前記光偏向器は、前記光源からの光を偏向し、該光の少なくとも一部を前記感光体または前記画像表示体上に入射させる、
ことを特徴とする光学機器。
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