JP2014235316A - 光走査装置、光走査制御装置及び光走査ユニット - Google Patents
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Abstract
Description
前記ミラー(110)及び前記ミラー支持部(120)を挟むように対をなして設けられた駆動梁(150A、150B)と、
前記駆動梁(150A、150B)の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁(140A、140B)と、
前記連結梁(150A、150B)上に形成されており、前記駆動梁(150A、150B)に駆動電圧が印加されて前記ミラー(110)が揺動しているとき、前記捻れ梁(130A、130B)の軸周りの揺動による前記連結梁(140A、140B)の変位を検出する圧電センサ(191)を有し、
前記圧電センサ(191)は、
上部電極(191b)に正極又は負極の第一バイアス電圧が印加され、下部電極(191c)に前記第一バイアス電圧と極性が逆の第二バイアス電圧が印加される構成とした。
以下に図面を参照して本発明の第一の実施形態について説明する。図2は、第一の実施形態の光走査ユニットを説明する図である。
以下に図面を参照して本発明の第二の実施形態について説明する。本発明の第二の実施形態では、バイアス電圧生成手段である抵抗が、光走査装置200とミラードライバIC500Aとの間に接続された点のみ第一の実施形態と相違する。よって以下の本発明の第二の実施形態の説明では、第一の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一の実施形態と同様の機能構成を有するものには第一の実施形態の説明で用いた符号を付与し、その説明を省略する。
以下に図面を参照して本発明の第三の実施形態について説明する。本発明の第三の実施形態では、バイアス電圧生成手段である抵抗と、センサ信号を増幅させるバッファとが、光走査装置200とミラードライバIC500Bとの間に設けられた点のみ第一の実施形態と相違する。よって以下の本発明の第三の実施形態の説明では、第一の実施形態との相違点についてのみ説明し、第一の実施形態と同様の機能構成を有するものには第一の実施形態の説明で用いた符号を付与し、その説明を省略する。
110 ミラー
191、195、196 圧電センサ
200 光走査装置
300 電圧生成回路
400 フロントエンドIC
500、500A、500B ミラードライバIC
550、570 バッファ
Claims (7)
- ミラーを支持するミラー支持部を軸方向両側から捻れ梁により支持し、前記捻れ梁の捻れにより前記ミラー支持部を軸回り方向に揺動させる光走査装置であって、
前記ミラー及び前記ミラー支持部を挟むように対をなして設けられた駆動梁と、
前記駆動梁の片側を前記捻れ梁と連結する連結梁と、
前記連結梁上に形成されており、前記駆動梁に駆動電圧が印加されて前記ミラーが揺動しているとき、前記捻れ梁の軸周りの揺動による前記連結梁の変位を検出する圧電センサを有し、
前記圧電センサは、
上部電極に正極又は負極の第一バイアス電圧が印加され、下部電極に前記第一バイアス電圧と極性が逆の第二バイアス電圧が印加される光走査装置。 - 前記上部電極から引き出された上部電極配線及び前記下部電極から引き出された下部電極配線は、前記一方の前記駆動梁側に形成され、
前記一方の駆動梁と他方の駆動梁とがそれぞれ有する駆動源に駆動電圧を供給する駆動配線は、前記他方の駆動梁側から引き出される請求項1記載の光走査装置。 - 請求項1又は2記載の光走査装置を備えた光走査制御装置であって、
入力信号に信号処理を施して光源へ供給するフロントエンド回路と、
前記光走査装置に対する駆動電圧の供給を制御するドライバ回路と、
前記フロントエンド回路と前記ドライバ回路とに電源電圧を供給する電圧生成回路と、
前記上部電極から引き出された上部電極配線と接続された第一配線と、前記下部電極から引き出された下部電極配線と接続された第二配線とが入力端子と接続されるバッファ回路と、
前記第一配線と接続され、前記第一バイアス電圧を生成する第一電圧生成手段と、
前記第二配線と接続され、前記第二バイアス電圧を生成する第二電圧生成手段と、を有する光走査制御装置。 - 前記バッファ回路は、
前記ドライバ回路に含まれる請求項3記載の光走査制御装置。 - 前記バッファ回路と、前記第一電圧生成手段と、前記第二電圧生成手段とが、前記ドライバ回路に含まれる請求項3記載の光走査制御装置。
- 前記第一電圧生成手段は、第一の抵抗であり、一端が前記第一配線と接続されており他端に前記電圧生成回路により生成された電圧が供給され、
前記第二電圧生成手段は、第二の抵抗であり、一端が前記第二配線と接続されており他端に前記電圧生成回路により生成された、前記第一の抵抗に供給された電圧と極性が逆の電圧が供給される請求項3乃至5の何れか一項に記載の光走査制御装置。 - 請求項1又は2記載の光走査装置と、
請求項3乃至6の何れか一項に記載の光走査制御装置と、を有する光走査ユニット。
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