JP6459392B2 - 光走査装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係る光走査装置の光走査部を例示する表面側の斜視図である。図1に示す光走査部100は、ミラーを揺動させてレーザ等の光源から照射される入射光を走査する部分であり、例えば圧電素子によりミラーを駆動させるMEMS(Micro Electro Mechanical System)ミラー等である。
光照射により温度が上昇して共振周波数がf0[Hz]からf0−15[Hz]にシフトしても、図12(a)に示すように駆動周波数=f0[Hz]における振角は大きく変わらない。従って、図12(c)では、圧電センサ191の出力信号の振幅の変動は小さい。
第1の実施の形態の変形例では、パッケージカバーにカバーガラスを設けた光走査装置を示す。なお、第1の実施の形態の変形例において、既に説明した実施の形態と同一構成部についての説明は省略する場合がある。
110 ミラー
191 圧電センサ
199 センサ配線
200、200A 光走査装置
250 熱バッファ層
260 反射膜
300 セラミックパッケージ
400、410 パッケージカバー
400x、410x 開口部
420 カバーガラス
Claims (6)
- ミラーを揺動させて入射光を走査する光走査装置であって、
前記ミラーの振角を検出するセンサ、及び前記センサと接続された配線を備えた光走査部と、
前記光走査部を搭載するパッケージと、
前記パッケージ上に配されて前記光走査部を覆い、前記センサ及び前記配線を前記入射光の迷光及び外乱光から遮光するカバーと、を有し、
前記カバーには、前記ミラーへの入射光、及び前記ミラーからの走査光を遮らない形状の開口部が設けられ、
前記開口部は、前記入射光が通る側に設けられた略半円形状の開口と、前記走査光が通る側に設けられた略矩形状の開口と、を含むことを特徴とする光走査装置。 - 前記開口部において、前記入射光が通る側は、前記走査光が通る側よりも小さく開口されていることを特徴とする請求項1記載の光走査装置。
- 前記入射光はレーザ光であり、
前記入射光の迷光は、前記レーザ光の半値外光であることを特徴とする請求項1又は2記載の光走査装置。 - 前記センサ及び前記配線上に熱バッファ層が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項記載の光走査装置。
- 前記熱バッファ層上に反射膜が設けられていることを特徴とする請求項4記載の光走査装置。
- 前記センサ及び前記配線上に絶縁層を介して反射膜が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項記載の光走査装置。
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