JP2010026192A - 光走査装置、画像表示装置、網膜走査型画像表示装置及び光走査素子 - Google Patents

Abstract

【課題】パッケージ外部からの応力の影響を抑制することができる光走査装置、画像表示装置、網膜走査型画像表示装置及び光走査素子を提供する。
【解決手段】光走査装置は、入射した光を反射する反射ミラー面を回転または揺動するよう駆動させることによって、光を走査する光走査部と、前記光走査部の周縁を囲むパッケージとを備えている。パッケージには、側端部から内方の位置に凸形状の凸部が形成されている。凸部上に光走査部が接着されている。
【選択図】図５

Description

本発明は、光走査装置、画像表示装置、網膜走査型画像表示装置及び光走査素子に関するものであり、特に、光を走査する光走査部と、光走査部の周縁を囲むパッケージとを備えた光走査装置、画像表示装置、網膜走査型画像表示装置及び光走査素子に関する。

従来、画像を表示するための画像表示装置には、光を２次元に走査させて走査画像光とするための光走査装置などが含まれている。また、このような光走査装置には、光を反射させる反射ミラー面を揺動させる制御を行うことによって、その光を走査させる光スキャナが含まれた構成であり、走査光とし、画像を表示させる。

このような画像表示装置においては、相対的に高速に光を走査させる高速走査部と、相対的に低速に光を走査させる低速走査部と、が備えられている。これら高速走査部、低速走査部などの光スキャナには、共振するように揺動することによって、有効な画像を表示させるものや、共振は利用せず鋸波状波形の駆動信号にて揺動することによって、有効な画像を表示させるものなどがある。

この画像表示装置では、反射ミラー面を有する反射ミラー部と、その周縁における枠体とに梁部が一体に形成されており、その梁部を中心として、反射ミラー面を揺動させることによって光を走査させる。

また、このような画像表示装置では、例えば、特許文献１に示すように、反射ミラー部の枠体が周縁を囲むパッケージに固定されている。具体的には、図７に示すように、反射ミラー部９１ａの枠体９１ｄは、パッケージ９２における第一パッケージ部材９３に接着材９７で接着される。そして、第二パッケージ部材９５は、枠体９１ｄの上方から接着剤９６で接着される。これによって、光スキャナ９１の反射ミラー部９１ａは、一体に設けられた枠体９１ｄがパッケージ９２に固定されることとなる。
特開２００２−２２１６８６号公報

しかしながら、上述したような画像表示装置では、パッケージ側壁に外部から応力が加えられると、その応力が内部の光スキャナに伝わり、光スキャナの共振周波数値等の固有値が変化してしまうおそれがあった。

本発明は、上述したような課題に鑑みてなされたものであり、パッケージ外部からの応力の影響を抑制することができる光走査装置、画像表示装置、網膜走査型画像表示装置及び光走査素子を提供することを目的とする。

以上のような目的を達成するために、本発明は、以下のようなものを提供する。

すなわち、請求項１記載の本発明では、入射した光を反射する反射ミラー面を回転または揺動するよう駆動させることによって、光を走査する光走査部と、前記光走査部の周縁を囲むパッケージとを備えた光走査装置において、前記パッケージには、側端部から内方の位置に凸形状の凸部が形成されており、前記凸部上に前記光走査部が接着されることを特徴とするものである。

また、請求項２記載の本発明では、請求項１に記載の発明において、前記パッケージは、底面側に底面部材を含む構成であり、前記凸部は、前記底面部材とは別体であり、前記底面部材に接着されることを特徴とするものである。

また、請求項３記載の本発明では、請求項１に記載の発明において、前記パッケージの側端部には外壁が形成されており、前記パッケージは、前記外壁内面と前記凸部との間に空隙のある構成であることを特徴とするものである。

また、請求項４記載の本発明では、請求項１から３のいずれかに記載の発明において、前記光走査部は、光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラーと、前記凸部に接着される接着部とを含む構成であり、前記パッケージには、前記反射ミラーの反射ミラー面側において、前記光走査部の前記接着部を接することなく覆うように遮光壁が設けられていることを特徴とするものである。

また、請求項５記載の本発明では、請求項４に記載の発明において、前記遮光壁には、前記反射ミラーの反射ミラー面側に、前記反射ミラーの走査角度に応じて入射及び出射する光を通過させる大きさで開口が形成されていることを特徴とするものである。

また、請求項６記載の本発明では、請求項５に記載の発明において、前記遮光壁は、前記開口が形成された周縁が、前記反射ミラーの走査角度に応じた角度のテーパー形状であることを特徴とするものである。

また、請求項７記載の本発明では、請求項１から６のいずれかに記載の光走査装置を少なくとも１つ備え、画像信号に応じて変調された光を前記光走査装置によって走査させて出射させ、画像を表示することを特徴とするものである。

また、請求項８記載の本発明では、請求項１から６のいずれかに記載の光走査装置を少なくとも１つ備え、画像信号に応じて変調された光を前記光走査装置によって走査させて出射させ、ユーザの少なくとも一方の眼の網膜に画像を投影し、画像を表示することを特徴とするものである。

また、請求項９記載の本発明では、入射した光を反射する反射ミラー面を回転または揺動するよう駆動させることによって、光を走査する光走査部と、前記光走査部の周縁を囲むパッケージとを備えた光走査素子において、前記パッケージには、当該パッケージの端部から内方に凸形状の凸部が形成されており、前記凸部上に前記光走査部が接着されることを特徴とするものである。

請求項１、７から９のいずれかに記載の発明によれば、パッケージには、側端部から内方の位置に凸形状の凸部が形成されており、凸部上に光走査部が接着される。従って、側端部から内方に光走査部が接着されるため、パッケージの側方から応力が加えられても、影響を受け難くなるため、パッケージ外部からの応力の影響を抑制することができ、光走査部の共振周波数値等の固有値の変化を防止する。

また、請求項２に記載の発明によれば、パッケージは、底面側に底面部材を含む構成であり、凸部は、底面部材とは別体であり、底面部材に接着される。従って、パッケージの底面から応力が加えられても、直接的に影響を受け難くなるため、パッケージ外部からの応力の影響をより一層抑制することができる。

また、請求項３に記載の発明によれば、パッケージの側端部には外壁が形成されており、パッケージは、外壁内面と凸部との間に空隙のある構成である。従って、側端部に形勢された外壁内面と凸部との間に空隙があり、パッケージの側方から応力が加えられても、直接的に影響を受けないため、パッケージ外部からの応力の影響をより一層抑制することができる。

また、請求項４に記載の発明によれば、光走査部は、光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラーと、凸部に接着される接着部とを含む構成であり、パッケージには、反射ミラーの反射ミラー面側において、光走査部の接着部を接することなく覆うように遮光壁が設けられている。従って、不要な光の入射を遮ることとなり、不要な反射光を軽減し、ゴーストを目立たなくするなど、良質な表示画像を表示させることができる。

また、請求項５に記載の発明によれば、遮光壁には、反射ミラーの反射ミラー面側に、反射ミラーの走査角度に応じて入射及び出射する光を通過させる大きさで開口が形成されている。従って、反射ミラーに入射する光や、反射ミラーから出射させる光を遮らず、表示画像の劣化を防止することができる。

また、請求項６に記載の発明によれば、遮光壁は、開口が形成された周縁が、反射ミラーの走査角度に応じた角度のテーパー形状である。従って、より一層、不要な反射光を軽減するとともに、入射する光や出射する光を遮らないため、良質な表示画像を表示させることができるとともに、表示画像の劣化を防止することができる。

以下に、本発明に好適な実施形態について図面に基づいて説明する。また、本発明の画像表示装置、光走査装置を網膜走査型ディスプレイ１に採用した実施形態について以下に説明する。また、本発明の光走査素子を詳しく後述するガルバノミラー１９ａに採用した実施形態について以下に説明する。

［画像表示装置の電気的構成］
本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１の電気的構成などについて図１を用いて説明する。

図１に示すように、網膜走査型ディスプレイ１には、外部から供給される映像信号を処理するための光源ユニット部２が設けられている。光を出射する出射部としての光源ユニット部２には、外部からの映像信号が入力され、それに基づいて映像を合成するための要素となる各信号を発生する映像信号供給回路３が設けられ、この映像信号供給回路３から映像信号４、水平同期信号５、及び、垂直同期信号６が出力される。また、光源ユニット部２には、映像信号供給回路３から映像信号４として伝達される赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の各映像信号をもとにそれぞれ強度変調されたレーザ光を出射するように、Ｒレーザ１３，Ｇレーザ１２，Ｂレーザ１１を、それぞれ駆動するためのＲレーザドライバ１０，Ｇレーザドライバ９，Ｂレーザドライバ８が設けられている。さらに、各レーザより出射されたレーザ光を平行光にコリメートするように設けられたコリメート光学系１４と、それぞれコリメートされたレーザ光を合波するダイクロイックミラー１５と、合波されたレーザ光を光ファイバ１７に導く結合光学系１６とが設けられている。尚、Ｒレーザ１３，Ｇレーザ１２，Ｂレーザ１１として、レーザダイオード等の半導体レーザや固体レーザを利用してもよい。尚、本実施形態における光源ユニット部２は、少なくとも１つの光源と、当該光源から出射されるビーム光（光束）を画像信号に応じて強度変調する変調手段の一例に相当する。

また、網膜走査型ディスプレイ１には、光源ユニット部２から伝搬されたレーザ光を水平走査系１９に導くコリメート光学系１８と、コリメートされたレーザ光を、光走査素子としてのガルバノミラー１９ａを利用して水平方向に走査する水平走査系１９と、水平走査系１９によって走査されたレーザ光を垂直走査系２１に導く第１リレー光学系２０と、水平走査系１９に走査され、第１リレー光学系２０を介して入射されたレーザ光を、光走査素子としてのガルバノミラー２１ａを利用して垂直方向に走査する垂直走査系２１と、垂直走査系２１に走査されたレーザ光をユーザの瞳孔２４に入射するように第２リレー光学系２２と、が設けられている。

尚、具体的な一例としては、水平走査系１９は、表示すべき画像の１走査線ごとに、レーザビームを水平方向に水平走査（１次走査の一例）させる光学系である。また、水平走査系１９は、レーザビームを水平方向に走査するガルバノミラー１９ａと、そのガルバノミラー１９ａの駆動制御を行う水平走査制御回路１９ｃとを備えている。

これに対し、垂直走査系２１は、表示すべき画像の１フレームごとに、レーザビームを最初の走査線から最後の走査線に向かって垂直に垂直走査（２次走査の一例）する光学系である。また、垂直走査系２１は、垂直走査するガルバノミラー２１ａと、そのガルバノミラー２１ａの駆動制御を行う垂直走査制御回路２１ｃとを備えている。

水平走査系１９は、垂直走査系２１より高速にすなわち高周波数でレーザビームを走査するように設計されている。また、水平走査系１９，垂直走査系２１は、図１に示すように、各々映像信号供給回路３に接続され、映像信号供給回路３より出力される水平同期信号５，垂直同期信号６にそれぞれ同期してレーザ光を走査するように構成されている。

尚、本実施形態における水平走査系１９及び垂直走査系２１などは、入射したビーム光を、１次方向及びその１次方向に略垂直な２次方向に走査させることによって、フレームを形成する光走査装置の一例である。また、本実施形態における水平走査系１９は、入射されるビーム光を水平方向（第一の走査方向）に対して相対的に高速に走査させる高速走査部の一例に相当する。また、本実施形態における垂直走査系２１は、その水平方向に走査されたビーム光を、垂直方向（第二の走査方向）に対して相対的に低速に走査させる低速走査部の一例に相当する。また、本実施形態における水平走査系１９、垂直走査系２１は、光源からの光を所定方向に走査する走査部の一例に相当する。

また、本実施形態においては、水平走査系１９のガルバノミラー１９ａと、垂直走査系２１のガルバノミラー２１ａとは、名称を同じように説明したが、光を走査するように其の反射面が揺動（回転）させられるものであれば、圧電駆動、電磁駆動、静電駆動等いずれの駆動方式によるものであってもよいことは言うまでもない。また、本実施形態においては、水平走査系１９を共振タイプの走査系とし、垂直走査系２１を非共振タイプの走査系としたが、これに限らず、例えば、水平走査系１９を非共振タイプの走査系としてもよい。また、詳しくは後述するが、垂直走査系２１は、鋸波状波形の駆動信号にて揺動する走査系である。

また、水平走査系１９や垂直走査系２１によって走査されたビーム光を検知する光検知センサ３１が配置されている。この光検知センサ３１は、揺動する垂直走査系２１とユーザの瞳孔２４との間に配置されており、走査された走査光を検知した場合には、ＢＤ（Beam Detector）信号７として光源ユニット部２（映像信号供給回路３）に出力することとなる。これによって、光源ユニット部２は、走査されるビーム光の光源光量を調整することとなる。

次に、本発明の一実施形態の網膜走査型ディスプレイ１が、外部からの映像信号を受けてから、ユーザの網膜上に映像を投影するまでの過程について図１を用いて説明する。

図１に示すように、本実施形態の網膜走査型ディスプレイ１では、光源ユニット部２に設けられた映像信号供給回路３が外部からの映像信号の供給を受けると、映像信号供給回路３は、赤，緑，青の各色のレーザ光を出力させるためのＲ映像信号，Ｇ映像信号，Ｂ映像信号からなる映像信号４と、水平同期信号５と、垂直同期信号６とを出力する。Ｒレーザドライバ１０，Ｇレーザドライバ９，Ｂレーザドライバ８は各々入力されたＲ映像信号，Ｇ映像信号，Ｂ映像信号に基づいてＲレーザ１３，Ｇレーザ１２，Ｂレーザ１１に対してそれぞれの駆動信号を出力する。この駆動信号に基づいて、Ｒレーザ１３，Ｇレーザ１２，Ｂレーザ１１はそれぞれ強度変調されたレーザ光を発生し、各々をコリメート光学系１４に出力する。また、映像信号供給回路３は、後述する水平走査系１９のガルバノミラー１９ａの駆動状態を示すＢＤ同期タイミング信号（図示せず）に応じて、レーザ光を発生し、各々をコリメート光学系１４に出力するタイミングを制御する。つまり、このような網膜走査型ディスプレイ１（映像信号供給回路３）は、ガルバノミラー１９ａなどにビーム光を出射させるタイミングを制御することとなる。点光源から発生されるレーザ光は、このコリメート光学系１４によってそれぞれが平行光にコリメートされ、さらに、ダイクロイックミラー１５に入射されて１つのビーム光となるよう合成された後、結合光学系１６によって光ファイバ１７に入射されるよう導かれる。

光ファイバ１７によって伝搬されたレーザ光は、光ファイバ１７からコリメート光学系１８によって平行光にコリメートされて水平走査系１９に出射される。この出射されたレーザ光は、水平走査系１９のガルバノミラー１９ａの偏向面１９ｂに入射される。ガルバノミラー１９ａの偏向面１９ｂに入射したレーザ光は水平同期信号に同期して水平方向に走査されて第１リレー光学系２０を介し、垂直走査系２１のガルバノミラー２１ａの偏向面２１ｂに入射する。ガルバノミラー２１ａは、ガルバノミラー１９ａが水平同期信号に同期することと同様に垂直同期信号６に同期して、その偏向面２１ｂが入射光を垂直方向に反射するように往復振動をしており、このガルバノミラー２１ａによってレーザ光は垂直方向に走査される。ガルバノミラー２１ａによって走査されたレーザ光は、第２リレー光学系２２を介して、ユーザの瞳孔２４に入射する。これによって、ユーザはこのように２次元走査されて網膜上に投影されたレーザ光による画像を認識することができる。つまり、この網膜走査型ディスプレイ１は、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、ユーザの少なくとも一方の眼の網膜に画像を投影し、画像を表示する網膜走査型画像表示装置の一例に相当する。

［水平走査系１９の構成］
また、上述した水平走査系１９の構成について図２及び図３を用いて以下に説明する。

本実施形態における水平走査系１９のガルバノミラー１９ａは、図２及び図３に示すような光走査部３１と、図３に示すようなパッケージ３２と、を含む構成である。

この光走査部３１は、図２に示すように、入射した光を反射する偏向面１９ｂを有する偏向部３１ａと、偏向面１９ｂを揺動させる中心軸となる梁部材３１ｂと、偏向部３１ａの周縁に梁部材３１ｂを介して一体に設けられた枠体３１ｃとを含む構成である。光走査部３１は、偏向部３１ａと、梁部材３１ｂと、枠体３１ｃとが一体に形成されている。本実施形態におけるガルバノミラー１９ａは、電磁方式で偏向面１９ｂを揺動させるものである。

また、反射ミラー面としての偏向面１９ｂを有する偏向部３１ａは、梁部材３１ｂによって枠体３１ｃに支持されている。梁部材３１ｂは、捻れ可能に弾性材料でもって形成されており、この梁部材３１ｂは、板体３１ｃの中空部内にて、偏向部３１ａを揺動可能に支持している。また、枠体３１ｃは、梁部材３１ｂの一端と一体に接続されている。

また、接着部としての枠体３１ｃは、図３に示すように、パッケージ３２の凸部３３ｂ上に接着剤３８で接着固定されている。これによって、光走査部３１は、凸部３３ｂ上に接着されることとなる。また、本実施形態においては、凸部３３ｂ上の全面に、光走査部３１の枠体３１ｃを接着させたが、これに限らず、例えば、凸部３３ｂ上の一部に、光走査部３１の枠体３１ｃを接着させてもよい。また、この凸部３３ｂの上面部分は、その中心が凹状であったり、荒れていたりしていると、接着性を高まり好ましい。

また、偏向部３１ａにおける偏向面１９ｂの裏面には、電磁コイル（図示せず）が配置されている。この電磁コイルは、所定方向に渦巻き状に巻回されており、外部端子からの電流によって磁力を発生する。また、偏向部３１ａの近傍には、両磁石（図示せず）が配置されており、この電磁コイルに電流が流入すると、その電流と両磁石との間において磁力が発生し、偏向部３１ａ（偏向面１９ｂ）が揺動されることとなる。

このように、梁部材３１ｂを通り、偏向部３１ａを横断する軸を中心として光走査部３１を駆動させることによって、光を走査させることとなる。また、ガルバノミラー１９ａは、光を反射させる偏向面１９ｂ（反射ミラー部）を電磁方式で揺動させることによって、光を走査するため、他の方式（例えば、静電方式やピエゾ方式など）よりも、制御が容易となるとともに、製造においても容易となる。

パッケージ３２は、遮光性を有し、底面に位置する第一パッケージ部材３３を含む構成である。この第一パッケージ部材３３は、底面に位置する底面部材３３ａと、底面部材から上方に凸形状である凸部３３ｂとを含む構成である。

この凸部３３ｂは、底面部材３３ａの側端部から内方の位置に形成されている。また、この凸部３３ｂ上には、光走査部３１の枠体３１ｃが接着剤３８で接着固定されている。

このため、側端部から内方に光走査部が接着されるため、パッケージの側方から応力が加えられても、影響を受け難くなるため、パッケージ外部からの応力の影響を抑制することができ、光走査部の共振周波数値等の固有値の変化を防止する。

［第二の実施形態］
尚、上述した実施形態においては、底面に位置する第一パッケージ部材３３からパッケージ３２を構成し、外壁が側端部や上方にない構成であったが、これに限らず、例えば、側方や上方から光走査部３１の周縁を囲むようにパッケージを配置してもよい。

具体的な一実施形態について図４を用いて以下に説明する。尚、上述した実施形態と同じような構成については、理解を容易とするために説明を省略し、上述した実施形態と異なる構成について主に説明する。

パッケージ４２は、図４に示すように、光走査部３１の周縁を囲むようにして配置される。また、このパッケージ４２は、底面に位置する第一パッケージ部材３３と、側面に位置する第二パッケージ部材３４と、上面に位置する第三パッケージ部材３５とを含む構成である。

第二パッケージ部材３４は、遮光性を有し、パッケージ３２の側端部における側壁（外壁）として形成されている。また、第二パッケージ部材３４は、第一パッケージ部材３３の底面部材３３ａ上に接着剤３７で接着固定されている。また、第二パッケージ部材３４上には、第三パッケージ部材３５が接着剤３６で接着固定されている。第二パッケージ部材３４の内壁３４ａは、第一パッケージ部材３３の凸部３３ｂの外壁３３ｃと当接することなく、その間に空隙が形成されている。

このため、側端部から内方に光走査部が接着されるため、パッケージの側方から応力が加えられても、影響を受け難くなるため、パッケージ外部からの応力の影響を抑制することができ、光走査部の共振周波数値等の固有値の変化を防止する。また、側端部に形勢された外壁内面と凸部との間に空隙があり、パッケージの側方から応力が加えられても、直接的に影響を受けないため、パッケージ外部からの応力の影響をより一層抑制することができる。

また、第三パッケージ部材３５は、パッケージ３２の上面に位置する部材である。第三パッケージ部材３５は、第二パッケージ部材３４上に接着剤３６で接着固定されている。この第三パッケージ部材３５は、遮光性を有する遮光壁３５ａであり、偏向部３１ａの偏向面１９ｂ側において、光走査部３１の枠体３１ｃを接することなく覆うように配置されている。

また、第三パッケージ部材３５には、開口３５ｂが形成されている。この開口３５ｂは、偏向部３１ａの揺動角度（走査角度）に応じて、偏向部３１ａの偏向面１９ｂに入射する光や、偏向面１９ｂから反射される光を通過させる大きさで形成されており、偏向面１９ｂから反射される光を遮らない構成となっている。また、この開口３５ｂは、光走査部３１の偏向面１９ｂに対して略垂直に形成されている。

このため、不要な反射光を軽減するとともに、入射する光や出射する光を遮らないため、良質な表示画像を表示させることができるとともに、表示画像の劣化を防止することができる。

また、光走査部３１の枠体３１ｃが接着される箇所と第三パッケージ部材３５とが接しておらず、それらの間に空間があるため、パッケージ外部からの応力の影響をより一層抑制することができる。

［その他の実施形態］
尚、上述した実施形態においては、第三パッケージ部材３５における開口３５ｂは、ガルバノミラー１９ａの偏向面１９ｂに対して略垂直に形成されていたが、これに限らず、ガルバノミラー１９ａの偏向面１９ｂに対して所定の角度を有する開口としてもよい。

具体的には、例えば、図５に示すように、このパッケージ４３の第三パッケージ部材４５は、遮光性を有する遮光壁４５ａであり、偏向部３１ａの偏向面１９ｂ側において、光走査部３１の枠体３１ｃを接することなく覆うように配置されている。また、第三パッケージ部材４５における開口４５ｂの周縁が、偏向面１９ｂの揺動角度（走査角度）に応じた角度のテーパー形状である。

このため、不要な反射光を軽減するとともに、入射する光や出射する光を遮らないため、より一層、良質な表示画像を表示させることができるとともに、表示画像の劣化を防止することができる。

また、上述した実施形態においては、第一パッケージ部材３３、第二パッケージ部材３４、第三パッケージ部材３５をそれぞれ別体に形成したが、これに限らず、例えば、第一パッケージ部材３３、第二パッケージ部材３４を一体に形成しても問題ない。

更にまた、上述した実施形態においては、底面部材３３ａと凸部３３ｂとを一体に形成したが、これに限らず、例えば、底面部材と凸部とを別体に形成してもよい。

具体的には、例えば、図６に示すように、パッケージ４４が、底面部材としての底面パッケージ部材４６と、凸部としての凸部パッケージ部材４７とを含む構成となっている。この底面パッケージ部材４６と凸部パッケージ部材４７とは、上述した実施形態における第一パッケージ部材３３と同じような形状である。凸部パッケージ部材４７は、底面パッケージ部材４６に対して接着剤３９で接着固定されている。

このように、凸部パッケージ部材４７は、底面パッケージ部材４６とは別体に形成され、側端部から内方の位置に接着されている。これによって、パッケージの底面から応力が加えられても、直接的に影響を受け難くなるため、パッケージ外部からの応力の影響をより一層抑制することができる。

また、上述した実施形態においては、偏向面１９ｂを揺動駆動させるようにしたが、これに限らず、例えば、偏向面１９ｂを回転駆動させるようにしてもよい。また、上述した実施形態においては、水平走査系１９に本発明を採用したが、これに限らず、例えば、垂直走査系に本発明を採用してもよい。

以上、本発明の実施の形態のいくつかを図面に基づいて詳細に説明したが、これらは例示であり、発明の開示の欄に記載の態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変形、改良を施した他の形態で本発明を実施することが可能である。例えば、本発明を適用した光走査装置は、レーザプリンタ内でレーザビームを走査する光走査装置にも応用できることはいうまでもない。つまり、光を走査させる装置であればよく、例えば、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、画像を表示する画像表示装置でなくても問題なく、更には、画像に関する画像信号に応じて変調された光を走査させて出射させることで、ユーザの少なくとも一方の眼の網膜に画像を投影し、画像を表示する網膜走査型画像表示装置でなくても問題ない。

本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１を示す説明図である。 本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの構成を示す斜視図である。 本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの構成を示す概観図である。 本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの構成を示す概観図である。 本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの構成を示す概観図である。 本実施形態における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの構成を示す概観図である。 従来における網膜走査型ディスプレイ１のガルバノミラーの構成を示す概観図である。

符号の説明

１ 網膜走査型ディスプレイ
１９ 水平走査系
１９ａ ガルバノミラー
１９ｂ 偏向面
２１ 垂直走査系
３１ 光走査部
３２、４２、４３、４４ パッケージ
３３ 第一パッケージ部材
３３ｂ、４７ 凸部
３４ 第二パッケージ部材
３５、４５ 第三パッケージ部材
３５ｂ、４５ｂ 開口

Claims (9)

1. 入射した光を反射する反射ミラー面を回転または揺動するよう駆動させることによって、光を走査する光走査部と、前記光走査部の周縁を囲むパッケージとを備えた光走査装置において、
   前記パッケージには、側端部から内方の位置に凸形状の凸部が形成されており、
   前記凸部上に前記光走査部が接着されることを特徴とする光走査装置。
2. 請求項１に記載の光走査装置において、
   前記パッケージは、底面側に底面部材を含む構成であり、
   前記凸部は、前記底面部材とは別体であり、前記底面部材に接着されることを特徴とする光走査装置。
3. 請求項１に記載の光走査装置において、
   前記パッケージの側端部には外壁が形成されており、
   前記パッケージは、前記外壁内面と前記凸部との間に空隙のある構成であることを特徴とする光走査装置。
4. 請求項１から３のいずれかに記載の光走査装置において、
   前記光走査部は、光を反射する反射ミラー面を有する反射ミラーと、前記凸部に接着される接着部とを含む構成であり、
   前記パッケージには、前記反射ミラーの反射ミラー面側において、前記光走査部の前記接着部を接することなく覆うように遮光壁が設けられていることを特徴とする光走査装置。
5. 請求項４に記載の光走査装置において、
   前記遮光壁には、前記反射ミラーの反射ミラー面側に、前記反射ミラーの走査角度に応じて入射及び出射する光を通過させる大きさで開口が形成されていることを特徴とする光走査装置。
6. 請求項５に記載の光走査装置において、
   前記遮光壁は、前記開口が形成された周縁が、前記反射ミラーの走査角度に応じた角度のテーパー形状であることを特徴とする光走査装置。
7. 請求項１から６のいずれかに記載の光走査装置を少なくとも１つ備え、画像信号に応じて変調された光を前記光走査装置によって走査させて出射させ、画像を表示することを特徴とする画像表示装置。
8. 請求項１から６のいずれかに記載の光走査装置を少なくとも１つ備え、画像信号に応じて変調された光を前記光走査装置によって走査させて出射させ、ユーザの少なくとも一方の眼の網膜に画像を投影し、画像を表示することを特徴とする網膜走査型画像表示装置。
9. 入射した光を反射する反射ミラー面を回転または揺動するよう駆動させることによって、光を走査する光走査部と、前記光走査部の周縁を囲むパッケージとを備えた光走査素子において、
   前記パッケージには、当該パッケージの端部から内方に凸形状の凸部が形成されており、
   前記凸部上に前記光走査部が接着されることを特徴とする光走査素子。

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