JP2007271787A - 振動素子、振動素子の製造方法、光走査装置、画像形成装置及び画像表示装置 - Google Patents
振動素子、振動素子の製造方法、光走査装置、画像形成装置及び画像表示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007271787A JP2007271787A JP2006095525A JP2006095525A JP2007271787A JP 2007271787 A JP2007271787 A JP 2007271787A JP 2006095525 A JP2006095525 A JP 2006095525A JP 2006095525 A JP2006095525 A JP 2006095525A JP 2007271787 A JP2007271787 A JP 2007271787A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrating
- coil
- image
- image display
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
Abstract
【解決手段】反射面19bを備えた振動部19aと、振動部19aに設けられ振動部19aを振動させるためのコイル102とを有し、振動部19aは、反射面19bの反対側で反射面19bに交わる方向に設けられた斜面19fを有し、コイル102の少なくとも一部を、斜面19fに設けたことを特徴とする。
【選択図】図3
Description
[画像表示装置の構成]
以下、本発明に係る画像表示装置の一実施の形態について図面を用いて説明する。まず、本発明に係る画像表示装置の一例である網膜走査型画像表示装置としての網膜走査型ディスプレイ1の構成について図1を用いて説明する。
[各種の光学系の構成]
上述したように、光ファイバ17から出射されたビームを、2次元に走査しながら観察者の瞳孔24へ導く各種の光学系の構成について説明する。
19、21 光走査装置
19a,21a 振動部、ガルバノミラー
19b 斜面
19d ねじり梁
19f 斜面
24 瞳孔
100 シリコン基板
101 駆動部
102 コイル
105 振動素子
Claims (14)
- 反射面を備えた振動部と、
前記振動部に設けられ前記振動部を振動させるためのコイルとを有し、
前記振動部は、前記反射面の反対側に位置し前記反射面に交わる斜面を有し、
前記コイルの少なくとも一部を、前記斜面に設けた振動素子。 - 前記コイルが導電体薄膜であることを特徴とする請求項1記載の振動素子。
- 前記導電体薄膜がエッチングにより形成されていることを特徴とする請求項2記載の振動素子。
- 前記斜面が、前記振動部の振動中心軸方向において前記振動部の一端側から他端側に向けて傾斜する1つの面で形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の振動素子。
- 前記斜面が、前記振動部の振動中心軸方向において前記振動部の中途に頂部を有する山形状をなす凸部の斜面によって形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の振動素子。
- 前記凸部は截頭形状であることを特徴とする請求項5記載の振動素子。
- 前記凸部の、前記コイルの非形成部に、前記凸部の肉厚を薄くする薄肉部が形成されていることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載の振動素子。
- 反射面を備えた振動部と、
前記振動部に設けられ前記振動部を振動させるためのコイルとを有し、
前記振動部は、前記反射面に交わる斜面を有し、
前記コイルの少なくとも一部を、前記斜面に設けた振動素子の製造方法であって、
前記斜面を、ウェットエッチングにより形成する振動素子の製造方法。 - 前記コイルが導電体薄膜であり、前記導電体薄膜をエッチングにより形成することを特徴とする請求項8記載の振動素子の製造方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の振動素子を有し、前記振動部が前記反射面を搖動させることで光束を反射させて走査を行う光走査装置。
- 請求項10記載の光走査装置を備え、前記光走査装置により、画像信号に応じた光束を走査することで画像を形成する画像形成装置。
- 請求項10記載の光走査装置、又は、請求項11記載の画像形成装置を備え、前記光走査装置により、画像信号に応じた光束を走査することで画像を形成し、前記画像を投影表示する光走査型画像表示装置である画像表示装置。
- 前記画像を眼の網膜上に投影表示する網膜走査型画像表示装置であることを特徴とする請求項12記載の画像表示装置。
- 観察者の頭部に搭載する頭部搭載型画像表示装置であることを特徴とする請求項12又は請求項13に記載の画像表示装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006095525A JP4622916B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 振動素子、振動素子の製造方法、光走査装置、画像形成装置及び画像表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006095525A JP4622916B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 振動素子、振動素子の製造方法、光走査装置、画像形成装置及び画像表示装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007271787A true JP2007271787A (ja) | 2007-10-18 |
JP4622916B2 JP4622916B2 (ja) | 2011-02-02 |
Family
ID=38674662
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006095525A Expired - Fee Related JP4622916B2 (ja) | 2006-03-30 | 2006-03-30 | 振動素子、振動素子の製造方法、光走査装置、画像形成装置及び画像表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4622916B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009093105A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-30 | Hoya Corp | マイクロミラー装置、およびミラー部形成方法 |
JP2011087421A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Nippon Signal Co Ltd:The | プレーナ型アクチュエータおよびその製造方法 |
JPWO2011010739A1 (ja) * | 2009-07-23 | 2013-01-07 | 佐藤 一雄 | 微細構造体の製造方法 |
JP2014056020A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001033727A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Victor Co Of Japan Ltd | 光偏向器 |
JP2003131161A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-05-08 | Canon Inc | 光偏向器及びその製造方法、それを用いた光学機器そしてねじれ揺動体 |
JP2004145087A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Seiko Epson Corp | アクチュエータおよび光スイッチング素子 |
JP2005107069A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Brother Ind Ltd | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
JP2005300927A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Ricoh Co Ltd | 偏向ミラー、光走査装置および画像形成装置 |
-
2006
- 2006-03-30 JP JP2006095525A patent/JP4622916B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001033727A (ja) * | 1999-07-21 | 2001-02-09 | Victor Co Of Japan Ltd | 光偏向器 |
JP2003131161A (ja) * | 2001-07-11 | 2003-05-08 | Canon Inc | 光偏向器及びその製造方法、それを用いた光学機器そしてねじれ揺動体 |
JP2004145087A (ja) * | 2002-10-25 | 2004-05-20 | Seiko Epson Corp | アクチュエータおよび光スイッチング素子 |
JP2005107069A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Brother Ind Ltd | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
JP2005300927A (ja) * | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Ricoh Co Ltd | 偏向ミラー、光走査装置および画像形成装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009093105A (ja) * | 2007-10-12 | 2009-04-30 | Hoya Corp | マイクロミラー装置、およびミラー部形成方法 |
JPWO2011010739A1 (ja) * | 2009-07-23 | 2013-01-07 | 佐藤 一雄 | 微細構造体の製造方法 |
JP2011087421A (ja) * | 2009-10-16 | 2011-04-28 | Nippon Signal Co Ltd:The | プレーナ型アクチュエータおよびその製造方法 |
JP2014056020A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4622916B2 (ja) | 2011-02-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5167634B2 (ja) | レーザー投射装置 | |
US9405121B2 (en) | Image display apparatus and head-mounted display | |
US9229224B2 (en) | Image display apparatus and head-mounted display | |
US9170422B2 (en) | Image display apparatus and head-mounted display | |
JPWO2007105678A1 (ja) | 画像投射装置 | |
JP2002196277A (ja) | 画像表示装置および画像表示システム | |
JP2007268374A (ja) | 振動素子、振動素子の製造方法、光走査装置、画像形成装置及び画像表示装置 | |
WO2010035469A1 (ja) | 光スキャナ及びこの光スキャナを備えた画像表示装置 | |
JP2008209653A (ja) | 光走査装置、網膜走査型表示装置及び光走査装置の製造方法 | |
JP4622916B2 (ja) | 振動素子、振動素子の製造方法、光走査装置、画像形成装置及び画像表示装置 | |
JP4735535B2 (ja) | 光走査素子、光走査装置、光走査型表示装置、網膜走査型表示装置及び光走査素子における貫通孔の生成方法 | |
JP2010237519A (ja) | 光スキャナ | |
JP4893067B2 (ja) | 振動素子、振動素子の製造方法、光走査装置、画像形成装置及び画像表示装置 | |
JP2021026154A (ja) | 光偏向器、光走査システム、画像投影装置、画像形成装置、レーザレーダ | |
JP4095428B2 (ja) | 光走査光学系、画像投影装置、画像表示システム | |
JP5516746B2 (ja) | マイクロスキャナおよびそれを備えた光学機器 | |
JP2017097203A (ja) | 光走査装置 | |
JP2005338241A (ja) | 揺動体およびこれを用いた画像形成装置、スペックル低減方法 | |
JP2005249834A (ja) | 光走査装置及びそれを有する画像表示装置 | |
JP4830653B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP6579241B2 (ja) | 光スキャナーおよびヘッドマウントディスプレイ | |
JP5157241B2 (ja) | 光走査装置、及び網膜走査型表示装置 | |
JP6515638B2 (ja) | 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ | |
JP5282753B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、光スキャナ、光走査型画像表示装置、画像形成装置 | |
JP2018060029A (ja) | ミラー装置および車両用表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080319 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100924 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101005 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101018 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131112 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |