JP5282753B2 - 圧電アクチュエータ、光スキャナ、光走査型画像表示装置、画像形成装置 - Google Patents
圧電アクチュエータ、光スキャナ、光走査型画像表示装置、画像形成装置 Download PDFInfo
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Description
前記絶縁性接着層の弾性率は、前記導電性接着層の弾性率と同等以上であることを特徴とする。
絶縁性接着層は、導電性接着層と同等以上の弾性率を有することを特徴とする。これにより、絶縁性接着層が導電性接着層より弾性率が小さい場合と比較して、絶縁性接着層を通して、圧電体の側面の伸縮を減衰させることなく振動板に伝えることができる。その結果、絶縁性接着層が導電性接着層より弾性率が小さい場合と比較して、圧電アクチュエータの駆動効率を向上させることができる。
以下、本発明の一実施形態に係る圧電アクチュエータが組み込まれた光スキャナについて図面を参照しつつ説明する。
まず図1を用いて、光スキャナと水平走査ドライバとについて説明する。図1は、本発明の光スキャナと水平走査ドライバとの概観を示す斜視図である。まず、光スキャナについて説明する。図1に示される光スキャナ1は、基板10と、筐体20と、圧電素子40と、接着層50と、を備える。本実施形態における光スキャナ1は、本発明の光スキャナの一例である。
次に、図2、図3、図4を用いて、光スキャナ1の圧電アクチュエータ39について説明する。図2は、光スキャナ1の圧電アクチュエータ39を示す平面図である。図3は、図2のA−A線に従う矢視断面図である。図4は、圧電アクチュエータ39の側面を示す断面図である。圧電アクチュエータ39は、圧電素子40と、接着層50と、基板10の枠板部14の一部と、を含む。本実施形態における枠板部14の一部は、本発明の振動板の一例である。本実施形態における圧電アクチュエータ39は、本発明の圧電アクチュエータの一例である。
次に、作業者が光スキャナ1を製造する方法について図5を用いて説明する。
光スキャナ1の動作について説明する。水平走査ドライバ30内にて駆動電圧が生成される。第2の電極44側では、駆動電圧が、水平走査ドライバ30から配線32を経由して第2の電極44へ印加される。基板10側では、駆動電圧が、水平走査ドライバ30から配線31を経由して基板10に印加される。基板10と第1の電極43とは、導電性接着層51により電気的に接続されている。ゆえに、駆動電圧が、基板10から導電性接着層51を経由して圧電素子40の第1の電極43へ印加される。駆動電圧が圧電素子40の第1の電極43と第2の電極44とに印加されると、逆圧電効果が第1の電極43と第2の電極44とに挟まれた圧電体41内に生じる。圧電素子40と基板10の枠板部14とは導電性接着層51及び絶縁性接着層52で接着されている。このため、圧電素子40の伸縮が、導電性接着層51及び絶縁性接着層52を経由して、枠板部14に伝えられ、枠板部14がたわむ。このたわみが枠板部14から梁部12、13を介してミラー部11へと伝わり、結果的にミラー部11が梁部12、13の長手方向を揺動軸15として共振揺動される。ミラー11mが揺動された状態で光束がミラー11mに入射される。すると、光束がミラー11mに反射され、結果的に1方向に走査される。このように、光スキャナ1に水平走査ドライバ30から駆動電圧を印加することで、光束を走査することができる。本実施形態における揺動軸15は、本発明の揺動軸の一例である。
本実施形態に係る光スキャナ1は、網膜走査ディスプレイ等に用いられる。図6は、光スキャナ1が用いられた網膜走査ディスプレイ101の構成を示す図である。
圧電体41の側面41eの応力の伝達について説明する。圧電素子40の第1の電極43と第2の電極44とに電圧が印加される。すると、図7に示すように、圧電体41に逆圧電効果が起こり、圧電素子40が伸縮する。一方、絶縁性接着層52は、圧電体41の側面41eに接している。このため、応力F1が絶縁性接着層52にかかる。さらに、絶縁性接着層52は、枠板部14の接着面14aと接している。このため、応力F2が枠板部14に伝えられる。応力F2とは別に、圧電素子40の伸縮により導電性接着層51を通して枠板部14の接着面14aに伝えられる応力がある。即ち、圧電素子40から導電性接着層51を通して枠板部14に伝わる応力に加え、応力F2が枠板部14に伝えられる。ゆえに、絶縁性接着層52が圧電体41の側面41eに形成されていない場合と比較して、一層たわむ。従って、圧電アクチュエータ39の駆動効率を、絶縁性接着層52が圧電体41の側面41eに形成されていない場合と比較して、高くすることができる。
なお、以上のように、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10 基板
11 ミラー部
11m ミラー
12、13 梁部
14 枠板部
14a 接着面
15 揺動軸
20 筐体
21 支持部
22 ベース部
30 水平走査ドライバ
31、32 配線
39 圧電アクチュエータ
40 圧電素子
41 圧電体
42 1対の電極
43 第1の電極
44 第2の電極
50 接着層
51 導電性接着層
52 絶縁性接着層
Claims (5)
- 所定の方向に厚みを有する板状の圧電体と、
前記圧電体の両面のうち一方の面に設けられた第1の電極と、
前記圧電体の両面のうち他方の面に設けられた第2の電極と、
を含む圧電素子と、
前記圧電素子の伸縮により、曲げ変形される導電性の振動板と、
前記振動板と前記圧電素子とを接着する接着層と、
を備え、
前記接着層は、
前記振動板の両面のうち片側の面と前記第1の電極の両面のうち前記圧電体が設けられる面とは反対側の面との間の領域に設けられ、前記片側の面と前記反対側の面とを接着する導電性接着層と、
前記第1の電極の前記所定の方向に沿った側面全面と前記圧電体の前記所定の方向に沿った側面とを覆うように設けられ、前記片側の面と前記圧電体の前記所定の方向に沿った側面とを接着する絶縁性接着層と、を有し、
前記片側の面からの前記所定の方向の前記絶縁性接着層の高さは、前記片側の面と前記反対側の面との間の前記所定の方向の前記導電性接着層の厚みと前記所定の方向の前記第1の電極の厚みとを足した長さ以上であり、
前記絶縁性接着層の弾性率は、前記導電性接着層の弾性率と同等以上であることを特徴とする圧電アクチュエータ。 - 前記高さは、前記長さと前記圧電体の厚みとを足した長さ以上であることを特徴とする請求項1に記載の圧電アクチュエータ。
- 請求項1又は2に記載の圧電アクチュエータを備える光スキャナであって、
入射した光束を反射するミラーを有す板状のミラー部と、
前記ミラー部の揺動軸に沿って延び、前記ミラー部を支持する1対の梁部と、
前記振動板を含み、前記1対の梁部がそれぞれ連結され、前記ミラー部と前記1対の梁部とを囲むように設けられた枠状の枠板部と、
を備える基板と、
前記基板を支持する筐体と、
を備えることを特徴とする光スキャナ。 - 画像信号に応じた光束を出射する光源制御部と、
前記光源制御部から出射された光束を前記ミラーに反射させ、第1方向に走査する請求項3に記載の光スキャナと、
前記光スキャナによって前記第1方向に走査された光束を、前記第1方向と略直交する第2方向に走査するスキャナ部と、
前記スキャナ部によって前記第2方向に走査された光束を被投射対象に投射する投射部と、
を備えることを特徴とする光走査型画像表示装置。 - 画像信号に応じた光束を出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源から出射された光束を前記ミラーにより反射させ、第1方向に走査する請求項3に記載の光スキャナと、
前記光スキャナから前記第1方向に走査された光束が照射されることにより、静電潜像を形成する感光体と、
を備えることを特徴とする画像形成装置。
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