JP7181448B2 - アクチュエータ及び光走査装置 - Google Patents
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Description
まず、実施の形態に係る光走査装置について説明する。図1及び図2は、実施の形態に係る光走査装置の一例を示す斜視図であり、図1はパッケージカバーを取り外した状態の光走査装置を示し、図2はパッケージカバーを取り付けた状態の光走査装置を示している。
図9は実施例1~6及び比較例1~2に係る光走査装置の光走査部のk(バネ定数)に対するβ(構造非線形定数)の関係を示す図である。図9に示されるβとkの関係を有する光走査装置の光走査部について、振角の周波数応答(周波数に対する振角の特性)をシミュレーションにより算出した。
図18は実施の形態に係る光走査装置の光走査部の要部を拡大した平面図である。非線形0ライン上の実施例1の光走査装置に対して、非線形上限ライン上の実施例2は、以下の点のサイズを変更して実現した。(1)領域T1における捻れ梁の最小部の幅を小さくする。(2)領域T2における連結梁の最小部の幅を大きくする。(3)領域T2における連結梁の長さを短くする。(4)水平駆動梁の幅WDBを大きくする。
図19は変形例1に係る光走査装置の光走査部の斜視図である。図19に示される光走査装置の光走査部は、共振1軸駆動MEMSミラーである。光走査部は、ミラー1110を支持するミラー支持部1120の両側に捻れ梁1130A、1130Bが接続され、捻れ梁1130A、1130Bは連結梁を介して水平駆動梁1150A、1150Bが接続され、水平駆動梁1150A、1150Bは固定枠に接続されている。上記の図3及び図4に示される構成の光走査装置の光走査部に対して、垂直駆動梁をなくし、可動枠を固定枠に変更した構成に相当する。変形例1の光走査部の水平駆動梁は、共振駆動によりミラー支持部を駆動する。図19に示される光走査装置の光走査部であるアクチュエータにおいても、上記の式(1)を満たす構成とすることで、アクチュエータの共振駆動時の非線形振動による跳躍現象の発生を抑制し、大振角での安定な駆動が可能である。
図20は変形例2に係る光走査装置の光走査部の斜視図である。図20に示される光走査装置の光走査部は、共振/共振2軸駆動MEMSミラーである。光走査部は、ミラーを支持するミラー支持部1120の両側に捻れ梁1130A、1130Bが接続され、捻れ梁1130A、1130Bは連結梁を介して水平駆動梁1150A、1150Bが接続され、水平駆動梁1150A、1150Bは可動枠1160に接続されている。可動枠1160には垂直駆動梁1170A、1170Bが接続され、水平駆動源1171A、1171Bが形成された梁を介して固定枠に接続されている。変形例2の光走査部の水平駆動梁は、水平駆動部の共振駆動により水平回転軸の周りを回転する方向にミラー支持部を駆動し、さらに、垂直駆動部及び垂直駆動源170の共振駆動により垂直回転軸の周りを回転する方向にミラー支持部を含む可動枠を駆動する。図20に示される光走査装置の光走査部であるアクチュエータにおいても、上記の式(1)を満たす構成とすることで、アクチュエータの共振駆動時の非線形振動による跳躍現象の発生を抑制し、大振角での安定な駆動が可能である。
110 ミラー
120 ミラー支持部
122 スリット
130A、130B 捻れ梁
140A、140B 連結梁
150A、150B 水平駆動梁
151A、151B 水平駆動源
160 可動枠
161 ミラー支持体
170A、170B 垂直駆動梁
171A、171B 垂直駆動源
171X1~171X5、171Y1~171Y5 折り返し部
173X1~173X6、173Y1~173Y6 垂直梁
174X0~174X5、174Y0~174Y5 リブ
181X、181Y 固定部
180 固定枠
191、192、195、196 圧電センサ
200 セラミックパッケージ
300 パッケージカバー
300A 開口部
1000 光走査装置
Claims (6)
- 前記枠体の外周に設けられた固定枠と、
前記枠体と前記固定枠とを接続して設けられた第2の駆動梁と、を有する
請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記第2の駆動梁の駆動によって前記所定の軸と直交する第2の軸の周りを回転する方向に前記枠体を含む前記駆動対象物を揺動させる
請求項2に記載のアクチュエータ。 - 前記第2の駆動梁の表面に前記第2の駆動梁を駆動する圧電素子である第2の駆動源が形成されている
請求項3に記載のアクチュエータ。 - 前記第2の駆動梁の根元に設けられた梁に前記第2の駆動梁を駆動する圧電素子である第2の駆動源が形成されている
請求項3に記載のアクチュエータ。
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