JP6788186B2 - 光走査装置及び光走査装置の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、第1実施形態に係る光走査装置について説明する。図1及び図2は、第1実施形態に係る光走査装置の一例を示す斜視図であり、図1はパッケージカバーを取り外した状態の光走査装置を示し、図2はパッケージカバーを取り付けた状態の光走査装置を示している。
第2実施形態に係る光走査装置について説明する。図9は、第2実施形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の斜視図である。
2 シリコン酸化膜
3 下部電極
4 第1の圧電薄膜
5 中間電極
6 第2の圧電薄膜
7 上部電極
8 応力カウンター膜
9 層間絶縁膜
10 配線
11 配線
12 配線
13 保護膜
14 BOX層
100 光走査部
110 ミラー
120 ミラー支持部
122 スリット
125 リブ
130A 梁
130B 梁
140A 連結梁
140B 連結梁
150A 第1の駆動梁
150B 第1の駆動梁
151A 駆動源
151B 駆動源
160 可動枠
170A 第2の駆動梁
170B 第2の駆動梁
171A 駆動源
171B 駆動源
175A リブ
175B リブ
176A リブ
176B リブ
180 固定枠
190A 端子群
190B 端子群
191 圧電センサ
192 圧電センサ
195 圧電センサ
196 圧電センサ
200 セラミックパッケージ
300 パッケージカバー
300A 開口部
1000 光走査装置
Claims (6)
- 光反射面を有するミラーと、
前記ミラーを支持する可動枠と、
前記可動枠を両側から支持する一対の駆動梁と、
前記駆動梁に設けられ、所定の軸周りに前記可動枠を揺動させる駆動源と、
前記駆動梁を支持する固定枠と、
を有し、
前記駆動源は、
前記駆動梁の上に形成された下部電極と、
前記下部電極の上に形成された圧電薄膜と、
前記圧電薄膜の上に形成された上部電極と、
前記上部電極上又は前記圧電薄膜と前記上部電極との間に形成され、前記駆動梁に圧縮応力を発生させる応力カウンター膜と、
を有し、
前記駆動梁は、前記ミラーが静止している状態において、前記固定枠に対して撓んだ状態で支持され、
前記駆動梁の下面にはリブが形成され、
前記応力カウンター膜は、圧縮応力を発生させることにより、前記リブが配置された前記駆動梁の下面の方向に前記駆動梁を撓ませる、
光走査装置。 - 前記駆動梁は、前記光走査装置が動作するときに反る方向と反対方向に撓んだ状態で支持されている、
請求項1に記載の光走査装置。 - 前記リブは、前記駆動梁と前記可動枠との連結部分の下面、及び隣接する前記駆動梁同士を連結する部分の下面に設けられている、
請求項1又は2に記載の光走査装置。 - 前記応力カウンター膜は、導電性材料により形成されている、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光走査装置。 - 前記応力カウンター膜は、チタン及びタングステンの合金により形成されている、
請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光走査装置。 - 光反射面を有するミラーと、前記ミラーを支持する可動枠と、前記可動枠を両側から支持する一対の駆動梁と、前記駆動梁に設けられ、所定の軸周りに前記可動枠を揺動させる駆動源と、前記駆動梁を支持する固定枠と、を有する光走査装置の製造方法であって、
前記駆動梁の上に下部電極を形成する工程と、
前記下部電極の上に圧電薄膜を形成する工程と、
前記圧電薄膜の上に上部電極を形成する工程と、
前記上部電極の上にDCスパッタリング法により、前記駆動梁に圧縮応力を発生させる応力カウンター膜を形成する工程と、
を有し、
前記駆動梁は、前記ミラーが静止している状態において、前記固定枠に対して撓んだ状態で支持され、
前記駆動梁の下面にはリブが形成され、
前記応力カウンター膜は、圧縮応力を発生させることにより、前記リブが配置された前記駆動梁の下面の方向に前記駆動梁を撓ませる、
光走査装置の製造方法。
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