JP2011197605A - 2次元光スキャナ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】空洞部11aを有する半導体基板の可動枠11にミラーM、ミラーMを振動可能に支持する1対のトーションバー12a、12b、2対の圧電アクチュエータ13a、12b;14a、14bを形成する。空洞部21aを有する半導体基板支持枠21に、可動枠11、可動枠11を振動可能に支持する1対のトーションバー22a、22b、2対の圧電アクチュエータ23a、23b;24a、24bを形成する。空気の逃げ道として、可動枠11に複数の貫通孔15を設ける。
【選択図】 図1
Description
11:可動枠
11a:空洞部
12a,12b:弾性梁(トーションバー)
13a、13b;14a、14b:圧電アクチュエータ
15:貫通孔
21:支持枠
21a:空洞部
22a、22b:弾性梁(トーションバー)
23a、23b;24a、24b:圧電アクチュエータ
1011:単結晶シリコン支持層
1012:中間酸化シリコン層
1013:単結晶シリコン活性層
1021、1022:酸化シリコン層
1031:下部電極層
1032:圧電体層
1033:上部電極層
104:ハードマスク層
105:フォトレジストパターン層
Claims (5)
- 空洞部が形成された可動枠と、
該可動枠の空洞部内に位置する反射面を有するミラーと、
基端が前記可動枠に連結され先端が前記ミラーに連結された第1の弾性梁と、
前記可動枠が位置する空洞部が形成された支持枠と、
基端が前記支持枠に連結された先端が前記可動枠に連結された第2の弾性梁と
を具備し、
前記可動枠に1以上の貫通孔を設けた2次元光スキャナ。 - 前記貫通孔が設けられている位置は前記可動枠の第2の弾性梁に平行な辺である請求項1に記載の2次元スキャナ。
- 前記各貫通孔が前記可動枠の残部によって囲まれている請求項1に記載の2次元光スキャナ。
- 前記複数の貫通孔が前記第1、第2の弾性梁を軸に対称に設けられている請求項1に記載の2次元光スキャナ。
- 前記貫通孔が前記第1、第2の弾性梁の延長領域に設けられていない請求項1に記載の2次元光スキャナ。
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