JP2003043382A - 光マトリクススイッチ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ビームを偏向させる鏡自体を駆動して光出
力が最大となる位置を検出する方法では、検出動作に伴
って光マトリクススイッチの稼動中に頻繁に光出力が変
動する。位置検出動作に伴う光出力の変動を抑制し、安
定かつ高精度に光ビーム位置を制御する手段を備えた光
マトリクススイッチを提供する。 【解決手段】 入出力光ファイバ１１４，１１５双方か
ら光マトリクススイッチ１１３内に通信光外の波長の光
１０２，１１１を導入し、この光ビーム１０２，１１１
の位置を通信光切り換えミラー１０６，１０７の裏面に
配置した(図示しない)光検出素子を用いて検出する。光
の結合効率が最大になるミラー位置を検出する際に、ミ
ラー１０６，１０７の姿勢を変化させて最適位置を探る
必要がなく、常に安定した結合を維持できる。検出動作
に伴う光出力の変動がなく、安定かつ高精度の光ビーム
位置制御が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光通信などに用い
る光マトリクススイッチに係り、特に、光マトリクスス
イッチにおいて、光ビームを偏向させる鏡自体を駆動し
て光出力が最大となる位置を検出する検出動作に伴う光
出力の変動を抑制し、安定かつ高精度に光ビーム位置を
制御する手段に関する。

【０００２】

【従来の技術】特開平１１−２８７９６１号公報は、光
反射手段で反射して光ファイバに入射する光信号のレベ
ルに基づいて、駆動手段の動作を調整し光学系部品の位
置ずれを補償する補償手段を備える光マトリクススイッ
チを開示しており、補償手段により駆動手段の動作を調
整し光反射手段の反射面の位置を変更できるので、光伝
送装置の光学系部品の製造時などにおける位置ずれを組
み立て後に補償可能であるとしている。

【０００３】特開平０５−１０７４８５号公報は、二次
元配列基板上で光ファイバ端面と回転反射ミラーとの間
に受光素子を配置し、光ビームの位置の検出を可能にし
たアレイ基板を示している。このアレイ基板では、向か
い側にあるアレイ基板上の任意の受光素子に光ビームを
当て、当っている光ビームの位置を検知する。次に、こ
の位置から目的の光ファイバの位置やミラーの位置を計
算し、光ビームを走査する。この方法においては、光ビ
ーム走査で、ビームを目的の光ファイバに照射するので
はなく、その周囲に配置されている四つの受光素子の位
置を検出する。光ファイバと受光素子との相対位置から
目的の光ファイバを確認できるだけでなく、正確にその
位置も決まるので、目的のミラーや光ファイバに、光ビ
ームを当てることができるとしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、特開平１１−
２８７９６１号公報の技術においては、光ビームを偏向
させる鏡自体を駆動して、通信用光ビームの出力が最大
となる位置を検出し、位置ずれを調節しているので、こ
の検出動作に伴って、光マトリクススイッチングシステ
ムの稼動中に、位置ずれ検出動作を実行すると、検出動
作に伴って、通信用光ビームの出力が変動するという問
題があった。

【０００５】また、特開平０５−１０７４８５号公報の
技術においては、鏡に光ビームを当てた後の制御につい
ては配慮が無く、光の損失が変動した場合の対処が困難
であった。

【０００６】本発明の目的は、光ビームを偏向させる鏡
自体を駆動して光出力が最大となる位置を検出する検出
動作に伴う光出力の変動を抑制し、安定かつ高精度に光
ビーム位置を制御する手段を備えた光マトリクススイッ
チを提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、複数の入力光ファイバと、入力光ファイ
バの先端に固定された第一のレンズと、２つの回転軸と
それぞれの回転軸の周りに独立に駆動する駆動機構とを
有し第一のレンズから出射される光ビームが当たる位置
に配列された第一の鏡と、２つの回転軸とそれぞれの回
転軸の周りに独立に駆動する駆動機構とを有し第一の鏡
で反射された光ビームが当たる位置に配列された第二の
鏡と、第二の鏡で反射された光ビームが当たる位置に配
列された第二のレンズと、第二のレンズにより光ビーム
が集光された位置に先端が固定された出力光ファイバと
を含む光マトリクススイッチにおいて、入力光ファイバ
に光結合器を介して結合され通信光外の光を出力側に発
する光源と、出力光ファイバに光結合器を介して結合さ
れ通信光外の光を入力側に発する光源とを備え、第一の
鏡および第二の鏡に複数の孔をあけ、孔の近傍の鏡の裏
面に通信光外の光を検出する光検出素子をそれぞれ配置
した光マトリクススイッチを提案する。

【０００８】鏡にあけられた複数の孔の深さ方向の断面
は、台形にすることが望ましい。

【０００９】本発明は、また、複数の入力光ファイバ
と、入力光ファイバの先端に固定された第一のレンズ
と、２つの回転軸とそれぞれの回転軸の周りに独立に駆
動する駆動機構とを有し第一のレンズから出射される光
ビームが当たる位置に配列された第一の鏡と、２つの回
転軸とそれぞれの回転軸の周りに独立に駆動する駆動機
構とを有し第一の鏡で反射された光ビームが当たる位置
に配列された第二の鏡と、第二の鏡で反射された光ビー
ムが当たる位置に配列された第二のレンズと、第二のレ
ンズにより光ビームが集光された位置に先端が固定され
た出力光ファイバとを含む光マトリクススイッチにおい
て、入力光ファイバに光結合器を介して結合され通信光
外の光を出力側に発する光源と、出力光ファイバに光結
合器を介して結合され通信光外の光を入力側に発する光
源とを備え、第一の鏡および第二の鏡が所定の反射率の
反射膜を有し、鏡の裏面に反射膜を透過してきた通信光
外の光を検出する複数の光検出素子を配置した光マトリ
クススイッチを提案する。

【００１０】これらの光マトリクススイッチは、入出力
光ファイバ双方から光マトリクススイッチ内に通信光外
の波長の光を導入し、レンズによって光ビームとして複
数の孔をあけた鏡に当て、その孔を通過した光の強度を
検出して光ビームの位置を常時監視し、位置ずれが生じ
た時には、修正する。このような構成によれば、装置を
大型化させることなく、通信用の光信号が通っている経
路そのものを監視できるので、精度および安定性が極め
て高い光マトリクススイッチを実現できる。

【００１１】本発明は、さらに、複数の入力光ファイバ
と、入力光ファイバの先端に固定された第一のレンズ
と、２つの回転軸とそれぞれの回転軸の周りに独立に駆
動する駆動機構とを有し第一のレンズから出射される光
ビームが当たる位置に配列された第一の鏡と、２つの回
転軸とそれぞれの回転軸の周りに独立に駆動する駆動機
構とを有し第一の鏡で反射された光ビームが当たる位置
に配列された第二の鏡と、第二の鏡で反射された光ビー
ムが当たる位置に配列された第二のレンズと、第二のレ
ンズにより光ビームが集光された位置に先端が固定され
た出力光ファイバとを含む光マトリクススイッチにおい
て、入力光ファイバに光結合器を介して結合され通信光
外の光を出力側に発する光源と、出力光ファイバに光結
合器を介して結合され通信光外の光を入力側に発する光
源とを備え、通信用光を透過し通信光外の光を反射する
第三の鏡を第一の鏡と第二の鏡との間に備え、入力側か
ら導入された通信光外の光が第三の鏡で反射されて当た
る位置に第一の光位置センサを備え、出力側から導入さ
れた通信光外の光が第三の鏡で反射されて当たる位置に
第二の光位置センサを備えた光マトリクススイッチを提
案する。

【００１２】この光マトリクススイッチは、入力光ファ
イバと出力光ファイバとの双方から光マトリクススイッ
チ内に通信光外の波長の光を導入し、第一の鏡および第
二の鏡の間に配置された通信光外の波長の光を反射する
鏡により反射させ、その反射光ビームの位置を光位置セ
ンサにより検出し、光ビームの位置を常時監視し、位置
ずれが生じた時には修正する。

【００１３】このような構成によれば、光を反射させる
鏡に孔をあけずに、通信用光信号が通っている経路その
ものを監視できるので、精度および安定性が極めて高く
低損失の光マトリクススイッチを実現できる。

【００１４】上記いずれかの光マトリクススイッチにお
いて、出力側から導入された通信光外の所定の波長を減
衰させるフィルタを入力光ファイバの光結合器よりも遠
くに備え、入力側から導入された通信光外の所定の波長
を減衰させるフィルタを出力光ファイバの光結合器より
も遠くに備えた光マトリクススイッチを提案する。

【００１５】このように入力側および出力側にフィルタ
を備えると、位置検出のために導入された通信光外の光
が、通信光に影響を与えることを防止できる。

【００１６】通信光外の光の光源は、より具体的には、
可視光の光源とすることができる。

【００１７】この光マトリクススイッチは、入力光ファ
イバと出力光ファイバとの双方から光マトリクススイッ
チ内に導入する通信光外の波長の光として、可視光を用
いる。

【００１８】このような構成によれば、光マトリクスス
イッチの組み立て調整時や点検時などに作業者が目視で
光ビームの位置を容易に確認できるので、作業効率が上
がるとともに、光位置センサとしてシリコン素子を使用
できるので、光マトリクススイッチの低コスト化に有利
である。

【００１９】

【発明の実施の形態】次に、図１ないし図７を参照し
て、本発明による光マトリクススイッチの実施形態を説
明する。

【００２０】

【実施形態１】図１は、本発明による光マトリクススッ
チの実施形態１の概略構造を示す図である。本実施形態
１の光マトリクススイッチは、入力側光ファイバ１１４
ａ，１１４ｂ，１１４ｃ，１１４ｄと、フィルタ１０１
と、可視プローブ光１０２と、カプラ１０３と、コリメ
ートレンズ１０４と、窓１０５と、ミラーアレイ１０
６，１０７と、容器１１３と、窓１０８と、コリメート
レンズ１０９と、カプラ１１０と、可視プローブ光１１
１と、フィルタ１１２と、出力側光ファイバ１１５ａ，
１１５ｂ，１１５ｃ，１１５ｄとから構成されている。

【００２１】可視プローブ光１０２，１１１は、カプラ
１０３，１１０を介して、入力側光ファイバ１１４，出
力側光ファイバ１１５に結合され、コリメートレンズ１
０４，１０９により、光ビーム化される。これらの光ビ
ームは、ミラーアレイ１０６，１０７に当たる位置に予
め芯合わせされている。可視プローブ光１０２と可視プ
ローブ光１１１とは、逆方向に進む。

【００２２】ミラーアレイ１０６，１０７は、図示しな
い駆動機構を有しており、個々のミラーは、２つの回転
軸の周りに回転して角度を変更できる。

【００２３】個々のミラーは、駆動信号とその姿勢に関
するデータテーブルとを予め与えられ、それに基づいた
制御信号だけで、ミラーアレイ１０６と１０７との間に
おけるプローブ光１０２，１１０の伝搬経路が、ほぼ一
致する状態に調整できる。

【００２４】フィルタ１０１，１１２は、信号光を透過
し、可視プローブ光１０２，１１１を遮断するので、可
視プローブ光１０２，１１１がマトリクススイッチ外に
伝搬することはない。

【００２５】図２は、ミラーアレイ１０６，１０７の中
の一つのミラー２０４の構成を示す斜視図である。ミラ
ー２０４は、弾性支持梁２０２，２０３により、シリコ
ン基板２０１に支持されている。ミラー２０４上には、
反射膜２０５が形成され、孔２０６があけられている。

【００２６】単結晶シリコン基板２０１の一部をエッチ
ングにより除去して、弾性支持梁２０２，２０３を形成
する。これらの支持梁２０２，２０３がひねり弾性変形
すると、回転軸として機能する。

【００２７】個々のミラー２０４の周囲には、直交した
２本の回転軸が形成されることになり、ミラー２０４
は、所定の範囲で３次元的に自由な角度に傾斜できる。

【００２８】ミラー２０４には、５個の孔２０６があけ
られており、光が通過できる。ミラー２０４上には、反
射膜２０５が形成されているので、反射効率を高めるこ
とができる。

【００２９】図３は、ミラーアレイの中の一つのミラー
の積層構造を示す断面図である。図２のシリコン基板２
０１は、スペーサ３０１を介在させて、シリコン基板３
０５上に固定されている。シリコン基板３０５上には、
電極３０２ａ，３０２ｂと、光検出素子３０３ａ，３０
３ｂ，３０３ｃとが形成されている。

【００３０】すなわち、ミラー２０４に形成された電極
３０４に対向する位置のシリコン基板３０５上に電極３
０２ａ，３０２ｂが配置されている。

【００３１】電極３０２ａ，３０２ｂは、独立して電圧
を調整できるので、ミラー２０４に対して片側のみの電
圧を変動させると、その方向にミラー２０４を傾けるこ
とができる。

【００３２】ミラー２０４にあけられた孔２０６は、台
形状となっており、ミラー２０４が傾いた際にも、光が
有効に通過できる構成となっている。

【００３３】これらの孔２０６に対向する位置のシリコ
ン基板３０５上には、光検出素子３０３ａ，３０３ｂ，
３０３ｃが配置されており、通過してきた光を検出でき
る。

【００３４】図４は、ミラーアレイの中の一つのミラー
２０４の孔２０６ａ，２０６ｂ，２０６ｃ，２０６ｄ，
２０６ｅと光検出素子３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃ，
３０３ｄ，３０３ｅとの位置関係を示す図である。

【００３５】光検出素子３０３ａ，３０３ｂ，３０３
ｃ，３０３ｄ，３０３ｅは、孔２０６ａ，２０６ｂ，２
０６ｃ，２０６ｄ，２０６ｅの下部に配置され、孔より
広い面積をカバーする面積となっている。

【００３６】したがって、孔を通過した光ビームが当た
る位置が光の入射方向により変化した場合でも、その光
強度を正確に検出できる。

【００３７】図５は、光検出素子による光の検出状況、
および、ミラーへの光ビームの当たり方と光検出素子に
よる光強度の検出結果との関係を示す図である。ここで
は、孔を通過する光ビームを５０１ａ，５０１ｂ，５０
１ｃで表し、反射する光ビームを５０２ａ，５０２ｂで
表してある。

【００３８】光ビーム５０１ａ，５０１ｂ，５０１ｃ
は、ミラー２０４にあけられた孔２０６ａ，２０６ｂ，
２０６ｃを通過して光検出素子３０３ａ，３０３ｂ，３
０３ｃに当たる。

【００３９】孔２０６ａ，２０６ｂ，２０６ｃの深さ方
向断面は、台形となっており、ミラー２０４が傾いた場
合でも、孔側面が光ビーム５０１ａ，５０１ｂ，５０１
ｃの光検出素子３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃへの到達
を妨害することがない。

【００４０】孔２０６ａ，２０６ｂ，２０６ｃの開口面
積は、ミラー２０４のミラー面積に比較して十分に小さ
いので、光を大きく損失させることがない。

【００４１】図５の下段に示す通り、ミラー中央に光ビ
ームが当たっている正常時には、検出素子ＰＤ２の出力
が大きく、検出素子ＰＤ１の出力および検出素子ＰＤ３
の出力は、中程度で同じレベルとなる。

【００４２】光ビームが検出素子ＰＤ１寄りにずれる
と、検出素子ＰＤ１の出力と検出素子ＰＤ２の出力とが
中程度となり、検出素子ＰＤ３の出力が低くなる。

【００４３】逆に、光ビームが検出素子ＰＤ３寄りにず
れると、検出素子ＰＤ２の出力と検出素子ＰＤ３の出力
とが中程度となり、検出素子ＰＤ１の出力が低くなる。

【００４４】従来は、ミラー２０４の傾きを変えなが
ら、光マトリクススイッチから出力される光が最大とな
る位置を検出し、光ビームがミラー２０４に正常に当た
っているかどうかを判定していたので、この従来方法で
は、通信用光ビームの光信号自体の強度が変動してしま
う不具合があった。

【００４５】これに対して、本実施形態１によれば、ミ
ラー２０４の傾きを変動させることなく、光ビームの位
置を検出できるので、通信用光ビームの光信号自体の強
度を変動させることなく、ミラーの姿勢を最適に維持で
きる。

【００４６】

【実施形態２】図６は、本発明による光マトリクススイ
ッチの実施形態２の概略構造を示す図である。本実施形
態２においては、ミラーアレイ６０１とミラーアレイ６
０２との間の光路に、ダイクロイックミラー６０３を配
置し、窓６０６，６０７を介して、光位置センサ６０
４，６０５を設置してある。

【００４７】可視プローブ光１０２，１１１は、カプラ
１０３，１１０を介して、入力側光ファイバ１１４，出
力側光ファイバ１１５に結合され、コリメートレンズ１
０４，１０９により光ビームとなる。

【００４８】これらの光ビームは、ミラーアレイ６０
１，６０２に当たる位置に予め芯合わせされている。可
視プローブ光１０２と可視プローブ光１１１とは、逆方
向に進む。

【００４９】ミラーアレイ６０１，６０２は、図示しな
い駆動機構を有しており、２つの回転軸の周りに回転し
て角度を変更できる。

【００５０】フィルタ１０１，１１２は、信号光を透過
し可視プローブ光を遮断するので、可視プローブ光がマ
トリクススイッチ外に伝搬されるのを防止できる。

【００５１】入力側光ファイバ１１４の側から入射した
可視プローブ光１０２は、ミラーアレイ６０１に当たっ
て反射され、次にダイクロイックミラー６０３により反
射され、窓６０７を通過し、光位置センサ６０５に当た
る。

【００５２】光位置センサ６０５は、ダイクロイックミ
ラー６０３を対称面として、ミラーアレイ６０２と対称
の位置にあり、その面上の光ビーム位置は、ミラーアレ
イ６０２上の光ビーム位置と一対一の関係にある。

【００５３】したがって、光位置センサ６０５上の位置
とミラーアレイ６０２上の位置とを予め校正しておく
と、ミラーアレイ６０２上の光ビームの位置を正確に検
出できる。

【００５４】出力側光ファイバ１１５の側から入射した
可視プローブ光１１１は、ミラーアレイ６０２で反射さ
れ、次にダイクロイックミラー６０３により反射され、
窓６０６を通過し、光位置センサ６０４に当たる。

【００５５】光位置センサ６０４は、ダイクロイックミ
ラー６０３を対称面として、ミラーアレイ６０１と対称
の位置にあり、その面上の光ビーム位置は、ミラーアレ
イ６０１上の光ビーム位置と一対一の関係にある。

【００５６】したがって、光位置センサ６０４上の位置
とミラーアレイ６０１上の位置とを予め校正しておく
と、ミラーアレイ６０１上の光ビームの位置を正確に検
出できる。

【００５７】すなわち、２つの光位置センサ６０４，６
０５を用いて、ミラーアレイ６０１，６０２上の光ビー
ム位置を一致させれば、１組のミラーを通して光の経路
が重なり、光ビームが入力側から出力側に通過できる。

【００５８】本実施形態２の構成要素であるミラーアレ
イ６０１，６０２としては、図２に示す実施形態１の構
成に採用した孔２０６が無いものを使用する。本実施形
態２においては、孔２０６がないので、光の反射効率を
高めることができ、通信用光ビームの光信号自体の強度
を変動させることなく、ミラーの姿勢を最適に維持でき
る。

【００５９】なお、上記実施形態１において、反射膜２
０５に孔２０６を形成しない構造を採用することもでき
る。すなわち、反射膜２０５を成膜する時に反射率を制
御し、検出素子３０３ａ，３０３ｂ，３０３ｃが検出で
きる程度の光を透過させるようにすると、孔２０６を形
成しなくても、実施形態１のように、ミラー２０４の傾
きを変動させることなく、光ビームの位置を検出できる
ので、通信用光ビームの光信号自体の強度を変動させる
ことなく、ミラーの姿勢を最適に維持できる。

【００６０】

【実施形態３】図７は、本発明による光マトリクススイ
ッチの制御装置の実施形態のブロック図である。この制
御装置は、信号処理回路７０１ａ，７０１ｂと、Ａ／Ｄ
変換器７０２ａ，７０２ｂと、デジタルシグナルプロセ
ッサＤＳＰ７０３と、駆動回路アレイ７０４ａ，７０４
ｂとで構成されている。駆動回路アレイ７０４ａ，７０
４ｂは、それぞれ、ラッチ回路，Ｄ／Ａ変換器，アンプ
からなる。

【００６１】光位置センサ６０５，６０４から出力され
た位置信号は、信号処理回路７０２ａ，７０２ｂでＡ／
Ｄ変換に適した状態に処理され、Ａ／Ｄ変換器７０２
ａ，７０２ｂによりデジタル信号に変換される。

【００６２】各種タイミング管理機能と各ミラーの２つ
の軸周りの回転運動のサーボ制御処理機能とを含むデジ
タルシグナルプロセッサＤＳＰ７０３は、Ａ／Ｄ変換器
７０２ａ，７０２ｂからのデジタル信号に基づき、可視
プローブ光源の発光タイミングを管理するとともに、駆
動回路アレイ７０４ａ，７０４ｂを介して、ミラーアレ
イ６０１，６０２を駆動する。

【００６３】ミラーの制御は、一つずつタイムシェアリ
ング処理されており、制御するミラーに合わせて、その
ミラーに対応する可視プローブ光源が発光し、位置を検
出してフィードバック制御する。

【００６４】このような制御系統の構成により、通信用
光ビームの伝搬経路をモニターしつつ、ミラーの位置を
高精度に制御できる。

【００６５】

【発明の効果】本発明によれば、光の結合効率が最大に
なるミラー位置を検出する際に、ミラーの姿勢を変化さ
せて最適位置を探る必要がなく、常に安定した結合を維
持できる。

【００６６】また、入力側の光ビームの伝搬経路と出力
側の光ビームの伝搬経路とを一致させ、高効率の光結合
を実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による光マトリクススイッチの実施形態
１の概略構造を示す図である。

【図２】ミラーアレイの中の一つのミラーの構成を示す
斜視図である。

【図３】ミラーアレイの中の一つのミラーの積層構造を
示す断面図である。

【図４】ミラーアレイの中の一つのミラーと光検出素子
との位置関係を示す図である。

【図５】光検出素子による光の検出状況、および、ミラ
ーへの光ビームの当たり方と光検出素子による光強度の
検出結果との関係を示す図である。

【図６】は、本発明による光マトリクススイッチの実施
形態２の概略構造を示す図である。

【図７】本発明による光マトリクススイッチの制御装置
の実施形態のブロック図である。

【符号の説明】

１０１ フィルタ １０２ 可視プローブ光 １０３ カプラ １０４ コリメートレンズ １０５ 窓 １０６ ミラーアレイ １０７ ミラーアレイ １０８ 窓 １０９ コリメートレンズ １１０ カプラ １１１ 可視プローブ光 １１２ フィルタ １１３ 容器 １１４ 入力側光ファイバ １１５ 出力側光ファイバ ２０１ シリコン基板 ２０２ 弾性支持梁 ２０３ 弾性支持梁 ２０４ ミラー ２０５ 反射膜 ２０６ 孔 ３０１ スペーサ ３０２ 電極 ３０３ 光検出素子 ３０４ 電極 ３０５ シリコン基板 ５０１ 孔を通過する光ビーム ５０２ 反射する光ビーム ６０１ ミラーアレイ ６０２ ミラーアレイ ６０３ ダイクロイックミラー ６０４ 光位置センサ ６０５ 光位置センサ ６０６ 窓 ７０１ 信号処理回路 ７０２ Ａ／Ｄ変換器 ７０３ デジタルシグナルプロセッサＤＳＰ ７０４ 駆動回路アレイ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大槻 治明 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 (72)発明者 石川 忠明 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 Ｆターム(参考） 2H041 AA16 AB14 AC06 AZ02 AZ05

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の入力光ファイバと、前記入力光フ
   ァイバの先端に固定された第一のレンズと、２つの回転
   軸とそれぞれの回転軸の周りに独立に駆動する駆動機構
   とを有し前記第一のレンズから出射される光ビームが当
   たる位置に配列された第一の鏡と、２つの回転軸とそれ
   ぞれの回転軸の周りに独立に駆動する駆動機構とを有し
   前記第一の鏡で反射された光ビームが当たる位置に配列
   された第二の鏡と、前記第二の鏡で反射された光ビーム
   が当たる位置に配列された第二のレンズと、前記第二の
   レンズにより光ビームが集光された位置に先端が固定さ
   れた出力光ファイバとを含む光マトリクススイッチにお
   いて、 前記入力光ファイバに光結合器を介して結合され通信光
   外の光を出力側に発する光源と、前記出力光ファイバに
   光結合器を介して結合され通信光外の光を入力側に発す
   る光源とを備え、 前記第一の鏡および前記第二の鏡に複数の孔をあけ、 前記孔の近傍の前記鏡の裏面に前記通信光外の光を検出
   する光検出素子をそれぞれ配置したことを特徴とする光
   マトリクススイッチ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光マトリクススイッチ
   において、 前記鏡にあけられた複数の孔の深さ方向の断面が台形で
   あることを特徴とする光マトリクススイッチ。
3. 【請求項３】 複数の入力光ファイバと、前記入力光フ
   ァイバの先端に固定された第一のレンズと、２つの回転
   軸とそれぞれの回転軸の周りに独立に駆動する駆動機構
   とを有し前記第一のレンズから出射される光ビームが当
   たる位置に配列された第一の鏡と、２つの回転軸とそれ
   ぞれの回転軸の周りに独立に駆動する駆動機構とを有し
   前記第一の鏡で反射された光ビームが当たる位置に配列
   された第二の鏡と、前記第二の鏡で反射された光ビーム
   が当たる位置に配列された第二のレンズと、前記第二の
   レンズにより光ビームが集光された位置に先端が固定さ
   れた出力光ファイバとを含む光マトリクススイッチにお
   いて、 前記入力光ファイバに光結合器を介して結合され通信光
   外の光を出力側に発する光源と、前記出力光ファイバに
   光結合器を介して結合され通信光外の光を入力側に発す
   る光源とを備え、 前記第一の鏡および前記第二の鏡が所定の反射率の反射
   膜を有し、 前記鏡の裏面に前記反射膜を透過してきた前記通信光外
   の光を検出する複数の光検出素子を配置したことを特徴
   とする光マトリクススイッチ。
4. 【請求項４】 複数の入力光ファイバと、前記入力光フ
   ァイバの先端に固定された第一のレンズと、２つの回転
   軸とそれぞれの回転軸の周りに独立に駆動する駆動機構
   とを有し前記第一のレンズから出射される光ビームが当
   たる位置に配列された第一の鏡と、２つの回転軸とそれ
   ぞれの回転軸の周りに独立に駆動する駆動機構とを有し
   前記第一の鏡で反射された光ビームが当たる位置に配列
   された第二の鏡と、前記第二の鏡で反射された光ビーム
   が当たる位置に配列された第二のレンズと、前記第二の
   レンズにより光ビームが集光された位置に先端が固定さ
   れた出力光ファイバとを含む光マトリクススイッチにお
   いて、 前記入力光ファイバに光結合器を介して結合され通信光
   外の光を出力側に発する光源と、前記出力光ファイバに
   光結合器を介して結合され通信光外の光を入力側に発す
   る光源とを備え、 通信用光を透過し前記通信光外の光を反射する第三の鏡
   を前記第一の鏡と前記第二の鏡との間に備え、 入力側から導入された通信光外の光が前記第三の鏡で反
   射されて当たる位置に第一の光位置センサを備え、 出力側から導入された通信光外の光が前記第三の鏡で反
   射されて当たる位置に第二の光位置センサを備えたこと
   を特徴とする光マトリクススイッチ。
5. 【請求項５】 請求項１ないし４のいずれか一項に記載
   の光マトリクススイッチにおいて、 前記出力側から導入された前記通信光外の所定の波長を
   減衰させるフィルタを前記入力光ファイバの前記光結合
   器よりも遠くに備え、 前記入力側から導入された前記通信光外の所定の波長を
   減衰させるフィルタを前記出力光ファイバの前記光結合
   器よりも遠くに備えたことを特徴とする光マトリクスス
   イッチ。
6. 【請求項６】 請求項１ないし５のいずれか一項に記載
   の光マトリクススイッチにおいて、 前記通信光外の光の光源が、可視光の光源であることを
   特徴とする光マトリクススイッチ。