JP2009524109A - 光のビームステアリングおよびサンプリング装置ならびに方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本出願は、2006年1月20日出願の米国仮特許出願第60/760,521号に対する優先権を主張し、該仮特許出願は、その全体が本明細書に参考として援用される。
本開示は、概して、光学の分野、特に光学システムの制御のための方法および装置に関する。
電磁ビーム、特に光ビームを制御することは光学分野において周知である。後の制御目的のために光ビームの一部をサンプリングすることは、しばしば必要である。これは、典型的には、ある種の検出器およびフィードバックループを含む。ビームは、典型的には、その変位および角度に関して検出される。先行技術において、例えば、ビームを制御するために、そのようなシステムの中にあるレンズは時々、ステアリングミラーと結合して用いられる。典型的には、例えば、システムの中に2つのステアリングミラーおよび2つの検出器がある。1つの公知のシステムにおいて、1つの検出器が第1のステアリングミラーの傾きによるビームの変化のみを観測するように、システムが配置される。しかし次いで、第2の検出器出力信号を第2のステアリングミラーの傾きにのみに依存させることは不可能であることが知られている。換言すると、この配置は、フィードバックの点から望ましくなく、フィードバックを複雑にし、すべてのクロス結合を除去することをほとんど不可能にする。例えば、第1の検出器からノンゼロ読取り(non−zero reading)によって捕獲され、第2の検出器の読取りが変化しない状態で入力光ビームに対して位置または角度の変化が起こったとき、第1のステアリングミラーは、ノンゼロ読取りを除去するように動かされなければならない。このことは、出力ビームにおける角度の変化を引き起こし、それは、第2の検出器において検出され第2のミラーに印加される訂正信号を導く。システムが安定するように注意深く調整されるとしても、ステアリングミラーおよび検出器の相対的な位置における変化は、完全な再調整を必要とし、いかなる安定した調整も不可能な構成という結果にさえなり得る。特に、1つの検出器のみが1つのステアリングミラーの傾きによる変化を観測する配置は、挿入されたレンズの焦点距離に基づいた、ステアリングミラーと検出器との間の1つの固有の距離においてのみ可能である。これは、一般的に複雑なシステムであり、その誤差のすべてを除去すること、または、光学的なレイアウトの変更を必要とする使用現場での再構成は、残念ながら、ほとんど不可能であることが判明している。
本発明に従って、ビームステアリング/サンプリングシステムにおいてステアリングミラーを駆動するアクチュエータの動作をデカップリングするために、マトリックス反転制御技術が用いられる。ステアリングミラーアクチュエータのデカップリングはさらに、物理的な構成および再構成可能な方法を識別するための較正技術を可能にする。較正はさらに、アクチュエータに対して任意に位置を定められた場所において光ビームの位置をサンプリングする固定のサンプリングモジュールを可能にする。従って、マトリックス反転を用いて制御をデカップリングすることによって、ほとんどすべての誤差を除去する可能性を有するシステムが、工場での調整によって、および後の必要な場合には、現場での較正によって、両方で提供される。
本ビームステアリングサンプリングシステムが、2つの制御される平面の1つに関して、図1に示される。例えば、これは、x−z平面におけるシステムを描く。ステアリングミラーごとに1つづつの2つの追加のアクチュエータ、および2つの追加の検出器を含む制御ループ(図示されない)が、y−z平面における同様の制御のために提供される。単純化のために、ここでの説明は、1つのそのような平面に限定するが、もう一方の平面への拡張は、日常的手順であり、本明細書において記述される方法と同じ方法で達成される。図1におけるすべての光学素子は、従来のものであり、光学ベンチまたは他の支持に適切に取り付けられる。一実施形態において、検出器Det1、Det2は、もう一方の光学素子からの別のサポート上にある。一実施形態において、Det1、Det2は、従来の分割四分円光検出器の4分割部分から得られる。位置感知光検出器または他のタイプもまた、用いられ得る。図1に描かれる平面において、適切な精密アクチュエータA1、A2によってそれぞれが駆動されるステアリングミラーは、R1、R2である。入力光ビーム(そのビーム幅を描くための平行な破線によって示される)は、入力平面にある。ビームスプリッタBS1、BS2が提供される。主光ビーム(検出器に入射する部分から分割される)は、出力平面に供給される。ミラーR3は、検出器Det2に光を向けるように配置される。図1に定義される距離A、B、C、D、E、F、G、およびH(ここで、Dは、光軸に沿ったビームスプリッタBS1と焦点レンズL1との間の距離であり、D+Fは、同様に、ビームスプリッタBS1と焦点レンズL2との間の距離である)、L1の焦点距離f1およびL2の焦点距離f2、ミラー角度対変位結合係数T≡dz/dθに対するミラー角度、ならびにステアリングミラーR1の角度θ1およびステアリングミラーR2の角度θ2が与えられるとすると、ビーム入力位置xinおよびビーム入力角度θinの関数としての、光軸に対するビーム位置xoutおよびビーム角度θoutは、
Claims (20)
- 光のビームが入射する第1のステアリング反射器と、
該第1のステアリング反射器から反射された光が入射する第2のステアリング反射器と、
該第2のステアリング反射器から反射された光が入射する第1のビームスプリッタと、
該第1のビームスプリッタから反射された光が入射する第2のビームスプリッタと、
該第2のビームスプリッタから反射された光が入射する第1の検出器と、
該第2のビームスプリッタによって透過された光が入射する第2の検出器と
を備える装置であって、
両検出器の出力信号の関数である第1の値は該第1のステアリング反射器の状態を示し、両検出器の出力信号の関数である第2の値は該第2のステアリング反射器の状態を示す、装置。 - 前記検出器と前記ステアリング反射器との間に連結された制御器をさらに備える請求項1に記載の装置であって、該制御器は、前記第1の値および前記第2の値のそれぞれに応答して、前記第1のステアリング反射器および前記第2のステアリング反射器の状態を変化させる、装置。
- 各ステアリング反射器は、アクチュエータに連結された反射器を含む、請求項1に記載の装置。
- 各ステアリング反射器は、前記第1のアクチュータがその反射器を傾ける方向に対して実質的に直交する方向に該反射器を傾けるための、該反射器に連結された第2のアクチュエータを有する、請求項3に記載の装置。
- 前記第1のビームスプリッタによって透過される光は、前記装置の外に向けられる、請求項1に記載の装置。
- 前記第2のビームスプリッタによって前記第2の検出器に透過される光を反射するように位置を定められた第3の反射器をさらに備えている、請求項1に記載の装置。
- 前記制御器は、2つの制御ループを含み、1つの制御ループは前記第1の値および第2の値の各々に関係している、請求項2に記載の装置。
- 前記第1の値および第2の値の各々は、前記装置に入射する前記光ビームの変位および角度の関数である、請求項1に記載の装置。
- 前記制御器は、前記装置を較正する手段を含む、請求項2に記載の装置。
- 前記第1の検出器に光をフォーカスするように配置される第1のレンズと前記第2の検出器に光をフォーカスするように配置される第2のレンズとをさらに備えている、請求項1に記載の装置。
- 2つのステアリング反射器を有する光学装置を操作する方法であって、
該2つのステアリング反射器から直列に反射される光を分割する動作と、
該分割された光を2つの部分に分割する動作と、
該2回分割された光の第1の部分を検出する動作と、
該2回分割された光の第2の部分を検出する動作と、
両方の検出する動作からの出力信号の関数である第1の値を得る動作であって、該第1の値は、該第1のステアリング反射器の状態を示す、動作と、
両方の検出する動作からの出力信号の関数である第2の値を得る動作であって、該第2の値は、該第2のステアリング反射器の状態を示す、動作と
を包含する、方法。 - 前記第1の値および前記第2の値のそれぞれに応答して、前記第1のステアリング反射器および前記第2のステアリング反射器の状態を制御する動作、をさらに包含する、請求項11に記載の方法。
- アクチュエータによって各ステアリング反射器の状態を変化させる動作をさらに包含する、請求項11に記載の方法。
- 前記第1のアクチュータがその反射器を傾ける方向に対して直交する方向に前記ステアリング反射器を傾けるために、各ステアリング反射器に関係する第2のアクチュータを提供する動作をさらに包含する、請求項13に記載の方法。
- 前記最初の分割する動作から分割された光の一部分を外に向ける動作をさらに包含する、請求項11に記載の方法。
- 前記2回分割された光の第2の部分を検出する動作の前に、該2回分割された光の第2の部分を反射する動作、をさらに包含する、請求項11に記載の方法。
- 前記制御は、2つの制御ループを提供することを含み、1つの制御ループは前記第1の値および第2の値の各々に関係している、請求項12に記載の方法。
- 前記第1の値および第2の値の各々は、前記ステアリング反射器の第1に入射する光の変位および角度の関数である、請求項11に記載の方法。
- 前記光学装置を較正する動作をさらに包含する、請求項11に記載の方法。
- 前記光を検出する前に、該光をフォーカスする動作、をさらに包含する、請求項11に記載の方法。
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