JP6956019B2 - 2次元光偏向器 - Google Patents
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Description
20:制御ユニット
30:レーザ光源
1:ミラー
1a:補強リブ
2’、2”、2’’’:インナフレーム
2a、2b:内側連結部
2c、2d:外側連結部
3a、3b:半リング状圧電アクチュエータ(インナ圧電アクチュエータ)
4a、4b:トーションバー
5a、5b:フィックス部
6a、6b:圧電センサ
7:アウタフレーム
7a、7b:連結部
8a、8b:ミアンダ状圧電アクチュエータ(アウタ圧電アクチュエータ)
Px1a、Px2a、Px1b、Px2b、Psa、Psb:電極パッド
C:弛み形状部
C’:歪集中部
Claims (6)
- ミラーと、
前記ミラーを囲むインナフレームと、
前記ミラーと前記インナフレームとの間に設けられ、前記ミラーを第1の軸に沿って駆動するためのインナアクチュエータと、
前記ミラーと前記インナアクチュエータとを連結し前記第1の軸に沿って設けられたトーションバーと、
前記インナアクチュエータと前記インナフレームとを連結し前記第1の軸に沿って設けられたフィックス部と、
前記インナフレームを囲むアウタフレームと、
前記アウタフレームの第2の軸に沿った連結部と前記インナフレームの前記第2の軸に沿った外側連結部とを連結して前記インナフレームを前記第2の軸に沿って駆動するためのアウタアクチュエータと
を具備し、
前記インナフレームの前記第2の軸に沿った内側連結部は前記インナアクチュエータに連結され、
前記インナフレームの幅は前記フィックス部近傍から前記内側連結部及び前記外側連結部近傍に向って徐々に増加している2次元光偏向器。 - 前記インナフレームは前記内側連結部及び前記外側連結部近傍において前記インナ圧電アクチュエータ側に弛んだ弛み形状部を有する請求項1に記載の2次元光偏向器。
- ミラーと、
前記ミラーを囲むインナフレームと、
前記ミラーと前記インナフレームとの間に設けられ、前記ミラーを第1の軸に沿って駆動するためのインナアクチュエータと、
前記ミラーと前記インナアクチュエータとを連結し前記第1の軸に沿って設けられたトーションバーと、
前記インナアクチュエータと前記インナフレームとを連結し前記第1の軸に沿って設けられたフィックス部と、
前記インナフレームを囲むアウタフレームと、
前記アウタフレームの第2の軸に沿った連結部と前記インナフレームの前記第2の軸に沿った外側連結部とを連結して前記インナフレームを前記第2の軸に沿って駆動するためのアウタアクチュエータと
を具備し、
前記インナフレームの前記第2の軸に沿った内側連結部は前記インナアクチュエータに連結され、
前記インナフレームは前記内側連結部及び前記外側連結部近傍において前記インナ圧電アクチュエータ側に弛んだ弛み形状部を有する2次元光偏向器。 - さらに、前記アウタアクチュエータの前記フィックス部の近傍に設けられた圧電センサを具備し、
前記圧電センサの信号線を前記フィックス部上に設けた請求項1〜3のいずれかに記載の2次元光偏向器。 - 前記トーションバーは、前記ミラーを中心に前記第1の軸に沿って一方に延びる第1のトーションバーと、当該一方の方向と反対側に延びる第2のトーションバーとからなり、
前記インナアクチュエータは、前記第1のトーションバーと前記第2のトーションバーとに接続された、前記ミラーを囲む2つの半リング状圧電アクチュエータを具備し、
前記インナフレームの幅が、前記の前記半リング状圧電アクチュエータの幅よりも小さい請求項1〜4のいずれかに記載の2次元光偏向器。 - 前記インナアクチュエータと前記インナフレームとは、前記第1の軸に沿って延びるフィックス部と、前記第2の軸に沿って延びる連結部により連結されており、
前記アウタアクチュエータはミアンダ状圧電アクチュエータを具備する請求項1〜5のいずれかに記載の2次元光偏向器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018009514A JP6956019B2 (ja) | 2018-01-24 | 2018-01-24 | 2次元光偏向器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018009514A JP6956019B2 (ja) | 2018-01-24 | 2018-01-24 | 2次元光偏向器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019128432A JP2019128432A (ja) | 2019-08-01 |
JP6956019B2 true JP6956019B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=67472567
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018009514A Active JP6956019B2 (ja) | 2018-01-24 | 2018-01-24 | 2次元光偏向器 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6956019B2 (ja) |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014126725A (ja) * | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Funai Electric Co Ltd | 走査ミラー装置 |
JP6606865B2 (ja) * | 2015-05-29 | 2019-11-20 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置及びその製造方法、光走査制御装置 |
JP2017207630A (ja) * | 2016-05-18 | 2017-11-24 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
-
2018
- 2018-01-24 JP JP2018009514A patent/JP6956019B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
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JP2019128432A (ja) | 2019-08-01 |
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