JP5444968B2 - アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 - Google Patents
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Description
前記駆動対象物(30)を前記回転軸(X)に沿って両側から支持する1対の支持梁(40、40a、41、42)と、
前記駆動対象物(30)及び前記1対の支持梁(40、40a、41、42)を、前記回転軸(X)と直交する方向の両側から挟むように配置された1対の可動枠(60、61、62)と、
該可動枠(60、61、62)に、曲げ振動を付与する駆動源(20、20a、20b、25〜28)と、
前記1対の可動枠(60)と前記支持梁(40、40a、41、42)の先端部を、梁構造で連結し、前記曲げ振動をねじれ振動に変換して前記支持梁(40、40a、41、42)に伝達する1対の連結部(50、50a、51、52)と、を含み、
前記支持梁(40、40a、41、42)の前記先端部は、前記可動枠(60、61、62)の前記回転軸方向の幅よりも外側まで延在し、
前記連結部(50、50a、51、52)は、前記先端部から前記回転軸と交差する方向に両側に延びて、前記可動枠(60、61、62)と連結する錨形の前記梁構造を有することを特徴とする。
前記駆動対象物(30)と前記支持梁(40、40a、41、42)の連結箇所(45)に生じる角と、前記支持梁(40、40a、41、42)と前記連結部(50、50a、51、52)の連結箇所(55)に生じる角と、前記連結部(50、50a、51、52)と前記可動枠(60、61、62)の連結箇所(65)に生じる角とが、丸められていることを特徴とする。
前記駆動対象物(30)は、ミラー(31)であることを特徴とする。
光を該アクチュエータに向けて発射する光源(130)とを備え、
該アクチュエータのミラー(31)を傾動駆動させることにより、該ミラー(31)により反射された前記光を走査させることを特徴とする光走査装置。
11 シリコン基板
12、14 SiO2
13 Si活性層
15 梁
20、20a、20b 駆動源
21 圧電素子
22 圧電体
23、24 電極
30 駆動対象物
31 ミラー
40、40a、40b、40c、41、41a、42、42a 支持梁
45、45a、46、55、55a、65、75 連結箇所
50、50a、50b、50c、51、51a、52、52a 連結部
53 駆動梁側連結部
54 支持梁側連結部
60、61、62 可動枠
70、71、72、73 駆動梁
80、80a、80b、81、81a、81b 共振駆動部
90 非共振駆動源
100、101 可動部
110、111 固定枠
120、121 圧電ミラー
130 レーザダイオード
140 コリメータレンズ
150 CPU
160、170、171 ドライバIC
200 プロジェクタ
210 スクリーン
Claims (4)
- 駆動対象物を回転軸周りに傾動駆動させるアクチュエータであって、
前記駆動対象物を前記回転軸に沿って両側から支持する1対の支持梁と、
前記駆動対象物及び前記1対の支持梁を、前記回転軸と直交する方向の両側から挟むように配置された1対の可動枠と、
該可動枠に、曲げ振動を付与する駆動源と、
前記1対の可動枠と前記支持梁の先端部を、複数の梁を含む梁構造で連結し、前記曲げ振動をねじれ振動に変換して前記支持梁に伝達する1対の連結部と、を含み、
前記支持梁の前記先端部は、前記可動枠の前記回転軸方向の幅よりも外側まで延在し、
前記連結部は、前記先端部から前記回転軸と交差する方向に両側に延びて、前記可動枠と連結する錨形の前記梁構造を有する
ことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記駆動対象物と前記支持梁の連結箇所に生じる角と、前記支持梁と前記連結部の連結箇所に生じる角と、前記連結部と前記可動枠の連結箇所に生じる角とが、丸められていることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
- 前記駆動対象物は、ミラーであることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。
- 請求項3に記載のアクチュエータと、
光を該アクチュエータに向けて発射する光源とを備え、
該アクチュエータのミラーを傾動駆動させることにより、該ミラーにより反射された前記光を走査させることを特徴とする光走査装置。
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