JP2010288435A - アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 - Google Patents
アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010288435A JP2010288435A JP2009205316A JP2009205316A JP2010288435A JP 2010288435 A JP2010288435 A JP 2010288435A JP 2009205316 A JP2009205316 A JP 2009205316A JP 2009205316 A JP2009205316 A JP 2009205316A JP 2010288435 A JP2010288435 A JP 2010288435A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive
- rotation axis
- actuator
- actuator according
- movable frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 19
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract description 38
- 238000005549 size reduction Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 49
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 47
- 230000008859 change Effects 0.000 description 19
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 11
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 7
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 5
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 4
- 238000000708 deep reactive-ion etching Methods 0.000 description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
- G02B7/1821—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors for rotating or oscillating mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/12—Constructional details
- H02N2/123—Mechanical transmission means, e.g. for gearing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Micromachines (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
【解決手段】駆動対象物30を回転軸Xに沿って両側から支持する1対の支持梁40、40aと、
前記駆動対象物30及び前記1対の支持梁40、40a、41、42を、前記回転軸Xと直交する方向の両側から挟むように配置された1対の可動枠60、61、62と、
該可動枠60、61、62に、曲げ振動を付与する駆動源20、20a、20b、25〜28と、
前記1対の可動枠60と前記支持梁40、40a、41、42の先端部を、複数の梁15を含む梁構造で連結し、前記曲げ振動をねじれ振動に変換して前記支持梁40、40a、41、42に伝達する1対の連結部50、50a、51、52と、を含むことを特徴とする。
【選択図】図7
Description
前記駆動対象物(30)を前記回転軸(X)に沿って両側から支持する1対の支持梁(40、40a、41、42)と、
前記駆動対象物(30)及び前記1対の支持梁(40、40a、41、42)を、前記回転軸(X)と直交する方向の両側から挟むように配置された1対の可動枠(60、61、62)と、
該可動枠(60、61、62)に、曲げ振動を付与する駆動源(20、20a、20b、25〜28)と、
前記1対の可動枠(60)と前記支持梁(40、40a、41、42)の先端部を、複数の梁(15)を含む梁構造で連結し、前記曲げ振動をねじれ振動に変換して前記支持梁(40、40a、41、42)に伝達する1対の連結部(50、50a、51、52)と、を含むことを特徴とする。
前記支持梁(40、40a、41、42)の前記先端部は、前記可動枠(60、61、62)の前記回転軸(X)方向の幅よりも外側まで延在し、
前記連結部(50、50a、51、52)は、前記先端部から前記回転軸(X)と直交する方向に両側に延びる梁(15)と、該梁(15)の先端と前記可動枠(60、61、62)とを前記回転軸(X)方向に延在して連結する錨形の前記梁構造を有することを特徴とする。
前記可動枠(60、61、62)に、前記回転軸(X)に直交する方向の両側から前記可動枠(60、61、62)を挟むように連結された1対の駆動梁(70、71、72)を有し、
該1対の駆動梁(70、71、72)は、前記駆動源(20、20a、20b、25、26)を備えることを特徴とする。
前記駆動源(20、20a、20b、25〜28)は、電圧の印加により伸縮する圧電素子(21)であり、
前記1対の駆動梁(70、71、72)の前記圧電素子(21)には、対となる駆動梁が互いに逆方向に変位する電圧が印加されることを特徴とする。
前記1対の可動枠(60、61、62)が、前記圧電素子(21)を更に有し、
連結された同じ側の前記駆動梁(70、71、72)と前記可動枠(60、61、62)の前記圧電素子(21)には、逆方向に変位する電圧が印加されることを特徴とする。
前記1対の支持梁(40、40a、41、42)は、前記回転軸(X)に沿って2本の支持梁(41、42)が平行に延在して片側の前記支持梁(40a)を構成し、
前記連結部(50a、51、52)は、前記2本の支持梁(41、42)の各々を、前記1対の可動枠(60、61、62)の近い方に連結することを特徴とする。
前記1対の可動枠(60、61、62)が、前記圧電素子(21)を更に有し、
連結された同じ側の前記駆動梁(70、71、72)と前記可動枠(60、61、62)の前記圧電素子(21)には、互いに同一方向に変位する電圧が印加されることを特徴とする。
前記駆動対象物(30)と前記支持梁(40、40a、41、42)の連結箇所(45)に生じる角と、前記支持梁(40、40a、41、42)と前記連結部(50、50a、51、52)の連結箇所(55)に生じる角と、前記連結部(50、50a、51、52)と前記可動枠(60、61、62)の連結箇所(65)に生じる角とが、丸められていることを特徴とする。
前記可動枠(60、61、62)と前記駆動梁(70、71、72)の連結箇所(75)に生じる角が、丸められていることを特徴とする。
前記圧電素子(21)は、共振駆動により振動を発生させることを特徴とする。
前記駆動対象物(30)と前記可動枠(60、61、62)が、同一の方向に傾く共振モードで前記共振駆動を行うことを特徴とする。
第12の発明に係るアクチュエータは、駆動対象物(30)を回転軸(X)周りに傾動駆動させるアクチュエータであって、
前記駆動対象物(30)を前記回転軸(X)に沿って両側から支持する1対の支持梁(40b、40c)と、
該支持梁(40b、40c)に連結され、前記回転軸(X)に垂直な方向に延在する支持梁側連結部(54)と、該支持梁側連結部(54)に連結され、前記回転軸(X)と平行に前記駆動対象物(30)側に向かって延びる駆動梁側連結部(53)とを含む連結部(50b、50c)と、
前記駆動梁側連結部(53)に連結され、前記回転軸(X)と垂直な方向の両側から、前記駆動対象物(30)を挟むように配置され、前記回転軸(X)の両側で、上下逆方向に反る変形をすることにより、前記駆動梁側連結部(53)に傾動力を付与する駆動梁(73)と、を含むことを特徴とする。
前記支持梁(40c)は、前記回転軸(X)に沿って2つに分離された構造を有し、
前記支持梁側連結部(54)は、前記回転軸(X)から離れる方向に延びることを特徴とする。
前記支持梁側連結部(54)が前記駆動梁側連結部(53)と連結されている位置は、前記回転軸(X)と垂直な方向において、前記駆動対象物(30)の端部と同じか該端部よりも外側にあることを特徴とする。
前記駆動対象物(30)は、ミラー(31)であることを特徴とする。
光を該アクチュエータに向けて発射する光源(130)とを備え、
該アクチュエータのミラー(31)を傾動駆動させることにより、該ミラー(31)により反射された前記光を走査させることを特徴とする。
光を発射する光源(130)と、
該光源からの前記光をミラー(31)により反射し、該ミラー(31)を第1の回転軸(X)の軸周りに傾動駆動させる第1のアクチュエータ(120)と、
該第1のアクチュエータからの前記光をミラー(31)により反射し、該ミラー(31)を第2の回転軸(Y)の軸周りに傾動駆動させる第2のアクチュエータ(121)とを有し、
該第2のアクチュエータ(121)からの前記光を前記スクリーン(210)上に走査させ、映像を形成することを特徴とする。
11 シリコン基板
12、14 SiO2
13 Si活性層
15 梁
20、20a、20b 駆動源
21 圧電素子
22 圧電体
23、24 電極
30 駆動対象物
31 ミラー
40、40a、40b、40c、41、41a、42、42a 支持梁
45、45a、46、55、55a、65、75 連結箇所
50、50a、50b、50c、51、51a、52、52a 連結部
53 駆動梁側連結部
54 支持梁側連結部
60、61、62 可動枠
70、71、72、73 駆動梁
80、80a、80b、81、81a、81b 共振駆動部
90 非共振駆動源
100、101 可動部
110、111 固定枠
120、121 圧電ミラー
130 レーザダイオード
140 コリメータレンズ
150 CPU
160、170、171 ドライバIC
200 プロジェクタ
210 スクリーン
Claims (17)
- 駆動対象物を回転軸周りに傾動駆動させるアクチュエータであって、
前記駆動対象物を前記回転軸に沿って両側から支持する1対の支持梁と、
前記駆動対象物及び前記1対の支持梁を、前記回転軸と直交する方向の両側から挟むように配置された1対の可動枠と、
該可動枠に、曲げ振動を付与する駆動源と、
前記1対の可動枠と前記支持梁の先端部を、複数の梁を含む梁構造で連結し、前記曲げ振動をねじれ振動に変換して前記支持梁に伝達する1対の連結部と、を含むことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記支持梁の前記先端部は、前記可動枠の前記回転軸方向の幅よりも外側まで延在し、
前記連結部は、前記先端部から前記回転軸と直交する方向に両側に延びる梁と、該梁の先端と前記可動枠とを前記回転軸方向に延在して連結する錨形の前記梁構造を有することを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。 - 前記可動枠に、前記回転軸に直交する方向の両側から前記可動枠を挟むように連結された1対の駆動梁を有し、
該1対の駆動梁は、前記駆動源を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のアクチュエータ。 - 前記駆動源は、電圧の印加により伸縮する圧電素子であり、
前記1対の駆動梁の前記圧電素子には、互いに異なる方向に変位する印加されることを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータ。 - 前記1対の可動枠が、前記圧電素子を更に有し、
連結された同じ側の前記駆動梁と前記可動枠の前記圧電素子には、互いに逆方向に変位する電圧が印加されることを特徴とする請求項4に記載のアクチュエータ。 - 前記1対の支持梁は、前記回転軸に沿って2本の支持梁が平行に延在して片側の前記支持梁を構成し、
前記連結部は、前記2本の支持梁の各々を、前記1対の可動枠の近い方に連結することを特徴とする請求項3又は4のいずれか一項に記載のアクチュエータ。 - 前記1対の可動枠が、前記圧電素子を更に有し、
連結された同じ側の前記駆動梁と前記可動枠の前記圧電素子には、互いに同方向に変位する電圧が印加されることを特徴とする請求項6に記載のアクチュエータ。 - 前記駆動対象物と前記支持梁の連結箇所に生じる角と、前記支持梁と前記連結部の連結箇所に生じる角と、前記連結部と前記可動枠の連結箇所に生じる角とが、丸められていることを特徴とする請求項3乃至7のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記可動枠と前記駆動梁の連結箇所に生じる角が、丸められていることを特徴とする請求項3乃至8のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記圧電素子は、共振駆動により振動を発生させることを特徴とする請求項3乃至9のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 前記駆動対象物と前記可動枠が、同一の方向に傾く共振モードで前記共振駆動を行うことを特徴とする請求項10に記載のアクチュエータ。
- 駆動対象物を回転軸周りに傾動駆動させるアクチュエータであって、
前記駆動対象物を前記回転軸に沿って両側から支持する1対の支持梁と、
該支持梁に連結され、前記回転軸に垂直な方向に延在する支持梁側連結部と、該支持梁側連結部に連結され、前記回転軸と平行に前記駆動対象物側に向かって延びる駆動梁側連結部とを含む連結部と、
前記駆動梁側連結部に連結され、前記回転軸と垂直な方向の両側から、前記駆動対象物を挟むように配置され、前記回転軸の両側で、上下逆方向に反る変形をすることにより、前記駆動梁側連結部に傾動力を付与する駆動梁と、を含むことを特徴とするアクチュエータ。 - 前記支持梁は、前記回転軸に沿って2つに分離された構造を有し、
前記支持梁側連結部は、前記回転軸から離れる方向に延びることを特徴とする請求項12に記載のアクチュエータ。 - 前記支持梁側連結部が前記駆動梁側連結部と連結されている位置は、前記回転軸と垂直な方向において、前記駆動対象物の端部と同じか該端部よりも外側にあることを特徴とする請求項12又は13に記載のアクチュエータ。
- 前記駆動対象物は、ミラーであることを特徴とする請求項1乃至14のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
- 請求項15に記載のアクチュエータと、
光を該アクチュエータに向けて発射する光源とを備え、
該アクチュエータのミラーを傾動駆動させることにより、該ミラーにより反射された前記光を走査させることを特徴とする光走査装置。 - 請求項16に記載のアクチュエータを複数有し、スクリーンに映像を映し出す光学走査装置であって、
光を発射する光源と、
該光源からの前記光をミラーにより反射し、該ミラーを第1の回転軸の軸周りに傾動駆動させる第1のアクチュエータと、
該第1のアクチュエータからの前記光をミラーにより反射し、該ミラーを第2の回転軸の軸周りに傾動駆動させる第2のアクチュエータとを有し、
該第2のアクチュエータからの前記光を前記スクリーン上に走査させ、映像を形成することを特徴とする光走査装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009205316A JP5444968B2 (ja) | 2009-05-11 | 2009-09-04 | アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 |
PCT/JP2010/057096 WO2010131557A1 (ja) | 2009-05-11 | 2010-04-21 | アクチュエータ及びアクチュエータを用いた光走査装置 |
CN201410083527.5A CN103840704B (zh) | 2009-05-11 | 2010-04-21 | 致动器及使用致动器的光扫描装置 |
CN201080020675.2A CN102422521B (zh) | 2009-05-11 | 2010-04-21 | 致动器及使用致动器的光扫描装置 |
US13/319,380 US8610983B2 (en) | 2009-05-11 | 2010-04-21 | Actuator and optical scanning device using actuator |
US14/031,162 US8681404B2 (en) | 2009-05-11 | 2013-09-19 | Actuator and optical scanning device using actuator |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009114317 | 2009-05-11 | ||
JP2009114317 | 2009-05-11 | ||
JP2009205316A JP5444968B2 (ja) | 2009-05-11 | 2009-09-04 | アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013190157A Division JP5720747B2 (ja) | 2009-05-11 | 2013-09-13 | アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010288435A true JP2010288435A (ja) | 2010-12-24 |
JP2010288435A5 JP2010288435A5 (ja) | 2012-09-27 |
JP5444968B2 JP5444968B2 (ja) | 2014-03-19 |
Family
ID=43084934
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009205316A Active JP5444968B2 (ja) | 2009-05-11 | 2009-09-04 | アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8610983B2 (ja) |
JP (1) | JP5444968B2 (ja) |
CN (2) | CN103840704B (ja) |
WO (1) | WO2010131557A1 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012203079A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP2014204456A (ja) * | 2013-04-01 | 2014-10-27 | 富士電機株式会社 | 回転型アクチュエータ |
WO2015146144A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 住友精密工業株式会社 | 駆動装置 |
JP2015187678A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-29 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイスおよび画像表示装置 |
CN105305877A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-02-03 | 西安交通大学 | 采用轴向限位—径向箝位机构的尺蠖式压电作动器及方法 |
WO2016043028A1 (ja) * | 2014-09-18 | 2016-03-24 | ミツミ電機株式会社 | 容量性負荷駆動回路および光走査装置 |
JPWO2019031420A1 (ja) * | 2017-08-10 | 2020-07-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー装置 |
JPWO2020218585A1 (ja) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | ||
JP2020185514A (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
DE112016001732B4 (de) | 2015-04-15 | 2022-01-05 | Denso Corporation | Optische abtastvorrichtung |
WO2023176563A1 (ja) * | 2022-03-18 | 2023-09-21 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板 |
JP7425730B2 (ja) | 2018-08-10 | 2024-01-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置、及びアクチュエータ装置の製造方法 |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5736766B2 (ja) * | 2010-12-22 | 2015-06-17 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
WO2013111265A1 (ja) * | 2012-01-24 | 2013-08-01 | パイオニア株式会社 | アクチュエータ |
US9291815B2 (en) * | 2012-05-07 | 2016-03-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Optical reflection element |
JP5967145B2 (ja) * | 2014-06-24 | 2016-08-10 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
US9841163B1 (en) * | 2015-04-29 | 2017-12-12 | Cooper Technologies Company | Light redirecting flange in luminaires |
IT201600079604A1 (it) * | 2016-07-28 | 2018-01-28 | St Microelectronics Srl | Struttura oscillante con attuazione piezoelettrica, sistema e metodo di fabbricazione |
JP6814076B2 (ja) | 2017-03-14 | 2021-01-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光モジュール |
JP6455547B2 (ja) * | 2017-05-24 | 2019-01-23 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
JP7066982B2 (ja) * | 2017-05-30 | 2022-05-16 | 船井電機株式会社 | 光走査装置 |
JP6924090B2 (ja) | 2017-07-21 | 2021-08-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
KR20200095458A (ko) | 2017-12-01 | 2020-08-10 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 액추에이터 장치 |
JP6585147B2 (ja) * | 2017-12-01 | 2019-10-02 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置 |
JP7132481B2 (ja) * | 2018-02-23 | 2022-09-07 | ミツミ電機株式会社 | アクチュエータ及び光走査装置 |
CN108428786B (zh) * | 2018-03-26 | 2020-10-02 | 浙江宝纺印染有限公司 | 一种微角度驱动装置的制备方法 |
CN108494284B (zh) * | 2018-03-26 | 2020-09-18 | 徐明秀 | 一种微角度驱动装置的制备方法 |
CN108614353B (zh) * | 2018-05-10 | 2020-08-04 | 西安交通大学 | 基于离子交换聚合金属材料的二维偏转解耦机构及其偏转方法 |
CN112673487B (zh) * | 2018-09-05 | 2024-02-09 | 贝洱海拉温控系统有限公司 | 带触觉反馈的车辆操作单元 |
US11221478B2 (en) | 2019-04-15 | 2022-01-11 | Microsoft Technology Licensing, Llc | MEMS scanner |
JP7297538B2 (ja) * | 2019-06-06 | 2023-06-26 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及び製造方法 |
CN112165273B (zh) * | 2020-09-24 | 2021-11-30 | 南京工程学院 | 基于同向偏心约束和斜压电陶瓷的耦合模态型超声波电机 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007310196A (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Konica Minolta Holdings Inc | 光スキャナ及び走査型プロジェクタ |
WO2009028152A1 (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-05 | Panasonic Corporation | 圧電アクチュエータおよびこれを用いた光学反射素子および圧電駆動装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7446911B2 (en) | 2002-11-26 | 2008-11-04 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Optical scanning apparatus and image forming apparatus |
JP3956933B2 (ja) | 2002-11-26 | 2007-08-08 | ブラザー工業株式会社 | 光走査装置および画像形成装置 |
JP4092283B2 (ja) * | 2003-11-17 | 2008-05-28 | スタンレー電気株式会社 | 2次元光スキャナ及び光学装置 |
US7442918B2 (en) * | 2004-05-14 | 2008-10-28 | Microvision, Inc. | MEMS device having simplified drive |
US7535619B2 (en) * | 2005-04-27 | 2009-05-19 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Discharge of MEM devices having charge induced via focused beam to enter different states |
-
2009
- 2009-09-04 JP JP2009205316A patent/JP5444968B2/ja active Active
-
2010
- 2010-04-21 US US13/319,380 patent/US8610983B2/en active Active
- 2010-04-21 WO PCT/JP2010/057096 patent/WO2010131557A1/ja active Application Filing
- 2010-04-21 CN CN201410083527.5A patent/CN103840704B/zh active Active
- 2010-04-21 CN CN201080020675.2A patent/CN102422521B/zh active Active
-
2013
- 2013-09-19 US US14/031,162 patent/US8681404B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007310196A (ja) * | 2006-05-19 | 2007-11-29 | Konica Minolta Holdings Inc | 光スキャナ及び走査型プロジェクタ |
WO2009028152A1 (ja) * | 2007-08-27 | 2009-03-05 | Panasonic Corporation | 圧電アクチュエータおよびこれを用いた光学反射素子および圧電駆動装置 |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012203079A (ja) * | 2011-03-24 | 2012-10-22 | Stanley Electric Co Ltd | 光偏向器 |
JP2014204456A (ja) * | 2013-04-01 | 2014-10-27 | 富士電機株式会社 | 回転型アクチュエータ |
JP2015187678A (ja) * | 2014-03-27 | 2015-10-29 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイスおよび画像表示装置 |
WO2015146144A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2015-10-01 | 住友精密工業株式会社 | 駆動装置 |
JPWO2015146144A1 (ja) * | 2014-03-28 | 2017-04-13 | 住友精密工業株式会社 | 駆動装置 |
WO2016043028A1 (ja) * | 2014-09-18 | 2016-03-24 | ミツミ電機株式会社 | 容量性負荷駆動回路および光走査装置 |
US10234679B2 (en) | 2014-09-18 | 2019-03-19 | Mitsumi Electric Co., Ltd. | Capacitive-load driver circuit and optical scanner |
DE112016001732B4 (de) | 2015-04-15 | 2022-01-05 | Denso Corporation | Optische abtastvorrichtung |
CN105305877A (zh) * | 2015-10-30 | 2016-02-03 | 西安交通大学 | 采用轴向限位—径向箝位机构的尺蠖式压电作动器及方法 |
JPWO2019031420A1 (ja) * | 2017-08-10 | 2020-07-09 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー装置 |
JP7229160B2 (ja) | 2017-08-10 | 2023-02-27 | 浜松ホトニクス株式会社 | ミラー装置 |
US11733511B2 (en) | 2017-08-10 | 2023-08-22 | Hamamatsu Photonics K.K. | Mirror device |
JP7425730B2 (ja) | 2018-08-10 | 2024-01-31 | 浜松ホトニクス株式会社 | アクチュエータ装置、及びアクチュエータ装置の製造方法 |
US11970389B2 (en) | 2018-08-10 | 2024-04-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Actuator device and method for manufacturing actuator device |
JPWO2020218585A1 (ja) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | ||
WO2020218585A1 (ja) * | 2019-04-26 | 2020-10-29 | 富士フイルム株式会社 | マイクロミラーデバイス |
JP7209082B2 (ja) | 2019-04-26 | 2023-01-19 | 富士フイルム株式会社 | マイクロミラーデバイス |
JP2020185514A (ja) * | 2019-05-13 | 2020-11-19 | 株式会社村田製作所 | 振動装置 |
WO2023176563A1 (ja) * | 2022-03-18 | 2023-09-21 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102422521A (zh) | 2012-04-18 |
WO2010131557A1 (ja) | 2010-11-18 |
US20120062970A1 (en) | 2012-03-15 |
CN102422521B (zh) | 2014-09-03 |
US8610983B2 (en) | 2013-12-17 |
US20140016170A1 (en) | 2014-01-16 |
CN103840704A (zh) | 2014-06-04 |
JP5444968B2 (ja) | 2014-03-19 |
US8681404B2 (en) | 2014-03-25 |
CN103840704B (zh) | 2016-09-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5444968B2 (ja) | アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 | |
JP5509742B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 | |
US8654426B2 (en) | Optical scanning device | |
EP2277076B1 (en) | Induced resonance comb drive scanner | |
US9519137B2 (en) | Optical deflector including inner frame with circumferential rib and branch ribs | |
JP5310566B2 (ja) | マイクロスキャナ装置およびマイクロスキャナ装置の制御方法 | |
JP5292880B2 (ja) | 画像表示装置 | |
JP6333079B2 (ja) | 光スキャナ | |
JP6024269B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2010134208A (ja) | 振動ミラー素子 | |
EP2749526A1 (en) | Scanning mirror device | |
US20140198260A1 (en) | Electronic device having a projector function and a vibrating mirror element | |
JP7121258B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2021026154A (ja) | 光偏向器、光走査システム、画像投影装置、画像形成装置、レーザレーダ | |
JP2011069954A (ja) | 光スキャナ | |
WO2010131556A1 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
JP5720747B2 (ja) | アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 | |
JP2005326465A (ja) | 光偏向器 | |
JP6648443B2 (ja) | 光偏向器、2次元画像表示装置、光走査装置及び画像形成装置 | |
JP6956019B2 (ja) | 2次元光偏向器 | |
JP2012113043A (ja) | 光走査素子、および該光走査素子を備えた画像表示装置 | |
WO2023281993A1 (ja) | 光偏向器 | |
JP2014089252A (ja) | 光走査装置 | |
JP2012073373A (ja) | マイクロスキャナおよびそれを備えた光学機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120806 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120806 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120806 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130716 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130913 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5444968 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |