JP2010288435A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するため、第１の発明に係るアクチュエータは、駆動対象物（３０、３１）を回転軸（Ｘ）周りに傾動駆動させるアクチュエータであって、
前記駆動対象物（３０）を前記回転軸（Ｘ）に沿って両側から支持する１対の支持梁（４０、４０ａ、４１、４２）と、
前記駆動対象物（３０）及び前記１対の支持梁（４０、４０ａ、４１、４２）を、前記回転軸（Ｘ）と直交する方向の両側から挟むように配置された１対の可動枠（６０、６１、６２）と、
該可動枠（６０、６１、６２）に、曲げ振動を付与する駆動源（２０、２０ａ、２０ｂ、２５〜２８）と、
前記1対の可動枠（６０）と前記支持梁（４０、４０ａ、４１、４２）の先端部を、梁構造で連結し、前記曲げ振動をねじれ振動に変換して前記支持梁（４０、４０ａ、４１、４２）に伝達する1対の連結部（５０、５０ａ、５１、５２）と、を含むことを特徴とする。

第３の発明は、第１又は第２の発明に係るアクチュエータにおいて、
前記可動枠（６０、６１、６２）に、前記回転軸（Ｘ）に直交する方向の両側から前記可動枠（６０、６１、６２）を挟むように連結され、前記駆動対象物を支持する複数の梁（７０、７１、７２）を有し、
該複数の梁（７０、７１、７２）は、前記駆動対象物を前記回転軸と直交する軸周りに傾動駆動する非共振駆動源を有し、
前記１対の可動枠は、前記駆動源を有し、該駆動源は共振駆動源であることを特徴とする。

第４の発明は、第３の発明に係るアクチュエータにおいて、
前記共振駆動源（９０）及び非共振駆動源（２０、２０ａ、２０ｂ、２５〜２８）は、電圧の印加により伸縮する圧電素子（２１）であり、
前記前記圧電素子（２１）には、各々の駆動源において、互いに異なる方向に変位する電圧が印加されることを特徴とする。

第５の発明は、第１〜４のいずれかの発明に係るアクチュエータにおいて、
前記駆動対象物（３０）と前記支持梁（４０、４０ａ、４１、４２）の連結箇所（４５）に生じる角と、前記支持梁（４０、４０ａ、４１、４２）と前記連結部（５０、５０ａ、５１、５２）の連結箇所（５５）に生じる角と、前記連結部（５０、５０ａ、５１、５２）と前記可動枠（６０、６１、６２）の連結箇所（６５）に生じる角とが、丸められていることを特徴とする。

第６の発明に係るアクチュエータは、駆動対象物（３０）を回転軸（Ｘ）周りに傾動
駆動させるアクチュエータであって、
前記駆動対象物（３０）を前記回転軸（Ｘ）に沿って両側から支持する１対の支持梁（
４０ｂ、４０ｃ）と、
該支持梁（４０ｂ、４０ｃ）に連結され、前記回転軸（Ｘ）に垂直な方向に延在する支
持梁側連結部（５４）と、該支持梁側連結部（５４）に連結され、前記回転軸（Ｘ）と平
行に前記駆動対象物（３０）側に向かって延びる駆動梁側連結部（５３）とを含む連結部
（５０ｂ、５０ｃ）と、
前記駆動梁側連結部（５３）に連結され、前記回転軸（Ｘ）と垂直な方向の両側から、
前記駆動対象物（３０）を挟むように配置され、前記回転軸（Ｘ）の両側で、上下逆方向
に反る変形をすることにより、前記駆動梁側連結部（５３）を介して前記駆動対象物に傾動力を付与する駆動梁（７３）と、を含むことを特徴とする。

第７の発明は、第１〜６のいずれかの発明に係るアクチュエータにおいて、
前記駆動対象物（３０）は、ミラー（３１）であることを特徴とする。

第８の発明に係る光走査装置（２００）は、第７の発明に係るアクチュエータと、
光を該アクチュエータに向けて発射する光源（１３０）とを備え、
該アクチュエータのミラー（３１）を傾動駆動させることにより、該ミラー（３１）により反射された前記光を走査させることを特徴とする光走査装置。

Claims (8)

1. 駆動対象物を回転軸周りに傾動駆動させるアクチュエータであって、
   前記駆動対象物を前記回転軸に沿って両側から支持する１対の支持梁と、
   前記駆動対象物及び前記１対の支持梁を、前記回転軸と直交する方向の両側から挟むように配置された１対の可動枠と、
   該可動枠に、曲げ振動を付与する駆動源と、
   前記1対の可動枠と前記支持梁の先端部を、梁構造で連結し、前記曲げ振動をねじれ振動に変換して前記支持梁に伝達する1対の連結部と、を含むことを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記支持梁の前記先端部は、前記可動枠の前記回転軸方向の幅よりも外側まで延在し、
   前記連結部は、前記先端部から前記回転軸と直交する方向に両側に延びる梁と、該梁の先端と前記可動枠とを前記回転軸方向に延在して連結する錨形の前記梁構造を有することを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記可動枠に、前記回転軸に直交する方向の両側から前記可動枠を挟むように連結され、前記駆動対象物を支持する複数の梁を有し、
   該複数の梁は、前記駆動対象物を前記回転軸と直交する軸周りに傾動駆動する非共振駆動源を有し、
   前記１対の可動枠は、前記駆動源を有し、該駆動源は共振駆動源であることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ。
4. 前記共振駆動源及び非共振駆動源は、電圧の印加により伸縮する圧電素子であり、
   前記圧電素子には、各々の駆動源において、互いに異なる方向に変位する電圧が印加されることを特徴とする請求項３に記載のアクチュエータ。
5. 前記駆動対象物と前記支持梁の連結箇所に生じる角と、前記支持梁と前記連結部の連結箇所に生じる角と、前記連結部と前記可動枠の連結箇所に生じる角とが、丸められていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
6. 駆動対象物を回転軸周りに傾動駆動させるアクチュエータであって、
   前記駆動対象物を前記回転軸に沿って両側から支持する１対の支持梁と、
   該支持梁に連結され、前記回転軸に垂直な方向に延在する支持梁側連結部と、該支持梁側連結部に連結され、前記回転軸と平行に前記駆動対象物側に向かって延びる駆動梁側連結部とを含む連結部と、
   前記駆動梁側連結部に連結され、前記回転軸と垂直な方向の両側から、前記駆動対象物を挟むように配置され、前記回転軸の両側で、上下逆方向に反る変形をすることにより、
   前記駆動梁側連結部を介して前記駆動対象物に傾動力を付与する駆動梁と、を含むことを特徴とするアクチュエータ。
7. 前記駆動対象物は、ミラーであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
8. 請求項７に記載のアクチュエータと、
   光を該アクチュエータに向けて発射する光源とを備え、
   該アクチュエータのミラーを傾動駆動させることにより、該ミラーにより反射された前
   記光を走査させることを特徴とする光走査装置。