JP2011061881A5 - - Google Patents

Description

上記目的を達成するため、第１の発明に係る圧電アクチュエータ（１１０、１１１、１１２）は、駆動対象物（３０、３１）を軸（Ｘ）周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータ（１１０、１１１、１１２）であって、
前記駆動対象物（３０、３１）を平面的に囲むとともに、前記駆動対象物（３０、３１）が連結されて前記駆動対象物を連結支持する可動枠（７０）と、
弾性体（１５）に圧電薄膜（２２）が成膜された構造を有し、前記可動枠（７０）より外側に配置され、前記可動枠（７０）に前記軸（X）周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁（９０）と、を含み、
前記駆動梁（９０）は、軸（X）方向の両側から前記可動枠を（７０）挟むように、前記軸（X）に垂直な方向に延在して複数配置され、複数の前記駆動梁（９０）が互いに逆方向に変位する電圧が前記圧電薄膜（２２）に印加されることを特徴とする。

第２の発明に係る圧電アクチュエータ（１１０、１１１、１１２）は、駆動対象物（３０、３１）を軸（Ｘ）周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータ（１１０、１１１、１１２）であって、
前記駆動対象物（３０，３１）を平面的に囲むとともに、前記駆動対象物（３０，３）が連結されて前記駆動対象物を連結支持する可動枠（７０）と、
弾性体に圧電薄膜（２２）が成膜された構造を有し、前記可動枠（７０）より外側に配置され、前記可動枠に前記軸周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁（９０）と、
前記可動枠（７０）及び前記駆動梁（９０）を平面的に囲む固定枠（１００）と、含み、
前記可動枠（７０）は、前記固定枠（１００）と同じ厚さで形成され、前記駆動梁（９０）は、前記固定枠（１００）よりも薄く形成されたことを特徴とする。

第３の発明は、第１〜２のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータ（１１０、１１１、１１２）において、
前記駆動対象物（３０、３１）は、前記可動枠（７０）に、弾性体（１５）に圧電薄膜（２２）が成膜された構造の第２の駆動梁（５０）を介して連結され、
該第２の駆動梁（５０）は、前記軸（Ｘ）と異なる第２の軸（Ｙ）周りに前記駆動対象
物（３０、３１）を傾動させることを特徴とする。

第４の発明は、第３の発明に係る圧電アクチュエータ（１１０、１１１、１１２）において、
前記駆動対象物（３０、３１）と前記第２の駆動梁（５０）とは、梁構造の弾性体（１５）を含む弾性連結部材（４０）で連結されたことを特徴とする。

第５の発明は、第１〜４のいずれかの発明に係る圧電アクチュエータ（１１０、１１１、１１２）において、
前記駆動対象物（３０、３１）は、ミラー（３１）であることを特徴とする。

第６の発明に係る光走査装置は、第５の発明に係る圧電アクチュエータと、
光を発射する光源と、
該光源から発射された前記光を前記圧電アクチュエータに導く導光手段とを備え、
前記圧電アクチュエータのミラーを傾動駆動させることにより、該ミラーにより反射された前記光を走査させることを特徴とする。

第７の発明は、第６の発明に係る光走査装置において、
前記光をスクリーン上に走査させ、該スクリーン上に映像を形成することを特徴とする。

本発明によれば、駆動対象物を安定して傾動駆動させることができる。

Claims (7)

1. 駆動対象物を軸周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータであって、
   前記駆動対象物を平面的に囲むとともに、前記駆動対象物が連結されて前記駆動対象物を連結支持する可動枠と、
   弾性体に圧電薄膜が成膜された構造を有し、前記可動枠より外側に配置され、前記可動枠に前記軸周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁と、を含み、
   前記駆動梁は、軸方向の両側から前記可動枠を挟むように、前記軸に垂直な方向に延在して複数配置され、複数の前記駆動梁が互いに逆方向に変位する電圧が前記圧電薄膜に印加されることを特徴とする圧電アクチュエータ。
2. 駆動対象物を軸周りに傾動駆動させる圧電アクチュエータであって、
   前記駆動対象物を平面的に囲むとともに、前記駆動対象物が連結されて前記駆動対象物を連結支持する可動枠と、
   弾性体に圧電薄膜が成膜された構造を有し、前記可動枠より外側に配置され、前記可動枠に前記軸周りの傾動力を付与するように連結された駆動梁と、
   前記可動枠及び前記駆動梁を平面的に囲む固定枠と、含み、
   前記可動枠は、前記固定枠と同じ厚さで形成され、前記駆動梁は、前記固定枠よりも薄く形成されたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
3. 前記駆動対象物は、前記可動枠に、弾性体に圧電薄膜が成膜された構造の第２の駆動梁を介して連結され、
   該第２の駆動梁は、前記軸と異なる第２の軸周りに前記駆動対象物を傾動させることを特徴とする請求項１乃至２のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
4. 前記駆動対象物と前記第２の駆動梁とは、梁構造の弾性体を含む弾性連結部材で連結されたことを特徴とする請求項３に記載の圧電アクチュエータ。
5. 前記駆動対象物は、ミラーであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の圧電アクチュエータ。
6. 請求項５に記載の圧電アクチュエータと、
   光を発射する光源と、
   該光源から発射された前記光を前記圧電アクチュエータに導く導光手段とを備え、
   前記圧電アクチュエータのミラーを傾動駆動させることにより、該ミラーにより反射された前記光を走査させることを特徴とする光走査装置。
7. 前記光をスクリーン上に走査させ、該スクリーン上に映像を形成することを特徴とする請求項６に記載の光走査装置。