JP2008051936A - 光モジュール装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】環境変化等に関わらず適切な光束を出射できる光モジュール装置を提供する。
【解決手段】環境温度の変化や外力の印加等によりベースBSに歪みが生じると、半導体レーザLDの光軸と光ファイバOFの末端との間に位置ズレが生じる恐れがある。かかる場合、光ファイバOFに入射された光束の光量が低下するので、光ファイバOF内の光を検出する不図示のモニタからの信号に応じて、ドライバDRがレンズ駆動ユニットLDUの圧電素子PZ1,PZ2に駆動信号を送信し、変位レンズDLを光軸方向に変位させることで、半導体レーザLDから出射された光束を、光ファイバOFの末端に適切に集光させることが可能となる。
【選択図】図1
【解決手段】環境温度の変化や外力の印加等によりベースBSに歪みが生じると、半導体レーザLDの光軸と光ファイバOFの末端との間に位置ズレが生じる恐れがある。かかる場合、光ファイバOFに入射された光束の光量が低下するので、光ファイバOF内の光を検出する不図示のモニタからの信号に応じて、ドライバDRがレンズ駆動ユニットLDUの圧電素子PZ1,PZ2に駆動信号を送信し、変位レンズDLを光軸方向に変位させることで、半導体レーザLDから出射された光束を、光ファイバOFの末端に適切に集光させることが可能となる。
【選択図】図1
Description
本発明は、所定の光束を出射できる光モジュール装置に関する。
大型のディスプレイにおいて画像を形成しようとする場合、光の三原色である青、緑、赤を創成する十分なパワーの光源が必要となる。ここで、青色レーザと赤色レーザについては既に製品として上市されているが、緑色の光束を出射できるレーザについては、十分なパワーを有するものは、まだ開発されていないといえる。これに対し、特許文献1に示すように、第2高調波発生素子を用いて入射光の波長の1/2の光束を出射する光波長変換装置が開発されている。このような光波長変換装置によれば、比較的容易に入手できるレーザ光源を用いて、その1/2の波長の光束として緑色レーザ光を出射することができる。
特開平7−175096号公報
ここで、特許文献1に開示されている光波長変換装置において問題とされているのは、光波長変換素子の基本波伝搬導波路により伝搬される光束のビーム径が数μmと微小なため、光波長変換素子と集光素子との僅かな位置ズレにより、集光素子により基本波伝搬導波路の入射端に光束が適切に集光されず、それにより入射光の結合効率が顕著に低下するということである。そこで、特許文献1においては、集光素子を光波長変換素子と一体化することで、基本波伝搬導波路に対して精度良く集光ビームを集光させるようにしている。
ところで、光波長変換素子をより安価に製造するために、集光素子と光波長変換素子とを取り付けるベースを銅やタングステンの合金から鉄系、銅やアルミの合金とすることが考えられている。しかるに、ベースを比較的熱膨張率の低い銅やタングステンの合金からアルミの合金に変更すると、熱ひずみなどが生じやすくなり、基本波伝搬導波路に対して精度良く集光ビームを集光させることが困難となり、それにより入射光の結合効率が低下する恐れがある。また、ベースを比較的熱伝導性が高い銅やタングステンの合金から鉄系の合金に変更すると、レーザ光源から発生する熱を効果的に外部に逃がすことが困難となる。この問題を解決するためには、例えばベースの厚さを薄くすることも考えられるが、この場合にはベース自身の剛性が減少することになり、外部からの応力によりベースが無視できないほど変形すると、基本波伝搬導波路に対して精度良く集光ビームを集光させることが困難となり、それにより入射光の結合効率が低下する恐れがある。同様の問題は、光ファイバに光源からの光束を伝搬させる光モジュール装置においても生じうる。
本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、環境変化等に関わらず適切な光束を出射できる光モジュール装置を提供することを目的とする。
請求項1に記載の光モジュール装置は、
板状のベースと、
前記ベースに固定された光源と、
前記ベースに対して変位可能となっており、前記光源からの光束を入射する光学素子と、
前記光学素子から出射された光束を検出する検出手段からの信号に応じて、前記光学素子を変位させる変位装置とを有することを特徴とする。
板状のベースと、
前記ベースに固定された光源と、
前記ベースに対して変位可能となっており、前記光源からの光束を入射する光学素子と、
前記光学素子から出射された光束を検出する検出手段からの信号に応じて、前記光学素子を変位させる変位装置とを有することを特徴とする。
本発明によれば、前記光学素子から出射された光束を検出する検出手段からの信号に応じて、前記変位装置が前記光学素子を変位させるので、前記光学素子として光波長変換素子などを用いる場合、温度変化や外力の影響で前記ベースに歪みが生じた場合でも、かかる歪みの影響に基づく光束の変化を捉えてフィードバック制御することで、前記光学素子から出射される光束の位置や出射角等を変えることができ、それにより適切な光束を出射できる。尚、ベースの素材として厚さ0.2〜0.7mmの鉄系の合金を用いると、安価で剛性の高いベースを得ることができる。
請求項2に記載の光モジュール装置は、請求項1に記載の発明において、前記変位装置が、電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の一端に固定された駆動部材と、前記光学素子に連結され、かつ前記駆動部材上に移動可能に保持された可動部材と、から構成され、前記電気機械変換素子を、伸び方向と縮み方向とで速度を変えて繰り返し伸縮させることで、前記可動部材を移動させるようになっていることを特徴とする。
前記変位装置において、前記電気機械変換素子に対して例えば鋸歯状の波形をしたパルスなどの駆動電圧をごく短時間印加することで、前記電気機械変換素子を微少に伸長または収縮するように変形させることができるが、そのパルスの形状により伸長または収縮の速度を変えることができる。ここで、前記電気機械変換素子を伸長または収縮方向へ速い速度で変形したとき、前記可動部材は、その質量の慣性により、前記駆動部材の動作に追随せず、そのままの位置に留まる。一方、前記電気機械変換素子がそれよりも遅い速度で反対方向へと変形したとき、前記可動部材は、その間に作用する摩擦力で駆動部材の動作に追随して移動する。したがって、前記電気機械変換素子が伸縮を繰り返すことにより、前記可動部材は一方向へ連続して移動することができる。即ち、高い応答性を有する本発明の変位装置を用いることで、前記可動部材に連結した光学素子を高速に移動させることもでき、且つ微小量移動させることもできる。更に、前記可動要素を定位置に保持するような場合には、前記電気機械変換素子への電力供給を中断すれば、前記可動要素と前記駆動部材との間に作用する摩擦力によって保持されるので、省エネも図れる。加えて、前記変位装置の構成は、簡素で小型化が可能で、低コストであるという利点もある。
請求項3に記載の光モジュール装置は、請求項2に記載の発明において、前記電気機械変換素子は圧電素子であることを特徴とするので、低コストな光ピックアップ装置を提供できる。
請求項4に記載の光モジュール装置は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記光源からの光束を光ファイバーに出射することを特徴とする。
請求項5に記載の光モジュール装置は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明において、前記光源からの光束を入射して所定の状態にする光機能素子を有することを特徴とする。所定の状態とは、入射光の波長を変化させることなどをいうが、それに限られない。
本発明によれば、環境変化等に関わらず適切な光束を出射できる光モジュール装置を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、第1の実施の形態にかかる光モジュール装置OMDの断面図である。ヒートシンクHS上に、厚さT=0.2〜0.7mmであり、熱伝導率がA=80W/m・K程度である鉄、銅、またはアルミ系の合金板(たとえば鉄材)から形成されたベースBSが配置されている。なお、熱歪みの影響を抑えるため、T<0.005×Aであると好ましい。
ベースBSの左右両端には壁W1,W2が取り付けられ、これらを取り囲むようにして、点線で示すようにカバー部材CVが設けられている。壁W2は中央に開口APを形成している。
ベースBSの上面には、壁W1の近傍において台座AT1が取り付けられ、その上に光源としての半導体レーザLDと、かかる半導体レーザLDから出射された光束を透過するカップリングレンズCULが配置されている。更にベースBSの上面には、壁W2の近傍において台座AT2が取り付けられ、その上に光機能素子SHGと、かかる光機能素子SHGから出射された光束を平行光束に変換するコリメートレンズCOLが配置されている。光機能素子SHGは、上面中央に水平方向に延びた導波路を有し、かかる導波路に入射した光束の波長の1/2である波長の光束を出射するようになっているが、詳細は特開平7−175096号公報等に記載されているので、詳細は省略する。
壁W2の開口APを通過した平行光束が入射する位置にハーフミラーHMを配置している。ハーフミラーHMを通過した光束は、本来の目的である例えばディスプレイにおいて画像を形成するために用いられる。一方、ハーフミラーHMで反射された光束は、検出手段としての光検出器PDに入射する。受光量に応じて光検出器PDから出力された信号は、ドライバDRに入力される。ドライバDRは、台座AT1と台座AT2との間に配置された、レンズ駆動ユニットLDU内の第1圧電素子PZ1及び第2圧電素子PZ2に独立して信号を送信するようになっている。
図2は、変位装置であるレンズ駆動ユニットLDUの斜視図である。ここでは、半導体レーザLDの光軸方向をX方向とし、X方向に直交する鉛直方向をZ方向とし、X方向に直交する水平方向をY方向とするものとする。ベースBS(図1)上に固定された固定部FXの側面には、第1圧電素子PZ1の一端が取り付けられている。第1圧電素子PZ1の他端は、Y方向に延在する第1駆動軸DS1に連結されている。第1駆動軸DS1上には、適度な摩擦力をもって移動可能に第1ホルダHD1が設けられている。
第1ホルダHD1の下面には、第2圧電素子PZ2の上端が取り付けられている。第2圧電素子PZ2の下端は、Z方向に延在する第2駆動軸DS2に連結されている。第2駆動軸DS2上には、重力に抗して静止できる程度に適度な摩擦力をもって且つ移動可能に第2ホルダHD2が設けられている。第2ホルダHD2は、変位レンズDLを保持しており、その光軸方向に沿って延在するガイド軸GSにガイドされつつ変位可能となっている。尚、ここでは、圧電素子PZ1,PZ2が電気機械変換素子であり、駆動軸DS1、DS2が駆動部材であり、ホルダHD1,HD2が可動部材である。
次に、レンズ駆動ユニットLDUの駆動原理を図面を参照して説明する。図3は、第1圧電素子PZ1の駆動原理を示す図であるが、圧電素子の歪み量は実際より誇張して示している。なお、第2圧電素子PZ2も同様に動作するので、以下、説明を省略する。
圧電素子は、PZT(ジルコン・チタン酸鉛)などで形成された圧電セラミックスを積層してなる。圧電セラミックスは、その結晶格子内の正電荷の重心と負電荷の重心とが一致しておらず、それ自体分極していて、その分極方向に電圧を印加すると伸びる性質を有している。しかし、圧電セラミックスのこの方向への歪みは微小であり、この歪み量により被駆動部材を駆動することは困難であるため、図4に示すように、複数の圧電セラミックスPEを積み重ねてその間に電極Cを並列接続した構造の積層型圧電素子が実用可能なものとして提供されている。本実施の形態では、この積層型圧電素子を駆動源として用いている。
次に、このレンズ駆動ユニットLDUによる変位レンズDLの駆動方法について説明する。一般に、積層型の圧電素子PZ1は、電圧印加時の変位量は小さいが、発生力は大でその応答性も鋭い。したがって、図5(a)に示すように立ち上がりがゆっくりで立ち下がりが鋭い略鋸歯状波形のパルス電圧を印加すると、圧電素子PZ1は、パルスの立ち上がり時にゆっくり伸び、立ち下がり時にそれよりも急激に縮む。したがって、図5(a)に示す状態から、圧電素子PZ1がゆっくり伸長すると、駆動軸DS1の移動と共に、摩擦力で結合されたホルダHD1も移動する(図5(b)参照)。しかし、圧電素子PZ1が急激に縮むと、ホルダHD1の慣性により、駆動軸DS1とホルダHD1との間の摩擦力を超えて両者の相対移動が生じるので、駆動軸DS1は移動してもホルダHD1はその場に留まることとなる(図5(c)参照)。これにより、圧電素子PZ1に1パルス与えて1ストローク駆動させて、ホルダHD1を距離Δだけ移動させることができる。従って、圧電素子PZ1をnストローク駆動させると、距離n×ΔだけホルダHD2ごと変位レンズDLをY軸方向に移動させることができる。
尚、以上より明らかであるが、図5(b)に示すように電圧の立ち上がりが急激で、立ち下がりがゆっくりしたパルスを印加すれば、ホルダHD1を逆の方向へ移動させることができる。このようにレンズ駆動ユニットLDUは、圧電素子PZ1を伸び方向と縮み方向とで速度を変えて繰り返し伸縮させることで、ホルダHD2を任意の位置へと駆動できる。
更に、第2の圧電素子PZ2に同様の略鋸歯状波形のパルス電圧を印加することで、変位レンズDLを保持した第2ホルダHD2を、Z方向両方向に任意の変位量で移動させることができる。以上から明らかであるが、ドライバDRからの駆動信号に応じて、変位レンズDLを光軸直交方向の任意の位置に変位させることができる。
本実施の形態によれば、半導体レーザLDから出射された光束は、カップリングレンズCULを経て、変位レンズDLに入射し、ここから光機能素子SHGの導波路に集光されるようになっており、更に光機能素子SHGから出射された光束は、コリメートレンズCOLで平行光束に変換され、壁W2の開口APを通って外部に出射される。
ここで、環境温度の変化や外力の印加等によりベースBSに歪みが生じると、半導体レーザLDの光軸と導波路との間に位置ズレが生じる恐れがある。かかる場合、光機能素子SHGから出射された光束の光量が低下するので、ハーフミラーHMから反射される光束の量も低下する。従って、これをモニタしていた光検出器PDからの信号に応じて、ドライバDRがレンズ駆動ユニットLDUの圧電素子PZ1,PZ2に駆動信号を送信し、光量が増大する方向に変位レンズDLを変位させることで、半導体レーザLDから出射された光束を、導波路に適切に集光させることが可能となる。
図6は、レンズ駆動ユニットLDUの変形例を示す図であるが、Z軸方向に駆動する構成は省略している。図6のレンズ駆動ユニットLDUにおいては、駆動部材である駆動軸DS1の一端には、電気機械変換素子である圧電素子PZ1が固定されている。駆動軸DS1の他端は固定部FXに固定されている。変位レンズDLが取り付けられたL字状のホルダHD2には、板ばねSPGが取り付けられ、駆動軸DS1の外周をホルダHD2に向かって付勢している。本変形例においても、圧電素子PZ1に、図5に示すようなパルス状の電圧を印加することで、ホルダHD2を変位レンズDLごとY軸方向に任意の量だけ移動させることができる。なお、このような駆動装置については、特開2002−95274号公報、特開2002−300789号公報、特開2002−300790号公報、特開2003−33053号公報等に詳細に開示されている。
図7は、第2の実施の形態にかかる光モジュール装置OMDの断面図である。ヒートシンクHS上に、厚さ0.2〜0.7mmである鉄系の合金板から形成されたベースBSが配置されている。ベースBSの左右両端には壁W1,W2が取り付けられ、これらを取り囲むようにして、点線で示すようにカバー部材CVが設けられている。壁W2は中央に開口APを形成している。
ベースBSの上面には、壁W1の近傍において台座ATが取り付けられ、その上に光源としての半導体レーザLDと、かかる半導体レーザLDから出射された光束を透過するカップリングレンズCULが配置されている。更にベースBSの上面には、壁W2の近傍において、レンズ駆動ユニットLDUが配置されている。レンズ駆動ユニットLDUについては、上述した構成と同様であるため説明を省略する。
壁W2の外面には、コネクタCNがブラケットBKTを介して固定されており、ここに光ファイバOFの末端が挿入されて取り付けられている。
本実施の形態によれば、半導体レーザLDから出射された光束は、カップリングレンズCULを経て、変位レンズDLに入射し、壁W2の開口APを通って外部に出射され、光ファイバOFの末端に集光されるよになっている。
ここで、環境温度の変化や外力の印加等によりベースBSに歪みが生じると、半導体レーザLDの光軸と光ファイバOFの末端との間に位置ズレが生じる恐れがある。かかる場合、光ファイバOFに入射された光束の光量が低下するので、光ファイバOF内の光を検出する不図示のモニタ(検出手段)からの信号に応じて、ドライバDRがレンズ駆動ユニットLDUの圧電素子PZ1,PZ2(図3)に駆動信号を送信し、変位レンズDLを光軸方向に変位させることで、半導体レーザLDから出射された光束を、光ファイバOFの末端に適切に集光させることが可能となる。なお、第1の実施の形態を第2の実施の形態と組み合わせてもよい。
図8は、本発明者の行った実験結果を示すグラフである。図8(a)に示すグラフは、図1に示す光モジュール装置において、半導体レーザLDの光軸と光機能素子SHGの導波路とのX軸方向の位置ズレ量と、光機能素子SHGから出力される光束の光量との関係を示しており、図8(b)に示すグラフは、図1に示す光モジュール装置において、半導体レーザLDの光軸と光機能素子SHGの導波路とのY軸方向の位置ズレ量と、光機能素子SHGから出力される光束の光量との関係を示している。ここで、X軸とY軸とは光軸に直交し且つ互いに直交している。図8によれば、位置ズレに関してはY軸方向の方が許容範囲が狭くなっており、光機能素子SHGから出力される光束において十分な光量を得るためには、位置ズレを±0.5μm以内に収めることが必要であることがわかる。
図9は、本発明者の行った別な実験結果を示すグラフである。図9に示すグラフは、図1に示す光モジュール装置において、光モジュール装置に外部から応力を加えたときの光出力を示している。可動部材による位置制御を行わない場合、外部応力により各部品の位置に誤差が生じ、光モジュール装置からの出力が低下するが、可動部材による位置制御を小なった場合、出力低下はほとんど見られず、本発明による位置ズレ補正が有効であることが確認された。
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、レンズ駆動ユニットLDUを駆動するアクチュエータとしては、圧電素子に限らず、ボイスコイルモータ、ステッピングモータなど種々のものを用いることができる。又、上述した実施の形態では、変位レンズDLを光軸直交方向にのみ変位させるようにしたが、同様の構成を用いて光軸方向にも変位させることができることは言うまでもない。さらに、光機能素子としては、LiNbO3結晶を用いたマッハツェンダ型光変調器や光スイッチ、石英光導波路を用いた光スイッチ、光減衰器、導波路型2次高調波発生素子などがある。
AP 開口
AT 台座
AT1 台座
AT2 台座
BKT ブラケット
BS ベース
C 電極
CN コネクタ
COL コリメートレンズ
CUL カップリングレンズ
CV カバー部材
DL 変位レンズ
DR ドライバ
DS1 第1駆動軸
DS2 第2駆動軸
FX 固定部
GS ガイド軸
HD1 第1ホルダ
HD2 第2ホルダ
HM ハーフミラー
HS ヒートシンク
LD 半導体レーザ
LDU レンズ駆動ユニット
OF 光ファイバ
OMD 光モジュール装置
PD 光検出器
PE 圧電セラミックス
PZ 圧電素子
PZ1 第1圧電素子
PZ2 第2圧電素子
SHG 光機能素子
W1,W2 壁
AT 台座
AT1 台座
AT2 台座
BKT ブラケット
BS ベース
C 電極
CN コネクタ
COL コリメートレンズ
CUL カップリングレンズ
CV カバー部材
DL 変位レンズ
DR ドライバ
DS1 第1駆動軸
DS2 第2駆動軸
FX 固定部
GS ガイド軸
HD1 第1ホルダ
HD2 第2ホルダ
HM ハーフミラー
HS ヒートシンク
LD 半導体レーザ
LDU レンズ駆動ユニット
OF 光ファイバ
OMD 光モジュール装置
PD 光検出器
PE 圧電セラミックス
PZ 圧電素子
PZ1 第1圧電素子
PZ2 第2圧電素子
SHG 光機能素子
W1,W2 壁
Claims (5)
- 板状のベースと、
前記ベースに固定された光源と、
前記ベースに対して変位可能となっており、前記光源からの光束を入射する光学素子と、
前記光学素子から出射された光束を検出する検出手段からの信号に応じて、前記光学素子を変位させる変位装置とを有することを特徴とする光モジュール装置。 - 前記変位装置が、電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の一端に固定された駆動部材と、前記光学素子に連結され、かつ前記駆動部材上に移動可能に保持された可動部材と、から構成され、前記電気機械変換素子を、伸び方向と縮み方向とで速度を変えて繰り返し伸縮させることで、前記可動部材を移動させるようになっていることを特徴とする請求項1に記載の光モジュール装置。
- 前記電気機械変換素子は圧電素子であることを特徴とする請求項2に記載の光モジュール装置。
- 前記光源からの光束を光ファイバーに出射することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光モジュール装置。
- 前記光源からの光束を入射して所定の状態にする光機能素子を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光モジュール装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006226427A JP2008051936A (ja) | 2006-08-23 | 2006-08-23 | 光モジュール装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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JP2008051936A true JP2008051936A (ja) | 2008-03-06 |
Family
ID=39236068
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006226427A Pending JP2008051936A (ja) | 2006-08-23 | 2006-08-23 | 光モジュール装置 |
Country Status (1)
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---|---|
JP (1) | JP2008051936A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009157342A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-07-16 | Panasonic Corp | レーザ装置 |
CN102507148A (zh) * | 2011-10-17 | 2012-06-20 | 南京理工大学 | 多象限光电探测器检测系统 |
JP2012118293A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 光学装置の製造方法 |
JP2012517028A (ja) * | 2009-01-30 | 2012-07-26 | ケイアム・コーポレーション | マイクロ機構により整列された光学アセンブリ |
JP2012184962A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-27 | Kagawa Univ | 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 |
JP2014026108A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Nec Corp | 光部品の光軸調整方法及び光軸調整装置 |
CN109490200A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-03-19 | 上海江南长兴造船有限责任公司 | Omd油份测量仪的测试用工具 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11275022A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Sharp Corp | 光送受信モジュール |
JP2005354868A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Fujinon Corp | アクチュエータ |
-
2006
- 2006-08-23 JP JP2006226427A patent/JP2008051936A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11275022A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Sharp Corp | 光送受信モジュール |
JP2005354868A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Fujinon Corp | アクチュエータ |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009157342A (ja) * | 2007-09-03 | 2009-07-16 | Panasonic Corp | レーザ装置 |
JP2012517028A (ja) * | 2009-01-30 | 2012-07-26 | ケイアム・コーポレーション | マイクロ機構により整列された光学アセンブリ |
JP2012118293A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 光学装置の製造方法 |
JP2012184962A (ja) * | 2011-03-03 | 2012-09-27 | Kagawa Univ | 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 |
CN102507148A (zh) * | 2011-10-17 | 2012-06-20 | 南京理工大学 | 多象限光电探测器检测系统 |
JP2014026108A (ja) * | 2012-07-26 | 2014-02-06 | Nec Corp | 光部品の光軸調整方法及び光軸調整装置 |
CN109490200A (zh) * | 2018-10-31 | 2019-03-19 | 上海江南长兴造船有限责任公司 | Omd油份测量仪的测试用工具 |
CN109490200B (zh) * | 2018-10-31 | 2021-07-06 | 上海江南长兴造船有限责任公司 | Omd油份测量仪的测试用工具 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A02 | Decision of refusal |
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