JP2015152612A5 - - Google Patents
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Description
第２の可動部１７０は、第１反射ミラー２４０、対物レンズ１５０、および対物レンズ１５０を保持して回転移動させる第１の可動部２６０を所定の方向（第２の方向、本実施形態ではｙ方向）に移動させるリニアアクチュエータである。第２の可動部１７０は、第１の実施形態と同様に構成することができ、第２モータ１７２と、第２駆動軸１７４と、第２基台１７６とからなる。
Claims (12)
- 対物レンズを搭載し、第１の方向へ移動させる第１の可動部と、
前記第１の可動部に対して直交する第２の方向に移動可能であり、前記第１の可動部と、観察対象へ照射するレーザ光および前記観察対象からの戻り光を所定の方向へ案内する反射ミラーとを搭載した第２の可動部と、
を備える、レーザ走査型顕微鏡装置。 - 前記第１の可動部は、前記第２の可動部より高速に移動可能である、請求項１に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 前記第１の可動部を第１の方向に移動させる第１の駆動部と、前記第２の可動部を第２の方向に移動させる第２の駆動部とは、独立して制御される、請求項１または２に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 前記第１の駆動部はボイスコイル型モータである、請求項３に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 前記第１の可動部と前記第２の可動部とは、それぞれ直交する直線上を周期的に移動する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 前記第１の可動部は、前記反射ミラーから前記対物レンズへ入射するレーザ光の光軸と平行な方向に移動可能に構成される、請求項５に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 前記第２の可動部は、第２の方向に沿って周期的に直線移動し、
前記第１の可動部は、前記第１の方向に接線を有する円弧上を周期的に回転移動する、請求項１〜４のいずれか１項に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。 - 前記第１の可動部の回転中心には、前記反射ミラーと前記対物レンズとの間でレーザ光を案内する第２の反射ミラーが設けられる、請求項７に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 前記対物レンズの焦点位置を調整する焦点位置制御部をさらに備える、請求項１〜８のいずれか１項に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 球面収差を補正する球面収差補正部をさらに備える、請求項１〜９のいずれか１項に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 前記第１の可動部および前記第２の可動部の移動速度を制御する制御部を備える、請求項１〜１０のいずれか１項に記載のレーザ走査型顕微鏡装置。
- 対物レンズを搭載し、第１の方向へ移動させる第１の可動部と、前記第１の可動部に対して直交する第２の方向に移動可能であり、前記第１の可動部と、観察対象へ照射するレーザ光および前記観察対象からの戻り光を所定の方向へ案内する反射ミラーとを搭載した第２の可動部と、を備えるレーザ走査型顕微鏡装置において、前記第１の可動部の移動速度が前記第２の可動部の移動速度より高速となるように制御する、制御方法。
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