RU2017140253A

RU2017140253A - Линза для рентгеновского излучения

Info

Publication number: RU2017140253A
Application number: RU2017140253A
Authority: RU
Inventors: Ксения Александровна Абрашитова; Владимир Олегович Бессонов; Наталия Григорьевна Кокарева; Александр Кириллович Петров; Кирилл Романович Сафронов; Андрей Анатольевич Федянин; Александр Александрович Баранников; Петр Александрович Ершов; Анатолий Александрович СНИГИРЕВ; Вячеслав Анатольевич Юнкин
Priority date: 2017-11-20
Filing date: 2017-11-20
Publication date: 2019-05-20
Also published as: RU2017140253A3; RU2692405C2

Claims

1. Линза для рентгеновского излучения, выполненная из полимерного материала, по меньшей мере, одна рабочая поверхность которой выполнена в виде параболоида вращения с радиусом кривизны в вершине параболоида до 0,4 мкм.

2. Линза по п. 1, характеризующаяся тем, что содержит две рабочие поверхности в виде параболоида вращения с вершинами, расположенными на оптической оси линзы.

3. Линза по п. 1, характеризующаяся тем, что имеет выпуклую или вогнутую рабочую поверхность.

4. Линза по п. 1, характеризующаяся тем, что минимальное расстояние между вогнутыми рабочими поверхностями в вершинах параболоидов составляет до 0,5 мкм.

5. Линза по п. 1, характеризующаяся тем, что она расположена на основании, обеспечивающем увеличение расстояния между оптической осью и подложкой.

6. Линза по п. 1, характеризующаяся тем, что в качестве полимерного материала использован фотоотверждающийся полимерный материал.

7. Объектив для рентгеновского излучения, представляющий собой, по меньшей мере, две линзы по п. 1 на одной плоской подложке, расположенные на общей оптической оси.

8. Трансфокатор для рентгеновского излучения, представляющий собой, по меньшей мере, два объектива по п. 7 на единой подложке, при этом соседние объективы отличаются фокусным расстоянием.

9. Трансфокатор по п. 8, характеризующийся тем, что оптические оси объективов расположены параллельно друг другу.

10. Устройство для изготовления линзы по п. 1, включающее ячейку с фоторезистом, обеспечивающим протекание процессов двухфотонной полимеризации, лазерный источник, выполненный с возможностью генерирования импульсов света, вызывающих реакцию двухфотонной полимеризации в фоторезисте, объектив, размещенный с возможностью фокусирования лазерного излучения в объем фоторезиста, и автоматизированную систему управления положением и скоростью перемещения перетяжки лазерного излучения в объеме фоторезиста, а также мощностью лазерного излучения.

11. Устройство по п. 10, характеризующееся тем, что оно включает прекомпрессор лазерных импульсов для компенсации положительной дисперсии оптических элементов, расположенных между лазером и объемом фоторезиста.

12. Устройство по п. 10, характеризующееся тем, что автоматизированная система управления положением и скоростью перемещения перетяжки лазерного излучения в объеме фоторезиста включает зеркало, выполненное с возможностью контролируемо отклонять лазерный луч в двух направлениях относительно оптической оси телескопа, телескоп, состоящий из двух фокусирующих линз, и объектив, установленные таким образом, что точка пересечения оси лазерного пучка с поверхностью управляемого зеркала и фокус первой линзы объектива совпадают, линзы телескопа установлены софокусно и положение фокуса второй линзы телескопа совпадает с положением заднего фокуса объектива.

13. Устройство по п. 10, характеризующееся тем, что оно включает телескоп, установленный до автоматизированной системы управления положением и скоростью перемещения перетяжки лазерного излучения в объеме фоторезиста, выполненный с возможностью задания требуемого размера лазерного пучка в поперечном сечении в задней фокальной плоскости объектива.