JP6673632B2 - レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む光造形加工機 - Google Patents
レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む光造形加工機 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6673632B2 JP6673632B2 JP2014182633A JP2014182633A JP6673632B2 JP 6673632 B2 JP6673632 B2 JP 6673632B2 JP 2014182633 A JP2014182633 A JP 2014182633A JP 2014182633 A JP2014182633 A JP 2014182633A JP 6673632 B2 JP6673632 B2 JP 6673632B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control device
- laser
- laser light
- servo motor
- deviation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/0037—Production of three-dimensional images
Description
本発明の第2の態様によれば、第1の態様において、レーザ制御装置が、ロータリーエンコーダが検出したサーボモータの回転速度に所定の係数を掛けてレーザ光の強度を決定する、光造形加工機が提供される。
本発明の第3の態様によれば、第1又は第2の態様において、動作制御装置とレーザ制御装置とが同一のプロセッサに組み込まれる、光造形加工機が提供される。
本発明の第2の態様によれば、サーボモータの制御偏差が学習制御によって縮小されるので、レーザ光が停止する際に発生する偏差による焼結ムラを軽減できるようになる。
本発明の第3の態様によれば、ガルバノスキャナの現実の動作に応じてレーザ光の強度が制御されるので、レーザ光が往復運動する間に発生する焼結ムラを軽減できるようになる。
本発明の第4の態様によれば、レーザ光源の制御機構が簡素化されるので、レーザ制御装置及び加工システムを製作するのが安価かつ容易になる。
本発明の第5の態様によれば、サーボモータ及びレーザ光源の制御が同一のプロセッサによって実行されるので、サーボモータのフィードバック情報をレーザ光の強度に反映させる際の応答時間を最小化することができる。
2 レーザ光源
3 ガルバノスキャナ
31 ミラー
32 サーボモータ
4 動作制御装置
41 偏差計算部
42 学習制御部
421 加算器
422 帯域制限フィルタ
423 遅延メモリ
424 位相補償器
43 加算器
44 サーボ制御部
5 レーザ制御装置
6 上位制御装置
7 検出器
B 起点
L 全長
M 金属粉末
Ra 回転軸線
Rb 回転軸線
P 走査経路
S 帯状領域
T テーブル
W 被加工物
Claims (3)
- レーザ光の走査方向を変更しながら被加工物を造形する光造形加工機であって、
レーザ光を生成するレーザ光源と、
前記レーザ光を反射するミラー及び前記ミラーを回転駆動するサーボモータを備え、前記レーザ光を被加工物に照射するガルバノスキャナと、
前記サーボモータに取付けられていて前記サーボモータの現実の動作を検出するロータリーエンコーダと、
前記サーボモータの動作を制御する動作制御装置と、
前記レーザ光の強度を制御するレーザ制御装置と、
前記走査方向に対応する正弦波状の駆動指令を前記動作制御装置に送信すると共に、前記レーザ光の強度指令を前記レーザ制御装置に送信する上位制御装置と、
を備え、
前記動作制御装置及び前記レーザ制御装置は、前記ロータリーエンコーダから取得した情報に基づいてフィードバック制御を実行し、
前記動作制御装置は、
前記上位制御装置から受信した前記正弦波状の駆動指令と、前記ロータリーエンコーダが検出した前記サーボモータの現実の動作との間の第1偏差を所定のサンプリング周期で計算する偏差計算部と、
前記第1偏差と前記正弦波状の駆動指令における1周期前に計算した1周期前補正量とに基づいて前記第1偏差を補正するための補正量を生成する学習制御部と、
前記補正量による補正後の第2偏差と前記サーボモータの現実の動作とに基づいて前記サーボモータの動作を制御するサーボ制御部と、
を備え、
前記レーザ制御装置は、前記上位制御装置から受信した前記強度指令と、前記ロータリーエンコーダが検出した前記サーボモータの回転速度とに応じて前記レーザ光の強度を制御する、光造形加工機。 - 前記レーザ制御装置は、前記ロータリーエンコーダが検出した前記サーボモータの回転速度に所定の係数を掛けて前記レーザ光の強度を決定する、請求項1に記載の光造形加工機。
- 前記動作制御装置と前記レーザ制御装置とが同一のプロセッサに組み込まれる、請求項1又は2に記載の光造形加工機。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014182633A JP6673632B2 (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む光造形加工機 |
US14/840,226 US9720225B2 (en) | 2014-09-08 | 2015-08-31 | Processing system with galvano scanner capable of high speed laser scanning |
DE102015114549.9A DE102015114549A1 (de) | 2014-09-08 | 2015-09-01 | Verarbeitungssystem mit Galvoscanner zur Hochgeschwindigkeitslaserscannen |
CN201510566144.8A CN105398061B (zh) | 2014-09-08 | 2015-09-08 | 加工系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014182633A JP6673632B2 (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む光造形加工機 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016055308A JP2016055308A (ja) | 2016-04-21 |
JP6673632B2 true JP6673632B2 (ja) | 2020-03-25 |
Family
ID=55358623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014182633A Active JP6673632B2 (ja) | 2014-09-08 | 2014-09-08 | レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む光造形加工機 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9720225B2 (ja) |
JP (1) | JP6673632B2 (ja) |
CN (1) | CN105398061B (ja) |
DE (1) | DE102015114549A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6484204B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2019-03-13 | ファナック株式会社 | ガルバノスキャナ |
JP6487413B2 (ja) | 2016-12-22 | 2019-03-20 | ファナック株式会社 | レーザ加工用ヘッドおよびそれを備えたレーザ加工システム |
EP3587079A1 (en) * | 2018-06-29 | 2020-01-01 | CL Schutzrechtsverwaltungs GmbH | Apparatus for additively manufacturing three-dimensional objects |
DE112021004488T5 (de) * | 2020-10-13 | 2023-06-15 | Fanuc Corporation | Servosteuerungsvorrichtung |
WO2023067682A1 (ja) * | 2021-10-19 | 2023-04-27 | ファナック株式会社 | サーボモータ制御装置 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54118854A (en) * | 1978-03-08 | 1979-09-14 | Komatsu Mfg Co Ltd | Laser beam controlling method for heat treatment |
JP2562367B2 (ja) * | 1989-06-29 | 1996-12-11 | 株式会社小松製作所 | レーザ発振装置 |
JPH07657A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-01-06 | Tokai Ind Sewing Mach Co Ltd | ミシンの同期制御方式 |
JPH10146487A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Brother Ind Ltd | 主軸釜分離駆動型ミシン |
JP2001062580A (ja) * | 1999-08-30 | 2001-03-13 | Keyence Corp | レーザマーカ |
US8085388B2 (en) * | 2005-02-01 | 2011-12-27 | Laser Projection Technologies, Inc. | Laser radar projection with object feature detection and ranging |
JP4973982B2 (ja) | 2007-01-10 | 2012-07-11 | 株式会社安川電機 | ガルバノスキャナシステムおよび制御方法 |
US8076605B2 (en) * | 2007-06-25 | 2011-12-13 | Electro Scientific Industries, Inc. | Systems and methods for adapting parameters to increase throughput during laser-based wafer processing |
JP5095569B2 (ja) * | 2008-09-17 | 2012-12-12 | 株式会社リコー | 光走査装置及び画像形成装置 |
JP5382502B2 (ja) * | 2009-01-23 | 2014-01-08 | 富士電機株式会社 | 薄膜太陽電池のレーザ加工装置および加工方法 |
JP2011123465A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-23 | Seiko Epson Corp | 光走査型プロジェクター |
JP2012148317A (ja) * | 2011-01-19 | 2012-08-09 | Keyence Corp | レーザー加工装置 |
JP2013005312A (ja) * | 2011-06-20 | 2013-01-07 | Nec Casio Mobile Communications Ltd | 情報端末 |
US9699422B2 (en) * | 2011-10-04 | 2017-07-04 | Prysm, Inc. | Composite and other phosphor materials for emitting visible light and applications in generation of visible light including light-emitting screens |
JP5221735B2 (ja) | 2011-10-27 | 2013-06-26 | ファナック株式会社 | 不感帯処理部を備えた電動機の制御装置 |
CN104204900A (zh) * | 2012-03-23 | 2014-12-10 | 松下电器产业株式会社 | 扫描反射镜以及扫描型图像显示装置 |
JP6107153B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2017-04-05 | 日本精機株式会社 | 車両用表示装置 |
WO2013177650A1 (en) * | 2012-04-26 | 2013-12-05 | Neptec Design Group Ltd. | High speed 360 degree scanning lidar head |
JP5942576B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2016-06-29 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、光スキャナーおよび画像表示装置 |
JP5715113B2 (ja) * | 2012-12-14 | 2015-05-07 | 株式会社片岡製作所 | レーザ加工機 |
US10520721B2 (en) * | 2013-03-15 | 2019-12-31 | The Brain Window, Inc. | Optical beam scanning system having a synthetic center of beam rotation |
JP6171970B2 (ja) * | 2014-02-10 | 2017-08-02 | ソニー株式会社 | レーザ走査型顕微鏡装置および制御方法 |
-
2014
- 2014-09-08 JP JP2014182633A patent/JP6673632B2/ja active Active
-
2015
- 2015-08-31 US US14/840,226 patent/US9720225B2/en active Active
- 2015-09-01 DE DE102015114549.9A patent/DE102015114549A1/de active Pending
- 2015-09-08 CN CN201510566144.8A patent/CN105398061B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160070097A1 (en) | 2016-03-10 |
DE102015114549A1 (de) | 2016-03-10 |
CN105398061B (zh) | 2019-07-05 |
CN105398061A (zh) | 2016-03-16 |
US9720225B2 (en) | 2017-08-01 |
JP2016055308A (ja) | 2016-04-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6673632B2 (ja) | レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む光造形加工機 | |
JP6224707B2 (ja) | 積層を利用して三次元立体物を製造する装置及び製造方法 | |
US10175684B2 (en) | Laser processing robot system and control method of laser processing robot system | |
JP6300928B2 (ja) | 三次元物体を製造するための装置 | |
EP3672783B1 (en) | System and methods for fabricating a component using a consolidating device | |
JP5204386B2 (ja) | 冗長なアクチュエータを有する作業機械の管理方法および作業機械 | |
EP3435182B1 (en) | Systems and methods for advanced additive manufacturing | |
KR102032888B1 (ko) | 후처리 일체형 3d 프린터 장치 | |
KR20150115596A (ko) | 3차원 조형 장치 및 3차원 형상 조형물의 제조 방법 | |
JP2016522761A (ja) | 選択的レーザー溶融システム | |
JP6795565B2 (ja) | レーザ加工システム | |
JP2016078392A (ja) | 積層造形装置 | |
KR101798533B1 (ko) | 3차원 프린터에 의한 조형 장치 및 방법 | |
JP6918603B2 (ja) | 三次元レーザ加工機および三次元レーザ加工機の制御方法 | |
CN108025362B (zh) | 用于控制激光束偏转的控制设备和方法 | |
EP3600836B1 (en) | Energy dosing for additive manufacturing | |
KR101722916B1 (ko) | 레이저 스캐너 기반 5축 표면 연속 가공 장치 및 그 제어 방법 | |
JP6861295B2 (ja) | 最適化機械制御信号を提供するために画像情報を処理する三次元プリンタ | |
KR102042659B1 (ko) | 다중 레이저의 중첩을 이용한 레이저 고출력 변환장치 | |
JP2010173123A (ja) | 積層造形装置及び積層造形方法 | |
JP6235623B2 (ja) | 出力指令を切換えるタイミングを調整可能なレーザ加工システム | |
JP6049242B2 (ja) | 制御装置、照射装置及び駆動装置 | |
KR102237232B1 (ko) | 3차원 형상 재료 적층을 위한 공급장치 및 그 제어방법 | |
KR101679737B1 (ko) | 광경화기를 구비하는 3차원 프린팅 헤드 조립체 | |
KR102321236B1 (ko) | Drawing 방식의 In-fill 패턴 기술을 구비한 3D프린터 모니터링 시스템 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170420 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180403 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180501 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180918 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181031 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20181204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190227 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20190311 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20190419 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191119 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191211 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6673632 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |