JP6484204B2 - ガルバノスキャナ - Google Patents
ガルバノスキャナ Download PDFInfo
- Publication number
- JP6484204B2 JP6484204B2 JP2016176890A JP2016176890A JP6484204B2 JP 6484204 B2 JP6484204 B2 JP 6484204B2 JP 2016176890 A JP2016176890 A JP 2016176890A JP 2016176890 A JP2016176890 A JP 2016176890A JP 6484204 B2 JP6484204 B2 JP 6484204B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical component
- incident
- rotation
- galvano scanner
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/20—Bonding
- B23K26/21—Bonding by welding
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/108—Scanning systems having one or more prisms as scanning elements
Description
図1は、第1実施形態に係るリモートレーザ溶接システム1の外観図である。図1に示すように、本実施形態に係るリモートレーザ溶接システム1は、多軸ロボット3と、後述のレーザ光源と、多軸ロボット3のアーム31の先端に設けられたレーザヘッド5と、を備える。このリモートレーザ溶接システム1は、多軸ロボット3の動作によりアーム31の先端のレーザヘッド5を搬送し、自動車ボディ等のワークWの突合せ加工点(突合せ溶接点)に向けてレーザヘッド5からレーザ光Lを揺動させながら照射することで、ウィービング溶接を実行する。
光学部品2は、ガルバノミラー51,52に入射するレーザ光Lが厚みT方向に入射するように配置され、回転軸20まわりに回転可能に構成される。回転モータ4は、光学部品2を回転軸20まわりに回転駆動し、後述のガルバノスキャナ制御部によりその動作が制御される。これら光学部品2及び回転モータ4については、後段で詳述する。
ここで、図3は、本実施形態に係るガルバノスキャナ50の機能ブロック図である。図4Aは、本実施形態に係るガルバノスキャナ50の光学部品2の斜視図である。図4Bは、本実施形態に係るガルバノスキャナ50の光学部品2におけるレーザ光Lの入射位置Pの厚みT1を示す側面図である。図4Cは、本実施形態に係るガルバノスキャナ50の光学部品2におけるレーザ光Lの入射位置Pの厚みT2を示す側面図である。図4Dは、本実施形態に係るガルバノスキャナ50の光学部品2におけるレーザ光Lの入射位置Pの厚みT3を示す側面図である。
即ち、光学部品2は、周囲と屈折率の異なる光学部材で構成され、例えばガラス板で構成される。この光学部品2は、レーザ光Lを吸収することなく屈折光として出射する性質を有する。これにより、入射されたレーザ光Lは光学部品2に入射して屈折し、入射側とは反対側の出射側から屈折光として出射されるようになっている(後述の図6参照)。
具体的には、図4A〜図4Dに示すように、光学部品2の厚みTは、例えばT1〜T2〜T3で表される厚みを取ることができ、これらはT1<T2<T3の関係にある。
本実施形態では、周囲と異なる屈折率を有する光学部品2を、ガルバノミラー51,52に入射するレーザ光Lがその厚みT方向に入射するように配置するとともに、この光学部品2を回転駆動する回転モータ4を設けた。また、光学部品2を、厚みT方向の断面Cにおける入射辺21と出射辺22が互いに平行であり、入射するレーザ光Lの光軸L1に対して入射辺21が傾斜するように配置するとともに、その厚みTが回転方向に沿って連続的に変化するように構成した。
図7は、第2実施形態に係るガルバノスキャナ50Aの機能ブロック図である。図8は、第2実施形態に係るガルバノスキャナ50Aの光学部品群12を示す図である。
図7及び図8に示すように、本実施形態に係るガルバノスキャナ50Aは、第1実施形態に係るガルバノスキャナ50と比べて、光学部品2を、複数の光学部品からなる光学部品群12に変更した以外は、第1実施形態と同様の構成である。
光学部品2Aは、第1実施形態の光学部品2と比べて、入射辺121と出射辺123が互いに平行にはなっていない点が相違する以外は、光学部品2と同様の構成である。
一方、光学部品2Bは、第1実施形態の光学部品2と大きく相違し、周囲と屈折率が異なる光学部材で構成されている点が共通するのみである。より詳しくは、この光学部品2Bは、回転不可能であり、固定されて配置されており、その入射辺124と出射辺122は互いに平行にはなっていない。
図9は、第3実施形態に係るガルバノスキャナ50Bの機能ブロック図である。図10は、第3実施形態に係るガルバノスキャナ50Bの光学部品2B及び回転機構部6を示す図である。
図9及び図10に示すように、本実施形態に係るガルバノスキャナ50Bは、第1実施形態に係るガルバノスキャナ50と比べて、回転機構部6を備える点で相違する以外は、第1実施形態と同様の構成である。
図11は、第4実施形態に係るガルバノスキャナ50Cの機能ブロック図である。図12は、第4実施形態に係るガルバノスキャナ50Cの光学部品2及び移動機構部を示す図である。なお、図12では、光学部品2及び回転モータ4の移動前後におけるA矢視図もあわせて示している。
図11及び図12に示すように、本実施形態に係るガルバノスキャナ50Cは、第1実施形態に係るガルバノスキャナ50と比べて、移動機構部8を備える点が相違する以外は第1実施形態と同様の構成である。
図13は、第5実施形態に係るガルバノスキャナ50Dの光学部品2を示す図である。図13に示すように、本実施形態に係るガルバノスキャナ50Dは、第1実施形態に係るガルバノスキャナ50と比べて、光学部品2及び回転モータ4の配置が相違する以外は第1実施形態と同様の構成である。
従って本実施形態によれば、第1実施形態と同様の効果が奏される。
上述の各実施形態では、ワークWとして自動車ボディを用いたが、これに限定されず、他の種々のワークを用いることができる。
また上述の各実施形態では、2つのガルバノミラーを備えるガルバノスキャナを用いたが、これに限定されず、1つあるいは3つ以上のガルバノミラーを備えるガルバノスキャナを用いることができる。
2、2A、2B 光学部品
4 回転モータ
6 回転機構部
8 移動機構部
12 光学部品群
20 回転軸
21 入射辺(入射側の辺)
22 出射辺(出射側の辺)
50、50A、50B、50C、50D ガルバノスキャナ
51、52 ガルバノミラー
54 ガルバノモータ
121 第1入射辺(最初の入射側の辺)
122 最終出射辺(最終の出射側の辺)
C 断面
L レーザ光
L1 光軸
P 入射位置
T 厚み
W ワーク
Claims (4)
- レーザ光を走査するガルバノスキャナであって、
回転軸まわりに回転可能に構成され、レーザ光を反射する1つ以上のガルバノミラーと、
前記ガルバノミラーを回転駆動するガルバノモータと、
前記ガルバノミラーに入射するレーザ光が厚み方向に入射するように配置され、回転軸まわりに回転可能に構成されるとともに周囲と異なる屈折率を有する光学部品と、
前記光学部品を回転駆動する回転モータと、を備え、
前記光学部品は、中心に孔部を有する円環状であって前記孔部に前記回転モータの回転軸が挿通されて固定され、前記光学部品の径方向に沿う厚み方向の断面における入射側の辺と出射側の辺が互いに平行であるとともに、入射する前記レーザ光の光軸に対して前記入射側の辺が傾斜するように配置され、且つ、その厚みが回転方向に沿って連続的に変化するガルバノスキャナ。 - 前記光学部品は、中心に孔部を有する円環状であって前記孔部に前記回転モータの回転軸が挿通されて固定され、且つ、厚みが回転方向に沿って連続的に変化するとともに前記回転モータにより回転軸まわりに回転可能に構成される光学部品を少なくとも1つ含む複数の光学部品からなる光学部品群で構成され、
前記光学部品群は、前記光学部品の径方向に沿う厚み方向の断面における最初の入射側の辺と最終の出射側の辺が互いに平行である請求項1に記載のガルバノスキャナ。 - 前記光学部品の回転軸を含むとともに前記レーザ光の光軸を含む平面に対して垂直な回転軸まわりに、前記光学部品と前記回転モータを一体として回転させることにより、入射する前記レーザ光の光軸に対する前記入射側の辺及び前記出射側の辺の傾斜角を変更可能とする回転機構部をさらに備える請求項1又は2に記載のガルバノスキャナ。
- 前記光学部品の回転軸に対して垂直な平面方向に、前記光学部品及び前記回転モータを一体として移動させることにより、前記光学部品に対する前記レーザ光の入射位置を変更可能とする移動機構部をさらに備える請求項1から3いずれかに記載のガルバノスキャナ。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016176890A JP6484204B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | ガルバノスキャナ |
US15/696,252 US10359624B2 (en) | 2016-09-09 | 2017-09-06 | Galvanoscanner |
CN201721143928.0U CN207188997U (zh) | 2016-09-09 | 2017-09-07 | 检电扫描器 |
CN201710801396.3A CN107803590B (zh) | 2016-09-09 | 2017-09-07 | 检电扫描器 |
DE102017008424.6A DE102017008424B4 (de) | 2016-09-09 | 2017-09-07 | Galvo-Scanner |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016176890A JP6484204B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | ガルバノスキャナ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018041044A JP2018041044A (ja) | 2018-03-15 |
JP6484204B2 true JP6484204B2 (ja) | 2019-03-13 |
Family
ID=61247516
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016176890A Active JP6484204B2 (ja) | 2016-09-09 | 2016-09-09 | ガルバノスキャナ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10359624B2 (ja) |
JP (1) | JP6484204B2 (ja) |
CN (2) | CN107803590B (ja) |
DE (1) | DE102017008424B4 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20220224963A1 (en) * | 2018-12-07 | 2022-07-14 | Warner Bros. Entertainment Inc. | Trip-configurable content |
DE102018221203A1 (de) * | 2018-12-07 | 2020-06-10 | Trumpf Laser Gmbh | Laserbearbeitungsmaschine mit einem Wobbelscanner |
CN111059962A (zh) * | 2019-12-18 | 2020-04-24 | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 | 一种球面运动机构 |
CN113946046A (zh) * | 2020-07-17 | 2022-01-18 | 深圳光峰科技股份有限公司 | 光束偏移装置以及投影系统 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3453972B2 (ja) | 1995-12-27 | 2003-10-06 | トヨタ自動車株式会社 | レーザ溶接方法および装置 |
DE19632625A1 (de) * | 1996-08-13 | 1998-02-19 | Rofin Sinar Laser Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Schweißverbinden zweier Bauteile |
CN1124917C (zh) * | 1997-12-26 | 2003-10-22 | 三菱电机株式会社 | 激光加工装置 |
DE19782307B4 (de) * | 1997-12-26 | 2006-11-30 | Mitsubishi Denki K.K. | Laserbearbeitungsgerät |
JP3853499B2 (ja) * | 1998-01-07 | 2006-12-06 | 松下電器産業株式会社 | レーザー加工装置 |
JP3365388B2 (ja) * | 2000-02-14 | 2003-01-08 | 日本電気株式会社 | レーザ加工光学装置 |
JP2002178182A (ja) * | 2000-12-14 | 2002-06-25 | Hitachi Via Mechanics Ltd | レーザ加工装置 |
JP4282720B2 (ja) * | 2007-01-26 | 2009-06-24 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工装置およびレーザ加工方法 |
JP2009042620A (ja) * | 2007-08-10 | 2009-02-26 | Sony Computer Entertainment Inc | 光走査装置及びその部品 |
JP5316124B2 (ja) * | 2009-03-13 | 2013-10-16 | 日産自動車株式会社 | レーザー溶接装置 |
JP5391159B2 (ja) * | 2010-07-09 | 2014-01-15 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | レーザ光によるガラス基板加工装置 |
DE102013015656B4 (de) * | 2013-09-23 | 2016-02-18 | Precitec Optronik Gmbh | Verfahren zum Messen der Eindringtiefe eines Laserstrahls in ein Werkstück, Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks sowie Laserbearbeitungsvorrichtung |
CN106662741B (zh) * | 2014-07-31 | 2018-05-29 | 三菱电机株式会社 | 电扫描器及激光加工装置 |
JP6673632B2 (ja) * | 2014-09-08 | 2020-03-25 | ファナック株式会社 | レーザ光を高速で走査可能なガルバノスキャナを含む光造形加工機 |
CN105033453A (zh) * | 2015-07-21 | 2015-11-11 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种旋转式振镜扫描装置及其应用方法 |
CN108027497B (zh) * | 2015-08-14 | 2020-11-24 | 激光工程应用有限公司 | 加工装置 |
-
2016
- 2016-09-09 JP JP2016176890A patent/JP6484204B2/ja active Active
-
2017
- 2017-09-06 US US15/696,252 patent/US10359624B2/en active Active
- 2017-09-07 CN CN201710801396.3A patent/CN107803590B/zh active Active
- 2017-09-07 CN CN201721143928.0U patent/CN207188997U/zh active Active
- 2017-09-07 DE DE102017008424.6A patent/DE102017008424B4/de active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102017008424B4 (de) | 2021-04-01 |
CN107803590A (zh) | 2018-03-16 |
US10359624B2 (en) | 2019-07-23 |
CN107803590B (zh) | 2020-04-07 |
JP2018041044A (ja) | 2018-03-15 |
CN207188997U (zh) | 2018-04-06 |
US20180074312A1 (en) | 2018-03-15 |
DE102017008424A1 (de) | 2018-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6484204B2 (ja) | ガルバノスキャナ | |
JP6595558B2 (ja) | レーザ加工システム | |
CN113015588B (zh) | 三维造型方法和三维造型装置 | |
JP6795565B2 (ja) | レーザ加工システム | |
US20190255660A1 (en) | Laser machine | |
US20180136458A1 (en) | System for deflecting an optical radiation beam and device comprising this system | |
JP6514278B2 (ja) | レーザ加工ロボットシステム | |
CN204771141U (zh) | 一种旋转式振镜扫描装置 | |
JP5223321B2 (ja) | レーザレーダ装置 | |
JP2004136307A (ja) | レーザ加工方法とレーザ加工装置 | |
KR101796198B1 (ko) | 레이저 가공장치 및 이를 이용한 레이저 가공방법 | |
CN105033453A (zh) | 一种旋转式振镜扫描装置及其应用方法 | |
JP2005254618A (ja) | 樹脂溶着装置 | |
JP5105717B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2005103614A (ja) | レーザマーキング装置及びレーザマーキング装置のワークディスタンス調整方法 | |
CN114054943A (zh) | 一种螺旋动态往复扫描光学系统 | |
JP2020046455A (ja) | 光学装置及び加工装置 | |
CN204771140U (zh) | 一种转动式振镜扫描装置 | |
JP2008062257A (ja) | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 | |
WO2021166037A1 (ja) | レーザ加工機 | |
JP3003895B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2006239703A (ja) | レーザ加工装置 | |
RU2752126C1 (ru) | Световодное устройство и устройство лазерной обработки | |
KR101358804B1 (ko) | 레이저빔 조사 장치 및 그 동작 방법 | |
JPH01130894A (ja) | レーザ加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180613 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180619 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190215 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6484204 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |