JP2020046455A - 光学装置及び加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御する。【解決手段】光学装置は、回転軸104を中心に回転可能であり、かつ光を反射する第1の反射面101と、回転軸104を中心に回転可能であると共に第1の反射面101に対向し、かつ第1の反射面101からの光を反射する第2の反射面102と、第2の反射面102からの光を第2の反射面102に戻す第3の反射面114と、第1及び第2の反射面101,102の相対位置関係を維持した状態で、第1及び第2の反射面101,102を回転軸104を中心に回転させることで、第3の反射面114から第2の反射面102を経由して第1の反射面101に折り返された光の光軸方向におけるフォーカス位置を制御する制御部120と、を備える。【選択図】図2
Description
本発明は、光学装置及び加工装置に関する。
各種光学系において、光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御することは、光学装置の特性の向上という観点から重要な要素の一つとなる。例えば、レーザ光を用いて、マーキング、穴あけ、溶接などの作業を行う光学装置では、レーザ発振器からの光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御することが当該作業の質の向上に貢献することになる。
フォーカス位置の制御は、光軸方向における制御と、光軸に垂直な方向における制御と、の2つに分けられる。
光軸方向におけるフォーカス位置の制御は、例えば、光学系内の集光レンズの位置を光軸方向にシフトさせることにより行われる。しかし、集光レンズは、重く、かつリニアステージにより駆動されるため、これを高速かつ高精度にシフトさせることは難しい。
また、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置の制御は、例えば、いわゆるfθレンズを用いて、fθレンズに入射される光の角度を変えることにより行われる。しかし、fθレンズは、フォーカス位置でのビーム径が当該角度に依存して変化する問題がある。
光軸方向におけるフォーカス位置の制御は、例えば、光学系内の集光レンズの位置を光軸方向にシフトさせることにより行われる。しかし、集光レンズは、重く、かつリニアステージにより駆動されるため、これを高速かつ高精度にシフトさせることは難しい。
また、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置の制御は、例えば、いわゆるfθレンズを用いて、fθレンズに入射される光の角度を変えることにより行われる。しかし、fθレンズは、フォーカス位置でのビーム径が当該角度に依存して変化する問題がある。
D.J.Campbell, P.A.Krug, I.S.Falconer, L.C.Robinson, and G.D.Tait, "Rapid scan phase modulator for interferometric applications " Applied Optics Vol.20, Issue 2, pp.335−342 (1981)
Meng−Chang Hsieh, Jiun−You Lin and Chia−Ou Chang,"Using a Hexagonal Mirror for Varying Light Intensity in the Measurement of Small−Angle Variation" Sensors 2016, 16, 1301
非特許文献1は、対向する2つのミラーを回転させ、光路長を変えることで、光の位相を変える技術を開示する。しかし、非特許文献1に開示される技術は、フォーカス位置の制御に関するものではない。従って、非特許文献1に開示される光学装置は、光のビーム径を光軸方向に変化させる非コリメート光学系を備えていない。また、非特許文献1からは、フォーカス位置がずれるといった課題が発生しないため、非特許文献1に開示される技術をフォーカス位置の制御を行う光学装置に適用することは容易でない。
特許文献1は、固定された4つの複数のミラーと、回転可能な1つのミラーを用いて、レーザ加工に用いる光の光路を該光路に垂直な方向にシフトさせる技術を開示する。しかし、この技術は、少なくとも5つのミラーを必要とするため、光学装置の重量が大きくなると共に、光損失が大きくなるという問題を有する。
その他、非特許文献2は、6角形ミラーを用いて光を反射させる技術を開示するが、フォーカス位置の制御に関するものではない。また、屈折率媒体を用いて、入射光の光路を該光路に垂直な方向にシフトさせる技術が知られているが、この技術では、屈折率媒体による光損失が大きくなる。しかも、屈折率媒体を用いる場合、大きなシフト量を実現するために屈折率媒体のサイズを大きくしなければならず、結果として、高速シフト、及び重量という観点からこの技術は不利となる。
本発明は、光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御する点で有利な光学装置を提案することを目的とする。
本発明の例に係る光学装置は、光のフォーカス位置を制御する光学装置であって、回転軸を中心に回転可能であり、かつ前記光を反射する第1の反射面と、前記回転軸を中心に回転可能であると共に前記第1の反射面に対向し、かつ前記第1の反射面からの前記光を反射する第2の反射面と、前記第2の反射面からの前記光を前記第2の反射面に戻す第3の反射面と、前記第1及び第2の反射面の相対位置関係を維持した状態で、前記第1及び第2の反射面を前記回転軸を中心に回転させることで、前記第3の反射面から前記第2の反射面を経由して前記第1の反射面に折り返された前記光の光軸方向におけるフォーカス位置を制御する制御部と、を備える。
本発明によれば、光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御する点で有利な光学装置を実現できる。
以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
尚、各図において、同一の部材及び要素については、同一の参照符号を付すことで、互いに重複する説明を省略する。また、以下の説明では、光軸が延びる方向を光軸方向とする。また、以下に説明する光学装置では、光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御するために、フォーカス位置シフタを用いる。即ち、当該光学装置は、フォーカス位置シフタから射出される光の光軸方向におけるフォーカス位置、及び当該光の光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を制御することを特徴とする。
尚、各図において、同一の部材及び要素については、同一の参照符号を付すことで、互いに重複する説明を省略する。また、以下の説明では、光軸が延びる方向を光軸方向とする。また、以下に説明する光学装置では、光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御するために、フォーカス位置シフタを用いる。即ち、当該光学装置は、フォーカス位置シフタから射出される光の光軸方向におけるフォーカス位置、及び当該光の光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を制御することを特徴とする。
(光軸方向におけるフォーカス位置の制御)
まず、本実施形態のフォーカス位置シフタを用いて、光軸方向におけるフォーカス位置を制御する技術を説明する。
まず、本実施形態のフォーカス位置シフタを用いて、光軸方向におけるフォーカス位置を制御する技術を説明する。
・ 光学装置
図1は、フォーカス位置シフタを備えた光学装置の例を示す。
図1(A)は、フォーカス位置シフタ100に入射される光の光軸と、フォーカス位置シフタ100から射出される光の光軸と、が異なる方向である例を示す。ここで、異なる方向とは、フォーカス位置シフタ100から射出される光の光軸が、フォーカス位置シフタ100に入射される光の光軸に対して、45°以上、135°以下の傾き(例えば、90°の傾き)を有することを意味する。
図1は、フォーカス位置シフタを備えた光学装置の例を示す。
図1(A)は、フォーカス位置シフタ100に入射される光の光軸と、フォーカス位置シフタ100から射出される光の光軸と、が異なる方向である例を示す。ここで、異なる方向とは、フォーカス位置シフタ100から射出される光の光軸が、フォーカス位置シフタ100に入射される光の光軸に対して、45°以上、135°以下の傾き(例えば、90°の傾き)を有することを意味する。
図1(B)は、フォーカス位置シフタ200に入射される光の光軸と、フォーカス位置シフタ200から射出される光の光軸と、が同じ方向である例を示す。ここで、同じ方向とは、フォーカス位置シフタ200から射出される光の光軸が、フォーカス位置シフタ200に入射される光の光軸に対して、0°(平行)以上、45°未満の範囲にあることを意味する。
図1(C)は、比較例を示す。比較例は、同図中、Xに示すように、集光レンズ117の位置を光軸方向にシフトさせることにより、光軸方向におけるフォーカス位置FP_h0,FP_h1,FP_h2を制御する。しかし、集光レンズ117は、重く、かつリニアステージにより駆動されるため、これを高速かつ高精度にシフトさせることは難しい。
図1(A)及び図1(B)に示すフォーカス位置シフタ100,200は、集光レンズ117を駆動することなく、光の光路長を制御することで、光軸方向におけるフォーカス位置FP_h0,FP_h1,FP_h2を制御する。
例えば、光源300からの光は、非コリメート光学系400を経由して、フォーカス位置シフタ100,200に入射される。ここで、非コリメート光学系とは、光源300からのコリメート光(平行光)を、光軸方向に伝搬するに従ってビーム径が変化する非コリメート光(収束光又は拡散光)に変える光学系のことである。本例では、非コリメート光学系400は、収束光を生成する集光レンズ117を備えているがこの限りではなく、回折格子や、凹面(或いは凸面)ミラーでも良い。尚、光源300は、例えば、レーザ発振器であり、光源300からの光は、例えば、レーザビームである。
フォーカス位置シフタ100,200から射出される光は、フォーカスポイントを形成するための光学系500を経由して、所定の位置にフォーカスポイントを形成する。光学系500は、例えば、フォーカス位置シフタ100,200から射出される光を収束させる収束光学系である。光学系500は、必ずしも必要ではないが、この光学系500を設けることで、以下の利点を有することができる。
本例では、フォーカス位置シフタ100,200は、非コリメート光学系400から入射される光の光路長を変えることで、フォーカス位置シフタ100,200から射出される光のフォーカス位置を変える。この場合、集光レンズ117からの光は、フォーカス位置シフタ100,200内を伝搬する過程でスポットを結び、収束光から拡散光に変化することが想定される。このような場合に、フォーカス位置シフタ100,200から射出される拡散光を再び収束光に戻すための光学系500が必要となる。
光学系500は、フォーカス位置シフタ100,200を用いて、光路長の制御による光軸方向のフォーカス位置の制御を行う場合に、フォーカス位置シフタ100,200から射出される光のフォーカスポイントを確実に形成するために有効である。
・ 原理
図2は、光軸方向のフォーカス位置を制御する原理を示す。
光軸方向のフォーカス位置の制御は、フォーカス位置シフタ100により行う。フォーカス位置シフタ100は、非コリメート光学系400から入射される光の光路長を変えることにより、当該フォーカス位置シフタ100から射出される光の光軸方向のフォーカス位置を制御する。
図2は、光軸方向のフォーカス位置を制御する原理を示す。
光軸方向のフォーカス位置の制御は、フォーカス位置シフタ100により行う。フォーカス位置シフタ100は、非コリメート光学系400から入射される光の光路長を変えることにより、当該フォーカス位置シフタ100から射出される光の光軸方向のフォーカス位置を制御する。
そのために、フォーカス位置シフタ100は、第1の反射面101と、第1の反射面101に対向する第2の反射面102と、光を折り返す第3の反射面114と、光を取り出す第4の反射面115と、制御部120と、を備える。
第1の反射面101、第2の反射面102、第3の反射面114、及び第4の反射面115は、例えば、ミラーである。但し、第4の反射面115に関しては、非コリメート光学系400からの光を透過すると共に、第1の反射面101からの光を反射する性質を備える。本例では、説明を簡単にするため、第1の反射面101及び第2の反射面102は、互いに平行であることを前提とする。しかし、第1の反射面101及び第2の反射面102は、互いに対向していれば、それらが非平行であっても問題はない。
ここで、第1の反射面101及び第2の反射面102が互いに対向するとは、第1の反射面101と第2の反射面102とのなす角度αが、0°(平行)以上、90°未満の範囲内にあることを意味する。これは、後述するように、第1の反射面101からの光を第2の反射面102で反射可能であることが重要となるからである。
第1の反射面101及び第2の反射面102は、共に、回転軸104を中心に回転可能である。また、第1の反射面101及び第2の反射面102は、両者の相対位置関係を維持した状態で、回転軸104を中心に回転することが必要である。そのために、フォーカス位置シフタ100は、例えば、回転軸104を中心に回転可能であるステージ103を備える。この場合、第1の反射面101及び第2の反射面102は、ステージ103上に固定される。また、制御部120は、ステージ103の回転角度を変えることで、非コリメート光学系400から入射される光の光路長を変え、フォーカス位置シフタ100から射出される光の光軸方向のフォーカス位置を制御する。
尚、回転軸104は、後述するように、第1の反射面101及び第2の反射面102間の領域に存在してもよいし、又は第1の反射面101及び第2の反射面102間以外の領域に存在してもよい。
第1の反射面101は、非コリメート光学系400からの光を反射する。第1の反射面101で反射された光は、第2の反射面102に向かい、かつ第2の反射面102で反射される。第3の反射面114は、第2の反射面102からの光を第2の反射面102に戻す。即ち、非コリメート光学系400からの光は、光路109、光路110、及び光路111を順次経由して、第3の反射面114で折り返される。第3の反射面114で折り返された光は、同じ光路、即ち、光路111、光路110、及び光路109を順次経由して、第4の反射面115から射出される。
このようなフォーカス位置シフタ100を用いれば、例えば、制御部120によりステージ103の回転角度を制御することで、フォーカス位置シフタ100内での光の光路長を変えることができる。従って、フォーカス位置シフタ100から射出される射出光122の光軸方向におけるフォーカス位置を制御できる。
フォーカス位置シフタ100内での光路長の変化について説明する。
以下の説明では、集光レンズ117の中心点を光の入射点112とし、入射点112の座標を(xi,yi)とする。また、第2の反射面102からの光が反射される第3の反射面114上の点を中間点113とし、中間点113の座標を(xo,yo)とする。さらに、第3の反射面114から折り返された光が射出される点を射出点112’とし、入射点112から中間点113までの光路長と、中間点113から射出点112’までの光路長とは、等しいものとする。
以下の説明では、集光レンズ117の中心点を光の入射点112とし、入射点112の座標を(xi,yi)とする。また、第2の反射面102からの光が反射される第3の反射面114上の点を中間点113とし、中間点113の座標を(xo,yo)とする。さらに、第3の反射面114から折り返された光が射出される点を射出点112’とし、入射点112から中間点113までの光路長と、中間点113から射出点112’までの光路長とは、等しいものとする。
また、回転軸104から第1の反射面101に下した垂線と第1の反射面101との交点105の座標を(x01、y01)とし、回転軸104から第2の反射面102に下した垂線と第2の反射面102との交点106の座標を(x02、y02)とする。また、回転軸104から第1の反射面101に下した垂線の長さRと、回転軸104から第2の反射面102に下した垂線の長さRとは、等しいものとする。即ち、第1の反射面101と第2の反射面102との間隔は、2Rであるものとする。
また、回転軸104から光路(入射光軸)109に垂線を引いた場合に、その垂線の長さをYとする。即ち、非コリメート光学系400から入射される光は、回転軸104に対して、距離Yのオフセットで、第1の反射面101に入射される。また、第1の反射面101と光路(入射光軸)109とが平行である状態を、回転角度0°と定義する。但し、回転角度0°では、第1の反射面101は、第2の反射面102よりも、光路(入射光軸)109に近い側にあるものとする。
また、ステージ103は、回転角度0°の状態を基準とした場合、回転角度0°から左周りに角度θだけ回転するものとする。回転角度θは、例えば、0°から90°までの範囲内で制御される。従って、ステージ103を回転させるモータは、ステージ103を左周り及び右回りに回転可能なガルバノモータであることが望ましい。但し、ステージ103を回転させるモータは、ステージ103を一方向(例えば、左周り)のみに回転可能な回転モータであってもよい。この場合、回転角度θを小さくするときは、ステージ103を1回転させ、回転角度0°の状態から再び回転角度θを制御すればよい。
以上の前提の下、まず、交点105の座標(x01,y01)、及び交点106の座標(x02,y02)は、それぞれ、以下の式(1)〜(4)で表される。
次に、第1の反射面10上の座標を(x1,y1)とし、第2の反射面102上の座標を(x2,y2)とすると、以下の式(5)及び(6)に示す関係が得られる。
次に、非コリメート光学系400からの光が反射する第1の反射面101上の点107の座標を(xm1,ym1)とし、第1の反射面101からの光が反射する第2の反射面102上の点108の座標を(xm2,ym2)とする。また、非コリメート光学系400及び第1の反射面101間の光路109上のy座標をyBIとし、第1の反射面101及び第2の反射面102間の光路110上の座標を(xBR、yBR)とする。この場合、第1の反射面101及び第2の反射面102間の光路110上の座標は、以下の(7)式により記述できる。
次に、第2の反射面102で反射された光の光路111上のy座標をyBOとする。この場合、反射点107の座標(xm1,ym1)、及び反射点108の座標(xm2,ym2)は、それぞれ、以下の式(8)〜(11)で表される。
次に、光の入射点112の座標を(xi,yi)とし、光の中間点113の座標を(xo,yo)とすると、光路109の長さ、即ち、座標(xi,yi)から(xm1,ym1)までの長さは、以下の式(12)で表される。
また、光路110の長さ、即ち、座標(xm1,ym1)から(xm2,ym2)までの長さは、以下の式(13)で表される。
さらに、光路111の長さ、即ち、座標(xm2,ym2)から(xo,yo)までの長さは、以下の式(14)で表される。
従って、光の入射点112から中間点113までの光路長、即ち、座標(xi,yi)から座標(xo,yo)までの長さは、以下の式(15)で表される。
ここで、第3の反射面114において、第2の反射面102からの光が、光軸のシフト無しに、再び、第2の反射面102に折り返されると仮定する。この場合、入射点112から中間点113までの光路長と、中間点113から射出点112’までの光路長とが等しいため、入射点112から射出点112’までの光路長は、以下の式(16)で表される。
但し、Δは、第3の反射面114での光軸のシフト量である。上述のように、第3の反射面114での光軸のシフトが無いと仮定すれば、Δは、零である。
式(16)から明らかなように、光路長は、ステージ103の回転角度θに依存して変化する。即ち、回転角度θを制御することで、フォーカス位置シフタ100内での光の光路長を制御し、フォーカス位置シフタ100から射出される光の光軸方向のフォーカス位置を制御できる。また、第1の反射面101及び第2の反射面102間の距離(2×R)を大きくすれば、回転角度θに対する光路長の変化量を大きくすることができる。
また、例えば、ガルバノモータを用いてステージ103を回転駆動することで、集光レンズ117をリニア駆動する場合に比べて、光軸方向における光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御できる。尚、第1の反射面101のサイズと第2の反射面102のサイズとは、同じであってもよいし、又は互いに異なっていてもよい。後者の場合、後述するように、第1の反射面101のサイズは、第2の反射面102のサイズよりも小さいことが望ましい。
以上の説明では、第1の反射面101と第2の反射面102とが平行であることを前提としたが、両者が非平行であっても上述の原理を適用することが可能である。
例えば、第1の反射面101と第2の反射面102とが角度αだけずれていると仮定すると、光路111における光の光軸は、光路109における光の光軸に対して(2×α)だけずれることになる。しかし、光路111における光の光軸は、回転角度θに依存しないため、回転角度θが変わっても、第2の反射面102からの光は、平行移動するだけである。即ち、回転角度θが変わっても、光路111における光の光軸が光路109における光の光軸に対して(2×α)だけずれる、という関係は変わらない。従って、第3の反射面114が入射光の光路と同じ光路に反射光を反射すれば、折り返された光は、再び、光路109に戻ってくる。
これは、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行であっても、上述の原理を適用できることを意味する。言い換えれば、第1の反射面101と第2の反射面102とを平行にすることを前提とした場合であっても、その平行度を厳密に設定しなくてもよいことを意味する。また、第1の反射面101と第2の反射面102の反射位置に応じた平行度のばらつきについては、第3の反射面114での光の反射角度により補償することが可能である。
・ 第1の例
図3は、図1の光学装置の第1の例を示す。
本例は、ステージ103の回転角度θを、56°〜63°の範囲内で、1°単位で変化させた場合の光路の例である。
図3は、図1の光学装置の第1の例を示す。
本例は、ステージ103の回転角度θを、56°〜63°の範囲内で、1°単位で変化させた場合の光路の例である。
第1の反射面1011,…1012,…1013は、回転軸104(座標(0,0))から25mmの位置に配置され、第2の反射面1021,…1022,…1023も、回転軸104から25mmの位置に配置される。第1の反射面1011及び第2の反射面1021は、回転角度θが56°の場合に対応し、互いに平行に配置される。第1の反射面1012及び第2の反射面1022は、回転角度θが59°の場合に対応し、互いに平行に配置される。第1の反射面1013及び第2の反射面1023は、回転角度θが63°の場合に対応し、互いに平行に配置される。
第1の反射面1011,…1012,…1013のサイズと、第2の反射面1021,…1022,…1023のサイズとは、同じであり、例えば、120mmである。本例では、第1の反射面1011,…1012,…1013のサイズ、及び第2の反射面1021,…1022,…1023のサイズは、ステージ103の上面に平行な方向のサイズ(横幅)であるものとする。
ここで、光路109における光の光軸方向をx軸とし、それに垂直な方向をy軸とする。また、集光レンズ117は、回転軸104からx方向に10mm、y方向に−5mmの位置に配置する。第3の反射面114は、回転軸104からx方向に20mmの位置に配置する。第3の反射面114は、例えば、互いに直交する2つの反射面を有するミラーである。即ち、第2の反射面1021,…1022,…1023からの光は、当該2つの反射面の一方で反射した後、当該2つの反射面の他方で反射する。この後、光は、第3の反射面114から第2の反射面1021,…1022,…1023に折り返される。
上述のように、第3の反射面114が互いに直交する2つの反射面を有するミラーである場合、往路としての光路109,110,111と、復路としての光路111,110,109と、を多少ずらすことができる。従って、往路としての光路109,110,111を伝搬する光と、復路としての光路111,110,109を伝搬する光とが干渉する恐れがなくなる。但し、この場合、式(16)のΔは、零でなくなるため、光軸方向におけるフォーカス位置は、Δを考慮する必要がある。
尚、第3の反射面114は、このような2つの反射面を有するミラーに代えて、入射光の光路と同じ光路に反射光を反射する1枚のミラーであっても構わない。
第4の反射面1151,1152は、射出光122を、光路109上の入射光の光軸と同じ方向、即ち、x方向に取り出す。但し、第4の反射面1151,1152は、射出光122を、光路109上の入射光の光軸に交差する方向、例えば、y方向に取り出すように配置してもよい。
また、光源300から集光レンズ117にコリメート光を入射し、集光レンズ117の焦点距離を200mmとする。ステージ103は、ガルバノモータにより駆動され、回転角度θは、56°〜63°の範囲内で制御されるものとする。図では見えやすいように1°ずつの光路を示している。尚、ガルバノモータによるステージ103の回転速度は、1秒間に1回転(1Hz=1rps)程度に設定可能である。
以上の条件において、光路長は、151.5mmから156.5mmまでの範囲内で変化可能である。また、回転角度θを59°から62°に変更した場合のフォーカス位置の移動速度は、5mm/(3/360)=600mm/msである。従来のリニアステージに載せたレンズの直動によるフォーカスシフトでは、フォーカス位置の移動速度は、200mm/ms程度である。即ち、本例によれば、高速かつ高精度でフォーカス位置を制御可能となる。
また、本例では、第4の反射面1151は、集光レンズ117からx方向に10mmの位置に配置し、かつ第4の反射面1152は、第4の反射面1151からx方向に−10mmの位置に配置する。これは、フォーカス位置シフタ200から取り出す光の光路が第1の反射面1011,…1012,…1013に当たらないようにする工夫である。集光レンズ117の焦点距離が200mmであるため、第4の反射面1152からx方向に約45mm〜50mmの位置にフォーカスポイントが形成される。
このように、第1の例によれば、光路長の制御により、光軸方向における光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御できる。
尚、第3の反射面114として1枚のミラーを用い、第3の反射面114が入射光と同じ光路に反射光を反射する場合、第1の反射面1011,…1012,…1013の直前に、ビームスプリッタを挿入することが望ましい。
尚、第3の反射面114として1枚のミラーを用い、第3の反射面114が入射光と同じ光路に反射光を反射する場合、第1の反射面1011,…1012,…1013の直前に、ビームスプリッタを挿入することが望ましい。
また、非コリメート光学系400からの光を、波長板により直線偏光ビームとし、かつ偏光ビームスプリッタ及び1/4波長板により円偏光ビームとした後に、第1の反射面1011,…1012,…1013に入射させてもよい。この場合、第3の反射面114から折り返された光を、再度、1/4波長板により、偏光が90度回転した直線偏光ビームとすることで、これを偏光ビームスプリッタにより取り出すことが可能となる。
また、ステージ103は、円盤としているが、軽量化などの観点から、円盤の一部分、棒状、その他の任意の形状であっても構わない。但し、いずれの形状においても、回転軸104と、第1及び第2の反射面1011,…1012,…1013,1021,…1022,…1023と、を物理的に繋ぐ構造が必要である。
・ 第2の例
図4は、図1の光学装置の第2の例を示す。
既に述べたように、第1の反射面101のサイズと、第2の反射面102のサイズとは、同じである必要がない。そこで、本例では、第1の反射面101のサイズを、第2の反射面102のサイズよりも小さくし、例えば、ガルバノモータにより駆動されるステージ103の重量を軽減する例を説明する。
図4は、図1の光学装置の第2の例を示す。
既に述べたように、第1の反射面101のサイズと、第2の反射面102のサイズとは、同じである必要がない。そこで、本例では、第1の反射面101のサイズを、第2の反射面102のサイズよりも小さくし、例えば、ガルバノモータにより駆動されるステージ103の重量を軽減する例を説明する。
この場合、ガルバノモータの負荷が軽減されるため、ステージ103の高速回転が可能となる。これは、フォーカス位置シフタ100によるフォーカス位置の高速かつ高精度な制御を可能にすることを意味する。
制御可能な回転角度θの中心角度θ0において、式(17)が0となる時、xm1の変位量が最も小さくなる。従って、式(18)で表される関係式が得られる。
そこで、θ=θ0の場合に、回転軸104から第1の反射面101を含む平面に下した垂線と当該平面との交点105の座標(x01,y01)と、入射光が第1の反射面101で反射される点107の座標(xm1,ym1)とを一致させる。この場合、xm1の変位をカバーするために、第1の反射面101のサイズを大きくする必要が無くなる。即ち、第1の反射面101のサイズを第2の反射面102のサイズよりも小さくして、ステージ103上の重量を軽減できる。また、θ=θ0において、交点105の座標(x01,y01)と、反射点107の座標(xm1,ym1)とが一致するため、ステージ103上の重心が安定し易く、これも高速なフォーカス位置の制御に貢献する。
本例の光学装置の構成は、基本的に、第1の例と同じである。但し、θ0=60.5°で式(17)が0となるように、回転軸104からx方向に−10mm、y方向に−12.3mmの位置に集光レンズ117を配置する。その結果、ステージ103の上面に平行な方向において、第1の反射面101のサイズ(横幅)は、4mmとし、第2の反射面102のサイズは、13mmとすることが可能となる。
また、本例では、回転軸104から第1の反射面101を含む平面に下した垂線の長さR1と、回転軸104から第2の反射面102に下した垂線の長さR2とは、互いに異なる。この場合、交点105の座標(x01,y01)、及び交点106の座標(x02,y02)は、それぞれ、以下の式(19)〜(22)で表される。
式(16)と式(23)とを比較すると、光路長の変化は、回転軸104からの距離によらず、第1及び第2の反射面101,102間の距離(2R、又はR1+R2)に依存することが分かる。本例では、上述のように、第2の反射面102のサイズが第1の反射面101のサイズよりも大きい。そこで、本例では、第2の反射面102を、第1の反射面101よりも、回転軸104に近い位置に配置する。
以上、第2の例によれば、ガルバノモータの負荷が軽減されるため、ステージ103の高速回転が可能となり、フォーカス位置シフタ100によるフォーカス位置の高速かつ高精度な制御が可能となる。
・ 第3の例
図5は、図1の光学装置の第3の例を示す。
第3の例は、第1の反射面101及び第2の反射面102が回転軸104に対して点対称に配置されない例である。
図5は、図1の光学装置の第3の例を示す。
第3の例は、第1の反射面101及び第2の反射面102が回転軸104に対して点対称に配置されない例である。
本例では、回転軸104から第1の反射面101又はそれを含む平面に下した垂線の長さは、50mmに設定する。また、回転軸104から第2の反射面102又はそれを含む平面に下した垂線の長さは、0mmに設定する。即ち、回転軸104は、第2の反射面102又はそれを含む平面内に含まれる。また、集光レンズ117は、回転軸104からx方向に40mm、y方向に−25mmの位置に配置する。さらに、光を折り返すための第3の反射面114は、回転軸104からx方向に30mmの位置に配置する。
制御部120は、ガルバノモータによりステージ103を回転駆動する。制御部120は、59°〜62°の範囲内でステージ103の回転角度を制御する。ガルバノモータによるステージ103の回転速度は、例えば、1秒間に1回転(1Hz=1rps)程度に設定する。
以上の条件では、光路長は、151.5mmから156.5mmまでの範囲内で変化可能である。例えば、回転角度θが59°の場合、光は、第1の反射面1014及び第2の反射面1024で反射され、光路長は、156.5mmとなる。また、回転角度θが62°の場合、光は、第1の反射面1015及び第2の反射面1025で反射され、光路長は、151.5mmとなる。
本例によれば、高速かつ高精度でフォーカス位置を制御可能となると共に、第1の反射面101のサイズ及び第2の反射面102のサイズをそれぞれ小さくすることができる。例えば、第1の反射面101のサイズ(横幅)は、4mmに、第2の反射面102のサイズ(横幅)は、13mmに、それぞれ設定可能である。
・ 第4の例
図6は、図1の光学装置の第4の例を示す。
第4の例は、非コリメート光学系400からの光が第1の反射面101及び第2の反射面102で複数回反射する例である。
図6は、図1の光学装置の第4の例を示す。
第4の例は、非コリメート光学系400からの光が第1の反射面101及び第2の反射面102で複数回反射する例である。
本例では、第1及び第2の反射面101,102の距離を近付ける、第1及び第2の反射面101,102が対向する面積を増やす、などの構成の変更を行うことで、第1及び第2の反射面101,102間の光の反射回数を増やすことができる。
例えば、同図では、光は、第3の反射面114までの往路において、第1及び第2の反射面101,102でそれぞれ2回反射し、かつ第3の反射面114からの復路において、第1及び第2の反射面101,102でそれぞれ2回反射する。上述の第1乃至第3の例では、往路及び復路のそれぞれにおいて、第1及び第2の反射面101,102での光の反射回数は、1回のみである。即ち、本例によれば、上述の第1乃至第3の例に比べて、光路長を約2倍に増やすことができる。
これは、光路長を変化させる範囲を一定とした場合に、本例では、上述の第1乃至第3の例に比べて、ステージ103の回転角度θの範囲を小さくできることを意味する。即ち、本例では、小さな回転角度θにより、所望の光路長を得ることができるため、フォーカス位置の高速かつ高精度な制御にさらに貢献することとなる。
また、本例では、第1及び第2の反射面101,102間の距離を狭め、かつ第1及び第2の反射面101,102を回転軸104に近い位置に配置可能なため、モータの負荷軽減による高速動作も可能である。
尚、第1及び第2の反射面101,102間の光の反射回数は、2回に限られず、3回以上であってもよい。
・ 第5の例
図7は、図1の光学装置の第5の例を示す。
第5の例は、上述の第1乃至第4の例における往路及び復路を、光が複数回往復する例である。そのために、本例の光学装置は、光を折り返すための複数の折り返し反射面をさらに備える。
図7は、図1の光学装置の第5の例を示す。
第5の例は、上述の第1乃至第4の例における往路及び復路を、光が複数回往復する例である。そのために、本例の光学装置は、光を折り返すための複数の折り返し反射面をさらに備える。
例えば、本例では、第1、第2、及び第3の折り返し反射面1141,1142,1143を備える。第1の折り返し反射面1141は、上述の第1乃至第4の例における第3の反射面114に相当する。第2の折り返し反射面1142は、第1の折り返し反射面1141により折り返され、かつ第1の反射面101で反射された光を第1の反射面101に戻す第5の反射面として機能する。また、第3の折り返し反射面1143は、第2の折り返し反射面1142により折り返され、かつ第2の反射面102で反射された光を第2の反射面102に戻す第6の反射面として機能する。
第1乃至第3の折り返し反射面1141,1142,1143は、それぞれ、直交する2つの反射面を有するミラーである。これにより、各折り返し反射面に入射される入射光と、各折り返し反射面から反射される反射光との光路をずらすことができる。即ち、光は、第1乃至第3の折り返し反射面1141,1142,1143間を、複数回往復することが可能となる。
尚、本例では、第1乃至第3の折り返し反射面1141,1142,1143で光をずらす方向は、ステージ103の上面に垂直な方向としているが、これに限られない。例えば、第1乃至第3の折り返し反射面1141,1142,1143で光をずらす方向は、ステージ103の上面に平行な方向としてもよい。
以上の構成において、ガルバノモータなどのモータ130によりステージ103を回転駆動し、ステージ103の回転角度θを設定する。この後、非コリメート光学系400からの光は、第1乃至第3の折り返し反射面1141,1142,1143間で2往復された後、第4の反射面115により取り出される。
本例によれば、第4の例と同様に、光路長を長くすることができる。従って、小さな回転角度θにより、所望の光路長を得ることができ、結果として、フォーカス位置の高速かつ高精度な制御が可能となる。また、第1及び第2の反射面101,102間の距離を狭め、かつ第1及び第2の反射面101,102を回転軸104に近い位置に配置して、モータの負荷軽減による高速動作も可能となる。
尚、複数の折り返し反射面間の光の往復回数は、2回に限られず、3回以上であってもよい。
・ 第6の例
図8は、図1の光学装置の第6の例を示す。
第6の例は、第1及び第2の反射面101,102の構成に関する。上述の第1乃至第5の例では、第1及び第2の反射面101,102は、例えば、互いに独立したミラーである。しかし、第1及び第2の反射面101,102は、これに限られず、所定の部材の内面であっても構わない。
図8は、図1の光学装置の第6の例を示す。
第6の例は、第1及び第2の反射面101,102の構成に関する。上述の第1乃至第5の例では、第1及び第2の反射面101,102は、例えば、互いに独立したミラーである。しかし、第1及び第2の反射面101,102は、これに限られず、所定の部材の内面であっても構わない。
例えば、同図に示すように、第1及び第2の反射面101,102は、1つの結晶(例えば、ガラス材料)内の結晶面であってもよい。即ち、結晶体140は、その内部に、第1及び第2の反射面101,102を有する。結晶体140は、ステージ103上に固定される。
本例によれば、第1及び第2の反射面101,102の平行度を、結晶体140の研磨作業により向上させることができる。即ち、第1及び第2の反射面101,102がそれぞれ独立したミラーの場合には、各ミラーをステージ103上に固定する際に、第1及び第2の反射面101,102の平行度を調整しなければならず、作業が複雑化する。これに対し、結晶体140を用いれば、第1及び第2の反射面101,102の平行度を確保する作業と、第1及び第2の反射面101,102をステージ103上に取り付ける作業とを別々に行える。
従って、本例によれば、光学装置を組み立てる作業が効率化できる。
尚、第1及び第2の反射面101,102として結晶体140を用いる場合、光が入射する端面Sin、及び光が射出する端面Soutは、それぞれ、光の反射を低減するコーティングが施されていることが望ましい。
尚、第1及び第2の反射面101,102として結晶体140を用いる場合、光が入射する端面Sin、及び光が射出する端面Soutは、それぞれ、光の反射を低減するコーティングが施されていることが望ましい。
また、光路109,111上の光の光軸と、端面Sin,Soutとのなす角度は、いわゆるブリュースタ角となるように、結晶体140をセッティングすることが望ましい。ブリュースタ角は、結晶体140の材料に依存するが、例えば、約60°となる。この場合、光路109上の光の光軸と端面Sinとのなす角度、及び光路111上の光の光軸と端面Soutとのなす角度を、それぞれ約60°とすることで、端面Sin,Soutでの反射ロスを低減できる。
・ 第7の例
図9は、図1の光学装置の第7の例を示す。
第7の例は、集光レンズ117からの収束光がフォーカス位置シフタ100内を伝搬する過程でスポットを結び、当該フォーカス位置シフタ100から拡散光として射出される場合の例である。この場合、当該フォーカス位置シフタ100から射出される拡散光は、光学系400’により収束光となり、再びスポットを結ぶ。
図9は、図1の光学装置の第7の例を示す。
第7の例は、集光レンズ117からの収束光がフォーカス位置シフタ100内を伝搬する過程でスポットを結び、当該フォーカス位置シフタ100から拡散光として射出される場合の例である。この場合、当該フォーカス位置シフタ100から射出される拡散光は、光学系400’により収束光となり、再びスポットを結ぶ。
光学系400’は、光のビーム径を当該光の伝搬方向に沿って収束させる収束光学系である。光学系400’は、例えば、集光レンズ150,160を備える。第4の反射面115から取り出された射出光122は、集光レンズ150,160を経由した後、スポットを結ぶ。
ここで、集光レンズ117によってフォーカス位置シフタ100内に形成されたスポット位置から集光レンズ150までの距離をaとし、集光レンズ150から当該集光レンズ150により集光される光のスポット位置までの距離をbとする。また、集光レンズ150の焦点距離をfとする。この時、a>fである。
そこで、フォーカス位置シフタ100を用いて光路長を制御する、即ち、距離aを制御することで、距離bを制御可能となる。
本例では、光学系400’を設けることで、フォーカス位置シフタ100によりフォーカス位置を制御できると共に、フォーカス位置をフォーカス位置シフタ100から比較的離れた位置に設定できる。このため、光軸方向におけるフォーカス位置の自由度が増えると共に、射出光122の方向(光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置)を制御するガルバノミラーなどのデバイスを光学系400’内に配置できる。
以上の構成において、例えば、コリメート光(平行光)を集光レンズ117に入射する。集光レンズ117の焦点距離は、例えば、50mmである。本例では、回転軸104から第1の反射面101又はそれを含む平面に下した垂線の長さは、20mmに設定する。また、回転軸104から第2の反射面102又はそれを含む平面に下した垂線の長さは、0mmに設定する。即ち、回転軸104は、第2の反射面102又はそれを含む平面内に含まれる。
ステージ103の回転角度θは、38°〜43°の範囲内で、制御する。図9では見え易いように1°ごとの光路の変化を示す。集光レンズ117は、回転軸104からx方向に5mm、y方向に−15mmの位置に配置する。第3の反射面114は、x方向に25mmの位置に配置する。この場合、集光レンズ117から第3の反射面114で反射され、かつフォーカス位置シフタ100から射出される射出光122の光路長は、約89.3mm〜94.6mmまでの範囲内で制御可能となる。
第4の反射面115により取り出された射出光122は、光学系400’内の集光レンズ150に入射される。第4の反射面114から集光レンズ150までの距離が約10.5mmの場合、入射点112から射出点112’までの光路長は、94.8mm〜100.1mmまでの範囲内で制御可能となる。
集光のレンズ150の焦点距離fが15mmであると仮定すると、射出側でのフォーカスポイントは、22.5mm〜21.4mmの範囲内で制御可能となる。また、集光レンズ150から50mmの位置に集光レンズ160を配置する。この場合、集光レンズ160の焦点距離が20mmであると仮定すると、集光レンズ160から73.3mm〜66.7mmの位置にフォーカスポイントが形成される。
尚、本例では、非コリメート光学系400において1枚の集光レンズ117を使用し、収束光学系400’において2枚の集光レンズ150,160を使用する。但し、本例の光学装置に使用するレンズの枚数は、これら3枚に限られることはない。例えば、フォーカス位置(設計値)に応じて、レンズの枚数を増減することも可能である。また、所望の開口数NAで集光しながらフォーカス位置を制御する光学設計としてもよい。さらに、非コリメート光学系400及び収束光学系400’内に含ませるレンズは、凸レンズに限られず、凹レンズ、シリンドリカルレンズなどであってもよい。
・ 第8の例
図10は、図1の光学装置の第8の例を示す。
第8の例は、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行である場合の例である。ここで、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行であるとは言っても、両者は、互いに対向している必要がある。即ち、第1の反射面101からの光を第2の反射面102で反射することが可能な配置となっている。
図10は、図1の光学装置の第8の例を示す。
第8の例は、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行である場合の例である。ここで、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行であるとは言っても、両者は、互いに対向している必要がある。即ち、第1の反射面101からの光を第2の反射面102で反射することが可能な配置となっている。
例えば、第1の反射面101(1016,1017)と第2の反射面102(1026,1027)とがなす角度αは、約60°である。第1の反射面1016及び第2の反射面1026は、回転角度θが56°の場合に対応する。また、第1の反射面1017及び第2の反射面1027は、回転角度θが63°の場合に対応する。
また、回転軸104から第1の反射面101又はそれを含む平面に下した垂線の長さをR1とし、回転軸104から第2の反射面102又はそれを含む平面に下した垂線の長さをR2とする。この場合、交点105の座標(x01,y01)、及び交点106の座標(x02,y02)は、それぞれ、以下の式(25)〜(28)で表される。
また、第1の反射面101上の座標を(x1,y1)とし、第2の反射面102上の座標を(x2,y2)とすると、各座標は、以下の式(29)及び(30)で記述される。
ここで、非コリメート光学系400からの光が第1の反射面101で反射する点を(xm1,ym1)とし、第2の反射面102で反射する点を(xm2,ym2)とする。また、光路109上のy座標をyBIとし、第1の反射面101及び第2の反射面102間の光路110上の座標を(xBR、yBR)とする。この場合、第1の反射面101及び第2の反射面102間の光路110上の座標は、式(31)により記述できる。
以上から分かることは、光路長の変化量が、回転軸104から第1及び第2の反射面101,102までの距離R1,R2ではなく、第1及び第2の反射面101,102間の距離(R1+R2)に依存するということである。即ち、第1及び第2の反射面101,102間の距離を短くすれば、光路長を短くでき、逆に、第1及び第2の反射面101,102間の距離を長くすれば、光路長を長くできる。
以上の構成において、例えば、コリメート光(平行光)を、焦点距離100mmの集光レンズ117に入射する。ステージ103の回転角度θは、56°〜63°の範囲内で制御する。第1の反射面101は、回転軸104から50mm(R1=50)の位置に配置し、第2の反射面102は、回転軸104から0mm(R2=0)の位置に配置する。第2の反射面102は、第1の反射面101に対して、α=−60°だけ傾ける。
また、集光レンズ117は、回転軸104からx方向に30mm、y方向に−25.7mmの位置に配置する。第3の反射面114は、回転角度θが56°のときに、回転軸104からx方向に30mmの位置で光を反射するようなレイアウトとする。また、第3の反射面114は、反射光の光路が入射光の光路と重なるように、y軸に対して2α(=120°)だけ傾ける。
但し、第3の反射面114は、反射光の光路が入射光の光路と重ならないようにレイアウトしてもよい。例えば、第3の反射面114は、反射光の光路が入射光の光路からz方向(ステージ103の上面に垂直な方向)に多少シフトするように、互いに直交する2つの反射面を備えてもよい。また、第3の反射面114は、反射光の光路が入射光の光路と重ならないように、z方向に多少傾いていてもよい。
以上の構成において、光路長は、45.2mm〜51.4mmの範囲内で変えることができる。即ち、ステージ103の回転角度θの制御により、光路長として、6.2mmの変化量を実現できる。また、第4の反射面115を入射光端の直下から5mm離れた位置に配置したと仮定すると、フォーカス位置は、第4の反射面115から59.8mm〜53.6mmの範囲内で制御できる。
尚、第1の反射面101と第2の反射面102とが平行である場合、光路長は、例えば、82.9mm〜89.1mmの範囲内で制御できる。即ち、この場合、光路長の変化量は、6.2mmであり、本例と変わらない。しかし、第1の反射面101と第2の反射面102とが平行である場合、当該変化量を実現するために必要な光路長が本例よりも90mm程度長くなる。従って、集光レンズの焦点距離を長くするなどの工夫が必要となる。
これに対し、本例では、短い光路長で所定の変化量を得ることができるため、集光レンズの焦点距離を長くするなどの工夫無しに、光軸方向におけるフォーカス位置の制御が可能となる。
また、本例では、回転軸104のより近くにおいて、第2の反射面102での光の反射が起こるように、第2の反射面102のレイアウトを決定してもよい。この場合、ガルバノモータの負荷を軽減され、より高速なフォーカス位置の制御が可能となる。
(光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置の制御)
次に、本実施形態のフォーカス位置シフタを用いて、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を制御する技術を説明する。
次に、本実施形態のフォーカス位置シフタを用いて、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を制御する技術を説明する。
・ 光学装置
図11は、フォーカス位置シフタを備えた光学装置の例を示す。
図11(A)は、フォーカス位置シフタ600に入射される光の光軸と、フォーカス位置シフタ600から射出される光の光軸と、が異なる方向である例を示す。ここで、異なる方向とは、フォーカス位置シフタ600から射出される光の光軸が、フォーカス位置シフタ600に入射される光の光軸に対して、45°以上、135°以下の傾き(例えば、90°の傾き)を有することを意味する。
図11は、フォーカス位置シフタを備えた光学装置の例を示す。
図11(A)は、フォーカス位置シフタ600に入射される光の光軸と、フォーカス位置シフタ600から射出される光の光軸と、が異なる方向である例を示す。ここで、異なる方向とは、フォーカス位置シフタ600から射出される光の光軸が、フォーカス位置シフタ600に入射される光の光軸に対して、45°以上、135°以下の傾き(例えば、90°の傾き)を有することを意味する。
図11(B)は、フォーカス位置シフタ700に入射される光の光軸と、フォーカス位置シフタ700から射出される光の光軸と、が同じ方向である例を示す。ここで、同じ方向とは、フォーカス位置シフタ700から射出される光の光軸が、フォーカス位置シフタ700に入射される光の光軸に対して、0°(平行)以上、45°未満の範囲にあることを意味する。
図11(C)は、図11(A)のフォーカス位置シフタ600と、図11(B)のフォーカス位置シフタ700と、を組み合わせた例を示す。
図11(D)及び図11(E)は、比較例を示す。比較例は、いわゆるfθレンズを有するガルバノスキャナ800を用いて、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置FP_h0,FP_h1,FP_h2を制御する。しかし、ガルバノスキャナ800から射出される光の光軸は、フォーカス位置FP_h0,FP_h1,FP_h2に依存して、互いに平行とはならない。従って、フォーカス位置FP_h0,FP_h1,FP_h2でのビーム径は、当該フォーカス位置に応じて変化する。
図11(A)及び図11(B)に示すフォーカス位置シフタ600,700は、フォーカス位置FP_h0,FP_h1,FP_h2に応じて、フォーカス位置シフタ600,700からの光の射出位置を変える。これにより、フォーカス位置シフタ600,700から射出される光の光軸は、フォーカス位置FP_h0,FP_h1,FP_h2によらず、互いに平行となる。従って、フォーカス位置FP_h0,FP_h1,FP_h2でのビーム径の変化なく、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を制御できる。
例えば、光源300からの光は、例えば、コリメート光(平行光)の状態で、フォーカス位置シフタ600,700に入射される。フォーカス位置シフタ600,700では、該フォーカス位置シフタから射出される光の光路を、該光路に垂直な方向にシフトさせる制御が行われる。そして、フォーカス位置シフタ600,700から射出される光は、非コリメート光学系400により、収束光となる。
ここで、本実施形態では、フォーカスポイントを形成するための収束光を発生させる非コリメート光学系400は、フォーカス位置シフタ600,700の後段に配置される。これは、非コリメート光を用いて、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置(射出位置)の制御を行うと、同時に、光路長の変化により光軸方向におけるフォーカス位置も変化してしまうからである。
即ち、本実施形態では、光の光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置(射出位置)を独立に制御することを目的とする。従って、フォーカス位置シフタ600,700には、コリメート光を入射し、フォーカス位置シフタ600,700から射出される光を非コリメート光学系400で収束光にすることが望ましい。
但し、光の光軸方向におけるフォーカス位置の制御と、当該光の光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置の制御とを、1つのフォーカス位置シフタ600,700を用いて同時に制御することが望ましい場合には、この限りではない。
尚、光源300は、例えば、レーザ発振器であり、光源300からの光は、例えば、レーザビームである。
フォーカス位置シフタ600,700から射出される光の光軸は、フォーカス位置FP_h0,FP_h1,FP_h2によらず、互いに平行である。これは、以下の原理で説明するように、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置の制御を、fθレンズにより行うのではなく、互いに対向し、かつ回転軸を中心に回転可能な第1及び第2の反射面の回転角度の制御により行うためである。
・ 原理
図12は、光軸に垂直な方向のフォーカス位置を制御する原理を示す。
光軸に垂直な方向のフォーカス位置の制御は、フォーカス位置シフタ700により行う。フォーカス位置シフタ700は、非コリメート光学系400から入射される光の光路をシフトさせることにより、当該フォーカス位置シフタ700から射出される光の光軸に垂直な方向のフォーカス位置を制御する。
図12は、光軸に垂直な方向のフォーカス位置を制御する原理を示す。
光軸に垂直な方向のフォーカス位置の制御は、フォーカス位置シフタ700により行う。フォーカス位置シフタ700は、非コリメート光学系400から入射される光の光路をシフトさせることにより、当該フォーカス位置シフタ700から射出される光の光軸に垂直な方向のフォーカス位置を制御する。
そのために、フォーカス位置シフタ700は、第1の反射面101と、第1の反射面101に対向する第2の反射面102と、制御部120と、を備える。
第1の反射面101及び第2の反射面102は、例えば、ミラーである。本例では、説明を簡単にするため、第1の反射面101及び第2の反射面102は、互いに平行であることを前提とする。しかし、第1の反射面101及び第2の反射面102は、互いに対向していれば、それらが非平行であっても問題はない。
ここで、第1の反射面101及び第2の反射面102が互いに対向するとは、第1の反射面101と第2の反射面102とのなす角度αが、0°(平行)以上、90°未満の範囲内にあることを意味する。これは、後述するように、第1の反射面101からの光を第2の反射面102で反射可能であることが重要となるからである。
第1の反射面101及び第2の反射面102は、共に、回転軸104を中心に回転可能である。また、第1の反射面101及び第2の反射面102は、両者の相対位置関係を維持した状態で、回転軸104を中心に回転することが必要である。そのために、フォーカス位置シフタ700は、例えば、回転軸104を中心に回転可能であるステージ103を備える。この場合、第1の反射面101及び第2の反射面102は、ステージ103上に固定される。また、制御部120は、ステージ103の回転角度を変えることで、非コリメート光学系400から入射される光の光路をシフトさせ、フォーカス位置シフタ100から射出される光の光軸に垂直な方向のフォーカス位置を制御する。
尚、回転軸104は、後述するように、第1の反射面101及び第2の反射面102間の領域に存在してもよいし、又は第1の反射面101及び第2の反射面102間以外の領域に存在してもよい。
第1の反射面101は、非コリメート光学系400からの光を反射する。第1の反射面101で反射された光は、第2の反射面102に向かい、かつ第2の反射面102で反射される。即ち、非コリメート光学系400からの光は、光路109、光路110、及び光路111を順次経由して、射出点112’に出力される。
このようなフォーカス位置シフタ700を用いれば、例えば、制御部120によりステージ103の回転角度を制御することで、フォーカス位置シフタ700から射出される光の射出位置を変えることができる。従って、フォーカス位置シフタ700から射出される射出光122の光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を制御できる。
フォーカス位置シフタ700内での光路のシフトについて説明する。
以下の説明では、レンズ117’の中心点を光の入射点112とし、入射点112の座標を(xi,yi)とする。また、第2の反射面102からの光が射出される射出点112’の座標を(xo,yo)とする。
以下の説明では、レンズ117’の中心点を光の入射点112とし、入射点112の座標を(xi,yi)とする。また、第2の反射面102からの光が射出される射出点112’の座標を(xo,yo)とする。
また、回転軸104から第1の反射面101に下した垂線と第1の反射面101との交点105の座標を(x01、y01)とし、回転軸104から第2の反射面102に下した垂線と第2の反射面102との交点106の座標を(x02、y02)とする。また、回転軸104から第1の反射面101に下した垂線の長さRと、回転軸104から第2の反射面102に下した垂線の長さRとは、等しいものとする。即ち、第1の反射面101と第2の反射面102との間隔は、2Rであるものとする。
また、回転軸104から光路(入射光軸)109に垂線を引いた場合に、その垂線の長さをYとする。即ち、非コリメート光学系400から入射される光は、回転軸104に対して、距離Yのオフセットで、第1の反射面101に入射される。また、第1の反射面101と光路(入射光軸)109とが平行である状態を、回転角度0°と定義する。但し、回転角度0°では、第1の反射面101は、第2の反射面102よりも、光路(入射光軸)109に近い側にあるものとする。
また、ステージ103は、回転角度0°の状態を基準とした場合、回転角度0°から左周りに角度θだけ回転するものとする。回転角度θは、例えば、0°から90°までの範囲内で制御される。従って、ステージ103を回転させるモータは、ステージ103を左周り及び右回りに回転可能なガルバノモータであることが望ましい。但し、ステージ103を回転させるモータは、ステージ103を一方向(例えば、左周り)のみに回転可能な回転モータであってもよい。この場合、回転角度θを小さくするときは、ステージ103を1回転させ、回転角度0°の状態から再び回転角度θを制御すればよい。
以上の前提の下、まず、交点105の座標(x01,y01)、及び交点106の座標(x02,y02)は、それぞれ、以下の式(33)〜(36)で表される。
次に、第1の反射面10上の座標を(x1,y1)とし、第2の反射面102上の座標を(x2,y2)とすると、以下の式(37)及び(38)に示す関係が得られる。
次に、非コリメート光学系400からの光が反射する第1の反射面101上の点107の座標を(xm1,ym1)とし、第1の反射面101からの光が反射する第2の反射面102上の点108の座標を(xm2,ym2)とする。また、非コリメート光学系400及び第1の反射面101間の光路109上のy座標をyBIとし、第1の反射面101及び第2の反射面102間の光路110上の座標を(xBR、yBR)とする。この場合、第1の反射面101及び第2の反射面102間の光路110上の座標は、以下の(39)式により記述できる。
次に、第2の反射面102で反射された光の光路111上のy座標をyBOとする。この場合、反射点107の座標(xm1,ym1)、及び反射点108の座標(xm2,ym2)は、それぞれ、以下の式(40)〜(43)で表される。
ここで、第1の反射面101と第2の反射面102とは、互いに平行であるので、第2の反射面102からの光は、光路109に平行な光路111、即ち、y=ym2上の光路を伝搬し、射出点112’に出力される。また、式(43)で示されるように、ステージ103の回転角度θが変化することで、y座標が変化することが分かる。また、回転軸104から第1の反射点101までの距離R、及び回転軸104から第2の反射点102までの距離Rを変更することで、シフト量を大きくすることが可能となる。
従って、上記原理によれば、フォーカス位置シフタ700から射出される光の射出位置を回転角度θにより制御し、当該光の光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を制御することができる。
以上の説明では、第1の反射面101と第2の反射面102とが平行であることを前提としたが、両者が非平行であっても上述の原理を適用することが可能である。
例えば、第1の反射面101と第2の反射面102とが角度αだけずれていると仮定すると、光路111における光の光軸は、光路109における光の光軸に対して(2×α)だけずれることになる。しかし、光路111における光の光軸は、回転角度θに依存しないため、回転角度θが変わっても、第2の反射面102からの光は、平行移動するだけである。即ち、回転角度θが変わっても、光路111における光の光軸が光路109における光の光軸に対して(2×α)だけずれる、という関係は変わらない。
これは、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行であっても、上述の原理を適用できることを意味する。言い換えれば、第1の反射面101と第2の反射面102とを平行にすることを前提とした場合であっても、その平行度を厳密に設定しなくてもよいことを意味する。また、第1の反射面101と第2の反射面102の反射位置に応じた平行度のばらつきについては、射出点112’以降に設けられる光学系で補償することが可能である。
・ 第1の例
図13は、図11の光学装置の第1の例を示す。
本例は、ステージ103の回転角度θを、82°〜86°の範囲内で、1°単位で変化させた場合の光路の例である。
図13は、図11の光学装置の第1の例を示す。
本例は、ステージ103の回転角度θを、82°〜86°の範囲内で、1°単位で変化させた場合の光路の例である。
第1の反射面1011’,…1012’は、回転軸104(座標(0,0))から25mmの位置に配置され、第2の反射面1021’,…1022’も、回転軸104から25mmの位置に配置される。第1の反射面1011’及び第2の反射面1021’は、回転角度θが82°の場合に対応し、互いに平行に配置される。第1の反射面1012’及び第2の反射面1022’は、回転角度θが86°の場合に対応し、互いに平行に配置される。
第1の反射面1011’,…1012’のサイズと、第2の反射面1021’,…1022’のサイズとは、同じであり、例えば、8mmである。本例では、第1の反射面1011’,…1012’のサイズ、及び第2の反射面1021’,…1022’のサイズは、ステージ103の上面に平行な方向のサイズ(横幅)であるものとする。ここで、光路109における光の光軸方向をx軸とし、それに垂直な方向をy軸とする。また、レンズ117’は、回転軸104からy方向(図面上、下側)に−5mmの位置に配置する。
また、光源300からレンズ117’にコリメート光を入射し、レンズ117’の焦点距離を200mmとする。ステージ103は、ガルバノモータにより駆動され、回転角度θは、82°〜86°の範囲内で制御されるものとする。尚、ガルバノモータによるステージ103の回転速度は、1秒間に1回転(1Hz=1rps)程度に設定可能である。
以上の条件において、フォーカス位置シフタ700からの光の射出位置、即ち、射出点112’のy座標は、y0(=8.92mm)からy4(=3.72mm)までの範囲内で変化する。y0は、回転角度θが82°のときの射出位置であり、y4は、回転角度θが86°のときの射出位置である。これは、本例のフォーカス位置シフタ700が、光軸に垂直な方向におけるフォーカスポイント(y座標)を、8.92mm〜3.72mmの範囲内で制御できることを意味する。しかも、本例のフォーカス位置シフタ700から射出される光の光路(光軸)111は、回転角度θによらず、互いに平行である。これは、各射出位置において、フォーカスポイントでのビーム径が変化しないことを意味する。
また、本例によれば、回転角度θが82°〜86°の範囲内において、ビームシフトの速度は、5mm/(4/360)=450mm/msである。即ち、本例によれば、高速かつ高精度でフォーカス位置を制御可能となる。
これに対し、比較例として、特許文献1のリングシフタについてみると、光の反射回数が6回である。本例のフォーカス位置シフタ700では、光の反射回数は、2回である。これは、本例のフォーカス位置シフタ700が、反射面での光損失を十分に抑えた状態で、フォーカス位置の制御を行えることを意味する。
尚、本例において、ステージ103は、円盤としているが、軽量化などの観点から、円盤の一部分、棒状、その他の任意の形状であっても構わない。但し、いずれの形状においても、回転軸104と、第1及び第2の反射面1011’,…1012’,1021’,…1022’と、を物理的に繋ぐ構造が必要である。
・ 第2の例
図14は、図11の光学装置の第2の例を示す。
既に述べたように、第1の反射面101のサイズと、第2の反射面102のサイズとは、同じである必要がない。そこで、本例では、第1の反射面101のサイズを、第2の反射面102のサイズよりも小さくし、例えば、ガルバノモータにより駆動されるステージ103の重量を軽減する例を説明する。
図14は、図11の光学装置の第2の例を示す。
既に述べたように、第1の反射面101のサイズと、第2の反射面102のサイズとは、同じである必要がない。そこで、本例では、第1の反射面101のサイズを、第2の反射面102のサイズよりも小さくし、例えば、ガルバノモータにより駆動されるステージ103の重量を軽減する例を説明する。
この場合、ガルバノモータの負荷が軽減されるため、ステージ103の高速回転が可能となる。これは、フォーカス位置シフタ700によるフォーカス位置の高速かつ高精度な制御を可能にすることを意味する。
制御可能な回転角度θの中心角度θ0において、式(44)が0となる時、xm1の変位量が最も小さくなる。従って、式(45)で表される関係式が得られる。
そこで、θ=θ0の場合に、回転軸104から第1の反射面101を含む平面に下した垂線と当該平面との交点105の座標(x01,y01)と、入射光が第1の反射面101で反射される点107の座標(xm1,ym1)とを一致させる。この場合、xm1の変位をカバーするために、第1の反射面101のサイズを大きくする必要が無くなる。即ち、第1の反射面101のサイズを第2の反射面102のサイズよりも小さくして、ステージ103上の重量を軽減できる。また、θ=θ0において、交点105の座標(x01,y01)と、反射点107の座標(xm1,ym1)とが一致するため、ステージ103上の重心が安定し易く、これも高速なフォーカス位置の制御に貢献する。
本例の光学装置の構成は、基本的に、第1の例と同じである。但し、θ0=84°で式(44)が0となるように、回転軸104からy方向に−2.13mmの位置にレンズ117’を配置する。その結果、ステージ103の上面に平行な方向において、第1の反射面101のサイズ(横幅)は、2mmとし、第2の反射面102のサイズは、8mmとすることが可能となる。
また、本例では、回転軸104から第1の反射面101を含む平面に下した垂線の長さR1と、回転軸104から第2の反射面102に下した垂線の長さR2とは、互いに異なる。この場合、交点105の座標(x01,y01)、及び交点106の座標(x02,y02)は、それぞれ、以下の式(46)〜(49)で表される。
式(43)と式(50)とを比較すると、射出位置の変化は、回転軸104からの距離によらず、第1及び第2の反射面101,102間の距離(2R、又はR1+R2)に依存することが分かる。本例では、上述のように、第2の反射面102のサイズが第1の反射面101のサイズよりも大きい。そこで、本例では、第2の反射面102を、第1の反射面101よりも、回転軸104に近い位置に配置する。
以上、第2の例によれば、ガルバノモータの負荷が軽減されるため、ステージ103の高速回転が可能となり、フォーカス位置シフタ100によるフォーカス位置の高速かつ高精度な制御が可能となる。
・ 第3の例
図15は、図11の光学装置の第3の例を示す。
第3の例は、第1の反射面101及び第2の反射面102が回転軸104に対して点対称に配置されない例である。
図15は、図11の光学装置の第3の例を示す。
第3の例は、第1の反射面101及び第2の反射面102が回転軸104に対して点対称に配置されない例である。
本例では、回転軸104から第1の反射面101又はそれを含む平面に下した垂線の長さは、50mmに設定する。また、回転軸104から第2の反射面102又はそれを含む平面に下した垂線の長さは、0mmに設定する。即ち、回転軸104は、第2の反射面102又はそれを含む平面内に含まれる。また、レンズ117’は、回転軸104からy方向に−25mmの位置に配置する。さらに、第1の反射面101のサイズ(横幅)は、6mmとし、第2の反射面102のサイズ(横幅)は、10mmとする。
制御部120は、ガルバノモータによりステージ103を回転駆動する。制御部120は、82°〜86°の範囲内でステージ103の回転角度を制御する。ガルバノモータによるステージ103の回転速度は、例えば、1秒間に1回転(1Hz=1rps)程度に設定する。
以上の条件では、フォーカス位置シフタ700からの光の射出位置、即ち、射出点112’のy座標は、y0(=8.92mm)からy4(=3.72mm)までの範囲内で変化する。これは、本例のフォーカス位置シフタ700が、光軸に垂直な方向におけるフォーカスポイント(y座標)を、8.92mm〜3.72mmの範囲内で制御できることを意味する。しかも、本例のフォーカス位置シフタ700から射出される光の光路(光軸)111は、回転角度θによらず、互いに平行である。これは、各射出位置において、フォーカスポイントでのビーム径が変化しないことを意味する。
また、本例によれば、回転角度θが82°〜86°の範囲内において、ビームシフトの速度は、5mm/(4/360)=450mm/msである。即ち、本例によれば、高速かつ高精度でフォーカス位置を制御可能となる。
・ 第4の例
図16は、図11の光学装置の第4の例を示す。
第4の例は、非コリメート光学系400からの光が第1の反射面101及び第2の反射面102で複数回反射する例である。
図16は、図11の光学装置の第4の例を示す。
第4の例は、非コリメート光学系400からの光が第1の反射面101及び第2の反射面102で複数回反射する例である。
本例では、第1及び第2の反射面101,102の距離を近付ける、第1及び第2の反射面101,102が対向する面積を増やす、などの構成の変更を行うことで、第1及び第2の反射面101,102間の光の反射回数を増やすことができる。
例えば、同図では、光は、第1及び第2の反射面101,102でそれぞれ2回反射する。上述の第1乃至第3の例では、第1及び第2の反射面101,102での光の反射回数は、1回のみである。即ち、本例によれば、上述の第1乃至第3の例に比べて、射出位置のシフト量を約2倍に増やすことができる。
これは、射出位置のシフト量を一定とした場合に、本例では、上述の第1乃至第3の例に比べて、ステージ103の回転角度θの範囲を小さくできることを意味する。即ち、本例では、小さな回転角度θにより、所望のシフト量だけ射出位置をシフトさせることができるため、フォーカス位置の高速かつ高精度な制御にさらに貢献することとなる。
また、本例では、第1及び第2の反射面101,102間の距離を狭め、かつ第1及び第2の反射面101,102を回転軸104に近い位置に配置可能なため、モータの負荷軽減による高速動作も可能である。
尚、第1及び第2の反射面101,102間の光の反射回数は、2回に限られず、3回以上であってもよい。
・ 第5の例
図17は、図11の光学装置の第5の例を示す。
第5の例は、上述の第1乃至第4の例において、さらに、第2の反射面102からの光を第2の反射面102に戻す第3の反射面1144を設けた例である。この場合、入射点112からの光は、第3の反射面1144で反射され、ほぼ同じ経路を折り返して、射出点112’に伝搬する。即ち、光の入射点112及び射出点112’は、ほぼ同じ位置となる。
図17は、図11の光学装置の第5の例を示す。
第5の例は、上述の第1乃至第4の例において、さらに、第2の反射面102からの光を第2の反射面102に戻す第3の反射面1144を設けた例である。この場合、入射点112からの光は、第3の反射面1144で反射され、ほぼ同じ経路を折り返して、射出点112’に伝搬する。即ち、光の入射点112及び射出点112’は、ほぼ同じ位置となる。
第3の反射面1144は、例えば、直交する2つの反射面を有するミラーである。これにより、第3の反射面1144に入射される入射光と、第3の反射面1144で反射される反射光との光路をずらすことができる。本例では、第3の反射面1144で光をずらす方向は、ステージ103の上面に平行な方向とするが、これに限られない。例えば、後述する第9の例に示すように、第3の反射面1144で光をずらす方向は、ステージ103の上面に垂直な方向としてもよい。
このように、第3の反射面1144を用いて、光を1回だけ折り返せば、射出位置のシフト量は、約2倍となる。また、射出位置のシフト量を一定とした場合に、本例では、ステージ103の回転角度θの範囲を小さくし、ガルバノモータの負荷を低減できる。即ち、本例でも、第4の例と同様に、小さな回転角度θにより、所望のシフト量だけ射出位置をシフトできるため、フォーカス位置の高速かつ高精度な制御を可能とする。
尚、本例において、光が第3の反射面1144に向かう方向を往路とし、光が第3の反射面1144から戻ってくる方向を復路とした場合に、光は、往路及び復路を複数回往復してもよい。この場合、入射点112側にも、光を折り返すための新たな反射面を設ければよい。
・ 第6の例
図18は、図11の光学装置の第6の例を示す。
第6の例は、上述の第1乃至第4の例において、さらに、第2の反射面102からの光を第2の反射面102に戻す第3の反射面1145を設けた例である。この場合、入射点112からの光は、第3の反射面1145で反射され、ほぼ同じ経路を折り返して、射出点112’に伝搬する。即ち、光の入射点112及び射出点112’は、ほぼ同じ位置となる。
図18は、図11の光学装置の第6の例を示す。
第6の例は、上述の第1乃至第4の例において、さらに、第2の反射面102からの光を第2の反射面102に戻す第3の反射面1145を設けた例である。この場合、入射点112からの光は、第3の反射面1145で反射され、ほぼ同じ経路を折り返して、射出点112’に伝搬する。即ち、光の入射点112及び射出点112’は、ほぼ同じ位置となる。
第3の反射面1145は、例えば、1枚の平板ミラーである。しかし、第3の反射面1145の表面の垂線は、第2の反射面102からの光の光路(光軸)111に対して平行ではなく、一定の角度で傾いている。このため、第3の反射面1145に入射される入射光と、第3の反射面1145で反射される反射光との光路をずらすことができる。
尚、第3の反射面1145で光をずらす方向は、同図に示すように、ステージ103の上面に平行な方向であってもよいし、これに代えて、ステージ103の上面に垂直な方向であってもよい。また、第3の反射面1145で光をずらす方向は、ステージ103の上面に平行でなく、かつ垂直でもない斜め方向であってもよい。
例えば、ステージ103の上面に平行な方向に光をずらす場合、第3の反射面1145の表面は、光路111に対して、ステージ103の上面に平行なx−y方向に所定量だけ傾ければよい。また、ステージ103の上面に垂直な方向に光をずらす場合、第3の反射面1145の表面は、光路111に対して、ステージ103の上面に垂直なz方向に所定量だけ傾ければよい。
このように、第3の反射面1145を用いて、光を1回だけ折り返せば、射出位置のシフト量は、約2倍となる。また、射出位置のシフト量を一定とした場合に、本例では、ステージ103の回転角度θの範囲を小さくし、ガルバノモータの負荷を低減できる。即ち、本例でも、第4の例と同様に、小さな回転角度θにより、所望のシフト量だけ射出位置をシフトできるため、フォーカス位置の高速かつ高精度な制御を可能とする。
尚、本例においても、光が第3の反射面1145に向かう方向を往路とし、光が第3の反射面1145から戻ってくる方向を復路とした場合に、光は、往路及び復路を複数回往復してもよい。この場合、入射点112側にも、光を折り返すための新たな反射面を設ければよい。
・ 第7の例
図19は、図11の光学装置の第7の例を示す。
第7の例は、第1及び第2の反射面101,102の構成に関する。上述の第1乃至第6の例では、第1及び第2の反射面101,102は、例えば、互いに独立したミラーである。しかし、第1及び第2の反射面101,102は、これに限られず、所定の部材の内面であっても構わない。
図19は、図11の光学装置の第7の例を示す。
第7の例は、第1及び第2の反射面101,102の構成に関する。上述の第1乃至第6の例では、第1及び第2の反射面101,102は、例えば、互いに独立したミラーである。しかし、第1及び第2の反射面101,102は、これに限られず、所定の部材の内面であっても構わない。
例えば、同図に示すように、第1及び第2の反射面101,102は、1つの結晶(例えば、ガラス材料)内の結晶面であってもよい。即ち、結晶体140は、その内部に、第1及び第2の反射面101,102を有する。結晶体140は、ステージ103上に固定される。
本例によれば、第1及び第2の反射面101,102の平行度を、結晶体140の研磨作業により向上させることができる。即ち、第1及び第2の反射面101,102がそれぞれ独立したミラーの場合には、各ミラーをステージ103上に固定する際に、第1及び第2の反射面101,102の平行度を調整しなければならず、作業が複雑化する。これに対し、結晶体140を用いれば、第1及び第2の反射面101,102の平行度を確保する作業と、第1及び第2の反射面101,102をステージ103上に取り付ける作業とを別々に行える。
従って、本例によれば、光学装置を組み立てる作業が効率化できる。
尚、第1及び第2の反射面101,102として結晶体140を用いる場合、光が入射する端面Sin、及び光が射出する端面Soutは、それぞれ、光の反射を低減するコーティングが施されていることが望ましい。
尚、第1及び第2の反射面101,102として結晶体140を用いる場合、光が入射する端面Sin、及び光が射出する端面Soutは、それぞれ、光の反射を低減するコーティングが施されていることが望ましい。
また、光路109,111上の光の光軸と、端面Sin,Soutとのなす角度は、いわゆるブリュースタ角となるように、結晶体140をセッティングすることが望ましい。ブリュースタ角は、結晶体140の材料に依存するが、例えば、約60°となる。この場合、光路109上の光の光軸と端面Sinとのなす角度、及び光路111上の光の光軸と端面Soutとのなす角度を、それぞれ約60°とすることで、端面Sin,Soutでの反射ロスを低減できる。
・ 第8の例
図20は、図11の光学装置の第8の例を示す。
第8の例は、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行である場合の例である。ここで、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行であるとは言っても、両者は、互いに対向している必要がある。即ち、第1の反射面101からの光を第2の反射面102で反射することが可能な配置となっている。
図20は、図11の光学装置の第8の例を示す。
第8の例は、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行である場合の例である。ここで、第1の反射面101と第2の反射面102とが非平行であるとは言っても、両者は、互いに対向している必要がある。即ち、第1の反射面101からの光を第2の反射面102で反射することが可能な配置となっている。
例えば、第1の反射面101(1016’,1017’)と第2の反射面102(1026’,1027’)とがなす角度αは、約60°である。第1の反射面1016’及び第2の反射面1026’は、回転角度θが56°の場合に対応する。また、第1の反射面1017’及び第2の反射面1027’は、回転角度θが63°の場合に対応する。
また、回転軸104から第1の反射面101又はそれを含む平面に下した垂線の長さをR1とし、回転軸104から第2の反射面102又はそれを含む平面に下した垂線の長さをR2とする。この場合、交点105の座標(x01,y01)、及び交点106の座標(x02,y02)は、それぞれ、以下の式(51)〜(54)で表される。
また、第1の反射面101上の座標を(x1,y1)とし、第2の反射面102上の座標を(x2,y2)とすると、各座標は、以下の式(55)及び(56)で記述される。
ここで、非コリメート光学系400からの光が第1の反射面101で反射する点を(xm1,ym1)とし、第2の反射面102で反射する点を(xm2,ym2)とする。また、光路109上のy座標をyBIとし、第1の反射面101及び第2の反射面102間の光路110上の座標を(xBR、yBR)とする。この場合、第1の反射面101及び第2の反射面102間の光路110上の座標は、式(57)により記述できる。
以上から分かることは、射出位置のシフト量が、回転軸104から第1及び第2の反射面101,102までの距離R1,R2ではなく、第1及び第2の反射面101,102間の距離(R1+R2)に依存するということである。即ち、第1及び第2の反射面101,102間の距離を短くすれば、射出位置のシフト量を小さくでき、逆に、第1及び第2の反射面101,102間の距離を長くすれば、射出位置のシフト量を大きくできる。
以上の構成において、例えば、コリメート光(平行光)を、焦点距離100mmのレンズ117’に入射する。ステージ103の回転角度θは、56°〜63°の範囲内で制御する。第1の反射面101は、回転軸104から50mm(R1=50)の位置に配置し、第2の反射面102は、回転軸104から0mm(R2=0)の位置に配置する。第2の反射面102は、第1の反射面101に対して、α=−60°だけ傾ける。また、レンズ117’は、回転軸104からx方向に30mm、y方向に−25.7mmの位置に配置する。
以上の構成において、フォーカス位置シフタから射出される射出光のシフト量は、10.5mmを実現できる。即ち、ステージ103の回転角度θの制御により、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を、0mm(基準点)から10.5mmの範囲内で制御可能となる。しかも、各射出点(xi,yi)から射出される光は、互いに平行である。従って、各射出点(xi,yi)から射出される光は、フォーカスポイントでのビーム径が一定となり、当該フォーカス位置シフタを加工装置に用いた場合に、加工精度の向上などを実現できる。
また、本例では、回転軸104のより近くにおいて、第2の反射面102での光の反射が起こるように、第2の反射面102のレイアウトを決定してもよい。この場合、ガルバノモータの負荷を軽減され、より高速なフォーカス位置の制御が可能となる。
・ 第9の例
図21は、図11の光学装置の第9の例を示す。
第9の例は、上述の第5の例と同様に、さらに、第2の反射面102からの光を第2の反射面102に戻す第3の反射面1146を設けた例である。この場合、入射点112からの光は、第3の反射面1146で反射され、ほぼ同じ経路を折り返して、射出点112’に伝搬する。即ち、光の入射点112及び射出点112’は、ほぼ同じ位置となる。
図21は、図11の光学装置の第9の例を示す。
第9の例は、上述の第5の例と同様に、さらに、第2の反射面102からの光を第2の反射面102に戻す第3の反射面1146を設けた例である。この場合、入射点112からの光は、第3の反射面1146で反射され、ほぼ同じ経路を折り返して、射出点112’に伝搬する。即ち、光の入射点112及び射出点112’は、ほぼ同じ位置となる。
第3の反射面1146は、上述の第5の例と同様に、例えば、直交する2つの反射面を有するミラーである。但し、本例では、第3の反射面1146で光をずらす方向は、ステージ103の上面に垂直な方向とする。これにより、第3の反射面1146に入射される入射光と、第3の反射面1146で反射される反射光との光路をずらすことができる。
このように、第3の反射面1146を用いて、光を1回だけ折り返せば、射出位置のシフト量は、約2倍となる。また、射出位置のシフト量を一定とした場合に、本例では、ステージ103の回転角度θの範囲を小さくし、ガルバノモータの負荷を低減できる。即ち、本例でも、第4の例と同様に、小さな回転角度θにより、所望のシフト量だけ射出位置をシフトできるため、フォーカス位置の高速かつ高精度な制御を可能とする。
尚、本例においても、光が第3の反射面1146に向かう方向を往路とし、光が第3の反射面1146から戻ってくる方向を復路とした場合に、光は、往路及び復路を複数回往復してもよい。この場合、入射点112側にも、光を折り返すための新たな反射面を設ければよい。
また、第5の例の場合、第3の反射面1144で光をずらす方向は、ステージ103の上面に平行な方向である。この場合、ステージ103の真横からみると、第3の反射面1144に向かう光とそこから戻る光は、互いに重なり、ステージ103の真上からみると、第3の反射面1144に向かう光とそこから戻る光は、互いに重ならない。
一方、第9の例の場合、第3の反射面1146で光をずらす方向は、ステージ103の上面に垂直な方向である。この場合、ステージ103の真横からみると、第3の反射面1146に向かう光とそこから戻る光は、互いに重ならず、ステージ103の真上からみると、第3の反射面1146に向かう光とそこから戻る光は、互いに重なる。
ここで、第5の例と第9の例を組み合わせることも可能である。即ち、第3の反射面で光をずらす方向は、ステージ103の上面に平行でなく、かつ垂直でもない斜め方向としてもよい。この場合、ステージ103の真横からみると、第3の反射面に向かう光とそこから戻る光は、互いに重ならず、かつステージ103の真上からみても、第3の反射面に向かう光とそこから戻る光は、互いに重ならない。
(その他の実施形態)
以上、本発明の実施形態を説明してきたが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
以上、本発明の実施形態を説明してきたが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内において様々な変更が可能である。
1. 加工装置への適用
レーザ光を用いて、マーキング、穴あけ、溶接などの作業を行う加工装置では、レーザ発振器からの光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御することが重要となる。上述のフォーカス位置シフタは、このような加工装置に適用することができる。
レーザ光を用いて、マーキング、穴あけ、溶接などの作業を行う加工装置では、レーザ発振器からの光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御することが重要となる。上述のフォーカス位置シフタは、このような加工装置に適用することができる。
図22は、加工装置の例を示す。
加工装置は、光源300と、光源300からの光が入射される非コリメート光学系400と、非コリメート光学系400からの光の光路長を制御するフォーカス位置シフタ100,200と、を備える。加工対象となる物品901は、ステージ900上に配置される。物品901に対する光のフォーカス位置を制御することで、物品901に対するマーキング、穴あけ、溶接などの作業が可能となる。
加工装置は、光源300と、光源300からの光が入射される非コリメート光学系400と、非コリメート光学系400からの光の光路長を制御するフォーカス位置シフタ100,200と、を備える。加工対象となる物品901は、ステージ900上に配置される。物品901に対する光のフォーカス位置を制御することで、物品901に対するマーキング、穴あけ、溶接などの作業が可能となる。
2. 顕微鏡への適用
上述のフォーカス位置シフタを用いて顕微鏡を構成することが可能である。この場合、測定対象に対して、平面方向をx−y方向とし、深さ方向をz方向とすると、ある特定のx−z面で集光点を高速に走査させることができる。例えば、多光子顕微鏡、蛍光顕微鏡などでは、測定対象に照射する光のフォーカス位置に応じて、非線形効果、蛍光材による吸収などが発生する。そのため、フォーカス位置での情報を取得することで、3次元的なイメージングが可能となる。
上述のフォーカス位置シフタを用いて顕微鏡を構成することが可能である。この場合、測定対象に対して、平面方向をx−y方向とし、深さ方向をz方向とすると、ある特定のx−z面で集光点を高速に走査させることができる。例えば、多光子顕微鏡、蛍光顕微鏡などでは、測定対象に照射する光のフォーカス位置に応じて、非線形効果、蛍光材による吸収などが発生する。そのため、フォーカス位置での情報を取得することで、3次元的なイメージングが可能となる。
これまで、測定対象に対して平面方向(x−y方向)に照射光を走査し、その後、深さ方向(z方向)を変えて、またその位置平面上で照射光を走査してイメージングを行っていた。これに対して、本実施形態では、高速に深さ方向のイメージングが可能となるため、測定対象表面から深さ方向への物質の移動などの観測が可能となる。
3. 検査装置への適用
上述のフォーカス位置シフタを用いて検査装置を構成することが可能である。
例えば、物品の表面状態を検査する検査装置では、照射光の角度によるビーム径の変動を避けるために、照射光の照射角度を一定として照射する必要性がある。
上述のフォーカス位置シフタを用いて検査装置を構成することが可能である。
例えば、物品の表面状態を検査する検査装置では、照射光の角度によるビーム径の変動を避けるために、照射光の照射角度を一定として照射する必要性がある。
しかし、いままでの検査装置は、f−θレンズを用いて、光軸に垂直な方向のフォーカス位置を制御するため、フォーカスポイントでのビーム径が、どうしても変動してしまう。そこで、このような検査装置に上述のフォーカス位置シフタを用いれば、フォーカスポイントでのビーム径の変動無しに、光軸に垂直な方向のフォーカス位置を制御することが可能となる。
4. ステージについて
上述の各実施形態において、第1及び第2の反射面101,102は、互いの相対位置関係を維持した状態で、回転軸104を中心に回転することが重要である。そのために、本例では、ステージ103を設け、かつステージ103上に、互いに対向する第1及び第2の反射面101,102を固定する。
しかし、例えば、ステージ103を用いない方法により、第1及び第2の反射面101,102を、互いの相対位置関係を維持した状態で、回転軸104を中心に回転させることも可能である。例えば、第1の反射面101を駆動する第1のモータと、第2の反射面102を駆動する第2のモータと、を設けてもよい。但し、この場合、制御部120は、第1及び第2のモータをシンクロさせた状態で、回転制御することが必要である。
上述の各実施形態において、第1及び第2の反射面101,102は、互いの相対位置関係を維持した状態で、回転軸104を中心に回転することが重要である。そのために、本例では、ステージ103を設け、かつステージ103上に、互いに対向する第1及び第2の反射面101,102を固定する。
しかし、例えば、ステージ103を用いない方法により、第1及び第2の反射面101,102を、互いの相対位置関係を維持した状態で、回転軸104を中心に回転させることも可能である。例えば、第1の反射面101を駆動する第1のモータと、第2の反射面102を駆動する第2のモータと、を設けてもよい。但し、この場合、制御部120は、第1及び第2のモータをシンクロさせた状態で、回転制御することが必要である。
5. 射出位置の制御への応用
光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置の制御は、光の光路を該光路に垂直な方向にシフトさせる技術、即ち、該方向における光の射出位置の制御に応用できる。即ち、非コリメート光学系400を有しない光学装置、又は非コリメート光学系400を有するがフォーカス位置の制御のために射出位置を制御するのではない光学装置では、上述の各実施形態を、単に、光の光軸をシフトさせる光学装置として応用できる。
光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置の制御は、光の光路を該光路に垂直な方向にシフトさせる技術、即ち、該方向における光の射出位置の制御に応用できる。即ち、非コリメート光学系400を有しない光学装置、又は非コリメート光学系400を有するがフォーカス位置の制御のために射出位置を制御するのではない光学装置では、上述の各実施形態を、単に、光の光軸をシフトさせる光学装置として応用できる。
(むすび)
以上、本発明によれば、光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御する点で有利な光学装置を実現できる。即ち、集光レンズの移動無しに、光軸方向におけるフォーカス位置を高速かつ高精度に制御できる。また、フォーカス位置でのビーム径の変化無しに、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を高速かつ高精度に制御できる。
以上、本発明によれば、光のフォーカス位置を高速かつ高精度に制御する点で有利な光学装置を実現できる。即ち、集光レンズの移動無しに、光軸方向におけるフォーカス位置を高速かつ高精度に制御できる。また、フォーカス位置でのビーム径の変化無しに、光軸に垂直な方向におけるフォーカス位置を高速かつ高精度に制御できる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
100,200,600,700: フォーカス位置シフタ
101: 第1の反射面
102: 第2の反射面
103: 回転ステージ
104: 回転軸
105: 回転軸から第1の反射面に下した垂線と第1の反射面との交点
106: 回転軸から第2の反射面に下した垂線と第2の反射面との交点
107: 非コリメート光学系からの光が反射する第1の反射面上の点
108: 第1の反射面からの光が反射する第2の反射面上の点
109: 非コリメート光学系及び第1の反射面間の光路
110: 第1の反射面及び第2の反射面間の光路
111: 第2の反射面及び第3の反射面間の光路
112: 入射点
112’: 射出点
113: 中間点
114: 第3の反射面
115: 第4の反射面
117: 集光レンズ
120: 制御部
122: 射出光
300: 光源
400: 非コリメート光学系
500: 収束光学系
800: ガルバノスキャナ
900: 加工ステージ
901: 物品
101: 第1の反射面
102: 第2の反射面
103: 回転ステージ
104: 回転軸
105: 回転軸から第1の反射面に下した垂線と第1の反射面との交点
106: 回転軸から第2の反射面に下した垂線と第2の反射面との交点
107: 非コリメート光学系からの光が反射する第1の反射面上の点
108: 第1の反射面からの光が反射する第2の反射面上の点
109: 非コリメート光学系及び第1の反射面間の光路
110: 第1の反射面及び第2の反射面間の光路
111: 第2の反射面及び第3の反射面間の光路
112: 入射点
112’: 射出点
113: 中間点
114: 第3の反射面
115: 第4の反射面
117: 集光レンズ
120: 制御部
122: 射出光
300: 光源
400: 非コリメート光学系
500: 収束光学系
800: ガルバノスキャナ
900: 加工ステージ
901: 物品
Claims (20)
- 光のフォーカス位置を制御する光学装置であって、
回転軸を中心に回転可能であり、かつ前記光を反射する第1の反射面と、
前記回転軸を中心に回転可能であると共に前記第1の反射面に対向し、かつ前記第1の反射面からの前記光を反射する第2の反射面と、
前記第2の反射面からの前記光を前記第2の反射面に戻す第3の反射面と、
前記第1及び第2の反射面の相対位置関係を維持した状態で、前記第1及び第2の反射面を前記回転軸を中心に回転させることで、前記第3の反射面から前記第2の反射面を経由して前記第1の反射面に折り返された前記光の光軸方向におけるフォーカス位置を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする光学装置。 - 光のフォーカス位置を制御する光学装置であって、
回転軸を中心に回転可能であり、かつ前記光を反射する第1の反射面と、
前記回転軸を中心に回転可能であると共に前記第1の反射面に対向し、かつ前記第1の反射面からの前記光を反射する第2の反射面と、
前記第1及び第2の反射面の相対位置関係を維持した状態で、前記第1及び第2の反射面を前記回転軸を中心に回転させることで、前記第2の反射面からの前記光の該光路に垂直な方向におけるフォーカス位置を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする光学装置。 - 前記回転軸を中心に回転可能であるステージをさらに備え、
前記第1及び第2の反射面は、前記ステージに固定され、
前記制御部は、前記ステージの回転角度を変えることで前記フォーカス位置を制御する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学装置。 - 前記回転軸は、前記第1及び第2の反射面間の領域に存在する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記回転軸は、前記第1及び第2の反射面間以外の領域に存在する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記第1の反射面のサイズと前記第2の反射面のサイズは、互いに異なる、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記回転軸から前記第1の反射面又はそれを含む平面に下した垂線の長さと、前記回転軸から前記第2の反射面又はそれを含む平面に下した垂線の長さとは、互いに異なる、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記第1及び第2の反射面は、前記回転軸に対して点対称に配置されない、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記光は、前記第1及び第2の反射面間を複数回往復する、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記第3の反射面は、入射光の光路と同じ光路に反射光を反射する、
ことを特徴とする請求項1に記載の光学装置。 - 前記第3の反射面から前記第2の反射面を経由して前記第1の反射面に折り返された前記光を取り出す第4の反射面をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1又は10に記載の光学装置。 - 前記第3の反射面により折り返され、かつ前記第1の反射面で反射された前記光を、前記第1の反射面に戻す第5の反射面をさらに備え、
前記第3及び第5の反射面は、入射光の光路と異なる光路に反射光を反射し、
前記第4の反射面は、前記第5の反射面から前記第1の反射面を経由して前記第2の反射面に折り返された前記光を取り出す、
ことを特徴とする請求項11に記載の光学装置。 - 前記光は、前記第1の反射面で反射される前に、非コリメート光学系により収束光又は拡散光となる、
ことを特徴とする請求項1に記載の光学装置。 - 前記光は、前記第1及び第2の反射面で反射された後に、非コリメート光学系により収束光となる、
ことを特徴とする請求項2に記載の光学装置。 - 前記第1及び第2の反射面は、非平行である、
ことを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記第2の反射面は、前記第1の反射面よりも前記回転軸に近い位置に配置される、
ことを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記制御部は、ガルバノモータを用いて前記第1及び第2の反射面を駆動する、
ことを特徴とする請求項1乃至16のいずれか1項に記載の光学装置。 - 前記制御部は、一方向への回転が可能な回転モータを用いて前記第1及び第2の反射面を駆動する、
ことを特徴とする請求項1乃至16のいずれか1項に記載の光学装置。 - 回転軸を中心に回転可能であり、かつ光を反射する第1の反射面と、
前記回転軸を中心に回転可能であると共に前記第1の反射面に対向し、かつ前記第1の反射面からの前記光を反射する第2の反射面と、
前記第1及び第2の反射面の相対位置関係を維持した状態で、前記第1及び第2の反射面を前記回転軸を中心に回転させることで、前記第2の反射面からの前記光の光路を該光路に垂直な方向にシフトさせる制御部と、
を備えることを特徴とする光学装置。 - 請求項1乃至19のいずれか1項に記載の光学装置と、
前記光学装置に入射される前記光を発生する光源と、を備え、
前記フォーカス位置を制御することにより、前記フォーカス位置に配置された物品を加工する、
ことを特徴とする加工装置。
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