JP2012042970A5 - - Google Patents
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- 試料が載置される試料載置面を有する試料載置ステージと、
前記試料載置面に対向するよう配置され、前記試料載置面上の撮像対象エリア内の各部を順次撮像する撮像部と、
前記撮像部と前記試料載置面との間に配置され、前記撮像対象エリアのうち前記撮像部の撮像可能エリアの局所顕微鏡画像を前記撮像部に結像するための対物レンズと、
前記試料載置ステージをスキャン平面に沿って移動させることにより、前記試料載置ステージ及び前記対物レンズの相対位置を調節する第1駆動機構と、
前記対物レンズを前記対物レンズの光軸方向に沿って移動させることにより、前記試料載置ステージ及び前記対物レンズの相対位置を調節する第2駆動機構と、そして、
前記第1及び第2駆動機構を制御することで、前記撮像対象エリアにおける前記撮像部の焦点位置を調節しながら前記撮像部の撮像可能エリアを所定のスキャン方向に沿って相対的に移動させる制御部と、を備え、
前記試料載置ステージの試料載置面は、前記スキャン平面に対して傾いており、
前記制御部は、
前記撮像対象エリアに対して複数の焦点計測位置を設定し、
設定された前記複数の焦点計測位置における合焦点位置に基づいて、フォーカスマップを作成し、
前記撮像対象エリア内において前記撮像部の撮像可能エリアが前記所定のスキャン方向に相対的に移動している間、作成された前記フォーカスマップに基づいて、前記対物レンズをその光軸方向に沿って移動させる
ことを特徴とする顕微鏡画像撮像装置。 - 前記制御部は、前記撮像対象エリア内において前記撮像部の撮像可能エリアが前記所定のスキャン方向に相対的に移動している間、前記撮像部の焦点位置が前記対物レンズの光軸方向に沿って一方向のみに単調に調節されるよう、前記第1駆動機構を制御することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡画像撮像装置。
- 前記試料載置ステージの試料載置面は、前記対物レンズの光軸と交差する該試料載置面上の直線が前記スキャン平面と所定角度で交差する程度の傾きを有することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡画像撮像装置。
- 前記複数の焦点測定位置は、前記撮像エリアを構成する撮像単位ごとに設定されることを特徴とする請求項1記載の顕微鏡画像撮像装置。
- 前記試料載置ステージの前記試料載置面は、前記試料載置面上に試料が載置されたとき、該試料の前記対物レンズを介して前記撮像部に対面する面を前記スキャン平面に対して傾斜させる程度の傾きを有することを特徴とする請求項1記載の顕微鏡画像撮像装置。
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