JP2572767Y2 - 顕微赤外スペクトル測定装置 - Google Patents
顕微赤外スペクトル測定装置Info
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- JP2572767Y2 JP2572767Y2 JP745091U JP745091U JP2572767Y2 JP 2572767 Y2 JP2572767 Y2 JP 2572767Y2 JP 745091 U JP745091 U JP 745091U JP 745091 U JP745091 U JP 745091U JP 2572767 Y2 JP2572767 Y2 JP 2572767Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は顕微赤外スペクトル測定
装置、特に試料の最適焦点位置、最適角度位置を半自動
設定可能な顕微赤外スペクトル測定装置に関する。
装置、特に試料の最適焦点位置、最適角度位置を半自動
設定可能な顕微赤外スペクトル測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば固体表面に付着した有機物等の分
子構造等を調べるため、各種顕微赤外スペクトル測定装
置が用いられる。このような顕微赤外スペクトル測定装
置は、一般に顕微鏡のステージに保持された試料の測定
面に赤外光を照射し、その反射吸収スペクトルを測定し
ている。
子構造等を調べるため、各種顕微赤外スペクトル測定装
置が用いられる。このような顕微赤外スペクトル測定装
置は、一般に顕微鏡のステージに保持された試料の測定
面に赤外光を照射し、その反射吸収スペクトルを測定し
ている。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】ところで、試料上の特
定部位の目視観察、あるいは赤外スペクトルを測定する
ためには、当該特定部位に焦点を合せなければならな
い。このため、一般的には目視観察手段により試料像を
観察しながらステージを上下動させ、焦点合せを行なっ
ていた。一方、試料表面が傾斜していた場合にも、やは
りステージの角度を調整しなければならず、このステー
ジ角度調整も目視に頼って行なわれるのが一般的であっ
た。しかしながら、これらの焦点合せ、角度合せは、ラ
フな設定は目視でも容易に行ない得るが、微妙な調整を
目視で行なうことは極めて困難であり、時間もかかる作
業であった。これに対し、オートフォーカス機構等も考
えられるが、顕微鏡に用いられる一般的なオートフォー
カス機構は、試料上にビームを照射し、そのビーム光の
出光位置と反射ビーム光の受光位置との位置ずれ量より
焦点位置を設定するものであり、機構が極めて複雑であ
ると共に、オートフォーカス機構を別個に設置する必要
があり、機器の大型化、コストの大幅な上昇は避け得な
いものであった。
定部位の目視観察、あるいは赤外スペクトルを測定する
ためには、当該特定部位に焦点を合せなければならな
い。このため、一般的には目視観察手段により試料像を
観察しながらステージを上下動させ、焦点合せを行なっ
ていた。一方、試料表面が傾斜していた場合にも、やは
りステージの角度を調整しなければならず、このステー
ジ角度調整も目視に頼って行なわれるのが一般的であっ
た。しかしながら、これらの焦点合せ、角度合せは、ラ
フな設定は目視でも容易に行ない得るが、微妙な調整を
目視で行なうことは極めて困難であり、時間もかかる作
業であった。これに対し、オートフォーカス機構等も考
えられるが、顕微鏡に用いられる一般的なオートフォー
カス機構は、試料上にビームを照射し、そのビーム光の
出光位置と反射ビーム光の受光位置との位置ずれ量より
焦点位置を設定するものであり、機構が極めて複雑であ
ると共に、オートフォーカス機構を別個に設置する必要
があり、機器の大型化、コストの大幅な上昇は避け得な
いものであった。
【０００４】本考案は前記従来技術の課題に鑑みなされ
たものであり、その目的は簡易な構成で実用的な半自動
焦点合せ機構及び半自動ステージ角度調整機構を備えた
顕微赤外スペクトル測定装置を提供することにある。
たものであり、その目的は簡易な構成で実用的な半自動
焦点合せ機構及び半自動ステージ角度調整機構を備えた
顕微赤外スペクトル測定装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に本出願の請求項１記載の顕微赤外スペクトル測定装置
は、ステージ移動手段、受光量比較手段、ステージ制御
手段を有する。そして、前記ステージ移動手段は、ステ
ージを光軸方向へ一定範囲で移動する。また、受光量比
較手段は、前記ステージ移動手段によるステージ移動中
に、赤外スペクトルを検出するための受光手段による、
赤外スペクトルを検出するための光源からの光量検出値
が最大となる位置を検出する。ステージ制御手段は、前
記受光手段による光量検出値が最大となる位置にステー
ジを移動させる。
に本出願の請求項１記載の顕微赤外スペクトル測定装置
は、ステージ移動手段、受光量比較手段、ステージ制御
手段を有する。そして、前記ステージ移動手段は、ステ
ージを光軸方向へ一定範囲で移動する。また、受光量比
較手段は、前記ステージ移動手段によるステージ移動中
に、赤外スペクトルを検出するための受光手段による、
赤外スペクトルを検出するための光源からの光量検出値
が最大となる位置を検出する。ステージ制御手段は、前
記受光手段による光量検出値が最大となる位置にステー
ジを移動させる。
【０００６】一方、本出願の請求項２記載の顕微赤外ス
ペクトル測定装置は、ステージ移動手段と、受光量比較
手段と、ステージ制御手段とを、備える。そして、前記
ステージ移動手段は、ステージを光軸に対し一定角度範
囲で角度調節可能に構成されている。また、受光量比較
手段は、前記ステージ移動手段によるステージ角度変更
中に、赤外スペクトルを検出するための受光手段によ
る、赤外スペクトルを検出するための光源からの光量検
出値の最大値となるステージ角度を検出する。ステージ
制御手段は、前記受光手段による光量検出値が最大とな
る角度にステージを傾斜させる。
ペクトル測定装置は、ステージ移動手段と、受光量比較
手段と、ステージ制御手段とを、備える。そして、前記
ステージ移動手段は、ステージを光軸に対し一定角度範
囲で角度調節可能に構成されている。また、受光量比較
手段は、前記ステージ移動手段によるステージ角度変更
中に、赤外スペクトルを検出するための受光手段によ
る、赤外スペクトルを検出するための光源からの光量検
出値の最大値となるステージ角度を検出する。ステージ
制御手段は、前記受光手段による光量検出値が最大とな
る角度にステージを傾斜させる。
【０００７】
【作用】本考案の請求項１記載の顕微赤外スペクトル測
定装置では、まず目視観察により焦点位置の粗調整を行
なう。そして、つぎに焦点位置の微調整を行なうことと
なるが、この際にはステージ移動手段によりステージを
光軸方向に一定範囲で移動させる。そして、この移動の
間の光量を受光手段により検出し、その受光量が最大の
位置を受光量比較手段が特定する。すなわち、焦点が定
まった状態では、受光手段に入射される光量が最も大き
くなるため、その時のステージ位置で試料表面が焦点位
置となったことになる。従って、ステージ制御手段によ
り、受光量が最大となった位置にステージを再移動させ
ることにより、ステージを正確に焦点位置に合致させる
ことができる。
定装置では、まず目視観察により焦点位置の粗調整を行
なう。そして、つぎに焦点位置の微調整を行なうことと
なるが、この際にはステージ移動手段によりステージを
光軸方向に一定範囲で移動させる。そして、この移動の
間の光量を受光手段により検出し、その受光量が最大の
位置を受光量比較手段が特定する。すなわち、焦点が定
まった状態では、受光手段に入射される光量が最も大き
くなるため、その時のステージ位置で試料表面が焦点位
置となったことになる。従って、ステージ制御手段によ
り、受光量が最大となった位置にステージを再移動させ
ることにより、ステージを正確に焦点位置に合致させる
ことができる。
【０００８】また、本考案の請求項２記載の顕微赤外ス
ペクトル測定装置では、ステージ移動手段によりステー
ジを一定角度範囲で角度変更する。そして、受光手段に
よる受光量が最大となった角度が、一般的には試料面が
光軸に対して直角となる角度であり、目視観察あるいは
赤外スペクトル測定に最適の角度である。そこで、ステ
ージ角度制御手段により、ステージの角度を再度正確に
最適角度に調整するものである。
ペクトル測定装置では、ステージ移動手段によりステー
ジを一定角度範囲で角度変更する。そして、受光手段に
よる受光量が最大となった角度が、一般的には試料面が
光軸に対して直角となる角度であり、目視観察あるいは
赤外スペクトル測定に最適の角度である。そこで、ステ
ージ角度制御手段により、ステージの角度を再度正確に
最適角度に調整するものである。
【０００９】
【実施例】以下、図面に基づき本考案の好適な実施例を
説明する。図１には本考案の一実施例にかかる顕微赤外
スペクトル測定装置の概略構成図が示されている。本実
施例においては、装置を顕微赤外反射吸収スペクトル測
定装置としている。すなわち、顕微赤外反射スペクトル
測定装置１０は、顕微手段１２と、分光手段１４と、受
光手段１６及び目視観察手段１８を含む。そして、前記
顕微手段１２はステージ２０を備え、該ステージ２０上
には試料２２が載置されている。
説明する。図１には本考案の一実施例にかかる顕微赤外
スペクトル測定装置の概略構成図が示されている。本実
施例においては、装置を顕微赤外反射吸収スペクトル測
定装置としている。すなわち、顕微赤外反射スペクトル
測定装置１０は、顕微手段１２と、分光手段１４と、受
光手段１６及び目視観察手段１８を含む。そして、前記
顕微手段１２はステージ２０を備え、該ステージ２０上
には試料２２が載置されている。
【００１０】また、分光手段としてのフーリエ変換型分
光光度計１４の背面に設けられた光源２４より出光され
た光が、マイケルソン干渉計２６により赤外干渉光とさ
れる。該赤外干渉光は、反射鏡２８，３０，３２を介し
てカセグレン副鏡３４ａ及びカセグレン主鏡３４ｂによ
り試料２２上に収束し、その反射光は再度カセグレン主
鏡３４ｂ及びカセグレン副鏡３４ａを通し、図中上方に
導光される。そしてスリット３８を通過し、反射鏡４０
に反射された後、受光器（受光手段）１６により光電変
換される。以上のようにして本実施例にかかる顕微赤外
透過スペクトル測定装置によれば、スリット３８により
試料２２の特定部位の赤外透過スペクトルを、正確に測
定することができる。
光光度計１４の背面に設けられた光源２４より出光され
た光が、マイケルソン干渉計２６により赤外干渉光とさ
れる。該赤外干渉光は、反射鏡２８，３０，３２を介し
てカセグレン副鏡３４ａ及びカセグレン主鏡３４ｂによ
り試料２２上に収束し、その反射光は再度カセグレン主
鏡３４ｂ及びカセグレン副鏡３４ａを通し、図中上方に
導光される。そしてスリット３８を通過し、反射鏡４０
に反射された後、受光器（受光手段）１６により光電変
換される。以上のようにして本実施例にかかる顕微赤外
透過スペクトル測定装置によれば、スリット３８により
試料２２の特定部位の赤外透過スペクトルを、正確に測
定することができる。
【００１１】本考案において特徴的なことは、試料２２
（ステージ２０）の最適焦点位置、最適角度を半自動的
に設定可能なことであり、このために本実施例において
は、図２に示すようにステージ移動手段５０、受光量比
較手段５２、及びステージ制御手段５４を備える。ステ
ージ移動手段５０は、ステージを光軸方向に移動させる
上下移動部５６と、ステージを光軸に対して傾斜させる
角度変更部５８と、よりなる。一方、受光量比較手段５
２は、移動手段５０によるステージ２０の移動に伴う受
光量データを一時的に記憶する記憶媒体６０と、移動手
段５０の作動中の極大受光量を示したステージ位置を決
定する比較器６２とを含む。また、ステージ制御手段５
４は、前記受光量比較手段５２の検出結果より、ステー
ジを受光量が極大となるように位置制御指示を与える。
（ステージ２０）の最適焦点位置、最適角度を半自動的
に設定可能なことであり、このために本実施例において
は、図２に示すようにステージ移動手段５０、受光量比
較手段５２、及びステージ制御手段５４を備える。ステ
ージ移動手段５０は、ステージを光軸方向に移動させる
上下移動部５６と、ステージを光軸に対して傾斜させる
角度変更部５８と、よりなる。一方、受光量比較手段５
２は、移動手段５０によるステージ２０の移動に伴う受
光量データを一時的に記憶する記憶媒体６０と、移動手
段５０の作動中の極大受光量を示したステージ位置を決
定する比較器６２とを含む。また、ステージ制御手段５
４は、前記受光量比較手段５２の検出結果より、ステー
ジを受光量が極大となるように位置制御指示を与える。
【００１２】つぎに本実施例の作用を図３を参照しつつ
説明する。まず、操作者は、目視観察手段１８を介して
焦点位置及び角度位置の概略の設定を行なう（ステップ
１００）。つぎに微調整を行なう場合には、ステージ移
動手段５０の上下移動部５６を作動させ、現ステージ位
置を基準に一定（例えば数mm）の範囲でステージ２０を
往復移動させる（ステップ１０２）。この間、受光量比
較手段５２は受光手段１６から送られてくる受光量デー
タを入力し、各受光量データとそれぞれ対応する位置デ
ータを一時的に記憶する（ステップ１０４）。そして、
その受光量データが極大となるステージ上下位置を見出
し、その位置データをステージ制御手段５４に出力する
（ステップ１０６）。ステージ制御手段５４は、移動手
段５０の上下移動部５６に指示を与え、受光量が極大と
なるステージ位置にステージ２０を再移動させる（ステ
ップ１０８）。
説明する。まず、操作者は、目視観察手段１８を介して
焦点位置及び角度位置の概略の設定を行なう（ステップ
１００）。つぎに微調整を行なう場合には、ステージ移
動手段５０の上下移動部５６を作動させ、現ステージ位
置を基準に一定（例えば数mm）の範囲でステージ２０を
往復移動させる（ステップ１０２）。この間、受光量比
較手段５２は受光手段１６から送られてくる受光量デー
タを入力し、各受光量データとそれぞれ対応する位置デ
ータを一時的に記憶する（ステップ１０４）。そして、
その受光量データが極大となるステージ上下位置を見出
し、その位置データをステージ制御手段５４に出力する
（ステップ１０６）。ステージ制御手段５４は、移動手
段５０の上下移動部５６に指示を与え、受光量が極大と
なるステージ位置にステージ２０を再移動させる（ステ
ップ１０８）。
【００１３】つぎに、移動手段５０の角度変更部５８
は、水平位置を中心にステージ２０の角度を一定（数
度）の範囲で往復傾斜させる（ステップ１１０）。そし
て、前記同様、受光量比較手段５２は受光量を角度デー
タと共に一時的に記憶し（ステップ１１２）、受光量が
最大となる位置をステージ制御手段５４に出力する（ス
テップ１１４）。そして、ステージ制御手段５４は、移
動手段５０の角度変更部５８に指示を与え、受光量が極
大となるステージ角度にステージ２０を傾斜させる。な
お、ステージ２０の傾斜にはゴニオメーターが用いられ
るので、焦点位置がずれることはない。また、ステージ
移動手段５０の各駆動部にはステッピングモータ等を用
い、極めて正確な位置制御、角度制御を行なっている。
は、水平位置を中心にステージ２０の角度を一定（数
度）の範囲で往復傾斜させる（ステップ１１０）。そし
て、前記同様、受光量比較手段５２は受光量を角度デー
タと共に一時的に記憶し（ステップ１１２）、受光量が
最大となる位置をステージ制御手段５４に出力する（ス
テップ１１４）。そして、ステージ制御手段５４は、移
動手段５０の角度変更部５８に指示を与え、受光量が極
大となるステージ角度にステージ２０を傾斜させる。な
お、ステージ２０の傾斜にはゴニオメーターが用いられ
るので、焦点位置がずれることはない。また、ステージ
移動手段５０の各駆動部にはステッピングモータ等を用
い、極めて正確な位置制御、角度制御を行なっている。
【００１４】以上のようにして、本実施例にかかる顕微
赤外スペクトル測定装置によれば、目視観察により概略
の焦点合せを行なうのみで、最適焦点位置、及び最適角
度位置にステージを自動設定することが可能となる。
赤外スペクトル測定装置によれば、目視観察により概略
の焦点合せを行なうのみで、最適焦点位置、及び最適角
度位置にステージを自動設定することが可能となる。
【００１５】なお、本実施例においては、粗調整された
ステージ基準位置を中心として、上下及び傾斜角度を一
定範囲で変更し、最適上下位置、角度位置を検出するこ
ととしているが、これに限られるものではなく、例えば
上下位置移動中ないし角度位置変更中に受光量の変化が
増加より減少に移行した場合に、その極大位置を最適位
置と判断することも好適であり、制御時間、ステージ移
動時間の短縮が図られる。
ステージ基準位置を中心として、上下及び傾斜角度を一
定範囲で変更し、最適上下位置、角度位置を検出するこ
ととしているが、これに限られるものではなく、例えば
上下位置移動中ないし角度位置変更中に受光量の変化が
増加より減少に移行した場合に、その極大位置を最適位
置と判断することも好適であり、制御時間、ステージ移
動時間の短縮が図られる。
【００１６】
【考案の効果】以上説明したように本考案にかかる顕微
赤外スペクトル測定装置は、受光手段の受光量よりステ
ージの上下ないし角度位置を設定することとしたので、
簡単な構成で、しかも安価に最適焦点位置、最適角度位
置を半自動的に設定することが可能となる。
赤外スペクトル測定装置は、受光手段の受光量よりステ
ージの上下ないし角度位置を設定することとしたので、
簡単な構成で、しかも安価に最適焦点位置、最適角度位
置を半自動的に設定することが可能となる。
【図１】本考案の一実施例にかかる顕微赤外スペクトル
測定装置の概要図である。
測定装置の概要図である。
【図２】図１に示した測定装置の要部構成図である。
【図３】図１に示した測定装置の作用の説明図である。
１０ 顕微赤外スペクトル測定装置 １２ 顕微手段 １６ 受光手段 １８ 目視観察手段 ５０ ステージ移動手段 ５２ 受光量比較手段 ５４ ステージ制御手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平２−300707（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−101832（ＪＰ，Ａ) 実開 昭63−81245（ＪＰ，Ｕ)
Claims (2)
- 【請求項１】 カセグレン鏡を有し、ステージ上の試料
より光を採取する顕微手段と、 スリットにより選択された赤外スペクトルを検出する受
光手段と、 前記カセグレン鏡により採取された光により、試料像を
目視観察可能とする目視観察手段と、を備えた顕微スペ
クトル測定装置において、 前記ステージを光軸方向へ一定範囲で移動可能なステー
ジ移動手段と、 前記ステージ移動手段によるステージ移動中に、前記赤
外スペクトルを検出するための受光手段による、赤外ス
ペクトルを検出するための光源からの光量検出値が最大
となる位置を検出する受光量比較手段と、前記受光手段による 光量検出値が最大となる位置にステ
ージを移動させるステージ制御手段と、 を備え、最適焦点位置を設定する際に、前記赤外スペク
トルを検出するための光源と受光手段を兼用することを
特徴とする顕微赤外スペクトル測定装置。 - 【請求項２】 カセグレン鏡を有し、ステージ上の試料
より光を採取する顕微手段と、 スリットにより選択された赤外スペクトルを検出する受
光手段と、 前記カセグレン鏡により採取された光により、試料像を
目視観察可能とする目視観察手段と、を備えた顕微スペ
クトル測定装置において、 前記ステージを光軸に対し一定角度範囲で角度調節可能
なステージ移動手段と、 前記ステージ移動手段によるステージ角度変更中に、前
記赤外スペクトルを検出するための受光手段による、赤
外スペクトルを検出するための光源からの光量検出値が
最大となるステージ角度を検出する受光量比較手段と、前記受光手段による 光量検出値が最大となるステージ角
度にステージを傾斜させるステージ制御手段と、 を備え、最適焦点位置を設定する際に、前記赤外スペク
トルを検出するための光源と受光手段を兼用することを
特徴とする顕微赤外スペクトル測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP745091U JP2572767Y2 (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP745091U JP2572767Y2 (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04110960U JPH04110960U (ja) | 1992-09-25 |
| JP2572767Y2 true JP2572767Y2 (ja) | 1998-05-25 |
Family
ID=31899124
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP745091U Expired - Lifetime JP2572767Y2 (ja) | 1991-01-25 | 1991-01-25 | 顕微赤外スペクトル測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2572767Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4871264B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2012-02-08 | 浜松ホトニクス株式会社 | 顕微鏡画像撮像装置 |
| DE102008013387B4 (de) * | 2008-03-10 | 2020-02-13 | Byk-Gardner Gmbh | Vorrichtung zum Bestimmen optischer Oberflächeneigenschaften von Werkstücken |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0524203Y2 (ja) * | 1986-11-14 | 1993-06-21 | ||
| JPH02300707A (ja) * | 1989-05-15 | 1990-12-12 | Nec Corp | 顕微鏡自動焦点装置 |
-
1991
- 1991-01-25 JP JP745091U patent/JP2572767Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04110960U (ja) | 1992-09-25 |
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