JP6455547B2 - 光走査装置 - Google Patents
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Description
該ミラー部(40〜43)の周囲に設けられ、前記ミラー部(40〜43)を第1の軸(X)周りに揺動させる一対の水平駆動梁(70)と、
前記ミラー部(40〜43)を両側から前記第1の軸周りに搖動可能に支持する一対のトーションバー(50)と、
一端が前記一対のトーションバー(50)の各々の外側に連結され、他端が前記水平駆動梁(70)の内側に連結されて前記一対のトーションバー(50)を外側から支持する一対の連結部(60)と、
前記ミラー部(40〜43)、前記一対のトーションバー(50)及び前記一対の連結部(60)を前記一対の水平駆動梁(70)を介して支持する可動枠(80)と、
表面上に駆動源(91)が設けられ、前記第1の軸(X)と平行に配列された複数の長方形の梁を含む複数の垂直駆動梁(90)を有するとともに、前記可動枠(80)を両側から支持し、前記第2の軸(Y)周りに前記可動枠(80)を揺動させる一対の垂直駆動部(110)と、を有し、
前記水平駆動梁(70)と前記可動枠(80)との接続部は前記第2の軸(Y)上に位置し、
前記複数の垂直駆動梁(90)は、内側に設けられた前記可動枠(80)に一端が接続された第1の垂直駆動梁(92、96)と、外側に設けられた前記フレーム(120)に一端が接続された第2の垂直駆動梁(95、99)と、該第1の垂直駆動梁(92、96)と該第2の垂直駆動梁(95、99)との間に互いに隣接して平行に配置され、内側に隣接する前記垂直駆動梁(90)に一端で接続されるとともに外側に隣接する前記垂直駆動梁(90)に他端で接続され、全体として前記第1の垂直駆動梁(92、96)の他端と前記第2の垂直駆動梁(95、99)の他端とを蛇行して接続するように設けられた他の垂直駆動梁(90)と、を含み、
前記第1の垂直駆動梁(92、96)及び前記第2の垂直駆動梁(95、99)には、互いに逆位相の駆動電圧が印加され、
該互いに逆位相の駆動電圧は、ゼロ電圧と最大値電圧との範囲で生成されるのこぎり波形で形成される正転電圧及び反転電圧を含み、該反転電圧は、正転電圧波形を上下反転した波形により形成される駆動波形を有し、
前記水平駆動梁(70)と前記可動枠(80)との連結部は、前記ミラー部(40〜43)の直径よりも幅が広い光走査装置。
11、101 リブ
20、22〜24 応力緩和領域
21 端部
30〜38 スリット
40〜43 ミラー部
50 トーションバー
60、100 連結部
70 水平駆動梁
71、91 駆動源
80 可動枠
81 肉抜き部
82 厚肉部
90 垂直駆動梁
110 垂直駆動部
120 フレーム
130 端子
140 配線
Claims (4)
- ミラー部と、
該ミラー部の周囲に設けられ、前記ミラー部を第1の軸周りに揺動させる一対の水平駆動梁と、
前記ミラー部を両側から前記第1の軸周りに搖動可能に支持する一対のトーションバーと、
一端が前記一対のトーションバーの各々の外側に連結され、他端が前記水平駆動梁の内側に連結されて前記一対のトーションバーを外側から支持する一対の連結部と、
前記ミラー部、前記一対のトーションバー及び前記一対の連結部を前記一対の水平駆動梁を介して支持する可動枠と、
表面上に駆動源が設けられ、前記第1の軸と平行に配列された複数の長方形の梁を含む複数の垂直駆動梁を有するとともに、前記可動枠を両側から支持し、前記第1の軸と垂直な第2の軸周りに前記可動枠を揺動させる一対の垂直駆動部と、
該垂直駆動部を外側から支持するフレームと、を有し、
前記水平駆動梁と前記可動枠との接続部は前記第2の軸上に位置し、
前記複数の垂直駆動梁は、内側に設けられた前記可動枠に一端が接続された第1の垂直駆動梁と、外側に設けられた前記フレームに一端が接続された第2の垂直駆動梁と、該第1の垂直駆動梁と該第2の垂直駆動梁との間に互いに隣接して平行に配置され、内側に隣接する前記垂直駆動梁に一端で接続されるとともに外側に隣接する前記垂直駆動梁に他端で接続され、全体として前記第1の垂直駆動梁の他端と前記第2の垂直駆動梁の他端とを蛇行して接続するように設けられた他の垂直駆動梁と、を含み、
前記第1の垂直駆動梁及び前記第2の垂直駆動梁には、互いに逆位相の駆動電圧が印加され、
該互いに逆位相の駆動電圧は、ゼロ電圧と最大値電圧との範囲で生成されるのこぎり波形で形成される正転電圧及び反転電圧を含み、該反転電圧は、正転電圧波形を上下反転した波形により形成される駆動波形を有し、
前記水平駆動梁と前記可動枠との連結部は、前記ミラー部の直径よりも幅が広い光走査装置。 - 前記複数の垂直駆動梁のうち、隣接する前記垂直駆動梁には互いに逆位相の前記駆動電圧が印加される請求項1に記載の光走査装置。
- 各々の前記垂直駆動部は、前記垂直駆動梁を偶数含む請求項1又は2に記載の光走査装置。
- 前記一対の垂直駆動部に含まれる前記複数の垂直駆動梁には、位相が前記ミラー部に関して対称となるように前記駆動電圧が印加される請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光走査装置。
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