JP5890115B2 - 光偏向器 - Google Patents
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Description
本発明の第2態様は、反射面を有するミラー部と、該ミラー部を囲む第1支持部と、一端が前記ミラー部に、他端が前記第1支持部にそれぞれ連結されたミアンダ形状により構成され、圧電駆動により前記ミラー部を前記第1支持部に対して第1軸周りに揺動させる第1圧電アクチュエータと、前記第1支持部を囲む第2支持部と、一端が前記第1支持部に、他端が前記第2支持部にそれぞれ連結されたミアンダ形状により構成され、圧電駆動により前記第1支持部を前記第2支持部に対して前記第1軸と交差する第2軸周りに揺動させる第2圧電アクチュエータとを備えた光偏向器であって、前記第1圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される第1振動及び前記第2圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される第2振動を検知する検知用圧電素子が、前記第1支持部上に配置されていることを特徴とする。
Claims (4)
- 反射面を有するミラー部と、
該ミラー部を囲む第1支持部と、
前記ミラー部と前記第1支持部との間を連結するトーションバーと、
前記第1支持部と前記トーションバーとの間を連結し、圧電駆動により前記トーションバーを介して前記ミラー部を前記第1支持部に対して前記トーションバーの軸方向に延びる第1軸の周りに揺動させる第1圧電アクチュエータと、
前記第1支持部を囲む第2支持部と、
一端が前記第1支持部に、他端が前記第2支持部にそれぞれ連結されたミアンダ形状に形成され、圧電駆動により前記第1支持部を前記第2支持部に対して前記第1軸と交差する第2軸の周りに揺動させる第2圧電アクチュエータと
を備えた光偏向器であって、
前記第1圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される第1振動及び前記第2圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される第2振動を検知する検知用圧電素子が、前記第1支持部上に配置されていることを特徴とする光偏向器。 - 反射面を有するミラー部と、
該ミラー部を囲む第1支持部と、
一端が前記ミラー部に、他端が前記第1支持部にそれぞれ連結されたミアンダ形状により構成され、圧電駆動により前記ミラー部を前記第1支持部に対して第1軸周りに揺動させる第1圧電アクチュエータと、
前記第1支持部を囲む第2支持部と、
一端が前記第1支持部に、他端が前記第2支持部にそれぞれ連結されたミアンダ形状により構成され、圧電駆動により前記第1支持部を前記第2支持部に対して前記第1軸と交差する第2軸周りに揺動させる第2圧電アクチュエータと
を備えた光偏向器であって、
前記第1圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される第1振動及び前記第2圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される第2振動を検知する検知用圧電素子が、前記第1支持部上に配置されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1又は2に記載の光偏向器において、
前記第1圧電アクチュエータは、前記ミラー部を第1周波数で前記第1軸周りに揺動させ、
前記第2圧電アクチュエータは、前記第1支持部を前記第1周波数とは異なる第2周波数で前記第2軸周りに揺動させ、
前記検知用圧電素子の出力信号を、前記第1振動による第1信号と前記第2振動による第2信号とに分離する周波数フィルタを備えることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の光偏向器において、前記検知用圧電素子は、前記第1振動を検知する第1検知用圧電素子と、前記第2振動を検知する第2検知用圧電素子とで構成されることを特徴とする光偏向器。
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