JP6233396B2 - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6233396B2 JP6233396B2 JP2015240350A JP2015240350A JP6233396B2 JP 6233396 B2 JP6233396 B2 JP 6233396B2 JP 2015240350 A JP2015240350 A JP 2015240350A JP 2015240350 A JP2015240350 A JP 2015240350A JP 6233396 B2 JP6233396 B2 JP 6233396B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable frame
- optical scanning
- mirror
- scanning device
- stress
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
該ミラー部(40〜43)を外側から支持する可動枠(80)と、
該可動枠(80)を両側から支持するとともに、前記ミラー反射面(10)の中心を通る所定の軸(Y)周りに揺動させる一対の駆動手段(110)と、を有し、
前記可動枠(80)の前記軸(Y)から最も離れた所定領域には、所定の平面形状を有し、前記可動枠(80)を貫通しない窪み状の穴からなる肉抜き部(81)が設けられている。
該ミラー部(40〜43)の周囲に設けられ、前記ミラー部(40〜43)を第1の軸(X)周りに揺動させる一対の水平駆動梁(70)と、
前記ミラー部(40〜43)及び該一対の水平駆動梁(70)を支持する可動枠(80)と、
表面上に駆動源(91)が設けられ、前記第1の軸(X)と平行に配列された複数の長方形の梁を含む複数の垂直駆動梁(90)を有するとともに、前記可動枠(80)を両側から支持し、前記第1の軸(X)と垂直な第2の軸(Y)周りに前記可動枠(80)を揺動させる一対の垂直駆動部(110)と、
該垂直駆動部(110)を外側から支持するフレーム(120)と、を有し、
前記水平駆動梁(70)と前記可動枠(80)との接続部は前記第2の軸(Y)上に位置し、
前記複数の垂直駆動梁(90)は、内側に設けられた前記可動枠(80)に一端が接続された第1の垂直駆動梁(92、96)と、外側に設けられた前記フレーム(120)に一端が接続された第2の垂直駆動梁(95、99)と、該第1の垂直駆動梁(92、96)と該第2の垂直駆動梁(95,99)との間に互いに隣接して平行に配置され、内側に隣接する前記垂直駆動梁に一端で接続されるとともに外側に隣接する前記垂直駆動梁に他端で接続され、全体として前記第1の垂直駆動梁の他端と前記第2の垂直駆動梁の他端とを蛇行して接続するように設けられた他の垂直駆動梁(93、94、97、98)と、を含み、
前記第1の垂直駆動梁(92、96)及び前記第2の垂直駆動梁(95、99)には、互いに逆位相の駆動電圧が印加される光走査装置。
11、101 リブ
20、22〜24 応力緩和領域
21 端部
30〜38 スリット
40〜43 ミラー部
50 トーションバー
60、100 連結部
70 水平駆動梁
71、91 駆動源
80 可動枠
81 肉抜き部
82 厚肉部
90 垂直駆動梁
110 垂直駆動部
120 フレーム
130 端子
140 配線
Claims (6)
- ミラー反射面を有するミラー部と、
該ミラー部を外側から支持する可動枠と、
該可動枠を両側から支持するとともに、前記ミラー反射面の中心を通る所定の軸周りに揺動させる一対の駆動手段と、を有し、
前記可動枠の前記軸から最も離れた所定領域には、所定の平面形状を有し、前記可動枠を貫通しない窪み状の穴からなる肉抜き部が設けられている光走査装置。 - 前記肉抜き部は、前記軸に関して両側に設けられている請求項1に記載の光走査装置。
- 前記可動枠は、前記軸に関して対称で、かつ前記軸に平行な一対の辺を有し、
前記肉抜き部は、該一対の辺に設けられている請求項2に記載の光走査装置。 - 前記肉抜き部は、三角形の平面形状を有する複数の前記窪み状の穴を含み、
前記三角形の頂点が内側と外側を交互に向くように前記可動枠の延在方向に沿って配置された請求項1に記載の光走査装置。 - 前記軸と垂直な第2の軸上の両側から前記ミラー部を支持する一対のトーションバーと、
前記ミラー部の周囲に設けられるとともに前記トーションバーに連結され、前記ミラー部を前記第2の軸周りに揺動させるための駆動源を有する一対の水平駆動梁と、を更に有し、
前記可動枠は、該水平駆動梁及び前記トーションバーを介して前記ミラー部を支持するとともに、該水平駆動梁及び前記トーションバーの周囲を取り囲んでいる請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光走査装置。 - 前記可動枠がリブ状に肉抜きされている請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015240350A JP6233396B2 (ja) | 2015-12-09 | 2015-12-09 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015240350A JP6233396B2 (ja) | 2015-12-09 | 2015-12-09 | 光走査装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011219661A Division JP5857602B2 (ja) | 2011-10-03 | 2011-10-03 | 光走査装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017102260A Division JP6455547B2 (ja) | 2017-05-24 | 2017-05-24 | 光走査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016040633A JP2016040633A (ja) | 2016-03-24 |
JP6233396B2 true JP6233396B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=55540960
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015240350A Active JP6233396B2 (ja) | 2015-12-09 | 2015-12-09 | 光走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6233396B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019061181A (ja) | 2017-09-27 | 2019-04-18 | 日本信号株式会社 | アクチェータ |
JP7227464B2 (ja) * | 2018-12-27 | 2023-02-22 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3926552B2 (ja) * | 2000-10-25 | 2007-06-06 | 日本信号株式会社 | アクチュエ−タ |
JP4164421B2 (ja) * | 2002-08-26 | 2008-10-15 | キヤノン株式会社 | 揺動装置、揺動装置を用いた光偏向器、及び光偏向器を用いた画像表示装置、画像形成装置、並びにその製法 |
US7005781B2 (en) * | 2002-12-11 | 2006-02-28 | J. G. Smits | Devices for rotation using piezoelectric benders |
JP4926596B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2012-05-09 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及びその製造方法 |
JP5239379B2 (ja) * | 2008-02-18 | 2013-07-17 | パナソニック株式会社 | 光学反射素子 |
JP2010122412A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Panasonic Corp | 光学反射素子ユニット |
JP5487960B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2014-05-14 | 船井電機株式会社 | 振動ミラー素子および振動ミラー素子の製造方法 |
JP5506485B2 (ja) * | 2010-03-24 | 2014-05-28 | スタンレー電気株式会社 | 2次元光スキャナ |
JP5890115B2 (ja) * | 2011-06-22 | 2016-03-22 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
-
2015
- 2015-12-09 JP JP2015240350A patent/JP6233396B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016040633A (ja) | 2016-03-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5857602B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP5736766B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP5509742B2 (ja) | 圧電アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 | |
WO2010131557A1 (ja) | アクチュエータ及びアクチュエータを用いた光走査装置 | |
JP5967145B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2016197265A (ja) | 光学反射素子 | |
CN109946828B (zh) | 光扫描装置 | |
JP7037101B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP6455547B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP6233396B2 (ja) | 光走査装置 | |
JPWO2015145943A1 (ja) | 光走査デバイス | |
CN107870416B (zh) | 光扫描装置 | |
JP2019159134A (ja) | 光走査装置 | |
JP6052341B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2009122293A (ja) | 揺動体装置、光偏向器、及びそれを用いた光学機器 | |
CN110320662B (zh) | 促动器以及光扫描装置 | |
JP2013097026A (ja) | アクチュエーター、光スキャナーおよび画像形成装置 | |
WO2022163105A1 (ja) | 駆動素子および光偏向素子 | |
WO2022224573A1 (ja) | 駆動素子および光偏向素子 | |
JP5720747B2 (ja) | アクチュエータ及びこれを用いた光走査装置 | |
JP2008224807A (ja) | Memsデバイス | |
JP2013214023A (ja) | 光学反射素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160923 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161004 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170328 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170524 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170926 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171009 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6233396 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |