JP5670227B2 - 光偏向器の駆動装置 - Google Patents
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Description
前記第1圧電アクチュエータを構成する複数の圧電カンチレバーのうち、該第1圧電アクチュエータの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための駆動電圧として、所定周波数のノコギリ波状の第1駆動電圧を出力する第1駆動電圧出力手段と、該一方側から奇数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための駆動電圧として、前記第1駆動電圧と同一周波数で、且つ、該第1駆動電圧と逆位相の波形のノコギリ波状の第2駆動電圧を出力する第2駆動電圧出力手段とを備え、
前記第1駆動電圧と第2駆動電圧との間の相対的な位相差が、前記偶数番目の各圧電カンチレバーと前記奇数番目の各圧電カンチレバーとをそれぞれ前記第1駆動電圧、第2駆動電圧により圧電駆動した状態で、前記ミラー部及び可動部の前記第1揺動軸周りの揺動に関する機械的な固有振動数に依存して前記第1駆動電圧及び第2駆動電圧よりも高周波で発生する該ミラー部の機械的な高周波振動成分を抑制するようにあらかじめ定められた所定の位相差に設定されていることを特徴とする(第1発明)。
そして、各外側圧電アクチュエータ10の一端部(最も支持基体11寄りの圧電カンチレバー3(4)の基端部)が、支持基体11の内周部に連結されると共に、他端部(最も可動部9寄りの圧電カンチレバー3eの先端部)が、可動部9の外周部に連結されている。
|Φx_base|≡|360/10−Φy| ……(1)
ただし、Φy[deg]≡60×(1/(2×fc))×360 ……(1a)
なお、fcは前記ミラー部揺動固有振動数に応じて発生するミラー部1の偏向角の高周波振動成分の周波数である。また、前記第1及第2駆動電圧の1周期分(1/60[sec])の位相差を360[deg]としている。
Claims (5)
- 反射面を有するミラー部と、該ミラー部が搭載された可動部を支持基体に対して第1揺動軸周りに揺動させるアクチュエータとして該可動部に一端が連結されると共に該支持基体に他端が連結された第1圧電アクチュエータを備えており、該第1圧電アクチュエータが、圧電駆動によって屈曲変形するようにそれぞれ構成されると共に前記第1揺動軸の方向に並ぶように配置された複数の圧電カンチレバーを、そのそれぞれが隣合う圧電カンチレバーに対して折り返されるように連結することにより構成された光偏向器の駆動装置であって、
前記第1圧電アクチュエータを構成する複数の圧電カンチレバーのうち、該第1圧電アクチュエータの一端及び他端のいずれか一方側から偶数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための駆動電圧として、所定周波数のノコギリ波状の第1駆動電圧を出力する第1駆動電圧出力手段と、該一方側から奇数番目の各圧電カンチレバーを圧電駆動するための駆動電圧として、前記第1駆動電圧と同一周波数で、且つ、該第1駆動電圧と逆位相の波形のノコギリ波状の第2駆動電圧を出力する第2駆動電圧出力手段とを備え、
前記第1駆動電圧と第2駆動電圧との間の相対的な位相差が、前記偶数番目の各圧電カンチレバーと前記奇数番目の各圧電カンチレバーとをそれぞれ前記第1駆動電圧、第2駆動電圧により圧電駆動した状態で、前記ミラー部及び可動部の前記第1揺動軸周りの揺動に関する機械的な固有振動数に依存して前記第1駆動電圧及び第2駆動電圧よりも高周波で発生する該ミラー部の機械的な高周波振動成分を抑制するようにあらかじめ定められた所定の位相差に設定されていることを特徴とする光偏向器の駆動装置。 - 請求項1記載の光偏向器の駆動装置において、
前記第1駆動電圧と第2駆動電圧とのうち、電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅がより長い方の駆動電圧を第A駆動電圧、該立ち上がり期間の時間幅がより短い方の駆動電圧を第B駆動電圧としたとき、前記所定の位相差は、第B駆動電圧の立ち上がり期間の始点が、第A駆動電圧の立ち上がり期間の始点よりも遅れたタイミングとなり、且つ、第A駆動電圧の立ち上がり期間の始点から第B駆動電圧の立ち上がり期間の終点までの時間幅が前記高周波振動成分の半周期に一致するようにあらかじめ定められた位相差であることを特徴とする光偏向器の駆動装置。 - 請求項2記載の光偏向器の駆動装置において、
前記第A駆動電圧は、電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅と、電圧値が極大値から極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅との比率が9:1となる60Hz周波数のノコギリ波状の駆動電圧であると共に、前記第B駆動電圧は、電圧値が極小値から極大値まで増加していく立ち上がり期間の時間幅と、電圧値が極大値から極小値まで減少していく立ち下がり期間の時間幅との比率が1:9となる60Hz周波数のノコギリ波状の駆動電圧であることを特徴とする光偏向器の駆動装置。 - 請求項3記載の光偏向器の駆動装置において、
前記高周波振動の周波数をfc、前記第1駆動電圧及び第2駆動電圧の1周期分の位相差を360[deg]、第A駆動電圧の立ち上がり期間の始点から第B駆動電圧の立ち上がり期間の始点までの位相差の大きさを|Φx|とし、ΦyをΦy≡60×(1/(2×fc))×360[deg]と定義したとき、前記所定の位相差は、|Φx|が|360/10−Φy|に一致するようにあらかじめ定められた位相差であることを特徴とする光偏向器の駆動装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の光偏向器の駆動装置において、
前記第1駆動電圧の振幅値と前記第2駆動電圧の振幅値とは、前記第1圧電アクチュエータを構成する圧電カンチレバーのうち、前記偶数番目の圧電カンチレバーのみを前記第1駆動電圧により圧電駆動した場合に発生する前記ミラー部の機械的な高周波振動成分の振幅値と、前記奇数番目の圧電カンチレバーのみを前記第2駆動電圧により圧電駆動した場合に発生する前記ミラー部の機械的な高周波振動成分の振幅値とが互いに一致するようにあらかじめ設定されていることを特徴とする光偏向器の駆動装置。
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