JP5718075B2 - 光偏向モジュール - Google Patents
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Description
また、繰返信号は正弦波信号であり、駆動電圧印加期間は正弦波信号の最小値から最大値までの変化期間あるいは最大値から最小値までの変化期間を含むものである。これにより、電圧無印加期間があるにもかかわらず、ミラーの振れは滑らかになると共に、ミラーの振れ角は十分に大きくなる。
さらに、ミラーは矩形であり、第1の圧電アクチュエータは弾性梁のミラーの付け根と支持体との間に設けられる。あるいは、ミラーは円形であり、第1の圧電アクチュエータは半環形であり、ミラーの外周部に設けられる。
さらにまた、制御ユニットは電圧無印加期間に第1の圧電アクチュエータの圧電起電力を検出する検出手段を具備し、制御ユニットは第1の圧電アクチュエータの圧電起電力に応じて駆動電圧印加期間の駆動電圧を制御する。
Vd1 = A (1 + sinωt) (1)
この結果、図2に示すごとく、駆動用圧電アクチュエータ5(7)の圧電体層5c(7c)及び駆動用圧電アクチュエータ6(8)の圧電体層6c(8c)が互いに反対側に湾曲し、従って、駆動用圧電アクチュエータ5(7)の振動板5a(7a)及び駆動用圧電アクチュエータ6(8)の振動板6a(8a)がS字状になって回転振動する。このとき、振動板5a(7a)及び振動板6a(8a)の基端は支持体1に連結されているので、振動板5a(7a)及び振動板6a(8a)の先端は支持体1の厚み方向に上下振動する。この場合、駆動用圧電アクチュエータ5(7)の上部電極5d(7d)と下部電極5b(7b)との間の電圧と駆動用圧電アクチュエータ6(8)の上部電極6d(8d)と下部電極6b(8b)との間の電圧には180°の位相差があるので、振動板5a(7a)の先端が上もしくは下振動するとき、振動板6a(8a)の先端は下もしくは上振動する。従って、駆動用圧電アクチュエータ5、6、7、8によって発生した回転トルクによりトーションバー3(4)が揺動つまり回転振動し、図4のミラー2が、図5の(B)の点線に示すごとく、振動する。
Vd1’ = A (1 + sinω(t - Δt)) (2)
尚、遅延時間Δtは図1の光偏向器U1の構造に依存した値であって、特に、駆動用圧電アクチュエータ5、6、7、8と駆動兼検出用圧電アクチュエータ9、10、11、12との間のトーションバー3、4の長さ等に依存する。但し、周期は一致させる。この駆動電圧Vd1’は制御回路207によって発生した図5の(A)に示す切換信号Sによって駆動電圧Vd2となり、駆動兼検出用圧電アクチュエータ10、12の上部電極10d、12dに印加される。ここでは、Vd2は正弦波の最小値から最大値まで変化する1/2周期分のみが印加され、残りの1/2周期分の期間が電圧無印加となるような波形となっている。電圧印加期間が切替信号Sの駆動期間で、電圧無印加の期間は切替信号/Sの検出期間となっている。この結果、図3に示すごとく、駆動兼検出用圧電アクチュエータ9(11)の圧電体層9c(11c)及び駆動兼検出用圧電アクチュエータ10(12)の圧電体層10c(12c)が互いに反対側に湾曲し、従って、駆動兼検出用圧電アクチュエータ9(11)の振動板9a(11a)及び駆動兼検出用圧電アクチュエータ10(12)の振動板10a(12a)がS字状になって回転振動する。このとき、振動板9a(11a)及び振動板10a(12a)の基端は支持体1に連結されているので、振動板9a(11a)及び振動板10a(12a)の先端は支持体1の厚み方向に上下振動する。この場合、駆動兼検出用圧電アクチュエータ9(11)の上部電極9d(11d)と下部電極9b(11b)との間の電圧と駆動兼検出用圧電アクチュエータ10(12)の上部電極10d(12d)と下部電極10b(12b)との間の電圧には180°の位相差があるので、振動板9a(11a)の先端が上もしくは下振動するとき、振動板10a(12a)の先端は下もしくは上振動する。従って、駆動兼検出用圧電アクチュエータ9、10、11、12によって発生した回転トルクによりトーションバー3(4)が揺動つまり回転振動し、図4のミラー2が振動する。
VS = B(1 + sinω(t - Δt)) (3)
この振幅Bは検出器206によって検出され、制御回路207に供給される。
S=”0”
/S=”1”
の基でωをスキャンして検出された検出電圧VSの振幅Bが最大となるように求める。つまり、B=Bmaxのときのωを共振角周波数として固定する。
B←Bmax
とする。
Δt←Δt−δ
として、B<Boptのときに、
Δt←Δt+δ
とする。但し、δは正の一定値とする。この遅延時間Δtは遅延器202に設定される。この結果、振幅Bが最適値Boptに収束することになる。尚、最適値Boptは対象物の長さに対応するミラー2の振れ角である。
Δt←(π/2)/ω
とし、この遅延時間Δtは遅延器202に設定される。この結果、駆動兼検出用圧電アクチュエータ9、10、11、12による回転トルクは駆動用圧電アクチュエータ5、6、7、8による回転トルクを相殺するように作用する。つまり、大きな外部異常振動が光偏向器U1に印加されたときに、この異常振動を抑制してミラー2の破壊を防止する。
Δt=(π/4)/ω
であった。つまり、A=10V、ω/2π=5kHzの駆動電圧Vd1を駆動用圧電アクチュエータ5、6、7、8に印加した場合のミラー2の振れ角は±5°であったが、さらにA=10V、ω/2π=5kHz、Δt=(π/4)/ωの駆動電圧Vd2を駆動兼検出用圧電アクチュエータ9、10、11、12に印加した場合には、ミラー2の振れ角は±8°となり、ミラー2の振れ角は1.6倍となった。このように、駆動兼検出用圧電アクチュエータ9、10、11、12を駆動させることによりミラー2の振れ角は増大する。
Δt=(π/4)/ω
であった。このように、製造ばらつきにより光偏向器U1の共振周波数fがばらついても、ミラー2の振れ角は同一となる。
Δt←(π/2)/ω
となる。この結果、A=10V、ω/2π=5kHzの駆動電圧Vd1の印加による駆動用圧電アクチュエータ5、6、7、8のミラー2の回転トルクはA=10V、ω/2π=5kHz、Δt=(π/2)/ωの駆動電圧Vd2の印加による駆動兼検出用圧電アクチュエータ9、10、11、12のミラー2の回転トルクによって相殺され、ミラー2の回転トルクは大幅に減少する。これにより、ミラー2の破壊を防止することができる。
VS = B(1 + sinωt) (4)
この振幅Bは検出器206によって検出され、制御回路207に供給される。
S=”0”
/S=”1”
の基でωをスキャンして検出された検出電圧VSの振幅Bが最大となるように求める。つまり、B=Bmaxのときのωを共振角周波数として固定する。
B←Bmax
とする。
A←A−ε
として、B<Boptのときに、
A←A+ε
とする。但し、εは正の一定値とする。この振幅Aは正弦波発生器201に設定される。この結果、振幅Bが最適値Boptに収束することになる。
A←0
とし、この振幅Aは正弦波発生器201に設定される。この結果、駆動兼検出用圧電アクチュエータ9、10、11、12による回転トルクは0となるように作用する。つまり、大きな外部異常振動が光偏向器U1に印加されたときに、この異常振動を抑制してミラー2の破壊を防止する。
U2:制御ユニット
U3:レーザ光源
1:支持体
1a:空洞部
2、2’:ミラー
3、4:弾性梁(トーションバー)
5、6、7、8:駆動用圧電アクチュエータ(第2の圧電アクチュエータ)
9、10、11、12、13、14:駆動兼検出用圧電アクチュエータ(第1の圧電アクチュエータ)
2a、3a、4a、5a、6a、7a、8a、9a、10a、11a、12a、13a、14a:振動板
2b、3b、4b、5b、6b、7b、8b、9b、10b、11b、12b、13b、14b:下部電極
3c、4c、5c、6c、7c、8c、9c、10c、11c、12c、13c、14c:圧電体層
3d、4d、5d、6d、7d、8d、9d、10d、11d、12d、13d、14d:上部電極
201:正弦波発生器
202:遅延器
203、204:スイッチ
205:切換信号発生器
206:検出器
207:制御回路
208:レーザ光源駆動回路
1011:単結晶シリコン層
1012:中間酸化シリコン層
1013:単結晶シリコン活性層
1021、1022:酸化シリコン層
1031:下部電極層
1032:圧電体層
1033:上部電極層
104:ハードマスク層
Vd1、Vd1’、Vd2:駆動電圧
VS:検出電圧
Claims (5)
- 光偏向器及び該光偏向器を制御する制御ユニットを具備する光偏向モジュールであって、
前記光偏向器は、
空洞部が形成された支持体と、
前記支持体の空洞部内に位置する反射面を有するミラーと、
基端が前記支持体に連結され先端が前記ミラーに連結された弾性梁と、
前記弾性梁の前記先端の近傍に連結された第1の圧電アクチュエータと
を具備し、
前記制御ユニットは一定周期の繰返信号を前記第1の圧電アクチュエータに供給し、該繰返信号は前記一定周期の1/2〜3/4期間の駆動電圧印加期間及び1/4〜1/2期間の電圧無印加期間よりなり、
前記ミラーは円形であり、
前記第1の圧電アクチュエータは半環形であり、前記ミラーの外周部に設けられた光偏向モジュール。 - 光偏向器及び該光偏向器を制御する制御ユニットを具備する光偏向モジュールであって、
前記光偏向器は、
空洞部が形成された支持体と、
前記支持体の空洞部内に位置する反射面を有するミラーと、
基端が前記支持体に連結され先端が前記ミラーに連結された弾性梁と、
前記弾性梁の前記先端の近傍に連結された第1の圧電アクチュエータと
を具備し、
前記制御ユニットは一定周期の繰返信号を前記第1の圧電アクチュエータに供給し、該繰返信号は前記一定周期の1/2〜3/4期間の駆動電圧印加期間及び1/4〜1/2期間の電圧無印加期間よりなり、
さらに、前記弾性梁の前記基端の近傍と前記支持体との間に設けられた第2の圧電アクチュエータを具備し、
前記制御ユニットは前記電圧無印加期間に前記第1の圧電アクチュエータの圧電起電力を検出する検出手段を具備し、
前記制御ユニットは前記第1の圧電アクチュエータの圧電起電力に応じて前記駆動電圧印加期間の駆動電圧及び前記第2の圧電アクチュエータの駆動電圧を制御する光偏向モジュール。 - 前記繰返信号は正弦波信号であり、
前記駆動電圧印加期間は該正弦波信号の最小値から最大値までの変化期間あるいは該最大値から該最小値までの変化期間を含む請求項1または2に記載の光偏向モジュール。 - 前記ミラーは矩形であり、
前記第1の圧電アクチュエータは前記弾性梁の前記ミラーの付け根と前記支持体との間に設けられた請求項2に記載の光偏向器モジュール。 - 前記制御ユニットは前記電圧無印加期間に前記第1の圧電アクチュエータの圧電起電力を検出する検出手段を具備し、
前記制御ユニットは前記第1の圧電アクチュエータの圧電起電力に応じて前記駆動電圧印加期間の駆動電圧を制御する請求項1または2に記載の光偏向モジュール。
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