JP7113377B2 - 光学反射素子 - Google Patents
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Description
図1は、実施の形態1に係る光学反射素子100の平面図である。図2は、実施の形態1に係る光学反射素子100の斜視図である。
次に、光学反射素子の他の実施の形態について説明する。なお、前記実施の形態1と同様の作用や機能、同様の形状や機構や構造を有するもの(部分)には同じ符号を付して説明を省略する場合がある。また、以下では実施の形態1と異なる点を中心に説明し、同じ内容については説明を省略する場合がある。
次に、光学反射素子の他の実施の形態について説明する。なお、前記実施の形態1、2と同様の作用や機能、同様の形状や機構や構造を有するもの(部分)には同じ符号を付して説明を省略する場合がある。また、以下では実施の形態1、2と異なる点を中心に説明し、同じ内容については説明を省略する場合がある。
101 回転軸(第一回転軸)
102 回転軸(第二回転軸)
110 反射部
111 反射面
121 接続部(第一接続部)
122 接続部(第二接続部)
123 接続部(第三接続部)
124 接続部(第四接続部)
125 接続部(第五接続部)
126 接続部(第六接続部)
127 接続部(第七接続部)
128 接続部(第八接続部)
131 伝達部(第一伝達部)
132 伝達部(第二伝達部)
133 伝達部(第三伝達部)
134 伝達部(第四伝達部)
135 伝達部(第五伝達部)
136 伝達部(第六伝達部)
137 伝達部(第七伝達部)
138 伝達部(第八伝達部)
141 振動部(第一振動部)
142 振動部(第二振動部)
143 振動部(第三振動部)
144 振動部(第四振動部)
145 振動部(第五振動部)
146 振動部(第六振動部)
147 振動部(第七振動部)
148 振動部(第八振動部)
1149 連結部
2149 連結部
151 駆動部(第一駆動部)
152 駆動部(第二駆動部)
153 駆動部(第三駆動部)
154 駆動部(第四駆動部)
155 駆動部(第五駆動部)
156 駆動部(第六駆動部)
157 駆動部(第七駆動部)
158 駆動部(第八駆動部)
161 基部(第一基部)
162 基部(第二基部)
163 基部(第三基部)
164 基部(第四基部)
171 モニタ素子(第一モニタ素子)
172 モニタ素子(第二モニタ素子)
173 モニタ素子(第三モニタ素子)
174 モニタ素子(第四モニタ素子)
175 モニタ素子(第五モニタ素子)
176 モニタ素子(第六モニタ素子)
177 モニタ素子(第七モニタ素子)
178 モニタ素子(第八モニタ素子)
183,184 駆動本体部
185,186 圧電素子
187,188 駆動本体部
189,190 圧電素子
191 第五駆動本体部
192 第五圧電素子
193 第六駆動本体部
194 第六圧電素子
195 第七駆動本体部
196 第七圧電素子
197 第八駆動本体部
198 第八圧電素子
201~204 回転揺動機構
Claims (13)
- 第一回転軸を中心として回転揺動し、光を反射する反射部と、
前記第一回転軸に沿って配置され、前記反射部に連結された先端部と、基端部とを有する第一接続部と、
基端部と、前記第一接続部の前記基端部に連結された先端部とを有する第一伝達部であって、前記第一回転軸から遠ざかるように前記第一伝達部の前記先端部から延在し、前記第一接続部にトルクを伝達する前記第一伝達部と、
基端部と、前記第一接続部の前記基端部に連結された先端部とを有する第二伝達部であって、前記第一回転軸に対し前記第一伝達部の逆側において前記第一回転軸から遠ざかるように前記第二伝達部の前記先端部から延在し、前記第一接続部にトルクを伝達する前記第二伝達部と、
基端部と先端部とを有し、前記第一回転軸に対し前記第一伝達部の同じ側において前記第一回転軸と交差する第一交差方向に配置され、前記第一伝達部の前記基端部に連結された第一振動部と、
基端部と先端部とを有し、前記第一回転軸に対し前記第一伝達部の逆側において前記第一回転軸と交差する第二交差方向に配置され、前記第二伝達部の前記基端部に連結された第二振動部と、
前記第一振動部の前記先端部に連結され、前記第一振動部と前記第一伝達部を介して前記第一接続部を回転揺動させる第一駆動部と、
前記第二振動部の前記先端部に連結され、前記第二振動部と前記第二伝達部を介して前記第一接続部を回転揺動させる第二駆動部と、
第一基部と、
前記第一基部に対し前記第一振動部と前記第二振動部とを振動可能に前記第一基部に接続する第二接続部と
を備える光学反射素子。 - 前記第一伝達部に少なくとも一部が取り付けられて、前記第一伝達部の歪を検出する第一モニタ素子をさらに備えた、請求項1に記載の光学反射素子。
- 前記第二伝達部に少なくとも一部が取り付けられて、前記第二伝達部の歪を検出する第二モニタ素子をさらに備え、
前記第一モニタ素子の出力と前記第二モニタ素子の出力とが差動検出される、請求項2に記載の光学反射素子。 - 前記反射部に対し前記第一接続部の逆側に前記第一回転軸に沿って配置され、前記反射部に連結された先端部と、基端部とを有する第三接続部と、
基端部と、前記第三接続部の前記基端部に連結された先端部とを有する第三伝達部であって、前記第一回転軸から遠ざかるように前記第三伝達部の前記先端部から延在し、前記第三接続部にトルクを伝達する前記第三伝達部と、
基端部と、前記第三接続部の前記基端部に連結された先端部とを有する第四伝達部であって、前記第一回転軸に対し前記第三伝達部の逆側において、前記第一回転軸から遠ざかるように前記第三伝達部の前記先端部から延在し、前記第三接続部にトルクを伝達する前記第四伝達部と、
基端部と先端部とを有し、前記第一回転軸に対し前記第三伝達部の同じ側において前記第一回転軸と交差する第三交差方向に配置され、前記第三伝達部の前記基端部に連結された第三振動部と、
基端部と先端部とを有し、前記第一回転軸に対し前記第三伝達部の逆側において前記第一回転軸と交差する第四交差方向に配置され、前記第四伝達部の前記基端部に連結された第四振動部と、
前記第三振動部の前記先端部に連結され、前記第三振動部と前記第三伝達部とを介して前記第三接続部を回転揺動させる第三駆動部と、
前記第四振動部の前記先端部に連結され、前記第四振動部と前記第四伝達部とを介して前記第三接続部を回転揺動させる第四駆動部と、
第二基部と、
前記第二基部に対し前記第三振動部と前記第四振動部とを振動可能に前記第二基部に接続する第四接続部と
をさらに備えた、請求項1に記載の光学反射素子。 - 前記第一伝達部に少なくとも一部が取り付けられて、前記第一伝達部の歪を検出する第一モニタ素子と、
前記第二伝達部に少なくとも一部が取り付けられて、前記第二伝達部の歪を検出する第二モニタ素子と、
前記第三伝達部に少なくとも一部が取り付けられて、前記第三伝達部の歪を検出する第三モニタ素子と、
前記第四伝達部に少なくとも一部が取り付けられて、前記第四伝達部の歪を検出する第四モニタ素子と、
をさらに備え、
前記第一モニタ素子の出力と前記第二モニタ素子の出力と前記第三モニタ素子の出力と前記第四モニタ素子の出力とが差動検出される、請求項4に記載の光学反射素子。 - 前記第一モニタ素子は圧電材料を含み、
前記第一駆動部は圧電材料を含む第一圧電素子を有し、
前記第二駆動部は圧電材料を含む第二圧電素子を有し、
前記第一圧電素子の前記圧電材料と前記第二圧電素子の前記圧電材料とは、前記第一モニタ素子の前記圧電材料と同じである、請求項5に記載の光学反射素子。 - 前記第一回転軸と交差する方向に延在する第二回転軸に沿って配置され、前記第一基部に連結された先端部と、基端部とを有する第五接続部と、
基端部と、前記第五接続部の前記基端部に連結された先端部とを有する第五伝達部であって、前記第二回転軸から遠ざかるように前記第五伝達部の前記先端部から延在し、前記第五接続部にトルクを伝達する前記第五伝達部と、
基端部と、前記第五接続部の前記基端部に連結された先端部とを有する第六伝達部であって、前記第二回転軸に対し前記第五伝達部の逆側において、前記第二回転軸から遠ざかるように前記第六伝達部の前記先端部から延在し、前記第五接続部にトルクを伝達する前記第六伝達部と、
基端部と先端部とを有し、前記第二回転軸に対し前記第五伝達部の同じ側において前記第二回転軸と交差する第五交差方向に配置され、前記第五伝達部の前記基端部に連結された第五振動部と、
基端部と先端部とを有し、前記第二回転軸に対し前記第五伝達部の逆側において前記第二回転軸と交差する第六交差方向に配置され、前記第六伝達部の前記基端部に連結された第六振動部と、
前記第五振動部の前記先端部に連結され、前記第五振動部と前記第五伝達部とを介して前記第五接続部を回転揺動させる第五駆動部と、
前記第六振動部の前記先端部に連結され、前記第六振動部と前記第六伝達部とを介して前記第五接続部を回転揺動させる第六駆動部と、
第三基部と、
前記第三基部に対し前記第五振動部と前記第六振動部を振動可能に前記第三基部に接続する第六接続部と
をさらに備えた、請求項1から6のいずれか一項に記載の光学反射素子。 - 前記反射部に対し前記第五接続部の逆側に前記第二回転軸に沿って配置され、前記第一基部に連結された先端部と、基端部とを有する第七接続部と、
基端部と、前記第七接続部の前記基端部に連結された先端部とを有する第七伝達部であって、前記第二回転軸から遠ざかるように前記第七伝達部の前記先端部から延在し、前記第七接続部にトルクを伝達する前記第七伝達部と、
基端部と、前記第七接続部の前記基端部に連結された先端部とを有する第八伝達部であって、前記第二回転軸に対し前記第七伝達部の逆側において、前記第二回転軸から遠ざかるように前記第八伝達部の前記先端部から延在し、前記第七接続部にトルクを伝達する前記第八伝達部と、
基端部と先端部とを有し、前記第二回転軸に対し前記第七伝達部の同じ側において前記第二回転軸と交差する第七交差方向に配置され、前記第七伝達部の前記基端部に連結された第七振動部と、
基端部と先端部とを有し、前記第二回転軸に対し前記第七伝達部の逆側において前記第二回転軸と交差する第八交差方向に配置され、前記第八伝達部の前記基端部に連結された第八振動部と、
前記第七振動部の前記先端部に連結され、前記第七振動部と前記第七伝達部とを介して前記第七接続部を回転揺動させる第七駆動部と、
前記第八振動部の前記先端部に連結され、前記第八振動部と前記第八伝達部とを介して前記第七接続部を回転揺動させる第八駆動部と、
第四基部と、
前記第四基部に対し前記第七振動部と前記第八振動部を振動可能に前記第四基部に接続する第八接続部と、
をさらに備えた、請求項7に記載の光学反射素子。 - 前記第一伝達部と前記第二伝達部とは前記第一回転軸に対して回転対称である、請求項1から8のいずれか一項に記載の光学反射素子。
- 前記第一伝達部は、前記第一接続部の前記基端部から前記第一振動部まで一直線に延びる棒状であり、
前記第二伝達部は、前記第一接続部の前記基端部から前記第二振動部まで一直線に延びる棒状である、請求項1から9のいずれか一項に記載の光学反射素子。 - 前記第一振動部の前記基端部は前記第二振動部の前記基端部と連結位置で接続され、
前記第一伝達部の前記基端部は、前記連結位置から離れて前記第一振動部に連結され、
前記第二伝達部の前記基端部は、前記連結位置から離れて前記第二振動部に連結される、請求項1から10のいずれか一項に記載の光学反射素子。 - 前記第一接続部のねじり剛性は前記第二接続部のねじり剛性より小さい、請求項1から11のいずれか一項に記載の光学反射素子。
- 前記第一駆動部の前記第一振動部の前記先端部の反対側の部分から突出する第一突出部と、
前記第二駆動部の前記第二振動部の前記先端部の反対側の部分から突出する第二突出部と、
をさらに備えた、請求項1から12のいずれか一項に記載の光学反射素子。
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