JP5045463B2 - 光学反射素子 - Google Patents
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以下、本発明の実施の形態1における光学反射素子の構成について図面を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態2における光学反射素子の構成について図面を用いて説明する。
2 第一の支持部
3 第一のアーム
4 第二のアーム
5 連結部
6 音叉振動子
7 矢印
8 矢印
9 振動中心
10 圧電アクチュエータ
11 第二の支持部
12 ミラー部
13 矢印
14 回転軸
20 基材
21 第一の電極層
22 圧電体層
23 第二の電極層
25 接続端子
30 第三の支持部
Claims (15)
- 支持体と、この支持体に一端が支持された第一の支持部と、この第一の支持部の他端に支持された第一のアームと第二のアームを有し回転軸を中心として捩れ振動する音叉振動子と、この音叉振動子の振動中心に一端が支持された第二の支持部と、この第二の支持部の他端に支持されたミラー部とを備え、前記第二の支持部及び前記ミラー部は回転軸を軸中心として反復回転振動する光学反射素子。
- 第一のアームと第二のアームの位相が180度異なる方向に撓み振動し、音叉振動子が回転軸を中心として捩れ振動するように音叉振動子を振動させる請求項1に記載の光学反射素子。
- 音叉振動子の共振周波数と、ミラー部と第二の支持部で構成された捩れ振動子の共振周波数とが略同一周波数とした請求項1に記載の光学反射素子。
- 光学反射素子の基材を弾性部材とした請求項1に記載の光学反射素子。
- 弾性部材を金属、水晶、ガラス、石英、セラミックとした請求項4に記載の光学反射素子。
- 金属をシリコン、チタン、ステンレス、エリンバー、黄銅合金とした請求項5に記載の光学反射素子。
- 音叉振動子の厚みを第一のアームおよび第二のアームの幅よりも小さくした請求項1に記載の光学反射素子。
- 音叉振動子を構成する第一のアーム、第二のアームおよび第一のアームと第二のアームを連結する連結部の幅を等幅とした請求項1に記載の光学反射素子。
- 音叉振動子をコの字状とした請求項1に記載の光学反射素子。
- 第一の支持部、音叉振動子、第二の支持部およびミラー部の基材を同一材料とした請求項1に記載の光学反射素子。
- 第一のアーム、および/または第二のアームの少なくとも一面に圧電アクチュエータを設けた請求項1に記載の光学反射素子。
- 圧電アクチュエータを第一の電極層、圧電体層および第二の電極層からなる積層圧電薄膜とした請求項11に記載の光学反射素子。
- 音叉振動子の同一面に圧電アクチュエータを設けた請求項11に記載の光学反射素子。
- 第一のアームおよび第二のアームと、第二の支持部との間に第三の支持部を設けた請求項1に記載の光学反射素子。
- 第三の支持部を、捩れ振動子の共振周波数の高次の定在波の振動節部に設けた請求項14に記載の光学反射素子。
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