JP2006343482A - 光スキャナ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 固定部21の枠内の一端側に第1駆動板25を駆動軸26、27を介して回動自在に支持し、固定部21の枠内の他端側に第2駆動板30を駆動軸31、32を介して回動自在に支持し、第1駆動板25の腕部25b、25cの先端と反射板35との間、第2駆動板30の腕部30b、30cの先端と反射板35の間を、反射板軸36、37の各連結部36b、36c、37b、37cを介してそれぞれ連結し、第1駆動板25と第2駆動板30を回動駆動して、反射板35の角度を変化させる。
【選択図】 図1
Description
この光スキャナ1は、矩形枠状の固定部2の内側に、捩れ変形自在な軸部3、4を介して反射板5を回動自在に支持しており、電界や磁界による力F、F′を反射板5の両端に交互に付与し、反射板5を往復回動させる。
枠板状に形成された固定部(21)と、
基部(25a)および該基部の両端から該基部と直交する方向に延びた一対の腕部(25b、25c)とにより略コの字状に形成され、該一対の腕部を前記固定部の枠内の中央側に向けた状態で前記枠内の一端側に配置された第1駆動板(25)と、
前記第1駆動板の一方の腕部の外縁から前記固定部の内縁との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形可能な第1駆動軸(26)と、
前記第1駆動板の他方の腕部の外縁から前記第1駆動軸と一直線上に並ぶように延びて前記固定部の内縁との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形可能に形成され、前記第1駆動軸とともに前記固定部の枠内で前記第1駆動板を回動自在に支持する第2駆動軸(27)と、
基部(30a)および該基部の両端から該基部と直交する方向に延びた一対の腕部(30b、30c)とにより略コの字状に形成され、該一対の腕部を前記固定部の枠内の中央部に向けた状態で前記枠内の他端側に配置された第2駆動板(30)と、
前記第2駆動板の一方の腕部の外縁から前記固定部の内縁との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形可能な第3駆動軸(31)と、
前記第2駆動板の他方の腕部の外縁から前記第3駆動軸と一直線上に並ぶように延びて前記固定部の内縁との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形可能に形成され、前記第3駆動軸とともに前記固定部の枠内で前記第2駆動板を回動自在に支持する第4駆動軸(32)と、
前記固定部の枠内で且つ前記第1駆動板および第2駆動板とで囲まれた領域のほぼ中央に配置され、光を反射するための反射面が少なくとも一面側に形成された反射板(35)と、
前記反射板の外縁から前記第1駆動板の一方の腕部の先端と前記第2駆動板の一方の腕部の先端との間に向かって直線状に延びその長さ方向に捩れ変形可能な第1直線部(36a)、該第1直線部から分岐して前記第1駆動板の一方の腕部の先端との間を連結する第1連結部(36b)および前記第1直線部から分岐して前記第2駆動板の一方の腕部の先端との間を連結する第2連結部(36c)とを有する第1反射板軸(36)と、
前記反射板の前記第1反射板軸の直線部が設けられている位置と反対側の外縁から前記第1反射板軸の直線部と一直線上に並び且つ前記第1駆動板の他方の腕部の先端と前記第2駆動板の他方の腕部の先端との間に向かって直線状に延び、その長さ方向に捩れ変形可能な第2直線部(37a)、該第2直線部から分岐して前記第1駆動板の他方の腕部の先端との間を連結する第3連結部(37b)および前記第2直線部から分岐して前記第2駆動板の他方の腕部の先端との間を連結する第4連結部(37c)とを有する第2反射板軸(37)と、
前記第1駆動板の基部および第2駆動板の基部に力を周期的に付与して前記第1駆動板および第2駆動板を往復回動させ、前記第1反射板軸および第2反射板軸を変形させて、前記反射板を往復回動させる駆動手段(22、23、40)とを備えている。
前記駆動手段は、
前記固定部に設けられ、前記第1駆動板の基部との間に静電的な引力を生じさせるための電圧を印加するための第1電極(22)と、
前記固定部に設けられ、前記第2駆動板の基部との間に静電的な引力を生じさせるための電圧を印加するための第2電極(23)と、
前記第1電極および第2電極に電圧を周期的に与えて前記第1駆動板および第2駆動板を往復回動させる駆動信号発生器(40)とを含んでいることを特徴としている。
絶縁層(101)を第1導電層(102)と第2導電層(103)とで挟む3層構造の一枚のSOI基板(100)に対するエッチング処理により一体的に形成された光スキャナであって、
前記固定部は、前記絶縁層を第1導電層と第2導電層とで挟む3層構造を有し、
前記第1電極および第2電極は、前記SOI基板の一方の導電層に対するエッチング処理で形成されたギャップ(24)により前記固定部から絶縁されて形成されていることを特徴としている。
前記第1電極と第2電極は前記SOI基板の一方の導電層に形成され、前記第1駆動板と第2駆動板は前記SOI基板の他方の導電層に形成されていることを特徴としている。
図1、図2は、本発明を適用した光スキャナ20の構成を示している。
即ち、図2に示した状態から、第1電極22と第1駆動板25との間に電圧Vが印加されると、図4の(a)のように、第1電極22の突起22aと第1駆動板25の突起25dの間に互いの突起の厚さ中心が一致する方向に静電的な吸引力が生じ、第1駆動板25が第1駆動軸26、第2駆動軸27を中心に時計回りに回動する。
始めに、図5の(a)のように、SOI基板100の第1導電層102の表面のうち、第1電極22、第2電極23およびギャップ24の形成部分を除いた部分に、マスク201をフォトリソグラフィ技術により形成してから、図5の(b)のように、ICP−RIE装置でマスク201に覆われていない第1導電層部分を所定時間エッチングして、第1電極22、第2電極23およびギャップ24の形成部分の厚さを他の部分より薄く形成する。なお、ここでは第1電極22、第2電極23の全体を他の部分より薄くしているが、その突起22a、23aの厚さだけを他の部分より薄くしてもよい。
例えば図13のように、各駆動板25、30の基部25a、30aに磁気吸着性を有する金属膜73を蒸着し、前記電極22、23の代わりに電磁石(コイルのみでもよい)74を設け、前記した駆動信号発生器40によりこれらの電磁石74に対して交互に通電することで、前記実施形態と同様に駆動板25、30を回動させることができる。なお、図13において符号72は、電磁石74を支持する支持板である。
Claims (4)
- 枠板状に形成された固定部(21)と、
基部(25a)および該基部の両端から該基部と直交する方向に延びた一対の腕部(25b、25c)とにより略コの字状に形成され、該一対の腕部を前記固定部の枠内の中央側に向けた状態で前記枠内の一端側に配置された第1駆動板(25)と、
前記第1駆動板の一方の腕部の外縁から前記固定部の内縁との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形可能な第1駆動軸(26)と、
前記第1駆動板の他方の腕部の外縁から前記第1駆動軸と一直線上に並ぶように延びて前記固定部の内縁との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形可能に形成され、前記第1駆動軸とともに前記固定部の枠内で前記第1駆動板を回動自在に支持する第2駆動軸(27)と、
基部(30a)および該基部の両端から該基部と直交する方向に延びた一対の腕部(30b、30c)とにより略コの字状に形成され、該一対の腕部を前記固定部の枠内の中央部に向けた状態で前記枠内の他端側に配置された第2駆動板(30)と、
前記第2駆動板の一方の腕部の外縁から前記固定部の内縁との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形可能な第3駆動軸(31)と、
前記第2駆動板の他方の腕部の外縁から前記第3駆動軸と一直線上に並ぶように延びて前記固定部の内縁との間を連結し、その長さ方向に捩れ変形可能に形成され、前記第3駆動軸とともに前記固定部の枠内で前記第2駆動板を回動自在に支持する第4駆動軸(32)と、
前記固定部の枠内で且つ前記第1駆動板および第2駆動板とで囲まれた領域のほぼ中央に配置され、光を反射するための反射面が少なくとも一面側に形成された反射板(35)と、
前記反射板の外縁から前記第1駆動板の一方の腕部の先端と前記第2駆動板の一方の腕部の先端との間に向かって直線状に延びその長さ方向に捩れ変形可能な第1直線部(36a)、該第1直線部から分岐して前記第1駆動板の一方の腕部の先端との間を連結する第1連結部(36b)および前記第1直線部から分岐して前記第2駆動板の一方の腕部の先端との間を連結する第2連結部(36c)とを有する第1反射板軸(36)と、
前記反射板の前記第1反射板軸の直線部が設けられている位置と反対側の外縁から前記第1反射板軸の直線部と一直線上に並び且つ前記第1駆動板の他方の腕部の先端と前記第2駆動板の他方の腕部の先端との間に向かって直線状に延び、その長さ方向に捩れ変形可能な第2直線部(37a)、該第2直線部から分岐して前記第1駆動板の他方の腕部の先端との間を連結する第3連結部(37b)および前記第2直線部から分岐して前記第2駆動板の他方の腕部の先端との間を連結する第4連結部(37c)とを有する第2反射板軸(37)と、
前記第1駆動板の基部および第2駆動板の基部に力を周期的に付与して前記第1駆動板および第2駆動板を往復回動させ、前記第1反射板軸および第2反射板軸を変形させて、前記反射板を往復回動させる駆動手段(22、23、40)とを備えた光スキャナ。 - 前記駆動手段は、
前記固定部に設けられ、前記第1駆動板の基部との間に静電的な引力を生じさせるための電圧を印加するための第1電極(22)と、
前記固定部に設けられ、前記第2駆動板の基部との間に静電的な引力を生じさせるための電圧を印加するための第2電極(23)と、
前記第1電極および第2電極に電圧を周期的に与えて前記第1駆動板および第2駆動板を往復回動させる駆動信号発生器(40)とを含んでいることを特徴とする請求項1記載の光スキャナ。 - 絶縁層(101)を第1導電層(102)と第2導電層(103)とで挟む3層構造の一枚のSOI基板(100)に対するエッチング処理により一体的に形成された光スキャナであって、
前記固定部は、前記絶縁層を第1導電層と第2導電層とで挟む3層構造を有し、
前記第1電極および第2電極は、前記SOI基板の一方の導電層に対するエッチング処理で形成されたギャップ(24)により前記固定部から絶縁されて形成されていることを特徴とする請求項2記載の光スキャナ。 - 前記第1電極と第2電極は前記SOI基板の一方の導電層に形成され、前記第1駆動板と第2駆動板は前記SOI基板の他方の導電層に形成されていることを特徴とする請求項3記載の光スキャナ。
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